JP2818259B2 - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JP2818259B2 JP2818259B2 JP15875390A JP15875390A JP2818259B2 JP 2818259 B2 JP2818259 B2 JP 2818259B2 JP 15875390 A JP15875390 A JP 15875390A JP 15875390 A JP15875390 A JP 15875390A JP 2818259 B2 JP2818259 B2 JP 2818259B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、例えばレーザ加工、半導体製造、ウラン濃
縮等に用いられるレーザ発振装置に係り、特にレーザビ
ームの高品質化を図ったレーザ発振装置に関する。
縮等に用いられるレーザ発振装置に係り、特にレーザビ
ームの高品質化を図ったレーザ発振装置に関する。
（従来の技術） 従来、レーザ発振装置として、マスタ発振装置とイン
ジェクションロック発振装置とを組合せて構成したもの
が知られている。マスタ発振装置は、発振媒体交換装置
および駆動電源が接続されたレーザ発振器と、このレー
ザ発振器の両側に対向配置された入出射鏡および凹面反
射鏡からなる共振器とを有する構成とされている。ま
た、インジェクションロック発振装置は、マスタ発振装
置からの出射光を透過させる入光部を有する凹面鏡と、
発振媒体交換装置および駆動電源がそれぞれ接続された
インジェクションロック発振器と、このインジェクショ
ンロック発振器の出光側で光軸に傾斜して前記凹面鏡に
対向して併置され光通過口を有する出射鏡と、この出射
鏡の光通過口出光側に配置した凸面鏡とを有する構成と
されている。
ジェクションロック発振装置とを組合せて構成したもの
が知られている。マスタ発振装置は、発振媒体交換装置
および駆動電源が接続されたレーザ発振器と、このレー
ザ発振器の両側に対向配置された入出射鏡および凹面反
射鏡からなる共振器とを有する構成とされている。ま
た、インジェクションロック発振装置は、マスタ発振装
置からの出射光を透過させる入光部を有する凹面鏡と、
発振媒体交換装置および駆動電源がそれぞれ接続された
インジェクションロック発振器と、このインジェクショ
ンロック発振器の出光側で光軸に傾斜して前記凹面鏡に
対向して併置され光通過口を有する出射鏡と、この出射
鏡の光通過口出光側に配置した凸面鏡とを有する構成と
されている。
そして、マスタ発振装置から出射されたマスタビーム
がインジェクションロック発振装置へ入射され、高品質
レーザビームとして出力されるようになっている。
がインジェクションロック発振装置へ入射され、高品質
レーザビームとして出力されるようになっている。
第２図は従来のレーザ発振装置におけるインジェクシ
ョンロック発振装置の構成例を示している。
ョンロック発振装置の構成例を示している。
凹面鏡１に対向してインジェクションロック発振器２
が設けられ、このインジェクションロック発振器２の凹
面鏡１と対向する側に出射鏡３が傾斜配置されている。
出射鏡３には光通過口４が穿孔され、この光通過口４の
外側に凸面鏡５が配置している。凸面鏡５はインジェク
ションロック発振器２側の表面にハーフコート（50％透
過コーティング）された半透過面を有し、凹面側が入光
部とされている。
が設けられ、このインジェクションロック発振器２の凹
面鏡１と対向する側に出射鏡３が傾斜配置されている。
出射鏡３には光通過口４が穿孔され、この光通過口４の
外側に凸面鏡５が配置している。凸面鏡５はインジェク
ションロック発振器２側の表面にハーフコート（50％透
過コーティング）された半透過面を有し、凹面側が入光
部とされている。
そして、マスク発振装置から出射されたレーザビーム
ａが凸面鏡５に入射すると、レーザビームは対向する凹
面鏡１との間で共振され、インジェクションロック発振
器２を通過して高質化される。
ａが凸面鏡５に入射すると、レーザビームは対向する凹
面鏡１との間で共振され、インジェクションロック発振
器２を通過して高質化される。
レーザビームが入射する凸面鏡５は、インジェクショ
ンロック発振器２側の表面にハーフコートされた半透過
面を有しているため、第３図に示すように、入射するレ
ーザビーム成分と共振するレーザ成分とは、ともに混在
することが可能となっている。
ンロック発振器２側の表面にハーフコートされた半透過
面を有しているため、第３図に示すように、入射するレ
ーザビーム成分と共振するレーザ成分とは、ともに混在
することが可能となっている。
このようにして、レーザビームの高品質化が図られ
て、レーザビームがインジェクションロックビームとし
て出射鏡３を介して出射される。
