JP2813067B2 - 光フィルタ - Google Patents
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- JP2813067B2 JP2813067B2 JP2405350A JP40535090A JP2813067B2 JP 2813067 B2 JP2813067 B2 JP 2813067B2 JP 2405350 A JP2405350 A JP 2405350A JP 40535090 A JP40535090 A JP 40535090A JP 2813067 B2 JP2813067 B2 JP 2813067B2
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- optical filter
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- passive waveguide
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的には光デバイス
の分野に関し、更に詳しくは波長同調型光フィルタに関
する。
の分野に関し、更に詳しくは波長同調型光フィルタに関
する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ中では光帯域幅が実質的に無
制限であることが動機となって、研究者や開発者達は、
システムの性能と伝送容量との改善のため、或るネット
ワ−クを光周波数の領域へ移して運用するようになって
きた。これは一般に、光周波数領域にチャンネルを割り
当てている広帯域通信ネットワ−クを利用することによ
って行われてきた。その上、これらのネットワ−クは、
多重チャンネル運用を行うために、波長分割多重化と波
長分割切換とを通常用いている。
制限であることが動機となって、研究者や開発者達は、
システムの性能と伝送容量との改善のため、或るネット
ワ−クを光周波数の領域へ移して運用するようになって
きた。これは一般に、光周波数領域にチャンネルを割り
当てている広帯域通信ネットワ−クを利用することによ
って行われてきた。その上、これらのネットワ−クは、
多重チャンネル運用を行うために、波長分割多重化と波
長分割切換とを通常用いている。
【０００３】波長同調型光フィルタは、チャンネル間を
連結して同調させる機器で、上に述べたネットワ−クに
必要な基本デバイスの内の一つである。例えば、加入者
回線ネットワ−クにおいて、全てのチャンネルをネット
ワ−クの各加入者に放送して、加入者が同調型光フィル
タを経て希望するチャンネルを選択するというような用
法も可能である。
連結して同調させる機器で、上に述べたネットワ−クに
必要な基本デバイスの内の一つである。例えば、加入者
回線ネットワ−クにおいて、全てのチャンネルをネット
ワ−クの各加入者に放送して、加入者が同調型光フィル
タを経て希望するチャンネルを選択するというような用
法も可能である。
【０００４】想像される通り、いくつかの形式の波長同
調型光フィルタが文献に提案されている。波長同調型光
フィルタの概要を見るには、コブリンスキ−（Kobrinsk
i） ほかの論文（ＩＥＥＥ通信誌（IEEE Communication
s Magazine）、１９８９年、５３〜６３ペ−ジ）を参照
されたい。そこに提案されている光フィルタの各々にお
いて、その濾波機構が、空洞共振器のような或る微小変
動発生機構から生じた波固有モ−ド間の結合機構であっ
て、これによって濾波作用が行われるとみることができ
る。提案されている種々のフィルタ、例えば電気光学
型、音響光学型、分布型ブラッグ反射器型、及び分布帰
還型のフィルタは、それぞれ上記のような方法で説明で
きる。
調型光フィルタが文献に提案されている。波長同調型光
フィルタの概要を見るには、コブリンスキ−（Kobrinsk
i） ほかの論文（ＩＥＥＥ通信誌（IEEE Communication
s Magazine）、１９８９年、５３〜６３ペ−ジ）を参照
されたい。そこに提案されている光フィルタの各々にお
いて、その濾波機構が、空洞共振器のような或る微小変
動発生機構から生じた波固有モ−ド間の結合機構であっ
て、これによって濾波作用が行われるとみることができ
る。提案されている種々のフィルタ、例えば電気光学
型、音響光学型、分布型ブラッグ反射器型、及び分布帰
還型のフィルタは、それぞれ上記のような方法で説明で
きる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】空洞共振器が、その周
波数領域中にピ−ク部とゼロ値部とを含む伝送特性を有
していること、及び、このような特性を、光の濾波に有
利に利用できることは、周知の事実である。しかし、空
洞共振器は一般に、空洞の長手方向のモ−ドに対応した
多重伝送ピ−クを生じる。又、空洞の長手方向のモ−ド
によって同調範囲が制限される。その理由は、モ−ド間
隔が、入来信号を重ならせずに区切ってその中に配置で
きる同調範囲の最大値に対応しているからである。更
に、空洞共振器は通常、ファブリ・ペロ−固定鏡式干渉
計（ファブリ・ペロ−・エタロン）を用いて作られてい
るが、このファブリ・ペロ−・エタロンは、光量子集積
回路への組み込み集積が困難という問題がある。
波数領域中にピ−ク部とゼロ値部とを含む伝送特性を有
していること、及び、このような特性を、光の濾波に有
利に利用できることは、周知の事実である。しかし、空
洞共振器は一般に、空洞の長手方向のモ−ドに対応した
