JP2810342B2 - Ic試験装置 - Google Patents
Ic試験装置Info
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- JP2810342B2 JP2810342B2 JP7321581A JP32158195A JP2810342B2 JP 2810342 B2 JP2810342 B2 JP 2810342B2 JP 7321581 A JP7321581 A JP 7321581A JP 32158195 A JP32158195 A JP 32158195A JP 2810342 B2 JP2810342 B2 JP 2810342B2
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Description
したIC試験装置に係り、特にアナログおよびデジタル
回路が混在しているICの測定に好適なものに関する。
を備えたミックスドシグナルデバイス(被測定IC)を
測定するには、A/Dコンバータ部分、D/Aコンバー
タ部分毎に、すなわちブロック単位毎にテストする必要
がある。
ックをロスタイムなしに続けてテストするためには、前
回のテスト終了後に直ちに次のテストを開始する必要が
ある。それには前回のテストの各ブロックの終了時間を
事前に正確に求めておかなくてはならない。しかし、ブ
ロック間でテスト終了時間が異なることはもちろん、同
一ブロックにおいてもテスト内容によってテスト終了時
間が異なるため、各ブロックについてテスト終了時間を
事前に正確に求めておくことは困難である。このため、
一般的には、前回のブロックのテストが確実に終了して
いることを保証するために、次のテストとの間に十分な
待ち時間を持たせることが行なわれているが、その待ち
時間分、テストタイムに余計に時間かかってしまい、種
々のテストが積み重なると待ち時間は無視できなくな
る。
トするために、IC試験装置には、被測定ICと直接接
続されるモジュールが用意されており、これは被測定I
Cにテスト信号を送ったり、被測定ICからのテスト信
号を受信したりするものである。図5に示すように、A
/D用モジュール24は被測定IC26内のA/Dコン
バータ27に対してアナログ入力信号を送信し、そのデ
ジタル出力信号を受信する。D/A用モジュール25は
被測定IC26内のD/Aコンバータ28に対してデジ
タル入力信号を送信し、そのアナログ出力信号を受信す
る。そして、A/D用モジュール24はA/Dコンバー
タ27のテストが終了するとモジュール終了信号eを、
またD/A用モジュール25はD/Aコンバータ28の
テストが終了するとモジュール終了信号fをそれぞれ出
力するようになっている。
するのではなく、これらのモジュール24、25から出
力されるモジュール終了信号を利用することによって、
間接的ではあるが、ブロックのテスト終了時間を正確に
知ることができるので、モジュール24、25から出力
されるモジュール終了信号e、fを検出するようにすれ
ばよい。
信号を単に検出するだけでは次のような不都合がある。
すなわち、テストによって選択されるモジュールと、選
択されないモジュールがあり、選択されるモジュールか
らはモジュール終了信号は出力されるが、選択されない
モジュールからはいつまでも終了信号が出ないことにな
る。したがって、モジュールからの終了信号を待ってテ
スト終了を検知するようにすると、いつまでもテスト終
了を検知できない場合が生じることになる。このため、
当該テストで、どのモジュールが選択されているかを明
らかにするモジュール選択条件を、テスト毎に設定して
やる必要がある。すなわち、モジュール選択条件を設定
することにより、選択されているモジュールについてだ
けモジュール終了信号を待ち、選択されていないモジュ
ールについては終了信号を待たないようにしてやればよ
い。
毎に選択条件をCPUによって書き変える方式である。
この方式を先程の図5を用いて説明する。
テストするテスト回路の概念図である。CPU21は、
あらかじめメモリ34に全テストの選択条件を書込んで
おき、各テスト終了時に次のテストの選択条件をレジス
タ23に格納する。レジスタ23は、CPU21によっ
て書き込まれた選択条件を次に書き変えられるまで保持
し、次のテストまでの間、前回書き込まれた選択条件を
出力する。ここで選択条件は、被測定IC26のA/D
コンバータ27またはD/Aコンバータ28のテストが
確実に終了しているかを確認するための条件であり、テ
ストで使用されるモジュール24、25を特定するもの
である。図示例では、これに対応して1テストの選択条
件で2出力を出すようにしてある。