て、レーザビームがインジェクションロックビームとし
て出射鏡３を介して出射される。
しかし、この従来例においては、例えば、ウラン濃縮
に適用される銅蒸気レーザ（銅蒸気レーザの場合、発振
波長は、510.5nm（緑色）、578.3nm（黄色）に用いる場
合のように、複数の発振波長を同時に扱うときは、入射
レーザビームが分離するという問題があった。
に適用される銅蒸気レーザ（銅蒸気レーザの場合、発振
波長は、510.5nm（緑色）、578.3nm（黄色）に用いる場
合のように、複数の発振波長を同時に扱うときは、入射
レーザビームが分離するという問題があった。
この問題を解決するために、従来、インジェクション
ロック発振装置の改良例として、第４図に示す構成のも
のが知られている。
ロック発振装置の改良例として、第４図に示す構成のも
のが知られている。
すなわち、凹面鏡７に対向してインジェクションロッ
ク発振器８が設けられ、このインジェクションロック発
振器８の凹面鏡７と対向する側に出射鏡９が傾斜配置さ
れている。出射鏡９には光通過口10が穿孔され、この光
通過口10の外側に凸面鏡11が配置している。
ク発振器８が設けられ、このインジェクションロック発
振器８の凹面鏡７と対向する側に出射鏡９が傾斜配置さ
れている。出射鏡９には光通過口10が穿孔され、この光
通過口10の外側に凸面鏡11が配置している。
このものにおいて、凹面鏡７に入光部12としての透孔
が穿設され、これによりレーザビームａは凹面鏡７の入
光部12を介して入射されるようになっている。したがっ
て、レーザビームは凸面鏡11を透過しないことから、入
射レーザビームの分離が生じることが避けられるという
ものである。
が穿設され、これによりレーザビームａは凹面鏡７の入
光部12を介して入射されるようになっている。したがっ
て、レーザビームは凸面鏡11を透過しないことから、入
射レーザビームの分離が生じることが避けられるという
ものである。
（発明が解決しようとする課題） しかし、第４図のものでは、凹面鏡７の入光部12がレ
ーザビームの反射面として機能せず、共振作用に役立た
ないため、インジェクションロック発振装置のロック
（高質化）効果が小さくなり、十分なレーザビームを得
ることができなかった。
ーザビームの反射面として機能せず、共振作用に役立た
ないため、インジェクションロック発振装置のロック
（高質化）効果が小さくなり、十分なレーザビームを得
ることができなかった。
なお、パルス発振に用いるレーザ発振装置において
は、レーザ発振器およびインジェクションロック発振器
の発振の相互関連が必要とされ、両発振器の作動制御を
行うことによって、十分なレーザビームを得ることが求
められる。
は、レーザ発振器およびインジェクションロック発振器
の発振の相互関連が必要とされ、両発振器の作動制御を
行うことによって、十分なレーザビームを得ることが求
められる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、複
数の発振波長を扱ってもインジェクションロック発振装
置のロック効果を弱めることがなく、必要なレーザビー
ムを抽出することができるとともに、パルス発振等に適
用した場合にも十分なレーザビームを得ることができる
適用範囲の広いレーザ発振装置を提供することを目的と
する。
数の発振波長を扱ってもインジェクションロック発振装
置のロック効果を弱めることがなく、必要なレーザビー
ムを抽出することができるとともに、パルス発振等に適
用した場合にも十分なレーザビームを得ることができる
適用範囲の広いレーザ発振装置を提供することを目的と
する。
（課題を解決するための手段） 本発明は、レーザ発光源としてのマスタ発振装置と、
レーザ出力部としてのインジェクションロック発振装置
とを有し、前記マスタ発振装置は、発振媒体交換装置お
よび駆動電源が接続されたレーザ発振器と、このレーザ
発振器の両側に対向配置された出射鏡および凹面反射鏡
とを有し、前記インジェクションロック発振装置は、前
記マスタ発振装置からの出射光を透過させる入光部を有
する凹面鏡と、発振媒体交換装置および駆動電源がそれ
ぞれ接続されたインジェクションロック発振器と、この
インジェクションロック発振器の出光側で光軸に傾斜し
て前記凹面鏡に対向して配置され光通過口を有する出射
鏡と、この出射鏡の光透過口出光側に配置した凸面鏡と
を有し、前記凹面鏡は入光部の入光面に無反射面を、ま
た出光面に光透過面をそれぞれ有することを特徴とす
る。
レーザ出力部としてのインジェクションロック発振装置
とを有し、前記マスタ発振装置は、発振媒体交換装置お
よび駆動電源が接続されたレーザ発振器と、このレーザ
発振器の両側に対向配置された出射鏡および凹面反射鏡
とを有し、前記インジェクションロック発振装置は、前