多重伝送ピ−クを生じる。又、空洞の長手方向のモ−ド
によって同調範囲が制限される。その理由は、モ−ド間
隔が、入来信号を重ならせずに区切ってその中に配置で
きる同調範囲の最大値に対応しているからである。更
に、空洞共振器は通常、ファブリ・ペロ−固定鏡式干渉
計（ファブリ・ペロ−・エタロン）を用いて作られてい
るが、このファブリ・ペロ−・エタロンは、光量子集積
回路への組み込み集積が困難という問題がある。
【０００６】これらの問題点があるので、種々ある新型
空洞共振構造においては、同調範囲を延長するように、
又、組み込み集積が可能になるように設計されている。
これらの新型空洞共振構造には、共振増幅器として運用
中にレ−ザ発光しきい値以下にバイアスされる共振レ−
ザ構造を含む。以下に、波長同調型光フィルタについて
の興味深い文献をいくつか選んで説明する。
空洞共振構造においては、同調範囲を延長するように、
又、組み込み集積が可能になるように設計されている。
これらの新型空洞共振構造には、共振増幅器として運用
中にレ−ザ発光しきい値以下にバイアスされる共振レ−
ザ構造を含む。以下に、波長同調型光フィルタについて
の興味深い文献をいくつか選んで説明する。
【０００７】米国特許第４,０５７,３２１号には、分布
帰還型デバイス付きの２個の分布型ブラッグ反射器を薄
膜導波路上に縦一列に配置してなる分光選択式フィルタ
が開示されている。更に、導波路の、対向する表面上の
且つ上記２個の反射器の間の位置に配置した１対の電極
を経て電圧をかけることによって、反射器の間の光路長
を調整し、ファブリ・ペロ−式配置に類似の方法で同調
性を得るようにしている。同調性が得られる一方、フィ
ルタの伝送ピ−クは６〜１０オングストローム（以下Ａ
で表す）のピ−ク値のもの１個で、２つの反射領域の間
の、阻止域として知られる帯域に現れる。更に重要なこ
とは、阻止域の外では透過率が高いことと、それ自体
で、使用可能な同調範囲が、阻止域の幅、一般には８０
０ＧＨｚ未満、に限られることである。
帰還型デバイス付きの２個の分布型ブラッグ反射器を薄
膜導波路上に縦一列に配置してなる分光選択式フィルタ
が開示されている。更に、導波路の、対向する表面上の
且つ上記２個の反射器の間の位置に配置した１対の電極
を経て電圧をかけることによって、反射器の間の光路長
を調整し、ファブリ・ペロ−式配置に類似の方法で同調
性を得るようにしている。同調性が得られる一方、フィ
ルタの伝送ピ−クは６〜１０オングストローム（以下Ａ
で表す）のピ−ク値のもの１個で、２つの反射領域の間
の、阻止域として知られる帯域に現れる。更に重要なこ
とは、阻止域の外では透過率が高いことと、それ自体
で、使用可能な同調範囲が、阻止域の幅、一般には８０
０ＧＨｚ未満、に限られることである。
【０００８】米国特許第４,７５０,８０１号には、１Ａ
未満のフィルタ帯域を達成するための格子共振フィルタ
が開示されている。このフィルタは第１及び第２の格子
部からなり、これらの格子部は互いに幾何学的に相関関
係にある。すなわち、第１の格子部の格子ピ−クと第２
の格子部の格子ピ−クとの間の距離はいずれも、格子の
周期の整数である。更に、上記の２つの格子部の間にあ
る位相部は、屈折率が減少しており、これら２つの格子
部の間にπ／２（９０°）の位相偏移を生じさせる。
又、類似の方法を用いて、但し、担体（キャリヤ）注入
を利用して、約４０〜５０Ａの範囲ので同調性が得られ
ている。例えば、Ｔ．ヌマイ（T.Numai） ほかの論文
（応用物理通信（Appl.Phys.Lett.） 第５３巻、第２
号、８３〜８５ペ−ジ、１９８８年）を参照されたい。
未満のフィルタ帯域を達成するための格子共振フィルタ
が開示されている。このフィルタは第１及び第２の格子
部からなり、これらの格子部は互いに幾何学的に相関関
係にある。すなわち、第１の格子部の格子ピ−クと第２
の格子部の格子ピ−クとの間の距離はいずれも、格子の
周期の整数である。更に、上記の２つの格子部の間にあ
る位相部は、屈折率が減少しており、これら２つの格子
部の間にπ／２（９０°）の位相偏移を生じさせる。
又、類似の方法を用いて、但し、担体（キャリヤ）注入
を利用して、約４０〜５０Ａの範囲ので同調性が得られ
ている。例えば、Ｔ．ヌマイ（T.Numai） ほかの論文
（応用物理通信（Appl.Phys.Lett.） 第５３巻、第２
号、８３〜８５ペ−ジ、１９８８年）を参照されたい。
【０００９】ヌマイ（Numai） ほかの論文（応用物理通
信（Appl.Phys.Lett.） 第５４巻、第１９号、１８５９
〜１８６０ペ−ジ、１９８９年）は、同調性に加えて、
一定の透過率と一定の帯域幅が、多数電極付き分布帰還
型半導体レ−ザ構造を利用することにより得られること
を示している。
信（Appl.Phys.Lett.） 第５４巻、第１９号、１８５９
〜１８６０ペ−ジ、１９８９年）は、同調性に加えて、
一定の透過率と一定の帯域幅が、多数電極付き分布帰還
型半導体レ−ザ構造を利用することにより得られること
を示している。
【００１０】このフィルタは、３つの部分、すなわち分
布帰還型要素付きの２つの活性部とそれらの間の位相制
御部とから構成されている。利得は、活性部への電流注
入によって制御されるが、同調は、位相制御部に注入し
た電流によって別個に制御される。この例では、２４.
５ｄＢの一定利得で１２０ＧＨｚ（９.５Ａ）の同調範
囲が得られた。
布帰還型要素付きの２つの活性部とそれらの間の位相制
御部とから構成されている。利得は、活性部への電流注
入によって制御されるが、同調は、位相制御部に注入し
た電流によって別個に制御される。この例では、２４.
