JPH08136384A

JPH08136384A - 燃焼圧センサ

Info

Publication number: JPH08136384A
Application number: JP27217494A
Authority: JP
Inventors: Hiroki Kusakabe; 弘樹日下部; Susumu Okauchi; 享岡内; Masuo Takigawa; 益生瀧川
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1994-11-07
Filing date: 1994-11-07
Publication date: 1996-05-31

Abstract

(57)【要約】【目的】感歪ダイアフラムとシール用の先端ダイアフ
ラムの剛性比を高く保ちつつ、感歪ダイアフラム表面に
面積の大きな感歪抵抗体を形成し、熱的に安定で、Ｓ／
Ｎ比の良好なセンサを得る。【構成】先端ダイアフラム１７に対して感歪ダイアフ
ラム１４の剛性を充分高くすることによって先端ダイア
フラム１７の熱膨張による剛性変化が原因となる出力変
動を除去する。さらに、感歪ダイアフラム１４の表面に
長手方向が１．８ｍｍ以上となるように感歪抵抗体１２
を形成する。これによって、感歪抵抗体１２の自己発生
ノイズを低減し、熱的に安定でＳ／Ｎ比の良好なセンサ
を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は内燃機関のシリンダ内の
燃焼圧力等の圧力検出に適したセンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】ダイアフラム上に構成された感歪抵抗体
の歪によって圧力を検出する圧力センサは、従来よりよ
く用いられている。これらのセンサでは直接ダイアフラ
ムに圧力を印加するものが主であるが、耐熱性に問題が
あり、燃焼圧のような高温流体の測定には使用できな
い。

【０００３】そこで、ダイアフラムを二重にして、感歪
抵抗体を高温流体から遠ざける方法が考えられている。
図９に従来より用いられている圧力センサの基本構成を
示す。同図はセンサの縦断面図であり、センサ筺体９１
の先端にはシール用の先端ダイアフラム９７が構成され
ている。

【０００４】先端ダイアフラム９７に印加された圧力は
圧力伝達部材９６を介して、感歪ダイアフラム９４に伝
達される。また、圧力伝達部材９６の替わりにシリコン
オイルの様な作動油を用いるものも考案されている。

【０００５】感歪ダイアフラム９４上には絶縁層９３及
び感歪抵抗体９２が形成され、図１０に示すようなフル
ブリッジ回路が構成されている。感歪ダイアフラム９４
に圧力が伝達されると、印加圧力に応じて感歪抵抗体Ｒ
１〜Ｒ４の抵抗値が変動する。この抵抗値の変動をブリ
ッジ出力電圧の差として検出することによって圧力の検
出が可能となる。

【０００６】この様なフルブリッジ回路を効率良く構成
するためには、圧力の印加に対して抵抗体Ｒ１及び抵抗
体Ｒ３の抵抗値が増加した場合は、抵抗体Ｒ２及び抵抗
体Ｒ４の抵抗値が減少すること、すなわち、抵抗体Ｒ１
及び抵抗体Ｒ３と抵抗体Ｒ２及び抵抗体Ｒ４が逆の極性
を示すことが望ましい。

【０００７】通常、感歪ダイアフラム９４に圧力が印加
された場合、その中心部分の半径方向に引張り応力、周
辺部分の半径方向に圧縮応力が発生する。このため、従
来の圧力センサでは、抵抗体Ｒ１及び抵抗体Ｒ３は中心
付近に抵抗体Ｒ２及び抵抗体Ｒ４周辺部分に配置されて
いた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来のような感歪抵抗
体を用いた圧力センサをエンジンの燃焼圧測定に使用し
た場合、激しい温度変化によって先端ダイアフラムの剛
性がサイクリックに変動する。

【０００９】これによって、感歪ダイアフラムの歪に変
動が生じ、検出圧力に誤差が生じる。このため、感歪ダ
イアフラムの剛性を先端ダイアフラムの剛性より充分に
高くして、先端ダイアフラムの剛性変化が感歪ダイアフ
ラムに影響を与えないようにする必要がある。例えば、
先端ダイヤフラムと感歪ダイヤフラムとに同じ材質を用
いる場合には、先端ダイアフラムは薄く、感歪ダイアフ
ラムは厚くする必要がある。