記マスタ発振装置からの出射光を透過させる入光部を有
する凹面鏡と、発振媒体交換装置および駆動電源がそれ
ぞれ接続されたインジェクションロック発振器と、この
インジェクションロック発振器の出光側で光軸に傾斜し
て前記凹面鏡に対向して配置され光通過口を有する出射
鏡と、この出射鏡の光透過口出光側に配置した凸面鏡と
を有し、前記凹面鏡は入光部の入光面に無反射面を、ま
た出光面に光透過面をそれぞれ有することを特徴とす
る。
（作用） 本発明によると、レーザビームがマスタ発振装置から
インジェクションロック発振装置に入射するとき、凹面
鏡の半透過状の入光部を介して入射するので、複数の発
振波長を扱ってもレーザビームが分離することがない。
また、入光部が凹面鏡と同一の曲率とされ、出光面に半
透過面を有しているので、レーザビームがインジェクシ
ョンロック発振器によって高質化されるときに入光部が
反射面として機能し、ロック（高質化）効果を弱めるこ
とがない。
インジェクションロック発振装置に入射するとき、凹面
鏡の半透過状の入光部を介して入射するので、複数の発
振波長を扱ってもレーザビームが分離することがない。
また、入光部が凹面鏡と同一の曲率とされ、出光面に半
透過面を有しているので、レーザビームがインジェクシ
ョンロック発振器によって高質化されるときに入光部が
反射面として機能し、ロック（高質化）効果を弱めるこ
とがない。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明す
る。
る。
この実施例に係るレーザ発振装置は、レーザ発光源と
してのマスタ発振装置18と、レーザ出力部としてのイン
ジェクションロック発振装置24とを有する。マスタ発振
装置18は、出射鏡13と、発振媒体交換装置14および駆動
電源15が接続されたレーザ発振器16と、出射鏡13に対向
配置された凹面反射鏡17とを有している。凹面反射鏡17
は全反射ミラーとされている。そして、レーザ発振器16
から発せられたレーザビームは出射鏡13と凹面反射鏡17
との共振器間で増幅されて、マスタビームｂとなり、出
射鏡13から出射される。
してのマスタ発振装置18と、レーザ出力部としてのイン
ジェクションロック発振装置24とを有する。マスタ発振
装置18は、出射鏡13と、発振媒体交換装置14および駆動
電源15が接続されたレーザ発振器16と、出射鏡13に対向
配置された凹面反射鏡17とを有している。凹面反射鏡17
は全反射ミラーとされている。そして、レーザ発振器16
から発せられたレーザビームは出射鏡13と凹面反射鏡17
との共振器間で増幅されて、マスタビームｂとなり、出
射鏡13から出射される。
出射されたマスタビームは空間フィルタ18aを通過す
る間に選択される。すなわち、空間フィルタ18aは、レ
ンズまたは色消しレンズ19と，ピンホール20と、レンズ
または色消しレンズ21とを有する構成とされる。この空
間フィルタ18aを通過する間にマスタビームのうち、高
品質ビームが選択されて、反射鏡22、23を介してインジ
ェクションロック発振装置24へ入射される。
る間に選択される。すなわち、空間フィルタ18aは、レ
ンズまたは色消しレンズ19と，ピンホール20と、レンズ
または色消しレンズ21とを有する構成とされる。この空
間フィルタ18aを通過する間にマスタビームのうち、高
品質ビームが選択されて、反射鏡22、23を介してインジ
ェクションロック発振装置24へ入射される。
インジェクションロック発振装置24は、全反射コート
を塗布した凹面鏡25と、インジェクションロック発振器
26と、光軸に対して傾斜する出射鏡27とを有する。出射
鏡27にはその中心位置に光通過口28が穿設され、その外
方に凸面鏡29が配置されている。インジェクションロッ
ク発振器26には発振媒体交換装置30および駆動電源31が
それぞれ接続されている。
を塗布した凹面鏡25と、インジェクションロック発振器
26と、光軸に対して傾斜する出射鏡27とを有する。出射
鏡27にはその中心位置に光通過口28が穿設され、その外
方に凸面鏡29が配置されている。インジェクションロッ
ク発振器26には発振媒体交換装置30および駆動電源31が
それぞれ接続されている。
凹面鏡25はメニスカス（度なし）形状で、その中心位
置が入光部32とされ、この入光部32の入光面およびその
出光面は凹面鏡25の表面とそれぞれ同一の曲率を有して
いる。また、入光部32の入光面32aはARコートにより無
反射面とされ、出光面32bはハーフコート（50％透過コ
ーティング）された半透過面とされて、その周りには全
反射コート32cが塗布されている。
置が入光部32とされ、この入光部32の入光面およびその
出光面は凹面鏡25の表面とそれぞれ同一の曲率を有して
いる。また、入光部32の入光面32aはARコートにより無