５ｄＢの一定利得で１２０ＧＨｚ（９.５Ａ）の同調範
囲が得られた。
【００１１】更に、正味光利得を有する狭帯域同調型光
フィルタで分布型ブラッグ反射器構造を用いたものが示
されている。カゾフスキ−（Kazovsky）ほかの論文（Ｅ
ＣＯＣ、１９８９年会報、２５〜２７ペ−ジ）を参照さ
れたい。特に、カゾフスキ−ほかは、分布型ブラッグ反
射器部と活性部とこれらの間の位相制御部とからなる３
部構造を用いている。活性部と空気とのインタ−フェ−
スと、反射器部との間では、共振部が構成される。
フィルタで分布型ブラッグ反射器構造を用いたものが示
されている。カゾフスキ−（Kazovsky）ほかの論文（Ｅ
ＣＯＣ、１９８９年会報、２５〜２７ペ−ジ）を参照さ
れたい。特に、カゾフスキ−ほかは、分布型ブラッグ反
射器部と活性部とこれらの間の位相制御部とからなる３
部構造を用いている。活性部と空気とのインタ−フェ−
スと、反射器部との間では、共振部が構成される。
【００１２】運用の際は、反射器部の格子部分の電流を
用いて共振周波数を同調させ、一方、活性部の電流でフ
ィルタの光利得を調整する。上に述べた種々の光フィル
タと同様に、この光フィルタは同調範囲を効率的に減少
させる伝送ピ−クを多数有している。カゾフスキ−ほか
は、もし位相制御部の長さがゼロならただ１個の伝送ピ
−クを得ることが可能というが、これは、反射器部とイ
ンタ−フェ−スとの間のマッチングが、互いに連続しな
い波長でしか得られないことから、同調が不連続になる
ので望ましくない。
用いて共振周波数を同調させ、一方、活性部の電流でフ
ィルタの光利得を調整する。上に述べた種々の光フィル
タと同様に、この光フィルタは同調範囲を効率的に減少
させる伝送ピ−クを多数有している。カゾフスキ−ほか
は、もし位相制御部の長さがゼロならただ１個の伝送ピ
−クを得ることが可能というが、これは、反射器部とイ
ンタ−フェ−スとの間のマッチングが、互いに連続しな
い波長でしか得られないことから、同調が不連続になる
ので望ましくない。
【００１３】周波数同調型光フィルタで、特に加入者回
路ネットワ−クにおいて、利用可能な同調チャンネルの
数を増加させるような広い同調範囲を有するフィルタが
あれば非常に興味深い。しかし、例えば活性部を用い
て、フィルタ内での減衰を最小にすることも望ましい
が、一方、活性部における自然発生的放射によって、運
用に有害な影響を及ぼす雑音が発生することが確認され
ている。更に又、活性部を用いると、濾波された出力信
号が入力信号に対して非線形に変化させることになり、
この非線形化を補償するにはバイアス電流を調整しなけ
ればならない。
路ネットワ−クにおいて、利用可能な同調チャンネルの
数を増加させるような広い同調範囲を有するフィルタが
あれば非常に興味深い。しかし、例えば活性部を用い
て、フィルタ内での減衰を最小にすることも望ましい
が、一方、活性部における自然発生的放射によって、運
用に有害な影響を及ぼす雑音が発生することが確認され
ている。更に又、活性部を用いると、濾波された出力信
号が入力信号に対して非線形に変化させることになり、
この非線形化を補償するにはバイアス電流を調整しなけ
ればならない。
【００１４】関連した問題点は、同調範囲に対するフィ
ルタ帯域幅の比率が低いと、所定の漏話レベルに対して
利用可能なチャンネルの数が制限されることである。
ルタ帯域幅の比率が低いと、所定の漏話レベルに対して
利用可能なチャンネルの数が制限されることである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明が提供する光フィ
ルタは、特徴的なただ１個の伝送ピ−クを持たせて同調
性を増すようにした光フィルタであって、分布型ブラッ
グ反射器部と高反射率鏡との間に位相制御部を配置して
なる波長同調型光フィルタである。位相制御部又は分布
型ブラッグ反射器部のいずれかの屈折率を制御すること
によって、数ＴＨｚの範囲に対して連続した同調性が得
られる。
ルタは、特徴的なただ１個の伝送ピ−クを持たせて同調
性を増すようにした光フィルタであって、分布型ブラッ
グ反射器部と高反射率鏡との間に位相制御部を配置して
なる波長同調型光フィルタである。位相制御部又は分布
型ブラッグ反射器部のいずれかの屈折率を制御すること
によって、数ＴＨｚの範囲に対して連続した同調性が得
られる。
【００１６】本発明の一実施例においては、分布型ブラ
ッグ反射器部と位相制御部とを基板上に配置し、位相制
御部の端部小平面を高反射率鏡で覆っている。この分布
型ブラッグ反射器部は、受動導波路領域の端部上を覆っ
て位置する周期格子からなり、一方、位相制御部は、受
動導波路領域の、周期格子と鏡との間に位置する部分か
らなっている。運用の際の濾波作用は、前記の周期格子
と鏡との間に光空洞共振部が形成され、もし分布型ブラ
ッグ反射器部の周波数において往復光路長が２πの整数
倍なら、この光空洞共振部によって分布型ブラッグ反射
器部の周波数の近くで強い共振が生じる、という原理に
基づいている。
ッグ反射器部と位相制御部とを基板上に配置し、位相制
御部の端部小平面を高反射率鏡で覆っている。この分布
型ブラッグ反射器部は、受動導波路領域の端部上を覆っ
て位置する周期格子からなり、一方、位相制御部は、受
動導波路領域の、周期格子と鏡との間に位置する部分か
らなっている。運用の際の濾波作用は、前記の周期格子
と鏡との間に光空洞共振部が形成され、もし分布型ブラ
ッグ反射器部の周波数において往復光路長が２πの整数
倍なら、この光空洞共振部によって分布型ブラッグ反射
器部の周波数の近くで強い共振が生じる、という原理に
基づいている。
【００１７】本発明の原理に基づいて、光フィルタを光
量子回路に組み込み集積して、同調型受波器として使用
できる。更に又、周波数切換時間を数ｎｓとすることが
期待できるので、本発明の光フィルタを伝送と切換との
両方の用途に使用できる。以下、図面を参照して、本発
明を実施例について説明する。これにより、本発明を更
に容易に理解できよう。
量子回路に組み込み集積して、同調型受波器として使用
できる。更に又、周波数切換時間を数ｎｓとすることが
期待できるので、本発明の光フィルタを伝送と切換との
両方の用途に使用できる。以下、図面を参照して、本発
明を実施例について説明する。これにより、本発明を更
に容易に理解できよう。
【００１８】
【実施例】本発明の光フィルタの実施例を略図で 図１
に示す。 光フィルタ１００は、分布型ブラッグ反射
器（ＤＢＲ）部１０１と位相制御部１０２とを基板１０
６上に配置し、この位相制御部１０２の端部小平面を高
反射率鏡１０３で覆ってなる。基板１０６は、ＤＢＲ部
