JP2825973B2 - 原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法 - Google Patents
原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法Info
- Publication number
- JP2825973B2 JP2825973B2 JP2334024A JP33402490A JP2825973B2 JP 2825973 B2 JP2825973 B2 JP 2825973B2 JP 2334024 A JP2334024 A JP 2334024A JP 33402490 A JP33402490 A JP 33402490A JP 2825973 B2 JP2825973 B2 JP 2825973B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- atomic force
- force microscope
- film
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
- G01Q60/38—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、原子間力顕微鏡用カンチレバーに関するも
のであり、とりわけ微小平板の自由端側先端部のエッジ
を探針として用いる原子間力顕微鏡用カンチレバーに関
するものである。
のであり、とりわけ微小平板の自由端側先端部のエッジ
を探針として用いる原子間力顕微鏡用カンチレバーに関
するものである。
従来の技術 従来、固体表面を原子オーダで観察できる装置として
走査型トンネル顕微鏡（以後STMと呼ぶ）が開発されて
いる。しかし、STMは試料と探針間のトンネル電流を検
出して試料表面を観察するため、絶縁体表面は観察不可
能であった。この問題を解決するために試料と探針間に
働く原子間力を検出して試料表面を観察しようとする原
子間力顕微鏡（以後AFMと呼ぶ）が提案されている。AFM
では微小な力を検出するために、探針を有する長さ100
μｍ程度のカンチレバーが必要である。AFMの分解能は
探針の先端曲率半径に依存し、曲率半径が小さいほど分
解能は上がる。原子間力顕微鏡用カンチレバーの一例を
第３図に示す。この例ではカンチレバー９はSiO2薄膜あ
るいはSi3N4薄膜で形成され、平板形状のカンチレバー
となっており、カンチレバー先端部のエッジ10を探針と
して用いている。上記のようなAFM用カンチレバーは、
通常、フォトリソグラフィ技術により作製されている。
走査型トンネル顕微鏡（以後STMと呼ぶ）が開発されて
いる。しかし、STMは試料と探針間のトンネル電流を検
出して試料表面を観察するため、絶縁体表面は観察不可
能であった。この問題を解決するために試料と探針間に
働く原子間力を検出して試料表面を観察しようとする原
子間力顕微鏡（以後AFMと呼ぶ）が提案されている。AFM
では微小な力を検出するために、探針を有する長さ100
μｍ程度のカンチレバーが必要である。AFMの分解能は
探針の先端曲率半径に依存し、曲率半径が小さいほど分
解能は上がる。原子間力顕微鏡用カンチレバーの一例を
第３図に示す。この例ではカンチレバー９はSiO2薄膜あ
るいはSi3N4薄膜で形成され、平板形状のカンチレバー
となっており、カンチレバー先端部のエッジ10を探針と
して用いている。上記のようなAFM用カンチレバーは、
通常、フォトリソグラフィ技術により作製されている。
発明が解決しようとする課題 ところで、原子間力顕微鏡用カレンチレバーは、通常
長さが100μｍ程度であるため、強度などを考慮し、厚
さは１〜1.5μｍ程度必要である。このようなカンチレ
バーを作製するためには、１〜1.5μｍ程度の厚さの薄
膜をエッチングしなければならない。通常のフォトリソ
グラフィ工程では、SiO2やSi3N4等のカンチレバー材料
薄膜上にフォトレジストを形成後、前記レジスト被覆部
分のみを残してエッチングを行う。このエッチングに
は、厚さが比較的厚いためドライエッチング法は不可能
で、ウェットエッチング法が用いられる。しかし、ウェ
ットエッチング法においても、このような厚さでは、エ
ッチング中にフォトレジストの剥離が生じる。この結
果、カンチレバー材料には、かなり大きなアンダーエッ
チングが発生し、作製されたカンチレバーは先端部分の
エッジの曲率半径が面内方向で１μｍ程度、面に垂直な
方向ではそれ以上のかなり大きなものとなってしまい、
このようなカンチレバーを用いた原子間力顕微鏡では原
子オーダの分解能は得られない。
長さが100μｍ程度であるため、強度などを考慮し、厚
さは１〜1.5μｍ程度必要である。このようなカンチレ
バーを作製するためには、１〜1.5μｍ程度の厚さの薄
膜をエッチングしなければならない。通常のフォトリソ
グラフィ工程では、SiO2やSi3N4等のカンチレバー材料
薄膜上にフォトレジストを形成後、前記レジスト被覆部
分のみを残してエッチングを行う。このエッチングに
は、厚さが比較的厚いためドライエッチング法は不可能
で、ウェットエッチング法が用いられる。しかし、ウェ
ットエッチング法においても、このような厚さでは、エ
ッチング中にフォトレジストの剥離が生じる。この結
果、カンチレバー材料には、かなり大きなアンダーエッ
チングが発生し、作製されたカンチレバーは先端部分の
エッジの曲率半径が面内方向で１μｍ程度、面に垂直な
方向ではそれ以上のかなり大きなものとなってしまい、
このようなカンチレバーを用いた原子間力顕微鏡では原
