JP2805444B2 - コネクタ着脱装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、対象物のコネクタを試
験や熱処理等を行う装置のコネクタと接続して対象物に
電源や信号等を供給して試験や熱処理等を行う装置に用
いられるコネクタ着脱装置に関し、例えばＩＣ等の半導
体製品中の潜在不良品を排除するために行うバーンイン
のための装置である恒温槽に好都合に利用される。

【０００２】

【従来の技術】恒温槽等の環境試験装置には、試験室内
にコネクタを装備し、被試験物を試験するときには、被
試験物を試験室内に設置すると共に、そのコネクタを試
験室内のコネクタと結合し、被試験物に電源や動作信号
を与えつつ環境試験を行えるようにしたものがある。こ
のような環境試験装置において人手でコネクタを着脱す
る場合には、試験室内が狭いために作業性が悪かった
り、着脱操作に手間がかかったり、確実に着脱するのが
難しい等という問題があった。

【０００３】このようにコネクタを接続して試験を行う
被試験物の典型である集積回路素子（ＩＣ）は、一般に
バーンインボードと呼ばれるプリント配線基板に取り付
けられた多数の試験用ソケットに装着され、バーンイン
ボードと共に試験室に入れられ、バーンインボードを介
して電源や信号を印加された動作状態で試験される。こ
のため、バーンインボードには、通常、挿入方向の先端
部にエッジが形成され、このエッジを試験室内に固定配
置されたエッジコネクタに挿入することにより、バーン
インボードと電源や信号発生源との電気的接続が図られ
る。

【０００４】ＩＣのバーンインは、一般に、通常の使用
状態よりも大きなストレスをＩＣに与えるため、バーン
インチャンバーと称される恒温槽を用いて高温雰囲気下
で実施される。そして、前記のエッジコネクタが槽内の
奥側に多段に単列又は多列に配置され、バーンインテス
ト時には、多数のバーンインボードのエッジをこれらの
エッジコネクタに挿入及び抜き出し（以下「挿抜」とい
う）する。ところが、バーンインボードの数が多いこと
と、１つのバーンインボードのエッジ挿抜にも相当な力
を要するため、人の操作でエッジを挿抜するには多大な
労力を必要とする。特に、モニタバーンインテストやテ
ストバーンインシステムにおいては、電源や信号の他、
ＩＣの動作状態を計測するための電気的接続も必要にな
り、エッジコネクタが多極化し、これに比例してエッジ
の挿抜力も増大し、人力による挿抜は実質上困難な状況
になって来ている。

【０００５】このような問題に対し、機械力によってバ
ーンインボードを挿抜させるようにした装置が提案され
ている（特開昭６１ー２６５５７９号、６１−２６５５
８０号、６２−２１７６号、特開平２−２５１７７８号
公報等参照）。しかしながら、これらの装置では、バー
ンインボードの挿抜の邪魔にならないように、その幅の
外側に旋回運動をするアームや往復運動をするプッシャ
ー等の機構を設けてバーンインボードに挿抜力を伝達す
るようにしているため、これらを配置できるように幅を
広げる必要が生じ、バーンインチャンバーが大型化し
た。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、占有スペースの小さいコネクタ
着脱装置を提供することを課題とし、特に、恒温槽を大
型化させることなく対象物としての半導体製品のバーン
インテストの省力化を図ることができるコネクタ着脱装
置を提供することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、コネクタ着脱装置が、壁面に固定された固
定コネクタと、対象物に取り付けられた移動コネクタを
前記固定コネクタに結合する方向及び前記固定コネクタ
から切り離す方向に前記対象物を移動可能に支持できる
支持手段と、所定位置に第１当接部及び第２当接部を備
えた係合部材と、該係合部材を前記対象物の幅方向寸法
の範囲内で第１位置から順次、前記結合する方向に直角
の方向に第１距離離れた第２位置、ここから前記結合す
る方向に第２距離離れた第３位置、ここから前記直角の
方向の反対方向に前記第１距離離れた第４位置、ここか
ら前記第１位置に移動させる移動手段と、を有し、前記
対象物が前記支持手段で所定位置に支持されたときにお
いて前記係合部材が前記第２位置から前記第３位置移動
するときに前記第１当接部が前記対象物の一部分に当接
すると共に前記第４位置から前記第１位置に移動すると
きに前記第２当接部が前記対象物の前記結合する方向の
端面に当接することを特徴とし、請求項２の発明は、上
記に加えて、前記支持手段は前記直角の方向に前記対象
物を複数段に支持し、前記第１当接部及び前記第２当接
部はそれぞれ前記複数段と同じ数だけ設けられているこ
とを特徴とし、請求項３の発明は、請求項２の発明の特
徴に加えて、前記固定コネクタと前記支持手段と前記係
合部材とは恒温槽内に配設されていることを特徴とす
る。

