JP2824860B2 - 超音波表面状態測定装置 - Google Patents
超音波表面状態測定装置Info
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- JP2824860B2 JP2824860B2 JP2003904A JP390490A JP2824860B2 JP 2824860 B2 JP2824860 B2 JP 2824860B2 JP 2003904 A JP2003904 A JP 2003904A JP 390490 A JP390490 A JP 390490A JP 2824860 B2 JP2824860 B2 JP 2824860B2
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G—PHYSICS
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- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、超音波表面状態測定装置に関し、詳しく
は物体の表面形状、特に、その凹凸状態や段差などを測
定して画像表示する超音波測定装置において、使用測定
周波数が低くても高い分解能で表面形状を測定すること
ができるような超音波測定装置の改良に関する。
は物体の表面形状、特に、その凹凸状態や段差などを測
定して画像表示する超音波測定装置において、使用測定
周波数が低くても高い分解能で表面形状を測定すること
ができるような超音波測定装置の改良に関する。
［従来の技術］ 超音波測定装置は、電子部品や金属板等の内部欠陥検
査をはじめとして、種々の処理を行った後の状態検査な
ど、材料や部品、建築物の構成物、配管等の物体に対す
る内部や表面の状態検査に利用されていて、これら検査
では、そのＣスコープ像が採取されることが多い。
査をはじめとして、種々の処理を行った後の状態検査な
ど、材料や部品、建築物の構成物、配管等の物体に対す
る内部や表面の状態検査に利用されていて、これら検査
では、そのＣスコープ像が採取されることが多い。
この種の超音波測定装置としては、X,Y,Z座標内で被
検体を走査するXYZ走査装置を備えていて、被検体の状
態の変化をＣスキャンしてその画像を得て、得た画像を
観測又はデータ処理して所定の検査を行うものである。
検体を走査するXYZ走査装置を備えていて、被検体の状
態の変化をＣスキャンしてその画像を得て、得た画像を
観測又はデータ処理して所定の検査を行うものである。
ところで、従来、物体の表面形状を観察する方法とし
ては、次のような２つの方法を挙げることができる。
ては、次のような２つの方法を挙げることができる。
カメラによって表面形状を撮影して映像化し、ブラウ
ン管画面などの画像表示部で確認する方法。
ン管画面などの画像表示部で確認する方法。
超音波垂直法を用いて被検体表面上を走査し、被検体
の表面から得られる表面エコーを受信して、そのエコー
レベルから表面の凹凸を算出する方法。
の表面から得られる表面エコーを受信して、そのエコー
レベルから表面の凹凸を算出する方法。
［解決しようとする課題］ 前記の方法は、物体の表面形状を細かく観察できる
利点はあるが、表面の凹凸の段差や高さを推定すること
は難しい。また、の方法は、表面が凹凸である場合に
表面に垂直に入射した音波が凹凸部分で散乱することを
利用して、その反射波のエネルギーの減少を測定するも
ので、音波が散乱し易い高周波信号ほど良好な分解能が
得られる。しかし、分解能を上げようとすると、高い周
波数の超音波送受信回路や信号処理回路を測定装置に設
けなければならず、装置として高価となり、安価な装置
には、特に、その超音波送受信部に対しては向かない。
しかも、実用的にはかなり低い周波数を使用せざるを得
ず、その測定分解能も低いものとならざるを得ない。
利点はあるが、表面の凹凸の段差や高さを推定すること
は難しい。また、の方法は、表面が凹凸である場合に
表面に垂直に入射した音波が凹凸部分で散乱することを
利用して、その反射波のエネルギーの減少を測定するも
ので、音波が散乱し易い高周波信号ほど良好な分解能が
得られる。しかし、分解能を上げようとすると、高い周
波数の超音波送受信回路や信号処理回路を測定装置に設
けなければならず、装置として高価となり、安価な装置
には、特に、その超音波送受信部に対しては向かない。
しかも、実用的にはかなり低い周波数を使用せざるを得
ず、その測定分解能も低いものとならざるを得ない。
この発明は、このような従来の問題点を解決するもの
であって、使用測定周波数が低くても高い分解能で表面
形状を測定することができる超音波表面状態測定装置を
提供することを目的とする。
であって、使用測定周波数が低くても高い分解能で表面