子オーダの分解能は得られない。
本発明は、このような従来の原子間力顕微鏡用カンチ
レバーの課題を考慮し、原子オーダで観察可能な原子間
力顕微鏡が得られる原子間力顕微鏡用カンチレバーを提
供することを目的とする。
レバーの課題を考慮し、原子オーダで観察可能な原子間
力顕微鏡が得られる原子間力顕微鏡用カンチレバーを提
供することを目的とする。
課題を解決するための手段 本発明は、原子間力顕微鏡用カンチレバー材料の薄膜
表面にカンチレバー材料とは異なる金属材料を成膜し、
金属薄膜表面にフォトリソグラフィ技術によりフォトレ
ジスト膜を形成し、金属薄膜をフォトレジスト膜の被覆
部分のみを残してエッチングし、さらに金属薄膜をエッ
チング用レジストとして、カンチレバー材料の薄膜をエ
ッチングすることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチ
レバーの製造方法である。
表面にカンチレバー材料とは異なる金属材料を成膜し、
金属薄膜表面にフォトリソグラフィ技術によりフォトレ
ジスト膜を形成し、金属薄膜をフォトレジスト膜の被覆
部分のみを残してエッチングし、さらに金属薄膜をエッ
チング用レジストとして、カンチレバー材料の薄膜をエ
ッチングすることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチ
レバーの製造方法である。
作用 上記本発明の製造方法によれば、カンチレバー材料薄
膜表面に成膜する金属膜の厚さは1000A程度あれば充分
なため、金属膜をエッチングするためのレジストとして
フォレジスト膜を用いても、剥離などの問題は生じな
い。またこの程度の厚さであれば、ウェットエッチング
法とドライエッチング法のどちらでもエッチング可能で
ある。さらに、金属膜はフォトレジスト膜と比較してカ
ンチレバー材料薄膜との接着性が良いため、金属膜をレ
ジストとしてカンチレバー材料薄膜を１〜1.5μｍ程度
エッチングしても、金属膜が剥離することがなく、非常
に精度よく、微小な先端曲率半径のエッジを有する原子
間力顕微鏡用カンチレバーが作製される。
膜表面に成膜する金属膜の厚さは1000A程度あれば充分
なため、金属膜をエッチングするためのレジストとして
フォレジスト膜を用いても、剥離などの問題は生じな
い。またこの程度の厚さであれば、ウェットエッチング
法とドライエッチング法のどちらでもエッチング可能で
ある。さらに、金属膜はフォトレジスト膜と比較してカ
ンチレバー材料薄膜との接着性が良いため、金属膜をレ
ジストとしてカンチレバー材料薄膜を１〜1.5μｍ程度
エッチングしても、金属膜が剥離することがなく、非常
に精度よく、微小な先端曲率半径のエッジを有する原子
間力顕微鏡用カンチレバーが作製される。
実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
本実施例で用いた原子間力顕微鏡用カンチレバーの製
造プロセスを第１図（ａ）〜（ｄ）に示す。厚さ300〜4
00μｍのシリコン＜100＞基板１の両面に熱酸化法によ
り厚さ1.5μｍのSiO2膜２を形成し、そのSiO2膜上に厚
さ1000AのCr膜３をスパッタリング法により成膜した。
さらにこのCr膜３上にフォトレジスト膜を塗布後、フォ
トリソグラフィ技術により長さ100μｍのＶ形のカンチ
レバー形状を有するフォトレジスト膜４を作製した（第
１図（ａ）−１、（ａ）−２）。このフォトレジスト材
料には精度を上げるためにポジ型を用いた。
造プロセスを第１図（ａ）〜（ｄ）に示す。厚さ300〜4
00μｍのシリコン＜100＞基板１の両面に熱酸化法によ
り厚さ1.5μｍのSiO2膜２を形成し、そのSiO2膜上に厚
さ1000AのCr膜３をスパッタリング法により成膜した。
さらにこのCr膜３上にフォトレジスト膜を塗布後、フォ
トリソグラフィ技術により長さ100μｍのＶ形のカンチ
レバー形状を有するフォトレジスト膜４を作製した（第
１図（ａ）−１、（ａ）−２）。このフォトレジスト材
料には精度を上げるためにポジ型を用いた。
その後、この基板１を、硝酸セリウムアンモニウム、
過塩素酸、水の混合液に浸し、Cr膜３をフォトレジスト
膜４の被覆部分のみを残してエッチングした（第１図
（ｂ））。
過塩素酸、水の混合液に浸し、Cr膜３をフォトレジスト
膜４の被覆部分のみを残してエッチングした（第１図
（ｂ））。
次に、この基板１を、ふっ酸、ふっ化アンモニウムの
混合液に浸し、Cr膜３をレジストとして厚さ1.5μｍのS
iO2膜２をエッチングしカンチレバー５を作製した（第
１図（ｃ））。
混合液に浸し、Cr膜３をレジストとして厚さ1.5μｍのS
iO2膜２をエッチングしカンチレバー５を作製した（第
１図（ｃ））。
Cr膜３を除去後、作製されたSiO2薄膜カンチレバー５
の下部のシリコン基板１を除去するために、基板１をエ
チレンジアミン、カテコール、水の100℃の混合液に浸
し、シリコン基板１を両面から異方性エッチングした
（第１図（ｄ））。
の下部のシリコン基板１を除去するために、基板１をエ
チレンジアミン、カテコール、水の100℃の混合液に浸
し、シリコン基板１を両面から異方性エッチングした
（第１図（ｄ））。
この工程により作製された原子間力顕微鏡用カンチレ
バーの概略図を第２図に示す。シリコン基板１に長さ10
0μｍのＶ形の形状のSiO2薄膜カンチレバー５が形成さ
れている。先端部分のエッジ８の曲率半径は、面内方向
で300A、面に垂直な方向で200Aであった。
バーの概略図を第２図に示す。シリコン基板１に長さ10
0μｍのＶ形の形状のSiO2薄膜カンチレバー５が形成さ