【００１０】また、現在の自動車用エンジンは４バルブ
エンジンが主流であり、センサを取り付けるスペースが
非常に小さい。特に、センサの径方向の制約が厳しく、
感歪ダイアフラムの小径化が不可欠である。

【００１１】このように、燃焼圧の測定のためには、感
歪ダイアフラムを厚くかつ直径を小さくする必要があ
る。これによって、従来は感歪ダイアフラムの周辺部分
に発生していた半径方向の圧縮応力範囲が減少する。

【００１２】このような状態で感歪ダイアフラムに４個
の感歪抵抗体を配置し、フルブリッジを構成した場合、
例え上記の様に周辺部分と中心部分に分けて抵抗体を配
置したとしても、抵抗体の変化特性は、配置した場所に
関係なく等しくなる。すなわち、周辺部分の抵抗体の変
化量がロスとなり、センサの感度が低下するという課題
があった。

【００１３】さらに感歪ダイアフラムの直径を小さくし
た場合、４個の感歪抵抗体を同一面内に形成するために
は、個々の感歪抵抗体の面積を小さくする必要が生じ
る。ここで、感歪抵抗体の面積は自己発生ノイズに影響
し、面積が小さくなるとノイズが増大する傾向がある。
これによって、センサ出力に含まれるノイズ成分が増大
するという問題があった。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、先端にダイアフラムを有する筺体と、前
記筺体の内部に設けられ一端が前記先端ダイアフラムの
裏側の面に接する圧力伝達部材と、前記筺体の内部に設
けられ、かつ前記圧力伝達部材に接し、金属基材の表面
にガラス層を焼成された円板状のホーロー基板と、前記
ホーロー基板上に形成された電極パターン及び感歪抵抗
体から構成され、前記感歪抵抗体の長手方向寸法が１．
８ｍｍ以上であり、前記ホーロー基板の中心付近に形成
されることを特徴とする燃焼圧センサである。

【００１５】あるいは、先端にダイアフラムを有する筺
体と、前記筺体の内部に設けられ一端が前記先端ダイア
フラムの裏側の面に接する圧力伝達部材と、前記筺体の
内部に設けられ、かつ前記圧力伝達部材に接し、貫通孔
を有する金属基材の表面にガラス層を焼成された円板状
のホーロー基板と、前記ホーロー基板の両面に形成され
た電極パターン及び感歪抵抗体から構成され、前記貫通
孔に電極取り出しのためのリード線が挿入され、半田付
けによって、前記電極パターンが導通されることを特徴
とする燃焼圧センサである。

【００１６】あるいは、金属基材の表面にガラス層を焼
成された円板状のホーロー基板と、前記ホーロー基板上
に形成された電極パターン及び感歪抵抗体から構成され
る感歪素子において、前記ホーロー基板の端部は、ガラ
ス層が焼成された後に切断され、円形に加工されている
ことを特徴とする燃焼圧センサである。

【００１７】あるいは、先端にダイアフラムを有する筺
体と、前記筺体の内部に設けられ、一端が前記先端ダイ
アフラムの裏面に接し、板状の金属基材表面にガラス層
を形成されたホーロー基板より構成され、前記ホーロー
基板が表面に感歪抵抗体を形成された感歪部と、前記感
歪部に圧力を伝達するための圧力伝達部と上部を前記筺
体に固定するための固定部より構成され、前記感歪部が
裏面より加工され、前記圧力伝達部及び前記固定部より
薄く構成されており、前記圧力伝達部と前記固定部の間
に位置することを特徴とする燃焼圧センサである。

【００１８】あるいは、圧力を伝達するための圧力伝達
部と、上部を固定するための固定部と、前記圧力伝達部
と前記固定部の間に位置し、裏面より加工され、前記圧
力伝達部及び前記固定部より薄い感歪部より構成された
ホーロー基板において、前記固定部の前記感歪部と反対
側に、前記感歪部より得られる信号を増幅するための増
幅回路を前記感歪素子と一体で構成することを特徴とす
る燃焼圧センサである。