【０００８】

【作用】請求項１の発明によれば、固定コネクタに対し
て対象物の移動コネクタを結合及び切り離す方向（以下
「着脱方向」という）に移動自在に対象物を支持できる
支持手段を設けているので、人や外部の搬送装置によ
り、対象物を支持手段で支持させ、例えばコネクタを結
合する直前の位置に設置することができる。以下では、
説明を簡単にするために着脱方向を水平方向と仮定す
る。

【０００９】所定位置に第１及び第２当接部を備えた係
合部材と、この係合部材を水平方向に直角な垂直方向及
び水平方向に第１距離及び第２距離移動させて順次第１
位置から第２乃至第４位置を経由して第１位置まで復帰
するように移動させる移動手段とを設け、その移動の過
程で当接部を所定位置に設置された対象物に当接させる
ので、例えば第１位置を初期位置として、第１及び第２
当接部が次のような動作をするように係合部材を移動さ
せることができる。即ち、第１位置において、コネクタ
を結合する直前の位置（所定位置）に設置された対象物
の下方に第１当接部が位置し、係合部材が第２位置まで
第１距離だけ上昇すると、同じ距離だけ第１当接部が上
昇して対象物の凹部に入り、係合部材が結合する方向に
第３位置まで第２距離だけ移動すると、第１当接部材が
凹部の一端側に当接して対象物を結合方向に移動させて
移動コネクタを固定コネクタに結合し、係合部材が第４
位置まで第１距離だけ下降すると、第１当接部が対象物
の凹部から脱出すると共に第２当接部が対象物の挿入側
先端部と対向し、係合部材が切り離し方向に第１位置ま
で移動すると、第２当接部が対象物の先端部を押してコ
ネクタ間の結合を切り離す動作をする。従って、第１及
び第２当接部の所定位置や係合部材を移動させる第１、
第２距離は、上記のような動作が可能になる関係に定め
られる。又、対象物には、第１当接部が入る凹部が設け
られることが本発明適用の条件となる。但し、対象物に
このような凹部を形成することは容易であるため、どの
ような対象物に対しても容易に本発明を適用することが
できる。

【００１０】上記のような係合部材の動作により、人が
操作しなくても、所定位置に設置された対象物の移動コ
ネクタを壁面に固定された固定コネクタに着脱すること
ができる。又、このような係合部材及び移動手段によれ
ば、対象物の幅方向寸法の範囲内で係合部材をコネクタ
の着脱方向及びこれと直角方向に動かすので、コネクタ
の着脱のために、対象物の幅方向寸法の範囲外に何ら余
分のスペースを設ける必要がない。従って、対象物を通
電状態で試験したり処理する場所が狭い場合でも、容易
にコネクタを着脱することができる。更に、工場等の搬
送系により対象物を支持手段の所定位置まで自動的に搬
入／搬出できる場合には、コネクタの着脱を含めて試験
等を完全自動化することが可能になる。

【００１１】請求項２の発明によれば、支持手段が例え
ば上下方向に対象物を複数段に支持し、第１及び第２当
接部がそれぞれ段数分だけ設けられているので、対象物
をコネクタの結合直前の位置に複数段に設置し、これら
を一括して着脱することができる。その結果、全コネク
タを均一且つ確実に着脱でき、一層大きな省力化が図ら
れる。