れている。先端部分のエッジ８の曲率半径は、面内方向
で300A、面に垂直な方向で200Aであった。
なお、SiO2膜２のエッチング時にオーバーエッチング
すれば（第１図（ｃ））、さらに先端曲率半径を小さく
することができた。
すれば（第１図（ｃ））、さらに先端曲率半径を小さく
することができた。
また、この工程ではCr膜３はウェットエッチング法に
よりエッチングされたが、ドライエッチング法を用いる
とさらに精度が上がった。この場合には、CCl4を用いた
プラズマエッチング法によりエッチング可能であった。
よりエッチングされたが、ドライエッチング法を用いる
とさらに精度が上がった。この場合には、CCl4を用いた
プラズマエッチング法によりエッチング可能であった。
また、カンチレバーの材料は、シリコン酸化物の他に
Si3N4等のシリコン窒化物であってもよい。
Si3N4等のシリコン窒化物であってもよい。
また、カンチレバー材料上に成膜する金属膜として
は、Cr以外にも、Co、Fe、Al、Ｗ、Mo、Ti、Ta、Au、A
g、Pt、Ni、Rh、Zr、Hf、Nb等のカチレバー材料と接着
性の良い金属の使用が可能であった。中でもCr、Fe、C
o、Niにおいて特に接着性が良く、優れたカンチレバー
が得られた。
は、Cr以外にも、Co、Fe、Al、Ｗ、Mo、Ti、Ta、Au、A
g、Pt、Ni、Rh、Zr、Hf、Nb等のカチレバー材料と接着
性の良い金属の使用が可能であった。中でもCr、Fe、C
o、Niにおいて特に接着性が良く、優れたカンチレバー
が得られた。
発明の効果 本発明によれば、先端曲率半径が300A以下の原子間力
顕微鏡用カンチレバーが容易に作製でき、このカンチレ
バーを用いれば、分解能が非常に高く、絶縁体を含むあ
らゆる材料の表面形状を原子オーダで観察可能な原子間
力顕微鏡が得られる。
顕微鏡用カンチレバーが容易に作製でき、このカンチレ
バーを用いれば、分解能が非常に高く、絶縁体を含むあ
らゆる材料の表面形状を原子オーダで観察可能な原子間
力顕微鏡が得られる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例における原子間力顕微鏡用カ
ンチレバーの製造プロセスを説明するための工程図、第
２図は上記実施例により作製した原子間力顕微鏡用カン
チレバーの概略斜視図、第３図は従来の原子間力顕微鏡
用カンチレバーの斜視図である。 １……シリコン基板、２……SiO2膜、３……Cr膜、４…
…フォトレジスト膜、５、９……カンチレバー、８、10
……カンチレバー先端部のエッジ。
ンチレバーの製造プロセスを説明するための工程図、第
２図は上記実施例により作製した原子間力顕微鏡用カン
チレバーの概略斜視図、第３図は従来の原子間力顕微鏡
用カンチレバーの斜視図である。 １……シリコン基板、２……SiO2膜、３……Cr膜、４…
…フォトレジスト膜、５、９……カンチレバー、８、10
……カンチレバー先端部のエッジ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加道 博行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 任田 隆夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 審査官 小池 勇三 (56)参考文献 特開 昭63−91502（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−238305（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−243908（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−22809（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 21/30 H01J 37/28 Z C23F 1/00 101
Claims (3)
- 【請求項１】原子間力顕微鏡用カンチレバー材料の薄膜
表面に前記カンチレバー材料とは異なる金属材料を成膜
し、前記金属薄膜表面にフォトリソグラフィ技術により
フォトレジスト膜を形成し、前記金属薄膜を前記フォト
レジスト膜の被覆部分のみを残してエッチングし、さら
に前記金属薄膜をエッチング用レジストとして、前記カ
ンチレバー材料の薄膜をエッチングすることを特徴とす
る原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法。 - 【請求項２】原子間力顕微鏡用カンチレバー材料が、シ
リコン酸化物あるいはシリコン窒化物であることを特徴
とする請求項１記載の原子間力顕微鏡用カンチレバーの
製造方法。 - 【請求項３】金属薄膜が、Cr、Fe、Ni、Co、Ａ、ｌ、
Ｗ、Mo、Ti、Ta、Au、Ag、Pt、Rh、Zr、Hf、Nbのいずれ
かであることを特徴とする請求項１記載の原子間力顕微
鏡用カンチレバーの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334024A JP2825973B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法 |
| EP91120092A EP0488133B1 (en) | 1990-11-29 | 1991-11-26 | Method of making a cantilever stylus for use in an atomic force microscope |