【００１９】あるいは、圧力を伝達するための圧力伝達
部と、上部を固定するための固定部と、前記圧力伝達部
と前記固定部の間に位置し、裏面より加工され、前記圧
力伝達部及び前記固定部より薄い感歪部より構成された
ホーロー基板において、前記感歪部の中心から前記圧力
伝達部側と前記固定部側表面にそれぞれ感歪抵抗体を設
け、ブリッジを構成することを特徴とする燃焼圧センサ
である。

【００２０】あるいは、先端にダイアフラムを有する筺
体と、前記筺体の内部に設けられ一端が前記先端ダイア
フラムの裏側の面に接する圧力伝達部材と、前記筺体の
内部に設けられかつ前記圧力伝達部材に接し、表面にホ
ーロー層及び電極パターン及び感歪抵抗体を焼成され、
長手方向に予め曲げぐせが付けられた長方形の感歪素子
と、前記筺体の内部に設けられ前記感歪素子を前記筺体
に固定するための固定部材から構成され、前記圧力伝達
部材の前記先端ダイアフラムとの反対側が前記感歪素子
に接し、前記感歪素子の前記圧力伝達部材との反対側が
前記固定部材により固定されていることを特徴とする燃
焼圧センサである。

【００２１】

【作用】上記構成により、本発明は感歪ダイアフラムと
先端ダイアフラムの剛性比を高く、かつ、センサの直径
を小さく保ちつつ、感歪ダイアフラムの中心付近に面積
の大きな感歪抵抗体を形成することによって、自己発生
ノイズを低減しかつゲインのロス分を低減でき、容易に
低ノイズで高ゲインな燃焼圧センサを構成できる。

【００２２】また、感歪ダイアフラムの両面に面積の大
きな感歪抵抗体を構成し、貫通孔を用いて導通を図るこ
とによって、表面と裏面の感歪抵抗体の変化特性を逆に
できるため、容易に高精度で高ゲインなセンサを構成す
ることができる。

【００２３】また、板上の感歪素子の端部をガラス層の
焼成後に切断し、円形に加工することによって、基板端
部でのガラス層厚みの不均一部分を削除でき、安定した
層厚のホーロー基板を作成できるため、センサのゲイン
バラツキを低減できる。

【００２４】また、板状の感歪素子の一部分に他の部分
より薄い感歪部を設けることによって大きな歪の得られ
る範囲を増大できる。

【００２５】また、感歪素子と増幅回路を一体で形成す
るため、リード線の半田付け箇所を低減し、容易に低コ
ストで信頼性の高いセンサを構成できる。

【００２６】また、感歪部の適切な位置に感歪抵抗体を
構成することによって、感歪抵抗体の極性を逆にできる
ため、高ゲインな感歪素子を得ることができる。

【００２７】さらに、感歪素子に予め曲げ癖を付けるこ
とによって、安定した歪を得ることができる。

【００２８】

【実施例】

（第１実施例）以下、図面を参照して本発明の燃焼圧セ
ンサの第１の実施例について説明する。図１に本実施例
における燃焼圧センサの断面図を示す。同図中１１は金
属からなるセンサ筺体であり、このセンサ筺体１１の先
端に先端ダイアフラム１７を設けている。この先端ダイ
アフラム１７は被測定領域、例えば内燃機関のシリンダ
内に設置されている。

【００２９】また、先端ダイアフラム１７の裏面には圧
力伝達部材１６が接し、この圧力伝達部材１６の他端に
は、周辺部分がセンサ筺体１１に固定された感歪ダイア
フラム１４が、例えば溶接によって接合されている。

【００３０】この感歪ダイアフラム１４は、先端ダイア
フラム１７に対して充分厚く構成されており、先端ダイ
アフラム１７が温度によって剛性変化を生じた場合に
も、その剛性変化の影響を受けないだけの充分な剛性を
有している。

【００３１】さらに、感歪ダイアフラム１４の圧力伝達
部材１６と反対側の面には、例えば無アルカリのガラス
セラミック層で構成された絶縁層１３が形成され、その
上に例えば銀−パラジウムあるいは銀−白金系材料を用
いた導電体の電極パターン（図示せず）及び例えば低温
度抵抗特性で高感度の酸化ルテニウム系材料を用いた感
歪抵抗体１２が形成されている。