2入力OR回路、すなわちA/Dコンバータ27に対応
するOR回路29、D/Aコンバータ28に対応するO
R回路30の一方の入力にそれぞれ入力され、各OR回
路29、30を選択条件に応じてエネーブルまたはディ
スエネーブルとする。例えば、レジスタ23からの選択
条件出力が“0“のときはエネーブル、“1“のときは
ディスエネーブルとする。2個のOR回路29、30が
いずれもエネーブルになるときは、A/D用モジュール
24、D/A用モジュール25のモジュール終了信号を
検出できる状態にあり、当該テストにおいてA/Dコン
バータ27およびD/Aコンバータ28のいずれもがテ
ストの対象となる。
応するOR回路29がディスエネーブルになっていると
きは、A/Dコンバータ27はテストの対象外となり、
またD/Aコンバータ28に対応するOR回路30がデ
ィスエネーブルになっているときは、D/Aコンバータ
28はテストの対象外となる。そして対応するA/D用
モジュール24、D/A用モジュール25からモジュー
ル終了信号が出なくても、既に出ているように設定す
る。出ないはずのモジュール終了信号を待たないように
するためである。
内のA/Dコンバータ27に対してアナログ入力信号を
送信し、そのデジタル出力信号を受信し、A/Dコンバ
ータ27のテストが終了すると終了信号eを出力する。
D/A用モジュール25は被測定IC26内のD/Aコ
ンバータ28に対してデジタル入力信号を送信し、その
アナログ出力信号を受信し、D/Aコンバータ28のテ
ストが終了すると終了信号fを出力する。
となっているOR回路29または30へ、選択されたモ
ジュール24または25からのモジュール終了信号が出
力されたとき、当該エネーブルとなっているOR回路2
9または30の出力に接続されたフリップフロップ(F
/F)31または32をセットする。なお、ディスエネ
ーブルとなっているOR回路29または30は、当初か
らF/F31または32をセットしている。したがっ
て、F/F31およびF/F32がともにセットされる
と、コンバータのテストが終了したことになる。
ンド回路33に入力され、2つのF/F31、32のい
ずれか一方の出力が“0“のときは、アンド回路33の
出力は“0“となり、両F/F出力がともに“1“のと
き、1テストが終了した旨の最終終了信号gがアンド回
路33から出力される。
ターン発生器(SQPG)22に入力される。ここでS
QPG22は、図示しないローカルメモリにあらかじめ
格納されているデータを読み出すことにより、被測定I
C26へシーケンシャルなテストパターンを発生するア
ドレス発生器である(なお、ローカルメモリを含めてS
QPGというときもある)。アンド回路33から最終終
了信号gが出力されると、それをSQPG22で検出
し、SQPG22からCPU21に割り込みをかけて、
当該テストが終了したことをCPU21へ知らせる。
は、メモリ34から次のテストのモジュール選択条件を
読み出して、これをレジスタ23に格納し、その格納さ
れた選択条件に基づいて次のテストが行なわれる。以
下、同様にして、テスト終了毎にCPU21でレジスタ
23の選択条件を書き直し、レジスタ23に格納された
モジュール選択条件に基づいて次のテストを順次行なっ
ていく。
毎にテストする場合に、シリアルにテストするときと、
パラレルにテストするときの2通りがある。
説明する。図6に示すように、CPU21は、メモリ3
4から読み出した最初のテストのモジュール選択条件を
レジスタ23に書き込み(a)、(b)、このモジュー
ル選択条件によって、まずA/Dコンバータ27のテス
トを行う(c)。A/Dコンバータ27のテストの終了
をA/D用モジュールの終了信号によってアンド回路3
3、SQPG22によって検出すると(f)、CPU2
1は、レジスタ23に格納されているモジュール選択条
件を、次のD/Aコンバータテストのモジュール選択条
件に書き直す(a)。次に、書き直されたモジュール選
択条件によってD/Aコンバータ28のテストを行い
(c)、D/A用モジュールの終了信号(e)をAND
回路33、SQPG22によって検出すると(d)、
(f)、CPU21はレジスタ23の内容を次の選択条
件を書き替える(a)。以下同様にしてテストを行なっ
ていく。この場合において、終了信号は最終終了信号に
等しくなる。
27とD/Aコンバータ28とをパラレルにテストする
ときについて説明する。図6のシリアルテストのときは
終了信号を最終終了信号として検出したが、パラレルテ
ストの場合には、図7に示すように、2個の終了信号
(d)、(e)のうち、もっとも遅い方の終了信号が最
終終了信号として検出される(f)。この最終終了信号