反射面とされ、出光面32bはハーフコート（50％透過コ
ーティング）された半透過面とされて、その周りには全
反射コート32cが塗布されている。
そして、空間フィルタ18aを経たレーザビームｃは、
凹面鏡25の入光部32からインジェクションロック発振器
26に入射され、凸面鏡29に至る。凸面鏡29に到達したビ
ームは、それによって再反射され、インジェクションロ
ック発振器26を通過して凹面鏡25に至る。この間にイン
ジェクションロック発振器26による共振作用が行なわれ
る。凹面鏡25に到達したビームは出射鏡27側へ反射する
が、このとき、入光部32は反射面として機能するので、
ビームの損失は低減される。そして、凹面鏡25によって
反射されたビームは出射鏡27に至るまでの間にさらに共
振作用を受け、高品質のレーザビームｄとなり、出射鏡
27から出射される。
凹面鏡25の入光部32からインジェクションロック発振器
26に入射され、凸面鏡29に至る。凸面鏡29に到達したビ
ームは、それによって再反射され、インジェクションロ
ック発振器26を通過して凹面鏡25に至る。この間にイン
ジェクションロック発振器26による共振作用が行なわれ
る。凹面鏡25に到達したビームは出射鏡27側へ反射する
が、このとき、入光部32は反射面として機能するので、
ビームの損失は低減される。そして、凹面鏡25によって
反射されたビームは出射鏡27に至るまでの間にさらに共
振作用を受け、高品質のレーザビームｄとなり、出射鏡
27から出射される。
よって本実施例によれば、インジェクションロック発
振器26を通過して凹面鏡25と凸面鏡29との間でなされる
共振作用が効率よく行なわれ、高品質のレーザビームを
得ることができる。
振器26を通過して凹面鏡25と凸面鏡29との間でなされる
共振作用が効率よく行なわれ、高品質のレーザビームを
得ることができる。
なお、本実施例では、マスタビームのうちの高品質ビ
ーム選択のために空間フィルタ18を介在させたが、発振
波長によっては、この空間フィルタ18を省略することも
できる。
ーム選択のために空間フィルタ18を介在させたが、発振
波長によっては、この空間フィルタ18を省略することも
できる。
さらに、パルス発振に適用する場合においては、レー
ザ発振器駆動電源15およびインジェクションロック発振
器駆動電源31にタイミング制御器33をそれぞれ接続し、
各々の作動を関連づけて制御することによって、その駆
動タイミングを最適化することが可能となる。
ザ発振器駆動電源15およびインジェクションロック発振
器駆動電源31にタイミング制御器33をそれぞれ接続し、
各々の作動を関連づけて制御することによって、その駆
動タイミングを最適化することが可能となる。
（発明の効果） 以上のように、本発明によれば、インジェクションロ
ック発振装置の凹面鏡の入光面を無反射面とするととも
に、出光面を半透過面とすることにより、複数の発振波
長を扱ってもレーザビームが分離することがなく、また
共振作用時に入光部が反射面として機能するので、イン
ジェクションロック発振装置のロック（高質化）効果を
弱めることがない。しかも、パルス発振に適用する場合
においても、その駆動タイミングを最適化することが容
易で、高品質のレーザビームを得ることが可能となる。
ック発振装置の凹面鏡の入光面を無反射面とするととも
に、出光面を半透過面とすることにより、複数の発振波
長を扱ってもレーザビームが分離することがなく、また
共振作用時に入光部が反射面として機能するので、イン
ジェクションロック発振装置のロック（高質化）効果を
弱めることがない。しかも、パルス発振に適用する場合
においても、その駆動タイミングを最適化することが容
易で、高品質のレーザビームを得ることが可能となる。
第１図は、本発明に係るレーザ発振装置の一実施例を示
す構成図、第２図は、従来のレーザ発振装置におけるイ
ンジェクションロック発振装置を示す構成図、第３図
は、第２図のインジェクションロック発振装置における
入光部の入光状態説明図、第４図は、従来のレーザ発振
装置における他のインジェクションロック発振装置を示
す構成図である。 13……出射鏡、14、30……発振媒体交換装置、15、31…
…駆動電源、17……凹面反射鏡、18……マスタ発振装
置、16……レーザ発振器、18a……空間フィルタ、19、2
1……レンズ、20……ピンホール、22、23……反射鏡、2
4……インジェクションロック発振装置、25……凹面
鏡、26……インジェクションロック発振器、27……出射
鏡、28……光通過口、29……凸面鏡、32……入光部、33
……タイミング制御器。
す構成図、第２図は、従来のレーザ発振装置におけるイ
ンジェクションロック発振装置を示す構成図、第３図
は、第２図のインジェクションロック発振装置における