【００１２】請求項３の発明によれば、上記に加えて、
固定コネクタと支持手段と係合部材とを恒温槽内に配設
するので、複数段のバーンインボードに装着された多数
のＩＣのバーンインテストを能率良く行うことができ
る。この場合、バーンインボードの幅方向寸法の範囲内
で係合部材を動かすので、恒温槽の幅が拡大せず恒温槽
が大型化することがない。

【００１３】

【実施例】図１は実施例のコネクタ着脱装置を高温恒温
槽から成るバーンインチャンバに適用した例を示す。バ
ーンインチャンバは、断熱壁１００、断熱扉１０１、こ
れらで囲まれて形成された試験室１０２、図示していな
いが試験室内の空気を循環させる送風機や循環空気を加
熱するヒータ等により構成され、内部には半導体製品を
多数装着できるバーンインボード１が多段に配設され
る。試験室の奥側には、外部から電源や信号を供給する
ための固定コネクタとしてのエッジコネクタ２がコネク
タ取付棒３を介して上下方向に多段に固定配設される。
エッジコネクタ２は中継ボード４で外部と接続される。

【００１４】上下方向に多段に挿入されるそれぞれのバ
ーンインボード１には、図示の如く多数のＩＣソケット
５が組み込まれていて、これらのＩＣソケット５に半導
体製品であるＩＣ６が装着される。ＩＣ６は、ＩＣソケ
ット５及びバーンインボード１の内部配線を介してエッ
ジ７と電気的に接続される。従って、本例では、ＩＣ６
の装着されたバーンインボード１及びエッジ７がそれぞ
れ対象物及び対象物に固定された移動コネクタに相当す
る。

【００１５】バーンインボード１は、試験室１０２内に
立設された支持棒８の上下方向に多段に固定された溝部
材９の溝によってコネクタを結合する方向（本実施例で
は以下「挿入方向」という）及び切り離す方向（本実施
例では以下「抜去方向」という）である矢印Ｙ及びＹ´
方向（本実施例では以下「挿抜方向」という）に移動可
能に支持される。従って、支持棒８及び溝部材９が支持
手段に相当する。係合部材としての押出棒１０も試験室
１０２内に立設されている。

【００１６】図２はバーンインボード１の挿抜機構部分
の構造例を示す。挿抜機構部分は、係合部材としての押
出棒１０、これを移動させる移動手段としての押出用エ
アシリンダ１１、上下動用エアシリンダ１２等を備えて
いる。押出用エアシリンダ１１は、上下に各２台設けら
れていて、左右の押出棒１０−１０を均等に押し出す。
押出棒１０は、第１当接部としての突出した引っ掛け面
１０ａ及び第２当接部としての押出面１０ｂを備えてい
る。但し、本実施例では構造を簡単にするために、押出
面１０ｂと押出棒１０の抜去方向面１０ｂ−１とを区別
していない。従って、押出面１０ｂとしては２点鎖線で
その位置だけが示されている。なお、押出面１０ｂを面
１０ｂ−１から少し突出させたり、その部分に緩衝部材
を貼付するようにしてもよい。

【００１７】引っ掛け面１０ａは、図３にも示す如く、
一体的に形成されている鍵爪部材１０ｃの多数の鍵爪１
０ｄの一面側に形成されていて、鍵爪部材１０ｃがねじ
１０ｅで押出棒１０に固定されることにより（図２）、
押出棒１０と一体として動くようになっている。従っ
て、鍵爪部材１０ｃも係合部材に相当する。なお、本実
施例では鍵爪１０ｄが上方に向いているが、これを下方
に向け、押出面１０ｂをその下方の位置にするようにし
てもよい。以上のような引っ掛け面１０ａ及び押出面１
０ｂの位置は、係合部材における第１及び第２当接部の
所定の位置の一例である。