と位相制御部とが有する屈折率より低い屈折率を有す
る。ＤＢＲ部１０１は、周期格子１０８（すなわち分布
型ブラッグ反射器）と、受動導波路領域１０７の、周期
格子１０８の下にある部分とからなり、一方、位相制御
部１０２は、受動導波路領域１０７の、周期格子１０８
と高反射率鏡１０３との間にある部分からなる。
に示す。 光フィルタ１００は、分布型ブラッグ反射
器（ＤＢＲ）部１０１と位相制御部１０２とを基板１０
６上に配置し、この位相制御部１０２の端部小平面を高
反射率鏡１０３で覆ってなる。基板１０６は、ＤＢＲ部
と位相制御部とが有する屈折率より低い屈折率を有す
る。ＤＢＲ部１０１は、周期格子１０８（すなわち分布
型ブラッグ反射器）と、受動導波路領域１０７の、周期
格子１０８の下にある部分とからなり、一方、位相制御
部１０２は、受動導波路領域１０７の、周期格子１０８
と高反射率鏡１０３との間にある部分からなる。
【００１９】本発明は本実施例によってその一般性又は
適用性を損なわれるものではないが、本実施例において
は、濾波された光信号１０５が光フィルタ１００から出
て行くまで、受動導波路領域１０７が光信号１０４の伝
搬を支える。一般に、受動導波路領域１０７には、誘電
性導波路、多重量子井戸導波路、金属非拡散ニオブ酸リ
チウム又はタンタル酸リチウム製導波路、等を含むと理
解されたい。
適用性を損なわれるものではないが、本実施例において
は、濾波された光信号１０５が光フィルタ１００から出
て行くまで、受動導波路領域１０７が光信号１０４の伝
搬を支える。一般に、受動導波路領域１０７には、誘電
性導波路、多重量子井戸導波路、金属非拡散ニオブ酸リ
チウム又はタンタル酸リチウム製導波路、等を含むと理
解されたい。
【００２０】更に、周期格子１０８によって、実質上空
間的に周期的な微小変動が、受動導波路領域１０７の一
部に生じる。受動導波路領域１０７の屈折率は、電気接
点１０９及び１１０を経て電場を付加することにより又
は電流を注入することにより、変化させる得ることが望
ましい。こうすることによって、周期格子１０８と鏡１
０３との間の相対位相を望む位相にでき、又、周期格子
１０８に関連してブラッグ周波数を変えることができ
る。
間的に周期的な微小変動が、受動導波路領域１０７の一
部に生じる。受動導波路領域１０７の屈折率は、電気接
点１０９及び１１０を経て電場を付加することにより又
は電流を注入することにより、変化させる得ることが望
ましい。こうすることによって、周期格子１０８と鏡１
０３との間の相対位相を望む位相にでき、又、周期格子
１０８に関連してブラッグ周波数を変えることができ
る。
【００２１】運用の際の濾波作用は、前記の周期格子と
鏡との間に光空洞共振部が形成され、もし分布型ブラッ
グ反射器部の周波数において往復光路長が２πの整数倍
なら、この光空洞共振部によって分布型ブラッグ反射器
部の周波数ｆBの近くで強い共振が生じる、という原理
に基づいている。
鏡との間に光空洞共振部が形成され、もし分布型ブラッ
グ反射器部の周波数において往復光路長が２πの整数倍
なら、この光空洞共振部によって分布型ブラッグ反射器
部の周波数ｆBの近くで強い共振が生じる、という原理
に基づいている。
【００２２】分布型ブラッグ反射器部の周波数の近くで
の強い共振を得るために、高反射率鏡１０３には周期格
子１０８のピ−ク反射率に匹敵する反射率を持たせる必
要がある。この反射率は、一般的には０.７ を超える値
である。加えて、周期格子１０８と鏡１０３との間に形
成された光空洞共振部のただ１つのファブリ・ペロ−・
モ−ドだけが周期格子１０８の伝送特性の主ロ−ブに入
るようにする必要がある。必要な位相偏移を得るために
は、例えば屈折率を変えることによって位相制御部１０
２内の光路長を調整すればよい。
の強い共振を得るために、高反射率鏡１０３には周期格
子１０８のピ−ク反射率に匹敵する反射率を持たせる必
要がある。この反射率は、一般的には０.７ を超える値
である。加えて、周期格子１０８と鏡１０３との間に形
成された光空洞共振部のただ１つのファブリ・ペロ−・
モ−ドだけが周期格子１０８の伝送特性の主ロ−ブに入
るようにする必要がある。必要な位相偏移を得るために
は、例えば屈折率を変えることによって位相制御部１０
２内の光路長を調整すればよい。
【００２３】ファブリ・ペロ−・エタロンがいくつかの
周期的伝送ピ−クを有することと、従来技術の分布帰還
型要素に基づく光フィルタが、高伝送領域に囲まれた狭
い低伝送領域に伝送ピ−クを有することとに比べ対照的
に、光フィルタ１００は、鏡１０３の高反射率が周波数
によって選択できる周期格子１０８の反射率と結合して
いるためと、両者間の関係とから、実質上ただ１つの伝
送ピ−クを有する。
周期的伝送ピ−クを有することと、従来技術の分布帰還
型要素に基づく光フィルタが、高伝送領域に囲まれた狭
い低伝送領域に伝送ピ−クを有することとに比べ対照的
に、光フィルタ１００は、鏡１０３の高反射率が周波数
によって選択できる周期格子１０８の反射率と結合して
いるためと、両者間の関係とから、実質上ただ１つの伝
送ピ−クを有する。
【００２４】光フィルタ１００の製作には、技術的に周
知の通常の製作技術、例えば液相エピタクシ−、分子線
エピタクシ−、又は気相エピタクシ−を用いるとよい。
周期格子１０８を受動導波路領域１０７の表面上に作る
には、干渉又はホログラフィ−技術を含む標準的マスキ
ング及びエッチング技術を使用する。周期格子１０８の
形状、深さ、及びピッチ又は周期は、格子の配置及びそ
れから得たい結果に従って変える。
知の通常の製作技術、例えば液相エピタクシ−、分子線
エピタクシ−、又は気相エピタクシ−を用いるとよい。
周期格子１０８を受動導波路領域１０７の表面上に作る
には、干渉又はホログラフィ−技術を含む標準的マスキ
ング及びエッチング技術を使用する。周期格子１０８の
形状、深さ、及びピッチ又は周期は、格子の配置及びそ
れから得たい結果に従って変える。
【００２５】導波路領域１０７が受動であること、すな
わち、その禁制帯エネルギ−は、光フィルタ１００の特
徴的な伝送ピ−クに関連した波長の光量子エネルギ−よ
り大きいことを理解されたい。高反射率鏡１０３を作る
には、位相制御部１０２の端部小表面を、例えば、蒸着
工程を用いて高反射率の薄膜又は金属性薄膜で覆って鏡
とする。
わち、その禁制帯エネルギ−は、光フィルタ１００の特
徴的な伝送ピ−クに関連した波長の光量子エネルギ−よ
り大きいことを理解されたい。高反射率鏡１０３を作る
には、位相制御部１０２の端部小表面を、例えば、蒸着
工程を用いて高反射率の薄膜又は金属性薄膜で覆って鏡
とする。
【００２６】図１ に示すように、ＤＢＲ部１０１は、