【００３２】この感歪抵抗体１２は、同図（ａ）に示す
ように、感歪ダイアフラム１４の中心付近に長手方向に
１．８ｍｍ以上の大きさで１個または２個形成され、増
幅回路（図示せず）側に設けられた固定抵抗と共にハー
フブリッジあるいはフルブリッジが構成されている。

【００３３】次に、本実施例の燃焼圧センサの動作につ
いて説明する。被測定領域の圧力が先端ダイアフラム１
７に加わると、その力は圧力伝達部材１６、感歪ダイア
フラム１４に伝達される。

【００３４】この力に応じて、感歪抵抗体１２が形成さ
れた感歪ダイアフラム１４の表面には引張り歪が生じ
る。この歪に応じて感歪抵抗体１２に抵抗値変化が生じ
る。ここで、感歪抵抗体１２は増幅回路内に設けた固定
抵抗体とブリッジ回路を構成しているために、ブリッジ
電圧が変化する。これによって、圧力値の検出が可能と
なる。

【００３５】このような構成によって、感歪ダイアフラ
ム１４と先端ダイアフラム１７の剛性比を高く保ちつ
つ、かつ感歪ダイアフラム１４の直径を大きくすること
なく十分な抵抗変化量を得ることができ、かつ感歪抵抗
体の自己発生ノイズを低減できるため、熱による出力変
動を低減し、かつ低ノイズで高ゲインなセンサを得るこ
とができる。

【００３６】（第２実施例）次に、本願発明の第２実施
例における燃焼圧センサについて、その断面図を示す図
２と共に詳細に説明する。同図中２４は感歪ダイアフラ
ムであり、その両面には絶縁層２３が形成され、それぞ
れの絶縁層２３の上には、電極パターン２５及び感歪抵
抗体２２が形成されている。この感歪抵抗体２２は、感
歪ダイアフラム２４の表面と裏面にそれぞれ１個または
２個形成され、ハーフブリッジあるいはフルブリッジが
構成されている。

【００３７】つまり、表面と裏面にそれぞれ１個づつの
感歪抵抗体が形成される場合には、ハーフブリッジが、
２個づつの感歪抵抗が形成される場合は、フルブリッジ
が構成される。

【００３８】さらに、感歪ダイアフラム２４には貫通孔
が設けられており、感歪ダイアフラム２４の表面と裏面
に形成された電極パターン２５の電極取り出しパッドを
貫通している。この貫通孔にはリード線２６が挿入さ
れ、両側から半田付けを行うことによって、表面の電極
パターン２５と裏面の電極パターン２５を電気的に導通
している。

【００３９】ここで、この貫通孔の内壁にも導電体を形
成し、両面の電極パターンを電気的に導通させることも
可能である。この場合、リード線２６は、貫通孔を貫通
させる必要はなく、例えば、図２（ｂ）の上側の電極パ
ターン２５に接続するようにすればよい。

【００４０】ここで、感歪ダイアフラム２４に圧力が印
加された場合、ダイヤフラム２４の一方の表面には引張
り応力、他方の表面には圧縮応力が発生することとな
る。すなわち、ダイヤフラムの両面に形成された抵抗値
の変化特性を逆にできる。

【００４１】このような構成によって、感歪ダイアフラ
ム２４と先端ダイアフラム２７の剛性比を高く保ちつ
つ、かつ感歪ダイアフラム２４の直径を大きくすること
なく十分な抵抗変化量の差を得ることができる。これに
よって、熱による出力変動を低減し、かつ高いゲインを
得ることができる。

【００４２】（第３実施例）次に、本願発明の第３の実
施例を、その燃焼圧センサの感歪素子の拡大図を示した
図３と共に説明する。感歪素子３１は、金属基材表面に
ガラス層を例えば電着等の方法で作成し、その後、焼成
して得られる。このとき感歪素子端部３２にはガラス層
の厚みが不均一となる部分が発生する。