【００１８】押出用エアシリンダ１１は、図１に示す試
験室１０２の奥側の内壁１００ａにベース１３を介して
取り付けられていて、そのロッド１１ａは、両側の押出
棒１０−１０間に介装されこれらと共に枠を形成する連
接棒１４と結合されている。ベース１３はコネクタ取付
棒３にも結合されている。連接棒１４は、押出棒１０が
上下方向にある程度移動可能なように、その軸端１４ａ
が長穴１０ｆに嵌めこまれることにより、押出棒１０と
結合されている。上下動用エアシリンダ１２は連接棒１
４に取り付けられ、そのロッド１２ａは上部連接棒１５
と結合されている。このようにして、押出棒１０及び連
接棒１４、１５で形成された枠体はエアシリンダ１１に
より懸架されている。エッジコネクタ２が取り付けられ
たコネクタ取付棒３は、ねじ３ａによって試験室１０２
の内壁１００ａに固定されている。係合部材である押出
棒１０が移動する第１及び第２距離は、これらのエアシ
リンダの行程によって定まる。その結果、押出棒１０の
第１乃至第４位置も定まる。エアシリンダ１１が押出棒
１０から受ける反力はベース１３で支持される。

【００１９】図４はエアシリンダの駆動系の構成を示
す。エアシリンダ１１、１２は、工場等に配設された圧
縮空気配管２００から供給される圧縮空気により作動さ
れる。エアシリンダの作動装置としては、圧縮空気をエ
アシリンダのピストン１１ｂ、１２ｂの両側に選択的に
導入又は排気させる押出用及び上下動用電磁弁１６（１
６ａ、１６ｂ）及び１７（１７ａ、１７ｂ）、吸排気速
度を調整するための押出用及び上下動用調速弁１８（１
８ａ、１８ｂ）及び１９（１９ａ、１９ｂ）等が設けら
れている。

【００２０】これらの作動装置を操作又は制御すること
により、エアシリンダ１１、１２に所定の動きを与え、
押出棒１０を第１距離及び第２距離移動させて順次第１
乃至第４位置を選択させることができる。作動方法とし
ては、例えば、図示しない操作盤により、各操作毎に押
出棒１０が第１乃至第４位置のそれぞれの間を移動する
ようにしたり、第１位置から第２、第３位置を経由して
第４位置への移動及び第４位置から第１位置への移動を
それぞれ１つの操作で行わせたり、全体の移動をタイマ
等でシーケンシャルに行わせたり、更に、自動制御盤に
よりバーンインボードが所定位置に設置されたことを検
出して全動作を自動的に行わせるようにすることができ
る。

【００２１】図５はバーンインボード１の先端角部の形
状を示し、バーンインボードを下から見た図である。バ
ーンインボード１の構造部分は、相互に組み合わされた
補強枠２０、２１に、上下板２２、２３をビスで固定す
ることにより形成されている。電気的接続を図るための
エッジ７は、補強枠２０から突出しているが、このよう
な構造部分で固定支持されている。下板２３の一部分は
切り欠かれていて、その切欠き部と補強枠との間に凹部
２４が形成されている。図において補強枠２０はバーン
インボード挿入方向の先端側のものであり、補強枠２１
は幅方向端のものである。

【００２２】バーンインボード１がバーンインチャンバ
の所定位置に設置されたときにおいて、押出棒１０を第
１及び第２距離動かして第１乃至第４位置に設定するこ
とにより、その引っ掛け面１０ａを補強枠２０の内側２
０ａに当ててエッジ７を挿入し、押出面１０ｂを外側２
０ｂに当ててエッジ７を抜去することができる。この場
合、バーンインボードではエッジ７が突出していて、そ
の幅方向の両側が肩部になっているので、押出面１０ｂ
は外側２０ｂの肩部を押すことになる。

【００２３】なお、バーンインボードには通常凹部２４
が形成されていないが、本実施例のバーンインチャンバ
に用いるバーンインボードは、凹部を形成するように加
工される。但し、このような加工はきわめて容易で殆ど
余分なコストの発生はない。又、既存のバーンインボー
ドを利用する場合であっても、このように改造容易で、
費用の発生もごく僅かであるから、本発明を適用するに
当たって何ら支障はない。更に、下板２３を有しないバ
ーンインボードでは、そのままの状態で使用できる。