形状を測定することができる超音波表面状態測定装置を
提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ このような目的を達成するためのこの発明の超音波表
面状態測定装置の特徴は、被検体の表面に対して垂直に
入射する波動が排除或いは抑止された焦点集束型の超音
波探触子と、被検体の表面手前で超音波探触子の焦点を
結ばせ、被検体を平面走査して走査位置に応じたエコー
受信信号を得て、これに基づき被検体の表面データを採
取する測定装置とを備えるものである。
面状態測定装置の特徴は、被検体の表面に対して垂直に
入射する波動が排除或いは抑止された焦点集束型の超音
波探触子と、被検体の表面手前で超音波探触子の焦点を
結ばせ、被検体を平面走査して走査位置に応じたエコー
受信信号を得て、これに基づき被検体の表面データを採
取する測定装置とを備えるものである。
［作用］ このように、例えば、焦点集束型の超音波探触子の中
央部をマスクした音響レンズを用いて超音波探触子が被
検体の表面に対して垂直に入射する波動を排除或いは抑
止するようにして、被検体の表面手前で焦点を結ばせる
ことにより、垂直方向の波動が抑えられ、平面状態にあ
る面では反射エコーがほとんどなくなる。一方、凹凸面
では、その散乱により反射エコーを受波することができ
る。
央部をマスクした音響レンズを用いて超音波探触子が被
検体の表面に対して垂直に入射する波動を排除或いは抑
止するようにして、被検体の表面手前で焦点を結ばせる
ことにより、垂直方向の波動が抑えられ、平面状態にあ
る面では反射エコーがほとんどなくなる。一方、凹凸面
では、その散乱により反射エコーを受波することができ
る。
その結果、使用測定周波数が低くても高い分解能で表
面形状を測定することができる。したがって、安価な送
受信回路でも凹凸を検出することが可能となり、簡単な
回路で物体の表面状態を測定することができる。
面形状を測定することができる。したがって、安価な送
受信回路でも凹凸を検出することが可能となり、簡単な
回路で物体の表面状態を測定することができる。
［実施例］ 以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は、この発明の超音波表面測定装置を適用した
超音波測定装置の概要説明図、第２図は、その測定信号
を画像処理した場合の画像表示内容の説明図である。
超音波測定装置の概要説明図、第２図は、その測定信号
を画像処理した場合の画像表示内容の説明図である。
第１図において、１は、例えば、セラミック基板等の
被測定品としての被検体であって、焦点集束型の超音波
探触子（以下プローブ）２に対峙して設けられ、検査対
象とされる。プローブ２は、走査装置３に取り付けられ
ていて、走査装置３によりＸ−Ｙの二次元に移動して被
検体１を平面走査する。なお、Ｃスキャンの深さ設定の
ために、走査装置（以下スキャナ）３はプローブ２をＺ
方向に移動させることができる。
被測定品としての被検体であって、焦点集束型の超音波
探触子（以下プローブ）２に対峙して設けられ、検査対
象とされる。プローブ２は、走査装置３に取り付けられ
ていて、走査装置３によりＸ−Ｙの二次元に移動して被
検体１を平面走査する。なお、Ｃスキャンの深さ設定の
ために、走査装置（以下スキャナ）３はプローブ２をＺ
方向に移動させることができる。
スキャナ３によるプローブ２の移動とともにプローブ
２が超音波探傷器４のパルサ・レシーバ５から送信パル
スを受け、超音波ビームを被検体１に照射する。そして
その反射波をプローブ２が受信してそれを電機信号に変
換し、その受信信号が超音波探傷器４のパルサ・レシー
バ５へと送出される。
２が超音波探傷器４のパルサ・レシーバ５から送信パル
スを受け、超音波ビームを被検体１に照射する。そして
その反射波をプローブ２が受信してそれを電機信号に変
換し、その受信信号が超音波探傷器４のパルサ・レシー
バ５へと送出される。
パルサ・レシーバ５は、ゲートをかけて特定の受信信
号を抽出する回路を有していて、プローブ２から得られ
る受信信号を増幅してゲートをかけ、それを増幅回路６
に出力する。増幅回路６は、パルサ・レシーバ５の出力
信号に基づきその受信エコーの強さを適正レベルの信号
まで増幅してそれを画像処理装置７へと送出する。な
お、その利得（増幅率）は外部から調整可能である。
号を抽出する回路を有していて、プローブ２から得られ
る受信信号を増幅してゲートをかけ、それを増幅回路６
に出力する。増幅回路６は、パルサ・レシーバ５の出力
信号に基づきその受信エコーの強さを適正レベルの信号
まで増幅してそれを画像処理装置７へと送出する。な
お、その利得（増幅率）は外部から調整可能である。
画像処理装置７は、マイクロプロセッサとメモリ等を
