JPS6333167Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6333167Y2 JPS6333167Y2 JP7842781U JP7842781U JPS6333167Y2 JP S6333167 Y2 JPS6333167 Y2 JP S6333167Y2 JP 7842781 U JP7842781 U JP 7842781U JP 7842781 U JP7842781 U JP 7842781U JP S6333167 Y2 JPS6333167 Y2 JP S6333167Y2
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- Japan
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- sample
- ultrasonic
- focusing lens
- signal
- microscope
- Prior art date
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- Expired
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000003556 assay Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は超音波顕微鏡に係り、その目的とする
ところは超音波顕微鏡を用いて試料を構成する物
質を容易に判断できるような超音波顕微鏡を提供
することにある。
ところは超音波顕微鏡を用いて試料を構成する物
質を容易に判断できるような超音波顕微鏡を提供
することにある。
光の代りに超音波を用いて物体の微視的な構造
を観察しようという考えが古くからあり、最近機
械走査型超音波顕微鏡が開発された。この超音波
顕微鏡は、原理的には細く絞つた超高周波の超音
波ビームによつて試料面を機械的に走査し、散乱
された超音波を集音して電気信号に変換し、陰極
線管の表面に二次元的に表示し、顕微鏡像を得る
ものである。そして、その構成としては超音波の
検出の仕方によつて、すなわち試料内で散乱ある
いは減衰しながら透過してきた超音波を検出する
場合と、試料内の音響的性質の差によつて反射し
てきた超音波を検出する場合とによつて、透過型
と反射型とに分けられる。
を観察しようという考えが古くからあり、最近機
械走査型超音波顕微鏡が開発された。この超音波
顕微鏡は、原理的には細く絞つた超高周波の超音
波ビームによつて試料面を機械的に走査し、散乱
された超音波を集音して電気信号に変換し、陰極
線管の表面に二次元的に表示し、顕微鏡像を得る
ものである。そして、その構成としては超音波の
検出の仕方によつて、すなわち試料内で散乱ある
いは減衰しながら透過してきた超音波を検出する
場合と、試料内の音響的性質の差によつて反射し
てきた超音波を検出する場合とによつて、透過型
と反射型とに分けられる。
上述のような構成の超音波顕微鏡によつて、顕
微鏡像を得るのであるが、このとき、集束レンズ
と試料との間の距離を可変させるならば、試料か
らの反射信号は、試料を構成する物質によつて固
有の曲線を描く。この性質を利用し、集束レンズ
と試料との距離と、試料からの反射信号の強度と
の関係を示すグラフを得ることによつて物質の検
定を行なうことができる。第1図は従来の物質検
定のための超音波顕微鏡を示すブロツク図で、1
は高周波パルス発振器、2は方向性結合器、3は
集束レンズ、4は超音波媒体となる音場媒体、5
は試料、6は試料保持台、7はゲート回路、8は
遅延回路、9は増幅器、10は検波器、11はピ
ークホールド回路、12はZ軸駆動装置、13は
Z軸変位検出装置、14はX−Yレコーダーであ
る。
微鏡像を得るのであるが、このとき、集束レンズ
と試料との間の距離を可変させるならば、試料か
らの反射信号は、試料を構成する物質によつて固
有の曲線を描く。この性質を利用し、集束レンズ
と試料との距離と、試料からの反射信号の強度と
の関係を示すグラフを得ることによつて物質の検
定を行なうことができる。第1図は従来の物質検
定のための超音波顕微鏡を示すブロツク図で、1
は高周波パルス発振器、2は方向性結合器、3は
集束レンズ、4は超音波媒体となる音場媒体、5
は試料、6は試料保持台、7はゲート回路、8は
遅延回路、9は増幅器、10は検波器、11はピ
ークホールド回路、12はZ軸駆動装置、13は
Z軸変位検出装置、14はX−Yレコーダーであ
る。
上述のような構成の超音波顕微鏡において、そ
の動作を説明すると、まず高周波パルス発振器1