【００４３】本実施例では、予め必要な形状より大きな
金属基材を用い、この金属基材上にガラス層を形成し、
このガラス層の焼成後に、ガラス層と共に金属基材を所
定の大きさで切断して（例えばレーザー加工法等によ
り）所望の大きさ形状とすることで、ガラス層厚みの不
均一部分を排除した感歪素子端部３２を得ることができ
る。これによって、常に安定したガラス層厚の感歪素子
を得ることができ、これに起因するセンサのゲインバラ
ツキを低減できる。

【００４４】（第４実施例）次に、本願発明の第４実施
例について、その燃焼圧センサの断面図を示した図４を
用いて、また本実施例における感歪素子の斜視図を示し
た図５を用いて詳細に説明する。

【００４５】感歪素子４１は、固定部４２及び感歪部４
３及び圧力伝達部４４より構成されている。感歪部４３
は、図５に示すように、固定部４２及び圧力伝達部４４
の厚みに対して１／２以下になるように、裏面において
肉厚が切削除去されている。また、感歪部４３は圧力伝
達部４４に対して幅広にされており、応力集中を避ける
ため、感歪部４３と圧力伝達部４４は滑らかな曲線で接
続されている。

【００４６】この感歪素子４１の固定部４２は、センサ
筺体４５に例えば溶接などの方法で固定されており、さ
らに、圧力伝達部３４の底面は先端ダイアフラム４７の
裏面に接している。

【００４７】このような構成のセンサに先端ダイアフラ
ム４７の表面より圧力が印加された場合、感歪素子４１
は、図５に示すように、感歪部４３が固定部４２及び圧
力伝達部４４の中心軸に対して偏心しているために、常
に感歪部４３の中心より圧力伝達部側表面には引張り応
力、また固定部側表面には圧縮応力が発生する。これに
よって感歪部４３の表面の広い範囲に安定して大きな歪
を得ることができる。

【００４８】（第５実施例）次に、本願発明の第５実施
例を、その燃焼圧センサの断面図である図６と共に説明
する。図４に示す構成に更に加えて、固定部６２の、感
歪部６３との反対側には感歪抵抗体のブリッジ出力電圧
を増幅するための増幅回路部６８が一体で構成されてい
る。

【００４９】これによって、ブリッジ出力電圧を増幅回
路に導くためのリード線の半田付けが不要となるため、
容易に低コストで信頼性の高いセンサを得ることができ
る。

【００５０】（第６実施例）次に、本願発明の第６の実
施例について、その感歪素子の斜視図である図５と共に
説明する。感歪素子５１には、常に感歪部表面の中心よ
り圧力伝達部側に引張り応力、また固定部側に圧縮応力
が発生する。これらの部分に、それぞれ１個または２個
の感歪抵抗体５６を形成し、ハーフブリッジあるいはフ
ルブリッジを構成することによって、感歪抵抗の変化特
性を逆にでき、高ゲインな感歪素子を得ることができ
る。

【００５１】（第７実施例）次に、本願発明の第７の実
施例について、その燃焼圧センサの断面図を示す図７及
び、その感歪素子の拡大斜視図を示す図８と共に説明す
る。

【００５２】図中７１は感歪素子であり、図８に示す様
に、予め曲げ癖が付けられており、長手方向に力が印加
された場合に常に一定方向に変形する構造となってい
る。

【００５３】この感歪素子７１の一端には圧力伝達部材
７２が接し、先端ダイアフラム７７から伝達される力を
感歪素子７１に伝達する役割を果たしている。

【００５４】また、感歪素子７１の他端は固定部材７４
によって、センサ筺体７５に固定されている。

【００５５】このような構成によって、先端ダイアフラ
ム７７に印加された圧力は、感歪素子７１の凸側表面の
広い範囲に大きな引き張り応力を発生させる。

【００５６】すなわち、この凸側表面に面積の大きな感
歪抵抗体７６を形成することによって、低ノイズでかつ
高ゲインな燃焼圧センサを得ることが可能となる。

【００５７】

【発明の効果】以上のように、本願発明によれば、感歪
ダイアフラムと先端ダイアフラムの剛性比を高く、か
つ、センサの直径を小さく保ちつつ、感歪ダイアフラム
の中心付近に面積の大きな感歪抵抗体を形成することに
よって、自己発生ノイズを低減しかつゲインのロス分を
低減でき、容易に低ノイズで高ゲインな燃焼圧センサを
構成できる。