| DE69107802T DE69107802T2 (de) | 1990-11-29 | 1991-11-26 | Verfahren zur Herstellung einer Auslegertastspitze zur Anwendung in einem Rasterkraftmikroskop. |
| US07/799,993 US5186789A (en) | 1990-11-29 | 1991-11-29 | Method of making a cantilever stylus for use in an atomic force microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334024A JP2825973B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04203920A JPH04203920A (ja) | 1992-07-24 |
| JP2825973B2 true JP2825973B2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=18272651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2334024A Expired - Lifetime JP2825973B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5186789A (ja) |
| EP (1) | EP0488133B1 (ja) |
| JP (1) | JP2825973B2 (ja) |
| DE (1) | DE69107802T2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0792173A (ja) * | 1993-09-24 | 1995-04-07 | Agency Of Ind Science & Technol | 原子間力顕微鏡用カンチレバーとその製造方法 |
| US5509300A (en) * | 1994-05-12 | 1996-04-23 | Arizona Board Of Regents Acting For Arizona State University | Non-contact force microscope having a coaxial cantilever-tip configuration |
| JPH08297129A (ja) * | 1995-04-26 | 1996-11-12 | Nikon Corp | 原子間力顕微鏡用カンチレバー及びその製造方法 |
| DE19519478C2 (de) * | 1995-05-27 | 1997-09-04 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Herstellungsverfahren für Sonde mit beschichteter Spitze |
| US5874668A (en) * | 1995-10-24 | 1999-02-23 | Arch Development Corporation | Atomic force microscope for biological specimens |
| US5744799A (en) * | 1996-05-20 | 1998-04-28 | Ohara; Tetsuo | Apparatus for and method of real-time nanometer-scale position measurement of the sensor of a scanning tunneling microscope or other sensor scanning atomic or other undulating surfaces |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4943719A (en) * | 1989-01-17 | 1990-07-24 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford University | Microminiature cantilever stylus |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2334024A patent/JP2825973B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-11-26 DE DE69107802T patent/DE69107802T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-26 EP EP91120092A patent/EP0488133B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-29 US US07/799,993 patent/US5186789A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5186789A (en) | 1993-02-16 |
| EP0488133B1 (en) | 1995-03-01 |
| EP0488133A1 (en) | 1992-06-03 |
| DE69107802T2 (de) | 1995-09-14 |