備える情報処理装置であって、超音波探傷器４の増幅回
路６からの信号を受けて、内蔵したA/D変換回路7aによ
りそれをデジタル値に変換して、画像処理装置の内部に
あるメモリ等に転送し、記憶する。
備える情報処理装置であって、超音波探傷器４の増幅回
路６からの信号を受けて、内蔵したA/D変換回路7aによ
りそれをデジタル値に変換して、画像処理装置の内部に
あるメモリ等に転送し、記憶する。
画像処理装置７は、スキャナ３に移動制御信号を送出
して、プローブ２を二次元移動させるとともに、プロー
ブ２の現在の位置情報をスキャナ３から受ける。さら
に、このプローブ２の位置情報と増幅回路６から送られ
る反射エコー高さ（ピーク値）に相当するエコー受信信
号のデータとにより画像情報を生成してそのメモリ等に
記憶し、それをディスプレイ８に送って表示する。
して、プローブ２を二次元移動させるとともに、プロー
ブ２の現在の位置情報をスキャナ３から受ける。さら
に、このプローブ２の位置情報と増幅回路６から送られ
る反射エコー高さ（ピーク値）に相当するエコー受信信
号のデータとにより画像情報を生成してそのメモリ等に
記憶し、それをディスプレイ８に送って表示する。
なお、エコー受信信号におけるエコー高さ（ピーク
値）と、被検体１の表面凹凸との間に相関関係があるこ
とから、エコー高さを測定して表面形状を画像処理装置
のマイクロプロセッサにより演算すれば、表示画面上に
画像表示する画像表示データを容易に得ることができ
る。
値）と、被検体１の表面凹凸との間に相関関係があるこ
とから、エコー高さを測定して表面形状を画像処理装置
のマイクロプロセッサにより演算すれば、表示画面上に
画像表示する画像表示データを容易に得ることができ
る。
ここで、プローブ２は、先端部分を一部破断して示す
ように、音波の放射面に音響凹レンズ2aを有していて、
しかも、その中心部がマスク2bによりマスクされてい
る。このことにより、プローブ２から放射される音波９
は、符号10で示すように、被検体１に垂直に入射する成
分が遮蔽されて排除される。スキャナ３は、被検体１の
表面に対して、このプローブ２の軸心が垂直に位置する
ように保持していて、水中、又は水を噴射しながら被検
体１の表面上を走査する。
ように、音波の放射面に音響凹レンズ2aを有していて、
しかも、その中心部がマスク2bによりマスクされてい
る。このことにより、プローブ２から放射される音波９
は、符号10で示すように、被検体１に垂直に入射する成
分が遮蔽されて排除される。スキャナ３は、被検体１の
表面に対して、このプローブ２の軸心が垂直に位置する
ように保持していて、水中、又は水を噴射しながら被検
体１の表面上を走査する。
このとき、前記のマスク2bの作用によりプローブ２か
らの音波９は、被検体１上に斜めに放射される成分のみ
となる。また、パルサ・レシーバ５のパルサからの送信
パルスにより発生するプローブ２から斜めに放射された
音波９は、音響凹レンズ2aの作用で被検体１に到達する
手前で焦点Ｆとして結ぶようにプローブ２がスキャナ３
により位置決めされている。その結果、この被検体１の
手前にある焦点Ｆで焦点を結んだ音波９は、その後拡散
する位置で被検体１に入射される。そして、その反射波
は、表面が平坦であれば、周囲に広がって音響凹レンズ
2aには入らない。なお、この場合、音響凹レンズ2aの大
きさは、拡散した音波の反射波が音響凹レンズ2aの端に
入らないような大きさにある。
らの音波９は、被検体１上に斜めに放射される成分のみ
となる。また、パルサ・レシーバ５のパルサからの送信
パルスにより発生するプローブ２から斜めに放射された
音波９は、音響凹レンズ2aの作用で被検体１に到達する
手前で焦点Ｆとして結ぶようにプローブ２がスキャナ３
により位置決めされている。その結果、この被検体１の
手前にある焦点Ｆで焦点を結んだ音波９は、その後拡散
する位置で被検体１に入射される。そして、その反射波
は、表面が平坦であれば、周囲に広がって音響凹レンズ
2aには入らない。なお、この場合、音響凹レンズ2aの大
きさは、拡散した音波の反射波が音響凹レンズ2aの端に
入らないような大きさにある。
このような状態で被検体１を、走査線Ｓで示すような
二次元走査をすることにより、被検体１の表面が平坦な
面である場合には、プローブ２は、被検体１からの反射
エコーをほとんど受信しないが、被検体１に凹凸がある
場合、被検体１の表面で音波が散乱されるので、散乱し
た反射波（エコー）の一部を受信する。このように、凹
凸面での散乱エコーをプローブ２が受信することによっ
て被検体１上の凹凸をS/N良く検出することが可能とな
る。このように、凹凸の有無がエコーレベルの高さとし
て現れるので、この測定は、原理的には測定周波数の高
さに関係しない測定となる。
二次元走査をすることにより、被検体１の表面が平坦な