周期格子１０８と受動導波路領域１０７の一部とからな
る。又、ＤＢＲ部１０１は、共振周波数又はブラッグ周
波数ｆB を中心とする主ロ−ブ、一般的には 図２ に
示すような、数ｎｍ幅の主ロ−ブを特徴とする伝送反射
特性を表す。導波路領域に位置させた第１次の格子に対
して、ブラッグ周波数ｆB は、次に示す数式 数１ で
与えられる。
周期格子１０８と受動導波路領域１０７の一部とからな
る。又、ＤＢＲ部１０１は、共振周波数又はブラッグ周
波数ｆB を中心とする主ロ−ブ、一般的には 図２ に
示すような、数ｎｍ幅の主ロ−ブを特徴とする伝送反射
特性を表す。導波路領域に位置させた第１次の格子に対
して、ブラッグ周波数ｆB は、次に示す数式 数１ で
与えられる。
【００２７】
【数１】
【００２８】数１ において、ｎeffは導波路領域の導
波モ−ドの有効屈折率、又、Λは格子の周期である。周
期格子はブラッグ周波数ｆBにおいて最大又はピ−ク反
射率を示すことに留意されたい。
波モ−ドの有効屈折率、又、Λは格子の周期である。周
期格子はブラッグ周波数ｆBにおいて最大又はピ−ク反
射率を示すことに留意されたい。
【００２９】本発明の光フィルタにおいて、ＤＢＲ部１
０１への入射光は、緩慢に変化する２つの対向伝搬波を
発生させる。これらの対向伝搬波は、次に示す 数２、
数３、及び数４ の方程式に従う。
０１への入射光は、緩慢に変化する２つの対向伝搬波を
発生させる。これらの対向伝搬波は、次に示す 数２、
数３、及び数４ の方程式に従う。
【００３０】
【数２】
【００３１】
【数３】
【００３２】
【数４】
【００３３】上に示した数式 数２、数３、及び数４
の方程式において、Ｒ（ｚ）及びＳ（ｚ）は２つの波の
複素振幅、δはブラッグ角周波数ωB からの偏差量、ｃ
は真空中の光速、ｎdbr はＤＢＲ部の屈折率、−αはｃ
ｍ当りの振幅損失、又、κは結合定数である。当業者
は、周期格子１０８、すなわち格子の起伏の深さ、導波
路の屈折率、及び格子の位置、に起因する導波路領域の
有効屈折率の変化によって、結合定数κが決まることに
留意されよう。上に示した方程式の一般解は技術上周知
である。例えば、Ｈ．コゲルニク（H.Kogelnik）ほかの
論文（応用物理学会誌（J.Appl.Phys.）第４３巻、第５
号、２３２７〜２３３５ペ−ジ、１９７２年）参照され
たい。
の方程式において、Ｒ（ｚ）及びＳ（ｚ）は２つの波の
複素振幅、δはブラッグ角周波数ωB からの偏差量、ｃ
は真空中の光速、ｎdbr はＤＢＲ部の屈折率、−αはｃ
ｍ当りの振幅損失、又、κは結合定数である。当業者
は、周期格子１０８、すなわち格子の起伏の深さ、導波
路の屈折率、及び格子の位置、に起因する導波路領域の
有効屈折率の変化によって、結合定数κが決まることに
留意されよう。上に示した方程式の一般解は技術上周知
である。例えば、Ｈ．コゲルニク（H.Kogelnik）ほかの
論文（応用物理学会誌（J.Appl.Phys.）第４３巻、第５
号、２３２７〜２３３５ペ−ジ、１９７２年）参照され
たい。
【００３４】更に、上記の２つの対向伝搬波は、位相制
御部１０２内においてある種の波動方程式と次の境界条
件、すなわちＳ（Ｌpc）＝ｒ・Ｒ（Ｌpc）とを満足する
必要がある。ここにおいて、ｒは鏡の反射率、又、複素
振幅Ｒ（ｚ）及びＳ（ｚ）はＤＢＲ部と位相制御部との
間のインタ−フェ−スにおいて連続である。これらの境
界条件の下で光フィルタ１００の電力伝送は次に示す数
式 数５ で与えられることが分かっている。
御部１０２内においてある種の波動方程式と次の境界条
件、すなわちＳ（Ｌpc）＝ｒ・Ｒ（Ｌpc）とを満足する
必要がある。ここにおいて、ｒは鏡の反射率、又、複素
振幅Ｒ（ｚ）及びＳ（ｚ）はＤＢＲ部と位相制御部との
間のインタ−フェ−スにおいて連続である。これらの境
界条件の下で光フィルタ１００の電力伝送は次に示す数
式 数５ で与えられることが分かっている。
【００３５】
【数５】
【００３６】上に示した数式 数５ おいて、Ｌdbrは
ＤＢＲ部の長さ、γは、κ2＋（α−ｊδ）2 で与えら
れる複素伝搬定数、Ｌpcは位相制御部１０２の長さ、ｎ
pcは位相制御部１０２の屈折率、又、ｋpcは（ωｎpc／
ｃ）＋ｊαで与えられる。
ＤＢＲ部の長さ、γは、κ2＋（α−ｊδ）2 で与えら
れる複素伝搬定数、Ｌpcは位相制御部１０２の長さ、ｎ
pcは位相制御部１０２の屈折率、又、ｋpcは（ωｎpc／
ｃ）＋ｊαで与えられる。
【００３７】計算機シミュレ−ションから得た一例にお
いて、光フィルタ１００の電力伝送を次の媒介変数、す
なわちＬdbr＝１５０μｍ；Ｌpc＝５０μｍ；κＬdbr＝
３；ｒ2＝０.９９５；及びα＝−０.０５５ｃｍ-1 を用
いて計算した。
いて、光フィルタ１００の電力伝送を次の媒介変数、す
なわちＬdbr＝１５０μｍ；Ｌpc＝５０μｍ；κＬdbr＝
３；ｒ2＝０.９９５；及びα＝−０.０５５ｃｍ-1 を用
いて計算した。
【００３８】第３図は、上記の媒介変数を用いて位相偏
移をπ／２（９０゜）としたときの光フィルタ１００の
伝送特性を示す。同図から、３ｄＢの帯域幅が５ＧＨｚ
未満で、山対谷の比が２９ｄＢよりよいという結果が得
られたことに留意されたい。これに加えて、山対サイド
ロ−ブ比を１９ｄＢよりもよくすれば、複数の波長分割
多重信号を周期格子１０８の中央主ロ−ブ内に拘束しな
くとも、これら複数の信号から単一チャンネルを選べる
ことにも留意されたい。これはもちろん、１９ｄＢの漏
話は許容できることを仮定してのことである。更に、挿
入損失を１ｄＢ未満と予想した。
移をπ／２（９０゜）としたときの光フィルタ１００の
伝送特性を示す。同図から、３ｄＢの帯域幅が５ＧＨｚ
未満で、山対谷の比が２９ｄＢよりよいという結果が得
られたことに留意されたい。これに加えて、山対サイド
ロ−ブ比を１９ｄＢよりもよくすれば、複数の波長分割
多重信号を周期格子１０８の中央主ロ−ブ内に拘束しな
くとも、これら複数の信号から単一チャンネルを選べる
ことにも留意されたい。これはもちろん、１９ｄＢの漏
話は許容できることを仮定してのことである。更に、挿
入損失を１ｄＢ未満と予想した。
【００３９】上に述べたように、同調は、位相制御部１
０２に電流を注入することによっても得られ、これによ
って自由キャリア吸収に対するその材料の有効屈折率が
決まる。第４図は、周期格子１０８と高反射率鏡１０３
との間の位相偏移を種々異なる値にした場合の光フィル
タ１００の伝送特性を示す。すなわち、４００−１から
４００−５までの曲線は、６０゜から１２０゜までの間
で１５゜づつの段差を付けた位相偏移値のそれぞれにつ
いての伝送特性を表す。その上、例えばＤＢＲ部の屈折