が検出される毎に、CPU21によってレジスタ23の
選択条件が書き直され、次のテストが実行される。
ラレルのいずれのテスト方法にせよ、上述した従来の回
路構成では、テストが実行されてから、次のテストを行
う前に、CPU21が介在してモジュール選択条件のソ
フトウェアによる書き直しを必要とするため、前述した
待ち時間を持たせる必要はなくなるものの、テスト間に
ロスタイムが発生し、なおテストタイムに時間かかると
いう欠点があった。
34から次のテストのモジュール選択条件を読み出し、
これをCPU21内に取り込み、さらにレジスタ23に
書込むというプログラムを、テスト内容が変る度に書か
なければならないため、プログラム作成が非常に面倒で
あった。
Uの選択条件の書き直し排除することによって、上述し
た従来技術の欠点を解消して、総テストタイムを短縮化
でき、しかもプログラム作成労力を軽減することが可能
なIC試験装置を提供することにある。
は、個別にテストを要求される複数のブロックから構成
された被測定ICの該ブロックを、シリアルまたはパラ
レルに複数回テストするIC試験装置において、上記複
数のブロックにこれらを個別にテストするためのテスト
信号を送信し、送信されたテスト信号に基づいて各ブロ
ックから出力される出力信号をそれぞれ受信するととも
に、各ブロックに送信されるテスト信号の送信終了時ま
たは各ブロックから出力される出力信号の受信終了時
に、ブロックのテストが終了した旨のモジュール終了信
号を各々出力する複数のモジュールを備える。
の中からモジュール終了信号を検出したいモジュールを
選択するためのモジュール選択条件をあらかじめ記憶す
る記憶手段と、選択条件により選択されたモジュールか
らモジュール終了信号が出力されたとき、これを検出し
て次のテストの選択条件を出力するためのアドレスを出
力する制御手段と、該制御手段から出力されたアドレス
をテスト毎に格納し、格納されたアドレスで上記記憶手
段をアクセスするレジスタとを備え、該レジスタに格納
されたアドレスにより上記記憶手段をアクセスして、当
該アドレスに記憶されている次のテストのモジュールを
選択する選択条件を出力するようにしたものである。
ついての各テストにおけるモジュール選択条件を記憶手
段に記憶させておく。そのうえで、まず記憶手段から最
初のテストの選択条件を読み出し、終了信号を検出した
いモジュールを選択する。
選択されたモジュールからモジュール終了信号が出力さ
れる。このモジュール終了信号は制御手段によって検出
される。この際、選択条件により終了信号を検出したい
モジュールのみが選択されるため、選択されていないモ
ジュールからのモジュール終了信号を制御手段がいつま
でも待って、検出未了となることはない。
出されると、制御手段から次のテストの選択条件を出力
するためのアドレスが出力され、そのアドレスはレジス
タに格納される。レジスタに格納されたアドレスをアク
セスされた記憶手段からは、あらかじめ記憶された次の
テストの選択条件が速やかに読み出され、その選択条件
にしたがって次のテストが実行される。
テストにおける選択条件を記憶させておけば、モジュー
ル終了信号を検出する度に、CPUを介在することな
く、次のテストのための選択条件を読み出せるから、次
のテストを速やかに実行でき、CPUが介在する場合に
比して、テスト間のインターバル時間が短くなる。
て、上記制御手段が、上記記憶手段から読み出される選
択条件により、当該テストにおいて選択されずモジュー
ル終了信号の出力されないモジュールについてはテスト
の最初からセット信号を出力し、選択されているモジュ
ールについては当該モジュールからモジュール終了信号
が出力されたとき、セット信号を出力する複数のセット
ゲート回路と、各セットゲート回路から出力されたセッ
ト信号により各々セットされる複数のフリップフロップ
と、当該テストにおいて選択された複数のモジュールか
ら出力されるモジュール終了信号のうち、最後のモジュ
ール終了信号が出力されて、最後のフリップフロップが
セットされたとき、最終の終了信号を出力する検出ゲー
ト回路と、検出ゲート回路から最終終了信号を検出し
て、次のテストの選択条件を出力するためのアドレスを
出力する制御回路とを備えて構成されているものであ
る。
る選択条件により、選択されているモジュールからモジ
ュール終了信号が出力されたとき、これに対応するセッ
トゲート回路からセット信号が出力される。記憶手段か
ら読み出される選択条件により、選択されていないモジ
ュールに対応するセットゲート回路からは、当該モジュ
ールからの終了信号を待たないように、あらかじめセッ
ト信号が出力されている。
り、既にセットされているフリップフロップを除き、順