【００２４】図６は、以上のようなバーンインチャンバ
におけるバーンインボードのコネクタ挿抜方法を示す。
本図を中心としてこれまでに示した図１〜５を参照しつ
つコネクタ挿抜操作を説明する。図において実線は押出
棒１０が第１位置にあり鍵爪１０ｄがＡ位置にある状態
を示す。このときには、押出棒１０に固定された鍵爪１
０ｄの引っ掛け面１０ａは、バーンインボード１のエッ
ジ７をエッジコネクタ２に挿抜するときのバーンインボ
ード１の移動範囲の下方に位置している。従って、鍵爪
１０ｄはバーンインボード１の挿入を妨げない。なお、
図示しないが鍵爪１０ｄは１段下のバーンインボードと
も干渉しない位置にある。押出棒１０の第１位置は、本
実施例では、バーンインボード１が挿入されそのエッジ
７の先端７ａがエッジコネクタ２に装着される直前の位
置に来たときにバーンインボード１を停止させるよう
に、補強枠２０の外側先端面２０ｂが押出棒１０の押出
面１０ｂに当たるように定められている。従って、この
ような引っ掛け面１０ａ及び押出面１０ｂの位置は、第
１及び第２当接部の所定位置の一例である。このような
押出棒１０の位置は、これを動かすエアシリンダ１１、
１２の行程端位置によって定められる。

【００２５】この第１位置では、押出棒１０によって、
挿入されるバーンインボード１を受け止める必要がある
ので、図４に示す電磁弁１６ｂが作動状態になってい
て、ｂポートから圧縮空気を導入しａポートから圧縮空
気を排気し、押出棒１０が押し出し状態で保持されてい
る。

【００２６】押出棒１０の第１位置において、溝部材９
の全ての段にエッジ挿入直前の位置までバーンインボー
ド１が挿入されると、図示しない操作盤の挿入スイッチ
をオンにする。これにより、電磁弁１７ａが作動し、そ
のａポートから調速弁１９ａを経て上下動用エアシリン
ダ１２のピストン１２ｂの下側に圧縮空気が流入し、ピ
ストン１２ｂの上側の空気は調速弁１９ｂを経て電磁弁
１７ａのｂポートから適度な流速で排出され、そのロッ
ド１２ａが上昇し、上部連接棒１５を介して押出棒１０
が第１距離移動して第２位置まで上昇し、これに伴って
鍵爪１０ｄがＢ点まで上昇してバーンインボード１の凹
部２４内に入る。

【００２７】図示しないセンサが鍵爪１０ｄのＢ位置を
検知すると、電磁弁１６ａが作動すると共に電磁弁１６
ｂの作動が停止し、ａポートからエアシリンダ１１のピ
ストン１１ｂの右側部分に圧縮空気が流入すると共にｂ
ポートからピストン１１ｂの左側部分の圧縮空気が排出
され、エアシリンダ１１のロッド１１ａが図４及び図６
において右側から左側に移動し、押出棒１０を第３位置
まで移動させ、これに伴って鍵爪１０ｄをＢ位置からＣ
位置まで移動させる。この移動距離が第２距離に相当す
る。この鍵爪１０ｄの移動により、その引っ掛け面１０
ａが一定距離移動した後バーンインボード１の補強枠２
０の内側２０ａに当たり、これを引っ掛けてエッジ７が
エッジコネクタ２に挿入される距離だけバーンインボー
ド１を右から左に移動させる。このようにして、多段に
挿入・支持された全てのバーンインボードのコネクタを
機械力により一度に結合することができる。

【００２８】図示しないセンサにより鍵爪１０ｄがＣ位
置に来たことを検知すると、電磁弁１６ａ及び１７ａの
作動が停止すると共に、２〜３秒遅れて電磁弁１７ｂが
作動し、ａポートからピストン１２ｂの下側の圧縮空気
を排出すると共にｂポートからその上側に圧縮空気を導
入し、ロッド１２ａを押し下げ、押出棒１０を第１距離
下降させて第４位置にし、これに伴って鍵爪１０ｄをＤ
位置にする。この下降動作では、電磁弁１６が不作動に
なっているので、鍵爪１０ｄと補強枠２０との圧接が解
除されているため、押出棒１０の下降動作が容易になっ
ている。本実施例では、挿入スイッチをオンにすること
により、以上のような押出棒１０の第１位置から第４位
置までの動き、従って鍵爪１０ｃのＡ位置からＤ位置ま
での動きが自動的に行われる。