によつて発生された高周波信号は方向性結合器2
を介して電気音響変換素子(図示せず)を具備す
る集束レンズ3に印加される。該集束レンズ3に
よつて発生された超音波ビームは音場媒体4を介
して試料5に照射される。照射された超音波ビー
ムは試料5によつて反射され、反射された超音波
ビームは再び集束レンズ3で集められ、電気信号
に変換される。変換された電気信号は方向性結合
器2によつてゲート回路7に入力される。該ゲー
ト回路7によつて不要信号が除去され。増幅器9
によつて増幅された後、検波器10によつて検波
される。これによつて試料からの反射信号の強度
が電圧として取り出される。なおこの検波器10
からの出力はパルス状の信号であるため、ピーク
ホールド回路11によつてアナログ信号と成し、
該アナログ信号をX−Yレコーダー14のY信号
(輝度信号)として入力する。またモータ等によ
つて構成されるZ軸駆動装置12によつて集束レ
ンズ3をZ軸方向(高さ方向)に駆動し、集束レ
ンズ3と試料5との距離を可変させる。このZ軸
方向への変位をZ変位検出装置13によつて電圧
変化として取り出し、X−Yレコーダー14のX
信号として入力する。これによつて第2図に示す
ような波形のグラフを得ることができるものであ
る。このグラフにおける△Zoの平均距離を求め下
式に代入することによつて、試料の表面波速度が
得られるものである。
の動作を説明すると、まず高周波パルス発振器1
によつて発生された高周波信号は方向性結合器2
を介して電気音響変換素子(図示せず)を具備す
る集束レンズ3に印加される。該集束レンズ3に
よつて発生された超音波ビームは音場媒体4を介
して試料5に照射される。照射された超音波ビー
ムは試料5によつて反射され、反射された超音波
ビームは再び集束レンズ3で集められ、電気信号
に変換される。変換された電気信号は方向性結合
器2によつてゲート回路7に入力される。該ゲー
ト回路7によつて不要信号が除去され。増幅器9
によつて増幅された後、検波器10によつて検波
される。これによつて試料からの反射信号の強度
が電圧として取り出される。なおこの検波器10
からの出力はパルス状の信号であるため、ピーク
ホールド回路11によつてアナログ信号と成し、
該アナログ信号をX−Yレコーダー14のY信号
(輝度信号)として入力する。またモータ等によ
つて構成されるZ軸駆動装置12によつて集束レ
ンズ3をZ軸方向(高さ方向)に駆動し、集束レ
ンズ3と試料5との距離を可変させる。このZ軸
方向への変位をZ変位検出装置13によつて電圧
変化として取り出し、X−Yレコーダー14のX
信号として入力する。これによつて第2図に示す
ような波形のグラフを得ることができるものであ
る。このグラフにおける△Zoの平均距離を求め下
式に代入することによつて、試料の表面波速度が
得られるものである。
VR=√・・△o
VR:試料の表面波速度
:高周波信号の周波数
Vo:音場媒体の音速度
△Zo:平均距離
このようにして得られる試料の表面波速度は、
試料を構成する物質固有のものであり、既知であ
る。また周波数および音場媒体4の音速度Vo
は所定のものであるため、上記のようなグラフを
得ることによつて△Zoが算出できるならば、物質
を検定することができ、有意である。
試料を構成する物質固有のものであり、既知であ
る。また周波数および音場媒体4の音速度Vo
は所定のものであるため、上記のようなグラフを
得ることによつて△Zoが算出できるならば、物質
を検定することができ、有意である。
しかしながら、数多くの試料を検定するとき、
X−Yレコーダーの作図速度に限度があり、か
つ、グラフ用紙等の準備が必要であり、容易に試
料の検定ができないという欠点があつた。
X−Yレコーダーの作図速度に限度があり、か
つ、グラフ用紙等の準備が必要であり、容易に試
料の検定ができないという欠点があつた。
本考案は上述のような欠点に解決を与えるもの
であり、自動計測等、容易に試料の検定ができる
超音波顕微鏡を提供するものである。以下、図面
によつて詳細に説明する。従来と同じ構成は同部
番とし、詳細な説明は省く、1は高周波パルス発
振器、2は方向性結合器、3は集束レンズ、4は
音場媒体、5は試料、7はゲート回路、8は遅延
回路、9は増幅器、10は検波器、11はピーク
ホールド回路、15は試料保持台で、任意の角度
に傾斜することができるものである。16は水平
方向駆動装置、17は水平方向変位検出装置、1
8は陰極線管である。
であり、自動計測等、容易に試料の検定ができる
超音波顕微鏡を提供するものである。以下、図面
によつて詳細に説明する。従来と同じ構成は同部
番とし、詳細な説明は省く、1は高周波パルス発