面である場合には、プローブ２は、被検体１からの反射
エコーをほとんど受信しないが、被検体１に凹凸がある
場合、被検体１の表面で音波が散乱されるので、散乱し
た反射波（エコー）の一部を受信する。このように、凹
凸面での散乱エコーをプローブ２が受信することによっ
て被検体１上の凹凸をS/N良く検出することが可能とな
る。このように、凹凸の有無がエコーレベルの高さとし
て現れるので、この測定は、原理的には測定周波数の高
さに関係しない測定となる。
第２図は、増幅回路６の利得を適正値に設定して、前
記の条件にてプローブ２をスキャナ３により制御して被
検体１として平坦な表面を持つセラミックス基板に６種
類のドリル穴加工をほどこしたものの表面を測定したも
のであって、セラミックス基板を二次元でスキャニング
した結果得られたエコー受信信号を画像処理装置７によ
り画像処理してディスプレイ８に画像表示した様子の一
例である。
記の条件にてプローブ２をスキャナ３により制御して被
検体１として平坦な表面を持つセラミックス基板に６種
類のドリル穴加工をほどこしたものの表面を測定したも
のであって、セラミックス基板を二次元でスキャニング
した結果得られたエコー受信信号を画像処理装置７によ
り画像処理してディスプレイ８に画像表示した様子の一
例である。
なお、この場合、画像処理装置７は、平坦な部分は平
坦に現れ、ドリル穴の部分は穴のように表現されるよう
に増幅回路６から得られたエコー受信信号の強弱に応じ
て画像データを生成するような処理をしている。
坦に現れ、ドリル穴の部分は穴のように表現されるよう
に増幅回路６から得られたエコー受信信号の強弱に応じ
て画像データを生成するような処理をしている。
［発明の効果］ 以上の説明から理解できるように、この発明にあって
は、超音波探触子が被検体の表面に対して垂直に入射す
る波動を排除或いは抑止するようにして、被検体の表面
手前で焦点を結ばせることにより、垂直方向の波動が抑
えられるので、平面状態にある面では反射エコーがほと
んどなく、凹凸面では、その散乱により反射エコーを受
波することができる。
は、超音波探触子が被検体の表面に対して垂直に入射す
る波動を排除或いは抑止するようにして、被検体の表面
手前で焦点を結ばせることにより、垂直方向の波動が抑
えられるので、平面状態にある面では反射エコーがほと
んどなく、凹凸面では、その散乱により反射エコーを受
波することができる。
その結果、使用測定周波数が低くても高い分解能で表
面形状を測定することができ、安価な送受信回路でも検
出でき、簡単な回路で物体の表面状態を測定することが
可能になる。
面形状を測定することができ、安価な送受信回路でも検
出でき、簡単な回路で物体の表面状態を測定することが
可能になる。
第１図は、この発明の超音波表面測定装置を適用した超
音波測定装置の概要説明図、第２図は、その測定信号を
画像処理した場合の画像表示内容の説明図である。 １…被検体、２…焦点収束型の探触子（以下プロー
ブ）、2a…音響凹レンズ、2b…マスク、３…走査装置
（スキャナ）、４…超音波探傷器、５…パルサ・レシー
バ。
音波測定装置の概要説明図、第２図は、その測定信号を
画像処理した場合の画像表示内容の説明図である。 １…被検体、２…焦点収束型の探触子（以下プロー
ブ）、2a…音響凹レンズ、2b…マスク、３…走査装置
（スキャナ）、４…超音波探傷器、５…パルサ・レシー
バ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 嘉昭 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機 株式会社土浦工場内 (72)発明者 滝下 利男 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機 株式会社土浦工場内 (72)発明者 浜崎 義一 福岡県粕屋郡新宮町大字上府1592 日立 建機株式会社九州支店内 (56)参考文献 特開 平２−184756（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−71453（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 29/00 - 29/28 G01B 17/00 - 17/04
Claims (2)
- 【請求項１】焦点集束型の超音波探触子及び被検体のい
ずれか一方を二次元移動させて前記被検体を走査し、前
記被検体の表面についてのデータを採取する超音波測定
装置において、前記被検体の表面に対して垂直に入射す
る波動が排除或いは抑止された前記超音波探触子と、前
記被検体の表面手前で前記超音波探触子の焦点を結ば
せ、前記被検体を平面走査して走査位置に応じたエコー