率を変えることによってブラッグ周波数を変えて伝送曲
線を４００−１から４００−５に移すことも更に可能で
ある。
０２に電流を注入することによっても得られ、これによ
って自由キャリア吸収に対するその材料の有効屈折率が
決まる。第４図は、周期格子１０８と高反射率鏡１０３
との間の位相偏移を種々異なる値にした場合の光フィル
タ１００の伝送特性を示す。すなわち、４００−１から
４００−５までの曲線は、６０゜から１２０゜までの間
で１５゜づつの段差を付けた位相偏移値のそれぞれにつ
いての伝送特性を表す。その上、例えばＤＢＲ部の屈折
率を変えることによってブラッグ周波数を変えて伝送曲
線を４００−１から４００−５に移すことも更に可能で
ある。
【００４０】したがって、位相制御部とＤＢＲ部との屈
折率をそれぞれ変えることによって精粗両方の同調が可
能であり、結果として、広い周波数範囲にわたって連続
した同調性が得られる。位相制御部又はＤＢＲ部のいず
れかに金属製接点を設けることによって電位源を取り付
ける手段が得られ、この領域に電流を注入することがで
きる。オ−ム接点を設けるには、金属製薄膜多層蒸着、
合金蒸着、スパッタリング及び焼なましのような標準的
オ−ム接点製作技術を用いる。
折率をそれぞれ変えることによって精粗両方の同調が可
能であり、結果として、広い周波数範囲にわたって連続
した同調性が得られる。位相制御部又はＤＢＲ部のいず
れかに金属製接点を設けることによって電位源を取り付
ける手段が得られ、この領域に電流を注入することがで
きる。オ−ム接点を設けるには、金属製薄膜多層蒸着、
合金蒸着、スパッタリング及び焼なましのような標準的
オ−ム接点製作技術を用いる。
【００４１】自由キャリア吸収以外のいくつかの基本現
象を利用して、上記の位相制御部又はＤＢＲ部の屈折率
を変えてもよい。屈折率の、虚数部分における変化（す
なわち損失）に対する実数部分における変化の比率を最
大にすることが望ましい。こうすれば、関連して位相を
偏移させることによってバックグラウンド材料における
損失に対する追加損失を最小にできる。いい替えれば、
屈折率における変化Δｎによる追加損失−Δαを最小に
する必要がある。
象を利用して、上記の位相制御部又はＤＢＲ部の屈折率
を変えてもよい。屈折率の、虚数部分における変化（す
なわち損失）に対する実数部分における変化の比率を最
大にすることが望ましい。こうすれば、関連して位相を
偏移させることによってバックグラウンド材料における
損失に対する追加損失を最小にできる。いい替えれば、
屈折率における変化Δｎによる追加損失−Δαを最小に
する必要がある。
【００４２】その方法の一例は、多重量子井戸（ＭＱ
Ｗ）導波路を使用し、これに電場を付加することによっ
て構造部を同調させる方法である。ＭＱＷ導波路を用い
ると材料の損失がより少なくなり、屈折率への損失の依
存度がより少なくなることが認証されたので、この方法
は更に望ましい。例えばＲ．Ｊ．デリ−ほかの論文（応
用物理通信（Appl.Phys.Lett.） 第５４巻、第１８号、
１７３７〜１７３９ペ−ジ、１９８９年）を参照された
い。例えばＭＱＷ導波路においては、屈折率の実数部分
の虚数部分に対する比率は同調を電流注入によって得る
場合よりも約２０倍大きい。
Ｗ）導波路を使用し、これに電場を付加することによっ
て構造部を同調させる方法である。ＭＱＷ導波路を用い
ると材料の損失がより少なくなり、屈折率への損失の依
存度がより少なくなることが認証されたので、この方法
は更に望ましい。例えばＲ．Ｊ．デリ−ほかの論文（応
用物理通信（Appl.Phys.Lett.） 第５４巻、第１８号、
１７３７〜１７３９ペ−ジ、１９８９年）を参照された
い。例えばＭＱＷ導波路においては、屈折率の実数部分
の虚数部分に対する比率は同調を電流注入によって得る
場合よりも約２０倍大きい。
【００４３】光フィルタ１００の性能を更によく理解す
るためには、種々の物理的媒介変数の影響にも留意され
たい。計算によると、κＬdbr の値が大きい場合導波路
の損失の影響は増幅され、一方、この値が小さすぎると
強い共振が得られず、共振伝送ピ−ク値の減少をもたら
す。位相制御部の長さは、連続同調が得られるような長
さにする必要があるが、又、そこでの損失が最小になる
ような短さにもすることが望ましい。
るためには、種々の物理的媒介変数の影響にも留意され
たい。計算によると、κＬdbr の値が大きい場合導波路
の損失の影響は増幅され、一方、この値が小さすぎると
強い共振が得られず、共振伝送ピ−ク値の減少をもたら
す。位相制御部の長さは、連続同調が得られるような長
さにする必要があるが、又、そこでの損失が最小になる
ような短さにもすることが望ましい。
【００４４】特に興味があるのは、もし鏡の反射率が格
子の最大反射率よりもかなり大きい場合、共振周波数に
おける入射光は伝送されるよりもむしろ反射されるの
で、伝送は減少する、という事実である。ここで想起願
いたいのは、鏡には分布型ブラッグ反射器のピ−ク反射
率に匹敵する反射率を持たせるようにする必要があり、
それによって、十分に強い共振が存在するようになり、
更に、この共振によって、光フィルタがただ１個の伝送
ピ−クを示すようになる、ということである。鏡及び分
布型ブラッグ反射器の反射率の値は、許容漏話レベル、
所要山谷比、及び結合損失等の要素に基づいている。
子の最大反射率よりもかなり大きい場合、共振周波数に
おける入射光は伝送されるよりもむしろ反射されるの
で、伝送は減少する、という事実である。ここで想起願
いたいのは、鏡には分布型ブラッグ反射器のピ−ク反射
率に匹敵する反射率を持たせるようにする必要があり、
それによって、十分に強い共振が存在するようになり、
更に、この共振によって、光フィルタがただ１個の伝送
ピ−クを示すようになる、ということである。鏡及び分
布型ブラッグ反射器の反射率の値は、許容漏話レベル、
所要山谷比、及び結合損失等の要素に基づいている。
【００４５】光フィルタ１００は活性領域を用いないの
で、いくつかの実際的な利点が得られる。例えば、構造
内に活性材料がないので、従来技術の分布帰還型要素又
は分布型ブラッグ反射器レ−ザに基づいたフィルタと異
なり、出力電力レベルは入力電力レベルに対して線形に
変化する。上記従来技術のフィルタの光利得は入力電力
レベルに対して非線形である。尚、利得を用いるフィル
タにおいて、バイアス電流を調整して非線形を補償でき
るというのは事実ではあるが、このような補償技術は簡
単なことではなく、その上コストもかかる。又、光フィ
ルタ１００は受動導波路領域を用いているので、自然発
生的放射による雑音もないことにも留意されたい。