振器、2は方向性結合器、3は集束レンズ、4は
音場媒体、5は試料、7はゲート回路、8は遅延
回路、9は増幅器、10は検波器、11はピーク
ホールド回路、15は試料保持台で、任意の角度
に傾斜することができるものである。16は水平
方向駆動装置、17は水平方向変位検出装置、1
8は陰極線管である。
上述のような構成の超音波顕微鏡では、試料保
持台15が水平面に対して任意の角度に傾斜する
ことができるように成されているために、集束レ
ンズ3を水平方向に駆動すると、試料保持台15
に保持された試料5面と集束レンズ3との距離が
相対的に変化することになる。これによつて試料
5からの超音波ビームの反射信号をY信号とし、
水平方向変位検出装置17によつて検出された変
位信号をX信号として陰極線管18に入力するこ
とによつて第4図に示すようなグラフを得るもの
である。このグラフは従来のX−Yレコーダを用
いたものに比して高速で得ることができるため、
試料の検定が容易にできるものである。
持台15が水平面に対して任意の角度に傾斜する
ことができるように成されているために、集束レ
ンズ3を水平方向に駆動すると、試料保持台15
に保持された試料5面と集束レンズ3との距離が
相対的に変化することになる。これによつて試料
5からの超音波ビームの反射信号をY信号とし、
水平方向変位検出装置17によつて検出された変
位信号をX信号として陰極線管18に入力するこ
とによつて第4図に示すようなグラフを得るもの
である。このグラフは従来のX−Yレコーダを用
いたものに比して高速で得ることができるため、
試料の検定が容易にできるものである。
上述のように本考案によれば、試料保持台を傾
斜できるように成すことによつて、試料を構成す
る物質の検定が容易にでき、その実用的効果は大
である。
斜できるように成すことによつて、試料を構成す
る物質の検定が容易にでき、その実用的効果は大
である。
第1図は従来の超音波顕微鏡を示すブロツク
図、第2図は第1図を説明するための図、第3図
は本考案の一実施例を示す超音波顕微鏡のブロツ
ク図、第4図は第3図を説明するための図であ
る。 1……高周波パルス発振器、3……集束レン
ズ、4……音場媒体、5……試料、6,15……
試料保持台、14……X−Yレコーダー、18…
…陰極線管。
図、第2図は第1図を説明するための図、第3図
は本考案の一実施例を示す超音波顕微鏡のブロツ
ク図、第4図は第3図を説明するための図であ
る。 1……高周波パルス発振器、3……集束レン
ズ、4……音場媒体、5……試料、6,15……
試料保持台、14……X−Yレコーダー、18…
…陰極線管。
Claims (1)
- 超音波媒体を介して超音波を超音波集束レンズ
によつて試料面に集束させると共に、該超音波集
束レンズを相対的に水平方向に駆動することによ
り該試料面を超音波によつて走査し、該試料面か
らの反射波を該超音波集束レンズにより検知して
試料を検査する超音波顕微鏡において、前記試料
が載置せられた試料保持台を該超音波集束レンズ
に対して傾斜したことを特徴とする超音波顕微
鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7842781U JPS6333167Y2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7842781U JPS6333167Y2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57190458U JPS57190458U (ja) | 1982-12-02 |
JPS6333167Y2 true JPS6333167Y2 (ja) | 1988-09-05 |
Family
ID=29874060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7842781U Expired JPS6333167Y2 (ja) | 1981-05-29 | 1981-05-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6333167Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-05-29 JP JP7842781U patent/JPS6333167Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57190458U (ja) | 1982-12-02 |
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