【００５８】また、感歪ダイアフラムの両面に面積の大
きな感歪抵抗体を構成し、貫通孔を用いて導通を図るこ
とによって、表面と裏面の感歪抵抗体の変化特性を逆に
できるため、容易に高精度で高ゲインなセンサを構成す
ることができる。

【００５９】また、板上の感歪素子の端部をガラス層の
焼成後に切断し、円形に加工することによって、基板端
部でのガラス層厚みの不均一部分を削除でき、安定した
層厚のホーロー基板を作成できるため、センサのゲイン
バラツキを低減できる。

【００６０】また、板状の感歪素子の一部分に他の部分
より薄い感歪部を設けることによって大きな歪の得られ
る範囲を増大できる。

【００６１】また、感歪素子と増幅回路を一体で形成す
るため、リード線の半田付け箇所を低減し、容易に低コ
ストで信頼性の高いセンサを構成できる。

【００６２】また、感歪部の適切な位置に感歪抵抗体を
構成することによって、感歪抵抗体の極性を逆にできる
ため、高ゲインな感歪素子を得ることができる。

【００６３】また、感歪素子に予め曲げ癖を付けること
によって、安定した歪を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願の燃焼圧センサの第１実施例の構成を示す
断面図

【図２】本願の燃焼圧センサの第２実施例の構成を示す
断面図

【図３】本願の燃焼圧センサの第３実施例の構成を示す
断面図

【図４】本願の燃焼圧センサの第４実施例の構成を示す
断面図

【図５】同実施例センサの感歪素子の拡大斜視図

【図６】本願の燃焼圧センサの第５実施例の構成を示す
断面図

【図７】本願の燃焼圧センサの第７実施例の構成を示す
断面図

【図８】同実施例センサの感歪素子の拡大斜視図

【図９】従来例における燃焼圧センサの断面図

【図１０】従来例におけるブリッジ回路の原理図

【符号の説明】

１１筺体１２感歪抵抗体１３絶縁層１４感歪ダイアフラム１６圧力伝達部材１７先端ダイアフラム２１筺体２２感歪抵抗体２３絶縁層２４感歪ダイアフラム２５電極パターン２６リード線２７先端ダイアフラム３１感歪素子３２感歪素子端部３３感歪抵抗体４１感歪素子４２固定部４３感歪部４４圧力伝達部４５筺体４６感歪抵抗体４７先端ダイアフラム６１感歪素子６２固定部６３感歪部６４圧力伝達部６５筺体６６感歪抵抗体６７先端ダイアフラム６８増幅回路部７１感歪素子７２圧力伝達部材７４固定部材７５筺体７６感歪抵抗体７７先端ダイアフラム９１筺体９２感歪抵抗体９３絶縁層９４感歪ダイアフラム９６圧力伝達部材９７先端ダイアフラムＲ１抵抗体Ｒ２抵抗体Ｒ３抵抗体Ｒ４抵抗体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】先端にダイアフラムを有する筺体と、前記
筺体の内部に設けられ一端が前記先端ダイアフラムの裏
側の面に接する圧力伝達部材と、前記筺体の内部に設け
られ、かつ前記圧力伝達部材に接し、金属基材の表面に
ガラス層を焼成された円板状の基板と、前記基板上に形
成された電極パターン及び感歪抵抗体から構成され、前
記感歪抵抗体の長手方向寸法が１．８ｍｍ以上であり、
前記基板の中心付近に形成されることを特徴とする燃焼
圧センサ。
【請求項２】基板及び圧力伝達部材が一体で形成されて
いることを特徴とする請求項１記載の燃焼圧センサ。
【請求項３】先端にダイアフラムを有する筺体と、前記
筺体の内部に設けられ一端が前記先端ダイアフラムの裏
側の面に接する圧力伝達部材と、前記筺体の内部に設け
られ、かつ前記圧力伝達部材に接し、貫通孔を有する金
属基材の表面にガラス層を焼成された円板状の基板と、