次フリップフロップがセットされていく。そして、当該
テストの最後のモジュール終了信号が出力されて、最後
のフリップフロップがセットされると、検出ゲート回路
から最終終了信号が出力される。この最終終了信号は制
御回路によって検出され、この最終終了信号を検出した
制御回路は、次のテストの選択条件を出力するためのア
ドレスを、レジスタに出力し、記憶手段から次のテスト
のための選択条件を読み出す。この読み出された選択条
件により次のテストが実行される。
たモジュールから出力される複数のモジュール終了信号
のうち、もっとも遅い終了信号を検出したとき、記憶手
段から次のテストの選択条件を読み出すようにしたの
で、複数のモジュールから出力されるモジュール終了信
号のタイミングが異なっていても、テスト途中で次のテ
ストに切り替えられることがなく、前回のテストが完了
した後に次回のテストを行うことができる。
クが、アナログ部とデジタル部とを備えたアナログ・デ
ジタル混在回路である。これによれば、特に問題となる
アナログ・デジタル混在回路をロスタイムなしにテスト
することができる。
明するためのテスタ回路の実施の形態を説明する。図1
は被測定IC周りの回路及びテスト回路の主要部を示す
図である。
20とを備えた被測定IC18を測定するには、ブロッ
ク単位毎にテストする必要があることは既述した通りで
ある。
ば任意波形発生器(AWG)14、レシーブメモリ(R
CVM)15、センドメモリ(SNDM)16、デジタ
イザ(DGT)17からなる各モジュールを必要とす
る。
コンバータ19への入力信号源としての任意波形を発生
する。通常sin波形である。RCVM15はA/Dコ
ンバータ19からのアナログ情報を有するデジタル出力
信号を取り込む。SNDM16は、スタート信号により
D/Aコンバータ20への入力信号源としてのアナログ
情報を有するデジタル信号を発生する。そして、DGT
17はD/Aコンバータ20のアナログ出力信号を取り
込んでデジタルデータに変換してメモリに書き込む。こ
れらのモジュールからは、モジュール動作が終了したと
き、それぞれモジュール終了信号a、b、c、dが出力
されるようになっている。
に説明するテスタ回路に送られて、所望のテストが繰返
されることになる。
ンド回路13から出力される最終終了信号を検出する
と、マクロ命令により、次のモジュール選択条件を読み
出すためのアドレスをレジスタ2に書込むようになって
いる。レジスタ2は、各テスト毎にモジュール選択条件
をメモリ4から読み出すためのアドレスをSQPG1に
よって書込まれ、これを当該テスト期間中保持する。モ
ジュール選択条件は、モジュール14〜17の数に応じ
て4出力で構成されており、“0“のときは当該テスト
に寄与するモジュールに対応する後段のOR回路5〜8
をエネーブルにし、“1“のときは当該テストに寄与し
ないモジュールに対応するOR回路5〜8をディスエネ
ーブルに設定する。
モリ4の4つの選択条件がそれぞれ加えられ、他方の入
力には各モジュール14〜17の終了信号a〜dが加え
られて、選択されたモジュールに対応する終了信号a〜
dが出力されたとき、セット信号を出力するようになっ
ている。具体的には、メモリ4の出力によりエネーブル
状態にあるOR回路5〜8に終了信号が入力されると、
そのOR回路5〜8からセット信号が出力される。逆に
ディスエネーブル状態にあるOR回路からは最初からセ
ット信号が出力される。
/F9〜12が接続され、エネーブル状態のOR回路5
〜8に終了信号が入力されたときは、OR回路5〜8の
出力に接続されたF/F9〜12をセットするようにな
っている。なお、ディスエネーブル状態のOR回路5〜
8は、常に“1“となるので、F/F9〜12は最初か
らセット状態にある。
路13の入力に接続され、全てのF/F9〜12がセッ
トされたとき、最終終了信号z=“1“を出力するよう
になっている。アンド回路13の出力はSQPG1に入
力され、SQPG1により最終終了信号zが検出される
ようになっている。
モリ4は記憶手段、OR回路5〜8はセットゲート回
路、アンド回路13は検出ゲート回路をそれぞれ構成
し、また、SQPG1、ORゲート5〜8、F/F9〜
12およびアンド回路13は、本発明の制御手段35を
構成する。
作動を図2に示すタイミングチャートを用いて説明す
る。このタイミングチャートの前半では、A/Dコンバ
ータ単独のテストを行なっており、後半ではA/D及び
D/Aのパラレルテストを行なっている。
ジュールのスタートの組合わせ指定や、AWG14のス
トップ指定、および全テストで選択されるモジュールの
選択条件の組合わせを書込む(a)。
択条件を読み出すアドレス指定がなされ(b)、当該ア