【００２９】押出棒１０が第４位置にあるときには、そ
の押出面１０ｂが下降して再びバーンインボード１の補
強枠２０の外側２０ｂに対向する位置になる。又、これ
に伴って鍵爪１０ｄがＤ位置になるときには、バーンイ
ンボード１の凹部２４から抜け出しているので、バーン
インボード１は鍵爪１０ｄと干渉することなく挿抜自在
になっている。従って、任意のバーンインボードのコネ
クタ接続を解除し、これを取り出すことができる。その
結果、バーンイン実行前に実施される事前チェックにお
いて一部のバーンインボードにエラーが発生した場合に
は、バーンインボードを一度抜き取ってエラー対策を施
した後再挿入することができ、バーンインテスト上重要
な機能の１つが満たされることになる。

【００３０】所要のバーンイン時間が経過してバーンイ
ンボード１をチャンバから取り出すときには、図示しな
い操作盤の抜去スイッチをオンにする。これにより、電
磁弁１６ｂが作動してエアシリンダ１１のロッド１１ａ
を左から右方向に第２距離動かし、押出面１０ｂがバー
ンインボード１を押してエッジコネクタ２からエッジ７
を抜去し、押出棒１０は初期位置である第１位置に復帰
する。このときには、鍵爪１０ｄが下方の位置を維持し
たＡ位置になっているので、次に試験されるＩＣを装着
したバーンインボードの挿入が可能になっている。

【００３１】以上に図示した押出棒１０の各位置及びこ
れに対応した鍵爪１０ｄの各位置並びにこれらの移動距
離は、移動手段により移動される第１乃至第４位置並び
に第１及び第２距離の一例である。

【００３２】図７は、上記の各部の動きを分かり易くす
るために線図化した図である。本図では、図６における
鍵爪１０ｄの位置Ａ〜Ｄに対応する引っ掛け面１０ａの
中心位置をＡ〜Ｄで示している。又、バーンインボード
１の補強枠２０の内側及び外側２０ａ及び２０ｂ、押出
棒１０の押出面１０ｂ、並びにバーンインボード１のエ
ッジ７の先端７ａのそれぞれの１点の動きを上記Ａ〜Ｄ
に対応させ、それぞれの符号に括弧を付けて示してい
る。押出棒１０が動きこれに対応して鍵爪１０ｄの引っ
掛け面１０ａが順次Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ａという閉じた動
きをすると、それぞれの部分がこれに対応した動きを
し、エッジ７の先端７ａは、エッジコネクタ２に対して
挿入前の位置から所定量挿入された後、再び挿入前の位
置まで退避する。

【００３３】このような動作と動作に伴う効果を得るた
めには、同図（ｂ）に示すような諸寸法、即ち、引っ掛
け面１０ａと内側２０ａ間の距離であるあそびｐ、引っ
掛け面１０ａの実質移動量従ってバーンインボード１の
挿入量ｑ、バーンインボードが溝部材９内に所定位置ま
で挿入されたときのエッジ先端７ａとエッジコネクタ２
との間隔ｒ、コネクタの結合量ｓ、鍵爪１０ｄがバーン
インボードの凹部２４に嵌脱できると共に脱時に押出面
１０ｂが外側２０ｂと対向するための上下変位ｔ等は、
相互に関連して適当な値に定められなければならない。
例えば、ｑ＝ｒ＋ｓ、第２距離である横移動量＝ｐ＋ｒ
＋ｓに定められる。係合部材の第１及び第２当接部の所
定位置（図ではＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及びこれに対応する１０
ｂの位置）や移動手段で移動させる第１距離（図では
ｔ）及び第２距離（図ではｐ＋ｑ）並びに第１乃至第４
位置（上記Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに対応する位置）は、このよ
うな点を考慮して定められる。