前記基板の両面に形成された電極パターン及び感歪抵抗
体から構成され、前記貫通孔に電極取り出しのためのリ
ード線が挿入され、半田付けによって、前記電極パター
ンが導通されることを特徴とする燃焼圧センサ。
【請求項４】感歪抵抗体の長手方向寸法が１．８ｍｍ以
上であることを特徴とする請求項３記載の燃焼圧セン
サ。
【請求項５】金属基材の表面にガラス層を焼成された円
板状の基板と、前記基板上に形成された電極パターン及
び感歪抵抗体から構成される感歪素子において、前記基
板の端部は、ガラス層が焼成された後に切断され、円形
に加工されていることを特徴とする請求項１または３記
載の燃焼圧センサ。
【請求項６】先端にダイアフラムを有する筺体と、前記
筺体の内部に設けられ、一端が前記先端ダイアフラムの
裏面に接し、板状の金属基材表面にガラス層を形成され
た基板より構成され、前記基板が表面に感歪抵抗体を形
成された感歪部と、前記感歪部に圧力を伝達するための
圧力伝達部と上部を前記筺体に固定するための固定部よ
り構成され、前記感歪部が裏面より加工され、前記圧力
伝達部及び前記固定部より薄く構成されており、前記圧
力伝達部と前記固定部の間に位置することを特徴とする
燃焼圧センサ。
【請求項７】感歪部が圧力伝達部と固定部に対して、１
／２以下の厚みであることを特徴とする請求項６記載の
燃焼圧センサ。
【請求項８】感歪部は圧力伝達部より幅広く加工されて
おり、前記圧力伝達部との接続部分が滑らかな曲線で結
ばれていることを特徴とする請求項５または７記載の燃
焼圧センサ。
【請求項９】圧力を伝達するための圧力伝達部と、上部
を固定するための固定部と、前記圧力伝達部と前記固定
部の間に位置し、裏面より加工され、前記圧力伝達部及
び前記固定部より薄い感歪部より構成された基板におい
て、前記固定部の前記感歪部と反対側に、前記感歪部よ
り得られる信号を増幅するための増幅回路を前記感歪素
子と一体で構成することを特徴とする請求項５記載の燃
焼圧センサ。
【請求項１０】圧力を伝達するための圧力伝達部と、上
部を固定するための固定部と、前記圧力伝達部と前記固
定部の間に位置し、裏面より加工され、前記圧力伝達部
及び前記固定部より薄い感歪部より構成された基板にお
いて、前記感歪部の中心から前記圧力伝達部側と前記固
定部側表面にそれぞれ感歪抵抗体を設け、ブリッジを構
成することを特徴とする請求項６記載の燃焼圧センサ。
【請求項１１】圧力伝達部側感歪抵抗体の圧力伝達部側
端部と固定部側感歪抵抗体の固定部側端部が、それぞれ
感歪部の圧力伝達部材との境界線上及び前記感歪部と前
記固定部との境界線上に設けられていることを特徴とす
る請求項１０記載の燃焼圧センサ。
【請求項１２】感歪抵抗体の長手方向寸法が１．８ｍｍ
以上であることを特徴とする請求項１０または１１記載
の燃焼圧センサ。
【請求項１３】先端にダイアフラムを有する筺体と、前
記筺体の内部に設けられ一端が前記先端ダイアフラムの
裏側の面に接する圧力伝達部材と、前記筺体の内部に設
けられかつ前記圧力伝達部材に接し、表面に層及び電極
パターン及び感歪抵抗体を焼成され、長手方向に予め曲
げぐせが付けられた長方形の感歪素子と、前記筺体の内
部に設けられ前記感歪素子を前記筺体に固定するための
固定部材から構成され、前記圧力伝達部材の前記先端ダ
イアフラムとの反対側が前記感歪素子に接し、前記感歪
素子の前記圧力伝達部材との反対側が前記固定部材によ
り固定されていることを特徴とする燃焼圧センサ。
【請求項１４】感歪抵抗体の長手方向寸法が１．８ｍｍ
以上であることを特徴とする請求項１３記載の燃焼圧セ
ンサ。