ドレスはレジスタ2に書込まれる(c)。
モリ4がアクセスされ、当該アドレスに格納されたモジ
ュール選択条件がメモリ4から読み出され、その選択条
件はAWG14およびRCVM15を選択するもので、
次のアドレスがアクセスされるまで維持される(d)。
トの組合わせ指定により、AWG14、RCVM15が
スタートする(e)、(g)。RCVM15が、AWG
14からの入力信号に応じてA/Dコンバータ19から
出力される出力信号の受信を終了したときに、RCVM
終了信号bを出力する(h)。
WG14から出力される(f)。
終了信号に対応したF/F9、10が順次セットされ、
もっとも遅いAWG終了信号aが出力されたとき、アン
ド回路13から最終終了信号zが出力される(m)。
されると、この信号は直ちにSQPG1で検出され、S
QPG1から次のテストの選択条件を読み出すアドレス
が出力される(b)。
ジスタ2に書込まれ(c)、レジスタ2に書込まれたア
ドレスによりメモリ4がアクセスされ、当該アドレスに
格納された次のテストのためのモジュール選択条件がメ
モリ4から読み出される(d)。この選択条件は、次の
テストが全モジュール14〜17を使用してテストする
ものであるから、全モジュール14〜17を選択するも
のとなる。このテストの場合、AWG、RCVM、SN
DM、DGT終了信号は、図2(f)、(h)、( j)
、(l)のように出力されるとすると、最後の終了信
号を出すモジュールはSNDM16となる。このSND
M16からモジュール終了信号cが出力されると、ゲー
ト13は最終終了信号“1“を出力する。この信号はS
QPG1で検出され、SQPG1から次のテストの選択
条件を読み出すアドレスが出力される(b)。以下、同
様に繰返してテストが実行される。
すように、レジスタ2にアドレスが書込まれるタイミン
グでリセットされる。
後、次の選択条件が出力されるまで、SQPG1が介在
しているだけで、CPU3は介在していないので、選択
条件の切替えは高速に行なわれる。したがって、選択条
件の切替えを待って行なわれる前回のテストから次回の
テストへのトラバース時間を非常に短くすることができ
る。
グラムについて説明する。図3に示すように、プログラ
ムはメインプログラムとA/Dパターン(A/Dコンバ
ータをテストするためのパターンの意)とを作成する。
A/Dパターンにおいて、次のように設定して、 LABEL4 RCVM LABEL5 AWG LABEL6 SNDM LABEL7 DGT あらかじめ選択条件をメモリに書込むようにする。
途中で、LABEL4、LABEL5をコーディングす
ることによって、RCVMおよびAWGの終了信号の待
ち指定を行ない、パターン1を終了させ、続いてテスト
2のコーディングを行うことになる。
PUを介在させるものでは、あらかじめ選択条件を設定
しないので、パターン1がパターン1−1とパターン1
−2とに分離される。そしてパターンの開始前に、CP
Uからレジスタに選択条件を書込む命令 SET REG RCVM SET REG AWG を、その都度加えなければならない。
に、従来例に比して本実施の形態のプログラムは、パタ
ーンが分断されず、しかもメインプログラムにおいて、
パターンが始まる前に、レジスタへのセット命令を書く
必要もないので、プログラム作業が楽になる。
ては、主に、アナログ・デジタル回路が混在するISD
Nインタフェース、VTR/CD等のオーディオ信号処
理IC、CODEC、およびA/D,D/A内蔵のマイ
クロプロセッサ等がある。しかし、アナログ回路または
デジタル回路だけで構成されている場合でも、それらが
個別にテストを要求される複数のブロックから構成され
ている場合には、これらも含まれる。
出力される終了信号が4つの場合について説明したた
め、制御手段35も4回路構成となっているが、終了信
号も制御手段35も4回路に限定されない。
されるSQPG1を用いたが、これに限定されず、ゲー
ト回路13から最終終了信号zを検出して、次のテスト
の選択条件を出力するためのアドレスを出力するもので
あれば、いずれでもよい。
あらかじめ記憶手段に記憶させておき、モジュール終了
信号が出力されると、次のテストのための選択条件を読
み出すようにしたので、テストが実行されてからCPU
による選択条件の書き直しをすることなく、リアルタイ
ムでテストを続けることができる。したがって、テスト
間のインターバル時間を短くすることができ、総テスト
タイムを短縮することができる。またテスト毎に、CP
Uに選択条件の書き直しを求めるプログラムを書かなく
てもよいため、プログラム作成の大幅な軽減が図れる。
ためのテスタ回路構成図である。
図である。
図である。
る。
回路の概略構成図である。