| JPH04203920A (ja) | 1992-07-24 |
| DE69107802D1 (de) | 1995-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0457253B1 (en) | Cantilever stylus for use in an atomic force microscope and method of making same | |
| JP3576655B2 (ja) | 微小探針の製造方法及びその製造用雌型基板、並びにその微小探針を有するプローブの製造方法 | |
| JP2752755B2 (ja) | 集積方式の走査型トンネル顕微鏡 | |
| JP3218414B2 (ja) | 微小ティップ及びその製造方法、並びに該微小ティップを用いたプローブユニット及び情報処理装置 | |
| Albrecht et al. | Microfabrication of cantilever styli for the atomic force microscope | |
| US5399232A (en) | Microfabricated cantilever stylus with integrated pyramidal tip | |
| US5282924A (en) | Micromechanical sensor fabrication process | |
| EP0786642A1 (en) | Method of manufacturing micro-tip for detecting tunneling current or micro-force or magnetic force, female mold substrate for manufacture thereof, method of manufacturing probe with micro-tip, probe unit, scanning probe microscope and information recording/reproduction apparatus having said probe | |
| JPH0762259B2 (ja) | 薄膜状センサの製造方法 | |
| WO2003045838A1 (en) | Nano gripper and method of manufacturing the nano gripper | |
| JP2825973B2 (ja) | 原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法 | |
| CN113504394A (zh) | 镀膜探针的圆片级制备方法及镀膜探针 | |
| JP2952362B2 (ja) | カンチレバーの製造方法 | |
| US7119332B2 (en) | Method of fabricating probe for scanning probe microscope | |
| JP3524326B2 (ja) | 微小短針の製造に用いる雌型基板と該雌型基板の製造方法、及び該雌型基板を用いた微小短針とプローブの製造方法 | |
| JPH05203444A (ja) | 原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法 | |
| JPH10246729A (ja) | 微小ティップとこれを用いた微小電流または微小力検出用プローブ、及びこれらの製造方法 | |
| JPH07311206A (ja) | 微小探針の製造方法 | |
| JP3076954B2 (ja) | ダイヤモンドブリッジまたはダイヤモンドカンチレバーとその製造方法並びに該ダイヤモンドブリッジまたはダイヤモンドカンチレバーを使用した電子デバイス | |
| RU2125234C1 (ru) | Способ изготовления кантилевера сканирующего зондового микроскопа | |
| Hamanaka et al. | Fabrication of Self-supported Si Nano-structure with STM | |
| JP2720579B2 (ja) | 原子間力顕微鏡用カンチレバーの製造方法 | |
| JPH05299015A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーの作製方法 | |
| RU2121657C1 (ru) | Способ формирования кантилевера сканирующего зондового микроскопа | |
| JPH112638A (ja) | カンチレバーの製造方法およびカンチレバー、並びにその方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090911 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090911 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100911 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110911 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110911 Year of fee payment: 13 |