で、いくつかの実際的な利点が得られる。例えば、構造
内に活性材料がないので、従来技術の分布帰還型要素又
は分布型ブラッグ反射器レ−ザに基づいたフィルタと異
なり、出力電力レベルは入力電力レベルに対して線形に
変化する。上記従来技術のフィルタの光利得は入力電力
レベルに対して非線形である。尚、利得を用いるフィル
タにおいて、バイアス電流を調整して非線形を補償でき
るというのは事実ではあるが、このような補償技術は簡
単なことではなく、その上コストもかかる。又、光フィ
ルタ１００は受動導波路領域を用いているので、自然発
生的放射による雑音もないことにも留意されたい。
【００４６】本発明の光フィルタは多くの用途に有用で
あることが予想される。例えば、光量子集積回路におい
て同調型前置フィルタとして使用できる。周波数切換時
間を数ｎｓにすることが期待できるので、周波数分割多
重システムのような伝送用途だけでなく、切換用途にも
実用的である。
あることが予想される。例えば、光量子集積回路におい
て同調型前置フィルタとして使用できる。周波数切換時
間を数ｎｓにすることが期待できるので、周波数分割多
重システムのような伝送用途だけでなく、切換用途にも
実用的である。
【００４７】ＤＢＲ部及び位相制御部、すなわち受動導
波路領域の製作には、ＩＩ−ＶＩ及びＩＩＩ−Ｖ族半導
体の材料を用いてもよい。
波路領域の製作には、ＩＩ−ＶＩ及びＩＩＩ−Ｖ族半導
体の材料を用いてもよい。
【００４８】以上の説明は、本発明の一実施例に関する
もので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々
の変形例を考え得るが、それらはいずれも本発明の技術
的範囲に包含される。例えば、格子の周期性を変え、又
は格子の強度を漸変することにより伝送ピ−クをより鋭
くも、より平坦にも、又、より狭くも設計でき、更に
は、山対サイドロ−ブ比を増大させて周波数選択性を高
めることもできる。
もので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々
の変形例を考え得るが、それらはいずれも本発明の技術
的範囲に包含される。例えば、格子の周期性を変え、又
は格子の強度を漸変することにより伝送ピ−クをより鋭
くも、より平坦にも、又、より狭くも設計でき、更に
は、山対サイドロ−ブ比を増大させて周波数選択性を高
めることもできる。
【００４９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、波
長同調型光フィルタを受動型要素で構成し、ただ１個の
伝送ピークを持たせたので、フィルタの波長同調性が増
大する。又、位相制御部とＤＢＲ部との屈折率をそれぞ
れ変えることによって精粗両方の同調が可能であり、広
い周波数範囲にわたって連続した同調性が得られる。周
波数切換時間を数ｎｓにすることが期待できるので、周
波数分割多重システムのような伝送用途だけでなく、切
換用途にも実用的である。その上、構造内に活性材料を
用いていないので、入力電力レベルに対して線形に変化
する出力電力レベルが得られ、自然発生的放射による雑
音もない。
長同調型光フィルタを受動型要素で構成し、ただ１個の
伝送ピークを持たせたので、フィルタの波長同調性が増
大する。又、位相制御部とＤＢＲ部との屈折率をそれぞ
れ変えることによって精粗両方の同調が可能であり、広
い周波数範囲にわたって連続した同調性が得られる。周
波数切換時間を数ｎｓにすることが期待できるので、周
波数分割多重システムのような伝送用途だけでなく、切
換用途にも実用的である。その上、構造内に活性材料を
用いていないので、入力電力レベルに対して線形に変化
する出力電力レベルが得られ、自然発生的放射による雑
音もない。
【図１】 本発明の実施例である光フィルタの断面
斜視図である。
斜視図である。
【図２】分布型ブラッグ反射器（ＤＲＢ）部の反射伝送
特性を周波数の関数として示す線図である。
特性を周波数の関数として示す線図である。
【図３】図１ の光フィルタの伝送特性を示す線図であ
る。
る。
【図４】図１ の光フィルタの伝送特性を、光位相偏移
を６０゜から１２０゜に変えた場合について示す線図で
ある。
を６０゜から１２０゜に変えた場合について示す線図で
ある。
１００ 光フィルタ １０１ 分布型ブラッグ反射器（ＤＢＲ）部 １０２ 位相制御部 １０３ 高反射率鏡 １０４ 光信号 １０５ 光信号 １０６ 基板 １０７ 受動導波路領域 １０８ 周期格子 １０９ 接点 １１０ 接点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アイサム エム．アイ．ハバブ アメリカ合衆国 08857 ニュージャー ジイ、オールド ブリッジ、ピューター コート 297 (72)発明者 シェリル レイ ウッドワード アメリカ合衆国 07738 ニュージャー ジイ、リンクロフト、リーズビル ドラ イブ 84 (56)参考文献 特開 平１−136116（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−242422（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−175277（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−278291（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−11046（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−244431（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−178635（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−203729（ＪＰ，Ｕ) 国際公開88／9917（ＷＯ，Ａ) 米国特許4057321（ＵＳ，Ａ) Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，Ｖ ｏｌ．53 Ｎｏ．２ ＰＰ．83−85 （1988) Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，Ｖ ｏｌ．54 Ｎｏ．19 ＰＰ．1859−1860 （1989) ＩＥＥＥ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏ ｎｓ Ｍａｇａｚｉｎｅ，Ｏｃｔ．ｐ ｐ．53−63（1989) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02F 1/00 - 1/035 G02B 6/12 - 6/14 H01S 3/18 H01S 3/10 H01S 3/106 - 3/107