の各部のタイミングチャート図である。
のタイミングチャート図である。
Claims (3)
- 【請求項1】個別にテストを要求される複数のブロック
から構成された被測定ICの該ブロックを、シリアルま
たはパラレルに複数回テストするIC試験装置におい
て、 上記複数のブロックにこれらを個別にテストするための
テスト信号を送信し、送信されたテスト信号に基づいて
各ブロックから出力される出力信号をそれぞれ受信する
とともに、各ブロックに送信されるテスト信号の送信終
了時または各ブロックから出力される出力信号の受信終
了時に、ブロックのテストが終了した旨のモジュール終
了信号を各々出力する複数のモジュールと、 テスト毎に、上記複数のモジュールの中からモジュール
終了信号を検出したいモジュールを選択するためのモジ
ュール選択条件をあらかじめ記憶する記憶手段と、 選択条件により選択されたモジュールからモジュール終
了信号が出力されたとき、これを検出して次のテストの
選択条件を出力するためのアドレスを出力する制御手段
と、 該制御手段から出力されたアドレスをテスト毎に格納
し、格納されたアドレスで上記記憶手段をアクセスする
レジスタとを備え、 該レジスタに格納されたアドレスにより上記記憶手段を
アクセスして、当該アドレスに記憶されている次のテス
トのモジュールを選択する選択条件を出力するようにし
たIC試験装置。 - 【請求項2】上記制御手段が、 上記記憶手段から読み出される選択条件により、当該テ
ストにおいて選択されずモジュール終了信号の出力され
ないモジュールについてはテストの最初からセット信号
を出力し、選択されているモジュールについては当該モ
ジュールからモジュール終了信号が出力されたとき、セ
ット信号を出力する複数のセットゲート回路と、 各セットゲート回路から出力されたセット信号により各
々セットされる複数のフリップフロップと、 当該テストにおいて選択された複数のモジュールから出
力されるモジュール終了信号のうち、最後のモジュール
終了信号が出力されて、最後のフリップフロップがセッ
トされたとき、最終の終了信号を出力する検出ゲート回
路と、 検出ゲート回路から最終終了信号を検出して、次のテス
トの選択条件を出力するためのアドレスを出力する制御
回路とを備えて構成されている請求項1に記載のIC試
験装置。 - 【請求項3】上記複数のブロックが、アナログ部とデジ
タル部とを備えたアナログ・デジタル混在回路である請
求項1または2に記載のIC試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7321581A JP2810342B2 (ja) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Ic試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7321581A JP2810342B2 (ja) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Ic試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09159734A JPH09159734A (ja) | 1997-06-20 |
JP2810342B2 true JP2810342B2 (ja) | 1998-10-15 |
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ID=18134158
Family Applications (1)
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JP7321581A Expired - Fee Related JP2810342B2 (ja) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Ic試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
TWI760673B (zh) * | 2019-12-30 | 2022-04-11 | 新唐科技股份有限公司 | 電子裝置 |
-
1995
- 1995-12-11 JP JP7321581A patent/JP2810342B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JPH09159734A (ja) | 1997-06-20 |
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