【００３４】例えば、本実施例では引っ掛け面１０ａの
押出棒１０からの突出量を図６に示すような寸法にし、
あそびｐを図示のような距離にしているが、鍵爪１０ｄ
を短くしてあそびｐを少なくしたり、引っ掛け面が当た
る内側２０ａを補強枠とは別の位置に設け、これに対応
して鍵爪１０ｄの突出長さを決める場合には、第２距離
も変わってくる。又、本実施例ではバーンインボードの
先端である補強枠の外側２０ｂを押出棒１０の押出面１
０ｂに当ててバーンインボード１の挿入時の位置決めを
しているが、別に解除可能なストッパを設けてそれによ
り位置決めしたり、マーク合わせにより挿入位置を決め
ることにより、バーンインボードを押出棒１０に衝突さ
せないようにしてもよい。この場合には、バーンインボ
ードの先端を押出面１０ｂの手前から距離ｕの位置で止
めるとすれば、第１距離である鍵爪１０ｃの横移動量を
図示のｐ＋ｑにｕを加えた量にする。エッジとエッジコ
ネクタとの間隙ｒを変えるときには、押出棒１０の初期
位置に対応する鍵爪１０ｃのＡ位置を変えるか、又はｒ
の値に対応して横移動量を変えることになる。鍵爪１０
ｃの高さを低くする場合には、第１距離である上下方向
の移動量ｔを小さくすることができる。これに伴って、
押出面１０ｂの位置も変化する。従って、実際の設計で
は、以上のような諸事情を考慮し、押出棒１０の４動作
により、バーンインボードのエッジとエッジコネクタと
を確実に挿抜できるように、係合部材の第１、第２係合
部の位置並びに移動手段による係合部材の第１、第２移
動量及び第１乃至第４の各位置を決定する。

【００３５】本実施例のようなコネクタ着脱装置によれ
ば、多段に設置されたバーンインボードを機械力により
一度に着脱できるので、バーンインテストにおいて大幅
な省力化を図ることができる。又、全段のコネクタの着
脱が一様且つ確実に行われ、コネクタの接続不良等のト
ラブルが発生しない。一方、係合部材である押出棒は、
バーンインボードの先端部における突出したエッジの幅
の外側肩部を有効に利用してバーンインボードの幅の範
囲内に設置され、押出棒と共にこれに固定された第１当
接部を形成する鍵爪部材も挿抜方向と上下方向とで形成
される１平面内を動くので、コネクタ着脱装置の可動部
分がバーンインボードの幅方向寸法の範囲を逸脱するこ
とがない。その結果、このような機械的コネクタ挿抜機
構を設けても恒温槽の寸法は変わらず、恒温槽が大型化
しない。

【００３６】即ち、従来の装置では、バーンインボード
の幅の範囲外に、単列配置の場合でも機構部の寸法とし
て１００〜２００ｍｍのスペースを必要とし、恒温槽の
幅を広げる必要があった。特に、多列にバーンインボー
ドを収容するバーンインチャンバでは、幅が２００〜８
００ｍｍも広がり、チャンバが大型化して大きなコスト
上昇を招いていた。これに対して、本実施例のコネクタ
着脱装置を装備すれば、このような幅の拡大が全くない
ので、コスト上昇が最小限度に抑制される。

【００３７】更に、本実施例のコネクタ挿抜機構では、
エアシリンダの直線運動のみを利用しているので、全体
の機構及び動作が簡単である。従って、装置コストが安
価で、故障等の発生のおそれがなく、装置の信頼性も高
い。

【００３８】なお以上では、コネクタ着脱装置をバーン
インチャンバに適用した例を示した。その場合には、上
記の如く本発明が極めて顕著な作用効果を発揮する。し
かし本装置は、通常の環境試験装置や、その他の常温試
験室においても、狭いスペースで対象物のコネクタを着
脱しなければならなずその作業性が悪い場合や、着脱に
大きな力を要する場合や、対象物の搬入、取り出し等を
含めて試験システム全体を自動化する場合等には、きわ
めて有効に利用される。従って、本発明はバーンイン装
置への適用のみに限定されなるものではない。又、以上
の装置では、移動手段としてエアシリンダを用いる例を
示したが、モータで回転するねじ軸とナットとの組合せ
や、クランクとリンクとの組み合わせにより直線運動さ
せる機構等、公知の各種機構を移動手段として用いるこ
とができる。