Claims (7)
- 【請求項１】 波長選択可能光フィルタにおいて、 多重量子井戸および端部小平面を有し光信号を伝搬させ
る受動導波路領域と、 前記受動導波路領域の前記光信号の伝搬方向に平行な表
面上に設けられた、ピーク反射率を有する分布型ブラッ
グ反射器部と、 前記光フィルタの透過特性を波長に対して偏移させるた
めに前記受動導波路領域の有効屈折率を変化させる手段
と、 前記端部小平面上に設けられた鏡とからなり、 該鏡の反射率は、前記分布型ブラッグ反射器部のピーク
反射率に関係しかつ該鏡と前記分布型ブラッグ反射器と
の間に十分な強さの共振を存在させるような反射率であ
り、該共振により前記光フィルタは連続した波長帯域に
属する複数の選択可能な波長のうちから選択される波長
においてただ１個の透過ピークを示し、該透過ピーク
は、前記複数の選択可能な波長のそれぞれに対してほぼ
等しいレベルに調整可能であることを特徴とする波長選
択可能光フィルタ。 - 【請求項２】 前記受動導波路領域の有効屈折率を変化
させる手段は、前記受動導波路領域の所定部分に電圧を
かけるための一対の接点を含むことを特徴とする請求項
１の光フィルタ。 - 【請求項３】 前記受動導波路領域の前記所定部分は、
前記分布型ブラッグ反射器部と前記鏡との間に位置する
ことを特徴とする請求項２の光フィルタ。 - 【請求項４】 前記受動導波路領域の前記所定部分は、
前記分布型ブラッグ反射器部の下に位置することを特徴
とする請求項２の光フィルタ。 - 【請求項５】 前記鏡は、誘電性薄膜を含むことを特徴
とする請求項１の光フィルタ。 - 【請求項６】 前記鏡は、金属製薄膜を含むことを特徴
とする請求項１の光フィルタ。 - 【請求項７】 前記受動導波路領域は、ニオブ酸リチウ
ム製の導波路を含むことを特徴とする請求項５または６
の光フィルタ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US449040 | 1989-12-12 | ||
| US07/449,040 US5022730A (en) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | Wavelength tunable optical filter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04211220A JPH04211220A (ja) | 1992-08-03 |
| JP2813067B2 true JP2813067B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=23782635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2405350A Expired - Lifetime JP2813067B2 (ja) | 1989-12-12 | 1990-12-06 | 光フィルタ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5022730A (ja) |
| JP (1) | JP2813067B2 (ja) |
| CA (1) | CA2029051C (ja) |
| GB (1) | GB2239100B (ja) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5784507A (en) * | 1991-04-05 | 1998-07-21 | Holm-Kennedy; James W. | Integrated optical wavelength discrimination devices and methods for fabricating same |
| US5216680A (en) * | 1991-07-11 | 1993-06-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Optical guided-mode resonance filter |
| US5218655A (en) * | 1992-05-29 | 1993-06-08 | At&T Bell Laboratories | Article comprising an optical waveguide with in-line refractive index grating |
| CA2101411C (en) * | 1992-08-14 | 2003-06-10 | Jean-Pierre Weber | Tunable optical filter |
| SE470454B (sv) * | 1992-08-26 | 1994-04-11 | Ericsson Telefon Ab L M | Optisk filteranordning |
| SE502139C2 (sv) * | 1992-12-09 | 1995-08-28 | Ellemtel Utvecklings Ab | Elektriskt styrbar filteranordning |
| JPH06216467A (ja) * | 1993-01-19 | 1994-08-05 | Hitachi Ltd | 半導体光分散補償器 |
| CA2122327A1 (en) * | 1993-09-10 | 1995-03-11 | Rodney Clifford Alferness | Polarization-independent optical wavelength selective coupler |
| KR960702603A (ko) * | 1994-03-11 | 1996-04-27 | 에프. 제이. 스미트 | 전자기방사파의 주파수를 증가시키는 장치(Device for raising the frequency of eletromagnetic radiation) |
| US5515460A (en) * | 1994-12-22 | 1996-05-07 | At&T Corp. | Tunable silicon based optical router |
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