入光部の入光状態説明図、第４図は、従来のレーザ発振
装置における他のインジェクションロック発振装置を示
す構成図である。 13……出射鏡、14、30……発振媒体交換装置、15、31…
…駆動電源、17……凹面反射鏡、18……マスタ発振装
置、16……レーザ発振器、18a……空間フィルタ、19、2
1……レンズ、20……ピンホール、22、23……反射鏡、2
4……インジェクションロック発振装置、25……凹面
鏡、26……インジェクションロック発振器、27……出射
鏡、28……光通過口、29……凸面鏡、32……入光部、33
……タイミング制御器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−186579（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−94583（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−101781（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−123788（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−20679（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−260872（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−84949（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/08,3/23
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ発光源としてのマスタ発振装置と、
レーザ出力部としてのインジェクションロック発振装置
とを有し、前記マスタ発振装置は、発振媒体交換装置お
よび駆動電源が接続されたレーザ発振器と、このレーザ
発振器の両側に対向配置された出射鏡および凹面反射鏡
とを有し、前記インジェクションロック発振装置は、前
記マスタ発振装置からの出射光を透過させる入光部を有
する凹面鏡と、発振媒体交換装置および駆動電源がそれ
ぞれ接続されたインジェクションロック発振器と、この
インジェクションロック発振器の出光側で光軸に傾斜し
て前記凹面鏡に対向して配置され光通過口を有する出射
鏡と、この出射鏡の光通過口出光側に配置した凸面鏡と
を有し、前記凹面鏡は入光部の入光面に無反射面を、ま
た出光面に半透過面をそれぞれ有することを特徴とする
レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15875390A JP2818259B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15875390A JP2818259B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | レーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0449682A JPH0449682A (ja) | 1992-02-19 |
| JP2818259B2 true JP2818259B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=15678588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15875390A Expired - Lifetime JP2818259B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2818259B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102547657B1 (ko) * | 2018-10-01 | 2023-06-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 가공 장치 |
-
1990
- 1990-06-19 JP JP15875390A patent/JP2818259B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449682A (ja) | 1992-02-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070821 |
|
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