【００３９】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、２つの当接部を備えた係合部材を移動
手段で四角形状に動かすので、往路で第１当接部により
コネクタを結合し、復路で第２当接部によりコネクタを
切り離すことができ、直線運動だけの簡単な機構で効果
的にコネクタの着及び脱の両動作を行うことができる。
その結果、省力化が図られると共に、機械力により確実
にコネクタを結合することができる。この場合、係合部
材を対象物の幅の範囲内で移動させるので、コネクタの
着脱装置の幅方向へに出っ張りがないため、対象物の試
験等を狭い場所で行うことができる。

【００４０】請求項２の発明においては、上記に加え
て、支持手段が対象物を複数段に支持し、段数分だけ第
１、第２当接部が設けられるので、全ての対象物のコネ
クタを一度に着脱できる。従って、均一且つ確実な着脱
と共に、省力化の効果が一層大きくなる。請求項３の発
明においては、上記に加えて、固定コネクタと支持手段
と係合部材とを恒温槽内に配設するので、機械力による
コネクタの着脱により多数のＩＣのバーンインを能率良
く行うことができる。この場合、恒温槽が大型化しない
ので、コネクタ着脱装置を設けてもバーンイン装置全体
のコスト上昇が抑制される。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のコネクタ着脱装置を装備したバーンイ
ンチャンバの概略横断面図である。

【図２】（ａ）及び（ｂ）は上記コネクタ着脱装置の正
面図及び側面図である。

【図３】上記装置の鍵爪部材の斜視図である。

【図４】上記装置のエアシリンダ駆動系の構成を示す系
統図である。

【図５】上記装置に装着されるバーンインボードの角部
の斜視図である。

【図６】上記装置のコネクタ着脱部の構造を示し、
（ａ）は平面図で（ｂ）は側面図である。

【図７】（ａ）及び（ｂ）はコネクタ着脱時の各部の動
きを示す説明図である。

【符号の説明】

１ バーンインボード（対象物） ２ エッジコネクタ（固定コネクタ） ６ ＩＣ（対象物） ７ エッジ（移動コネクタ） ８ 支持棒（支持手段） ９ 溝部材（支持手段） １０ 押出棒（係合部材） １０ａ 引っ掛け面（第１当接部） １０ｂ 押出面（第２当接部） １０ｃ 鍵爪部材（係合部材） １１ 押出用エアシリンダ（移動手段） １２ 上下動用エアシリンダ（移動手段） ２０ａ 補強枠の内側（対象物の一部分） ２０ｂ 補強枠の外側（対象物の結合する方
向の端面）

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 壁面に固定された固定コネクタと、対象
   物に取り付けられた移動コネクタを前記固定コネクタに
   結合する方向及び前記固定コネクタから切り離す方向に
   前記対象物を移動可能に支持できる支持手段と、所定位
   置に第１当接部及び第２当接部を備えた係合部材と、該
   係合部材を前記対象物の幅方向寸法の範囲内で第１位置
   から順次、前記結合する方向に直角の方向に第１距離離
   れた第２位置、ここから前記結合する方向に第２距離離
   れた第３位置、ここから前記直角の方向の反対方向に前
   記第１距離離れた第４位置、ここから前記第１位置に移
   動させる移動手段と、を有し、前記対象物が前記支持手
   段で所定位置に支持されたときにおいて前記係合部材が
   前記第２位置から前記第３位置移動するときに前記第１
   当接部が前記対象物の一部分に当接すると共に前記第４
   位置から前記第１位置に移動するときに前記第２当接部
   が前記対象物の前記結合する方向の端面に当接すること
   を特徴とするコネクタ着脱装置。
2. 【請求項２】 前記支持手段は前記直角の方向に前記対
   象物を複数段に支持し、前記第１当接部及び前記第２当
   接部はそれぞれ前記複数段と同じ数だけ設けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載のコネクタ着脱装置。
3. 【請求項３】 前記固定コネクタと前記支持手段と前記
   係合部材とは恒温槽内に配設されていることを特徴とす
   る請求項２に記載のコネクタ着脱装置。