受信信号を得て、これに基づき前記被検体の表面データ
を採取する測定装置とを備えたことを特徴とする超音波
表面状態測定装置。 - 【請求項２】前記超音波探触子は音響凹レンズを有して
いて、前記被検体の表面に垂直に入射する波動を発生し
ないように排除するマスクが前記音響凹レンズの中央部
に設けられていることを特徴とする請求項１記載の超音
波表面状態測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003904A JP2824860B2 (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 超音波表面状態測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003904A JP2824860B2 (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 超音波表面状態測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03209158A JPH03209158A (ja) | 1991-09-12 |
| JP2824860B2 true JP2824860B2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=11570181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003904A Expired - Fee Related JP2824860B2 (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 超音波表面状態測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2824860B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012047750A (ja) * | 2005-11-09 | 2012-03-08 | Japan Science & Technology Agency | 音波誘起電磁波による物体の特性測定方法及び装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05333000A (ja) * | 1992-05-28 | 1993-12-17 | Nippon Steel Corp | 超音波探傷装置 |
| JP5172032B1 (ja) * | 2012-06-26 | 2013-03-27 | 株式会社日立エンジニアリング・アンド・サービス | 超音波検査装置、および、超音波検査方法 |
| JP6480979B2 (ja) * | 2017-05-10 | 2019-03-13 | ファナック株式会社 | 計測装置 |
-
1990
- 1990-01-11 JP JP2003904A patent/JP2824860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012047750A (ja) * | 2005-11-09 | 2012-03-08 | Japan Science & Technology Agency | 音波誘起電磁波による物体の特性測定方法及び装置 |
| JP2012047751A (ja) * | 2005-11-09 | 2012-03-08 | Japan Science & Technology Agency | 音波誘起電磁波による物体の特性測定方法及び装置 |
| US9901281B2 (en) | 2005-11-09 | 2018-02-27 | Japan Science And Technology Agency | Method of measuring properties of an object with acoustically induced electromagnetic waves |
| US9901280B2 (en) | 2005-11-09 | 2018-02-27 | Japan Science And Technology Agency | Apparatus for measuring properties of an object with acoustically induced electromagnetic waves |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03209158A (ja) | 1991-09-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |