JP2804647B2 - 光ビ−ム走査光学装置 - Google Patents

光ビ−ム走査光学装置

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JP2804647B2
JP2804647B2 JP19510691A JP19510691A JP2804647B2 JP 2804647 B2 JP2804647 B2 JP 2804647B2 JP 19510691 A JP19510691 A JP 19510691A JP 19510691 A JP19510691 A JP 19510691A JP 2804647 B2 JP2804647 B2 JP 2804647B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ビ−ムによる走査を
行う光学装置及びこれを用いた記録装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】光ビ−ムを用いた走査装置において、光
ビ−ムの偏向装置として回転多面鏡等その偏向面が回転
に対して倒れ得るものを用いる場合、この面の倒れ(一
般に「面倒れ」と言う)によって光ビ−ムが走査方向と
垂直な方向にずれ、走査線のピッチむらを生じる。これ
を補正するために、走査方向と垂直な面において、偏向
面と被走査面(例えば、感光ドラム面)とが共役関係と
なるような結像光学系を用いる方法は、例えば特公昭52
-28666号等によって知られている。
【0003】また、上記走査装置の光学系には走査方向
面内において、光ビ−ムが被走査面上を等速度走査する
ための特性(一般に「fθ特性」と言う)を持たせると
共に、上記被走査面上の光ビ−ムのスポット径の大きさ
が走査方向の位置に対して常に均一になるように像面湾
曲を補正するという性能も要求される。
【0004】このように、走査方向面内(以後「主走査
方向」又は「主走査方向断面」と言う)の特性とこれれ
に垂直な面内(以後「副走査方向」又は「副走査方向断
面」と言う)での特性を同時に実現するためには、両者
の面内でパワ−の異なる光学系が必要であり、シリンダ
面やトロイダル面等が用いられている。
【0005】図11は、従来の走査光学装置の一例を示
す構成図である。この構成において、光源1より放射さ
れた光は、該光をほぼ平行ビ−ムに整形するコリメ−タ
レンズ92とコリメ−タレンズからの光ビ−ムを線状に
結像するシリンダレンズ93とから成る第1の結像光学
系91により、偏向装置6の反射面11上に結像され
る。
【0006】反射面11で反射された光ビ−ムは、第2
の結像光学系94によって被走査面10上に収束され
る。この時、偏向装置6の回転に従って光ビ−ムは順次
方向を変えて反射され、これによって被走査面10上を
走査する。被走査面10は、例えばレ−ザプリンタでは
感光ドラムがこれに相当し、光ビ−ムにより露光された
信号は、静電像となって次のプロセスに渡される。
【0007】このような装置において、コリメ−タレン
ズ92は、非常にパワ−が強い上、大きいNAでかつ、
波面収差が非常に小さく補正されていることを要求され
るため、通常5枚程度のガラスレンズにより構成されて
いる。上記第2の結像光学系94は、上記したように走
査方向と垂直な断面において偏向反射面11と被走査面
10を共役にすると共に、上記fθ特性と像面湾曲を補
正している。この要求を満たすため、上記第2の結像光
学系94は、シリンドリカル面94aやトロイダル面9
4bにより構成されている。
【0008】しかしながら、トロイダル面のような特殊
な形状のガラスレンズを、研磨によって高精度に大量に
製造することは大変困難であった。一方、プラスチック
レンズは、射出成型により上記のような特殊な形状のレ
ンズでも、大量に生産することが可能である。このため
プラスチックレンズを用いた光学系が考案されている。
【0009】このような光学系としては、例えば特開昭
61−243422等がある。これは、上記第2の結像
光学系を全てプラスチックレンズで置き換えたもので、
複雑な形状のレンズを製造可能にしている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の光
学系を、さらに高解像度の走査光学装置(小さい走査ス
ポット径が要求される)に適用した場合、プラスチック
レンズは環境温度の変化によってその光学特性が大きく
変化して許容以上のフォ−カスずれを生ること、また、
コリメ−タレンズ(92)はより大口径が要求されるこ
とからより多数のレンズを組合せた複雑な構成となり第
2の結像光学系の構成簡易化の効果が相殺されること、
等の問題があった。以下、これらの問題点について説明
する。
【0011】まず、プラスチックレンズの温度変化によ
る特性変化について述べる。プラスチックレンズは、温
度の変化に対してその屈折率変化率、膨張率が大きく、
そのため環境温度が変化した場合にフォ−カスのずれを
生じ(これを以後単に「温度シフト」と言う)易いこと
はよく知られている。このフォ−カスずれによって走査
スポットが増大し解像度を劣化させる。温度に対するプ
ラスチックレンズの特性変化の大きさは、例えばPMM
Aでは温度変化約30度でも屈折率変化率と膨張によっ
てそのパワ−が約0.9%変化する。
【0012】このことから、例えば上記第2の結像光学
系の焦点距離は、A3紙対応のレ−ザ走査光学系とする
と、約300mmであり、これをPMMAを材料とする
プラスチックレンズにした場合、上記温度シフトの大き
さは約2.7mmとなる。温度シフト2.7mmに対す
るスポット径の変化量は、走査スポット径が例えば10
0μm(従来のように比較的解像度が低い場合)のとき
は1μm程度であるが、走査スポット径が60μmの場
合は約20μmにもなり解像度が30%以上劣化するこ
とに相当し許容できないものとなる。
【0013】次に、コリメ−タレンズの問題について述
べる。コリメ−タレンズは、走査光学装置のなかで他の
要素に比べて非常に大きなNA値で極めて小さい波面収
差であることが要求され、通常5枚程度のレンズで構成
される。走査光学装置を高解像度に対応させて走査スポ
ット径を小さくするには、上記偏向装置に入射する主走
査方向のビ−ム径を大きくする必要があり、そのため
に、コリメ−タレンズとして、よりNAの大きい、大口
径のレンズが要求される。このことは、コリメ−タレン
ズの構成をますます複雑化し、光学装置全体の簡易化が
著しく阻害されることになる。
【0014】非球面プラスチックレンズによりコリメ−
タレンズを簡易化する方法は、上記温度変化によるプラ
スチックレンズのパワ−変化が、コリメ−タレンズのパ
ワ−が極めて大きい(焦点距離5〜10mm)ために、
被走査面上で多大のフォ−カずれを生じることから簡単
には適用できない。
【0015】本発明の目的とするところは、上記問題点
を解決し、第2の結像光学系6にプラスチックレンズを
用いながら温度変化によるフォ−カスずれを補正すると
同時に、コリメ−タレンズの構成を簡易化し、光学装置
全体として極めて簡易な構成の高解像度の光ビーム走査
光学装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、光を発散する光源1と、該光源1からの
光を線状に結像する第1の結像光学系2と、該第1の結
像光学系2の結像位置にその偏向反射面を有する偏向装
置6と、該偏向装置6で偏向された光ビ−ムを被走査面
10上に収束させる第2の結像光学系7と、被走査面1
0とから構成される光ビ−ム走査光学装置で、上記第2
の結像光学系7を、アナモフィックなプラスチックレン
ズを用いて構成し、上記第1の結像光学系2は、正のパ
ワ−を有する一個のガラス球面レンズ3と、負のパワ−
を有する非球面プラスチックレンズ4と、ガラスシリン
ドリカルレンズ5とから構成するものである。
【0017】このように上記第1の結像光学系2に負の
パワ−を有する非球面プラスチックレンズ4を用いるこ
とにより、上記第2の結像光学系7を構成するプラスチ
ックレンズによる温度シフトを補正すると同時に、上記
ガラス球面レンズの波面収差を補正し上記コリメ−タレ
ンズの構成を大幅に簡略化し得ることを見出したもので
ある。
【0018】さらには、上記第2の結像光学系7におい
て、副走査方向に強いパワ−をもつアナモフィックなプ
ラスチックレンズを次式で示す条件の位置に配置するこ
とにより副走査方向断面における温度シフトを許容値内
にすることが可能である。 L1/L0<L0/(1/C+L0) 〔 但し、C=0.0003・ΔT 〕 ここで、ΔTは温度変化範囲、L0は上記偏向装置6の
反射面11と上記被走査面10との距離、L1は上記偏
向装置6の反射面11からアナモフィックなプラスチッ
クレンズまでの距離を示す。
【0019】あるいはまた、上記第1の光学系に副走査
方向に負のパワ−を有するシリンドリカルレンズをくわ
え、そのパワ−を最適に設定することにより、副走査方
向の温度シフトを補正する。
【0020】あるいはまた、上記負のパワ−を有する非
球面プラスチックレンズの一つの面を負のパワ−を有す
るシリンドリカル面にし、その副走査方向のパワ−を最
適に設定することにより、副走査方向の温度シフトを補
正する。
【0021】
【作用】上記本発明を構成する要素の作用とその原理に
ついて説明する。まず、光源1は光を発散するもので従
来の光源と同一の作用を行う。上記ガラス球面レンズ3
は、光源からの光をほぼ平行な光ビ−ムに整形する作用
をおこなう。上記プラスチック非球面レンズ4は、上記
ガラス球面レンズ3のビ−ム整形作用によって発生した
収差を補正して波面収差の小さいほぼ平行な光ビ−ムを
作る作用を行うと同時に、主走査方向断面において負の
パワ−を持つことによって上記第2の結像光学系7を構
成するプラスチックレンズによる温度シフトを補償する
作用を行う。
【0022】ここで上記プラスチック非球面レンズ4に
よる上記温度シフトの補正(以後、「温度補償」と言
う)について説明する。主走査方向断面においては、上
記第2の結像光学系7をプラスチックレンズで構成する
と温度シフトの大きさはこの第2の結像光学系7の焦点
距離でほぼ決まる。例えば、前述のように、上記第2の
結像光学系7の焦点距離を300mmとすると上記温度
シフトの大きさは約2.7mm(温度変化30度)とな
り解像度を大幅に劣化させる。高解像度の光学系で解像
度の劣化を来たさないためには少なくとも温度シフト1
mm以下が求められる。
【0023】この温度シフトを補正するためには、負の
パワ−を有するプラスチックレンズを用いればよいが、
単に上記第2の結像光学系7の中でこれを実現するに
は、所定の走査幅を得るために、上記第2の結像光学系
7の焦点距離を維持する必要上、従来知られているよう
にガラズレンズを併用しなければならない。
【0024】そこで、上記負のパワ−を有するプラスチ
ックレンズを上記第1の光学系2に配置することにより
走査幅に影響することなく温度シフトのみ補正すること
が可能となることを見出した。また、このプラスチック
レンズのパワ−は、上記第2の結像光学系7を構成する
プラスチックレンズのパワ−とその絶対値をほぼ等しく
することにより温度シフトをほぼ完璧に補正できる。
【0025】この時、上記第1の光学系2に配置したこ
のプラスチックレンズを非球面レンズとして大幅な収差
補正機能を持たせることにより、従来のコリメ−タレン
ズの収差補正作用を同時に行わしめることが可能であ
り、コリメ−タレンズを簡単な一枚のガラス球面レンズ
で構成し得ることを見出したものである。
【0026】次に、上記シリンダレンズ5は、光ビ−ム
を線状に結像する従来シリンダレンズと同様の作用を成
す。上記第2の結像光学系7は、被走査面10上を光ビ
−ムスポットが等速度で(走査f・θ特性)せしめる作
用と、被走査面10上の光ビ−ムスポットが走査位置に
よらずほぼ均一となるよう像面湾曲を補正する作用をお
こなう。上記第2の結像光学系7を構成するアナモフィ
ックなプラスチックレンズは、副走査方向断面において
偏向装置の反射面11と被走査面10とを共役な関係に
保つ(面倒れ補正)作用をおこなう。
【0027】ここで、副走査方向断面における温度補償
についてのべる。副走査方向断面では、前述したよう
に、上記第2の結像光学系7によって偏向装置6の反射
面11と被走査面10とが共役関係となることが要求さ
れ(面倒れ補正)るため、第2の結像光学系7からみて
物体距離が非常に近くなり副走査方向断面でのみおおき
なパワ−を持つ面が必要となる。従って、副走査方向断
面では、この大きなパワ−を持つレンズによって上記第
2の結像光学系の主点位置がほぼ決まり、温度シフトの
大きさはこの結像関係によって決まる。
【0028】図3は、副走査方向断面における結像関係
を概念的に示す図である。図3においてレンズ21は上
記第2の結像光学系の主点位置で第2の結像光学系を代
表させたものであり、偏向装置の反射面11と被走査面
10とを共役関係にしていることを示している。
【0029】レンズ21をプラスチックレンズとする
と、温度が変化した場合、レンズ21によるフォ−カス
位置は点Aに移動し、フォ−カスのずれΔF(すなわち
温度シフト)を生じる。この温度シフトΔFの大きさ
は、結像関係の式から導かれる次の式により表すことが
できる。 ΔF=C・ΔT(L0−L1)L0/L1 ‐‐‐(1) ここで、Cは、屈折率等の光学特性に関する定数で、P
MMAの場合、約0.0003である。またΔTは温度
変化量である。
【0030】図4は、レンズ21の位置L1/L0(L0
で規格化)に対する温度シフトΔFの変化を式1より求
め示したグラフである。図4に示すように、レンズ21
の位置が被走査面10に近い場合は温度シフトΔFは許
容値23よりも充分小さいが、偏向装置の反射面11に
近づくに従って急激に大きくなることがわかる。これ
は、被走査面(10)から遠くになるに従って結像倍率
が大きくなりわずかのパワ−変化で結像位置が大きく移
動するためである。
【0031】温度シフトΔFを許容値23以下(すなわ
ち、1mm以下)とするためには、レンズ21の位置を
被走査面10から所定の距離以下にする必要がある(図
4より)。この条件は、式(1)においてΔF<1の条
件から次式のように表される。 L1/L0<L0/(1/C+L0) ‐‐‐(2) 〔 但し、C=0.0003・ΔT 〕
【0032】一方、第2の結像光学系の主点を示す上記
レンズ21の位置は、副走査方向断面に大きいパワ−を
有するアナモフィックなレンズの位置でほぼ決まる。従
って、上記式(2)は、上記第2の結像光学系7で温度
補償を実現するための、アナモフィックなプラスチック
レンズを配置すべき位置の条件を示すものであると言え
る。
【0033】そこで、上記本発明の構成において、上記
第2の結像光学系7を2枚のプラスチックレンズで構成
し、アナモフィックなプラスチックレンズを上記式
(2)を満足するように配置することにより副走査方向
断面における温度シフトを補正する作用を行うことが可
能であることを見出したものである。
【0034】あるいは、上記第2の結像光学系7のアナ
モフィックなプラスチックレンズを偏向装置6に近く配
置する場合は、上記第1の光学系2に副走査方向断面で
負のパワ−を有するプラスチックシリンドリカルレンズ
34を加えることにより上記副走査方向断面における温
度シフトを補正することが可能である。
【0035】あるいは、第1の光学系41の非球面プラ
スチックレンズ43のどちらか一方の面を副走査方向断
面で負のパワ−を有する凹のシリンダ面とすることは、
上記副走査方向断面における温度シフトを補償する作用
を行い得る。
【0036】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図1は、本発明による一実施例を示す主走査方向断
面における構成図であり、図2は副走査方向断面におけ
る構成を示す図である。
【0037】本実施例は、光源1、ガラス球面レンズ3
と光軸対称な非球面を有するプラスチックレンズ4とガ
ラスシリンドリカルレンズ5とから成る第1の結像光学
系2、偏向装置である回転多面鏡6、光軸対称な非球面
を有するプラスチックレンズ8とアナモフィックなプラ
スチックレンズ9とから成る第2の結像光学系7、被走
査面10とで構成されている。
【0038】次に、各々の動作について説明する。光源
1は、本実施例では半導体レ−ザであり、上記光源1か
らのビ−ムは発散光が射出される。上記第1の結像光学
系2の中でガラス球面レンズ3と光軸対称な非球面を有
するプラスチックレンズ4とは、上記光源1からの発散
光をコリメ−トし、ほぼ平行なビ−ムに整形すととも
に、これらの位置調節によって主走査方向断面内で被走
査面10の面上に光ビ−ムを収束させるようピント合わ
せを行う。上記ガラス球面レンズ3は正のパワ−を有
し、上記光軸対称な非球面を有するプラスチックレンズ
4は、負のパワ−を有する。また上記ピント合わせはガ
ラス球面レンズのみで行ってもよい。
【0039】上記第1の結像光学系2の中でガラスシリ
ンドリカルレンズ5は、副走査方向断面内で正のパワ−
を有し、上記プラスチック非球面レンズ4からの光ビ−
ムを副走査方向にのみ収束し、上記回転多面鏡6の反射
面11上に線像を形成する。
【0040】上記回転多面鏡6は図1に示す矢印の方向
に回転(モ−タ等によって)し、反射面11の反射角度
が変わることによって光ビ−ムを順次偏向する。一つの
反射面が通過する間に一回の走査が行われ、上記回転多
面鏡6が一回転する間に反射面の数だけの走査が行われ
る。本実施例では、光ビ−ムの最大偏向角度は±34度
である。また。光ビ−ムの偏向走査は偏向装置の回転軸
(すなわち多面鏡6の回転中心)にほぼ垂直な平面(主
走査平面)内でなされ、上記光源1と第1の結像光学系
2は、その光軸が主走査平面内にあるように配置されて
いる。
【0041】上記第2の結像光学系7は、最終的に光ビ
−ムを被走査面10上に一点に収束させる作用を行うと
ともに、副走査方向断面において上記回転多面鏡の反射
面11と被走査面10とを共役関係にすることで、上記
回転多面鏡の反射面11の回転軸に対する傾き誤差(面
倒れ)による走査線の副走査方向への位置ずれを防止し
ている。
【0042】上記第2の結像光学系7はまた、最適に収
差が補正されることにより前述した被走査面10上での
光スポットの等速度走査(f・θ特性)、およびスポッ
トサイズの一様性を実現している。上記第2の結像光学
系7を構成するプラスチック非球面レンズ(8)は、両
面共光軸対称な非球面を有し、主としてf・θ特性や像
面湾曲の収差補正作用をおこなう。
【0043】上記第2の結像光学系7を構成するアナモ
フィックプラスチックレンズ9は、その偏向装置6側の
面がト−リック面、被走査面10側の面が光軸対称な非
球面で構成され、主として副走査方向断面において上記
回転多面鏡の反射面11と被走査面10とを共役関係に
する作用を行う。上記被走査面10は、例えばレ−ザプ
リンタ等では感光ドラムがこれに相当し、光ビ−ムによ
る露光で信号が記録され、次のプロセスに渡される。
【0044】次に、本実施例の温度補償方法について説
明する。図5は、本実施例の主走査方向の温度補償を説
明した図である。図5には、本実施例の光源1から被走
査面10までを光路に沿って配列して示している。図5
において、矢印付の実線24と破線25は温度変化後の
光線の状態を模擬的に示している。
【0045】破線25はプラスチックレンズ8,9によ
り温度シフトが生じた場合を示している。これを補償す
るためには、前述したように負のパワ−を持つプラスチ
ックレンズを用いればよいが、単純に上記第2の結像光
学系7の中に配置したのでは第2の結像光学系のパワ−
を減少させ所定の走査幅が得られなくなるため、ガラス
レンズの導入が必要になり光学系が甚だ複雑なものとな
る。 そこで、上記負のパワ−を持つプラスチックレン
ズを上記第1の光学系(2)に配置することにより走査
幅に影響することなく温度シフトのみ補正することが可
能となることを見出した。
【0046】さらにこの時、上記第1の光学系(2)に
配置した上記プラスチックレンズの面を非球面として強
力な収差補正作用を同時にを行わしめることにより、従
来のコリメ−タレンズのコリメ−ション作用を簡単な一
枚のガラス球面レンズで行わしめることが可能となり、
従来のコリメ−タレンズを極めて簡単な構成で実現でき
ることを見出したものである。上記プラスチックレンズ
4のパワ−は、上記第2の結像光学系7を構成するプラ
スチックレンズのパワ−(通常、正のパワ−)とその絶
対値をほぼ等しくし逆符号(すなわち、負のパワ−)と
することにより温度シフトをほぼ完璧に補正できる。
【0047】図5において、矢印付の実線25はこのよ
うに補償された後の光線を示している。このようにして
第1の結像光学系2を含めたシステム全体として極めて
簡易な構成の光学装置を実現できることを明らかにし
た。
【0048】副走査方向の温度補償は、前述した図4に
従って、副走査方向に大きいパワ−を持つアナモフィッ
クプラスチックレンズ9を被走査面10の近くに配置す
ることにより実現している。
【0049】本実施例では、上記偏向装置6の反射面1
1から被走査面10までの距離は370mm,上記アナ
モフィックプラスチックレンズ9と被走査面10との距
離は80mmとしている。本実施例の温度シフトの大き
さは、温度変化30℃に対して主走査方向で0.1m
m,副走査方向で0.8mmでありいずれも高解像度の
光学系に対する目標性能を満足している。本実施例光学
装置の被走査面7上の走査スポットサイズは60μm
(1/e2スポット直径)である。
【0050】図6(a)は、本実施例の像面湾曲性能を
示し、実線26は主走査方向、破線(27)は副走査方
向の性能である。
【0051】図6(b)は、f・θ特性からのずれ量
(以後、リニアリティと言う)の性能を示している。
【0052】図6(a),(b)において、縦軸は走査
位置を相対値で示しておりゼロは走査の中央を示す。
【0053】また、本実施例の上記アナモフィックプラ
スチックレンズ9において、ト−リックな面を本実施例
とは逆に被走査面10側に設定しても、また両面に設定
しても本発明の効果を損なうものではない。
【0054】図7は、本発明による第2の実施例を示す
主走査方向断面における構成図であり、図8は副走査方
向断面における構成図である。本実施例は、第1の実施
例に対して、第2の結像光学系36のアナモフィックな
プラスチックレンズ38を偏向装置6の近くに配置した
ものである。上記配置によって図4で述べたように副走
査断面における温度シフトが大きくなるが、第1の結像
光学系31に、副走査方向に負のパワ−を有するプラス
チックシリンドリカルレンズ34を加えることにより補
償している。この負のパワ−を有するプラスチックシリ
ンドリカルレンズ34は、温度変化時に、副走査断面に
おいて上記第1の結像光学系31の結像位置を移動させ
る作用を行い、これによって上記第2の結像光学系36
のプラスチックレンズによる温度シフトを補正すること
が可能となる。
【0055】上記構成では、上記第1の実施例に比べて
第1の結像光学系31のレンズ枚数が増大するが、従来
のコリメ−タレンズを大幅に簡易化できる本発明の効果
を損なうものではない。これによって第2の結像光学系
36のアナモフィックなプラスチックレンズ38の大き
さを第1の実施例に比べて小さくすることが可能となっ
た。
【0056】図9は、本発明による第3の実施例を示す
主走査方向断面における構成図であり、図10は副走査
方向断面における構成図である。本実施例は、上記第2
の実施例に対して、第2の結像光学系を一枚のアナモフ
ィックなプラスチックレンズ45で構成し、第1の結像
光学系41においては、プラスチックシリンドリカルレ
ンズとプラスチック非球面レンズの機能を一つの負のパ
ワ−を有するプラスチックレンズ43で実現し、ガラス
球面レンズ42とガラスシリンドリカルレンズ44とあ
わせて3枚のレンズで構成したものである。
【0057】上記プラスチックレンズ43は、光源1側
の面43aが光軸対称な非球面、光源1と反対側の面4
3bが副走査方向に負のパワ−を有するシリンダ面で構
成される。上記面43aは、ガラス球面レンズ42によ
る波面収差の補正を行なうと共に、上記第2の結像光学
系のプラスチックレンズ45による主走査方向の温度シ
フトを補正する。
【0058】上記面43bは、上記第2の結像光学系の
アナモフィックプラスチックレンズ45による副走査方
向の温度シフトを補正する。上記アナモフィックプラス
チックレンズ45の偏向装置6側の面45aは負のパワ
−を有するトロイダル面、被走査面10側の面45bは
主走査断面において軸対称非球面の子午断面と同じ形状
で副走査断面において大きい正のパワ−を有するような
トロイダル面で構成され、前述の第2の結像光学系に要
求される緒収差を全て補正している。
【0059】本実施例において上記面45aは、主走査
断面において軸対称非球面の子午断面と同様の形状を有
するトロイダル面であっても本発明の効果をなんら損な
うものではない。さらには、上記負のパワ−を有するプ
ラスチックレンズ43に上記面45bと同様に主走査断
面において軸対称非球面の子午断面と同様の形状を有す
るトロイダル面を用いても同様の効果が得られる。
【0060】以上述べた本発明による光ビ−ム走査光学
装置は、レ−ザプリンタの他、コピ−装置やファクシミ
リの出力装置等の記録装置に用いることができることは
言うまでもなく、さらに、感光フィルム等に直接信号を
記録するような装置にも適用可能である。
【0061】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、高
解像度に対応した微小な走査スポットサイズを有する走
査光学装置ながら、プラスチックレンズを用いて特殊な
形状のレンズの製造を容易にし、かつ温度変化に対する
フォ−カスずれを解像度が劣化しないくらい充分に補正
し、さらには、従来3〜5枚のレンズで構成されていた
コリメ−タレンズをガラス球面レンズとプラスチック非
球面レンズの2枚とレンズ枚数を半分以下に低減し、装
置全体として極めて簡易な構成で光ビ−ム走査光学装置
を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す主走査断面における構
成図である。
【図2】本発明の一実施例を示す副走査断面における構
成図である。
【図3】副走査方向断面における結像関係を示す概念図
である。
【図4】副走査方向断面における温度シフト量の変化を
示すグラフである。
【図5】主走査方向断面における温度シフトを示す説明
図である。
【図6】本発明による一実施例の光学性能を示す収差図
である。
【図7】本発明の第2の実施例を示す主走査断面におけ
る構成図である。
【図8】本発明の第2の実施例を示す副走査断面におけ
る構成図である。
【図9】本発明の第3の実施例を示す主走査断面におけ
る構成図である。
【図10】本発明の第3の実施例を示す副走査断面にお
ける構成図である。
【図11】従来の走査光学装置の一例を示す構成図であ
る。
【符号の説明】
1 光源 2 第1の結像光学系 3 ガラス球面レンズ 4 プラスチック非球面レンズ 5 ガラスシリンドリカルレンズ 6 偏向装置 7 第2の結像光学系 8 プラスチック非球面レンズ 9 プラスチックトロイダルレンズ 10 被走査面 11 偏向装置の反射面

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光を発散する光源1と、 該光源1からの光を線状に結像する第1の結像光学系2
    と、 該第1の結像光学系2の結像位置にその偏向反射面を有
    する偏向装置6と、該偏向装置6で偏向された光ビ−ム
    を被走査面10上に収束させる第2の結像光学系7と、
    被走査面10とから構成され、 上記第2の結像光学系7は、少なくとも1枚のアナモフ
    ィックなプラスチックレンズを有し、 上記第1の結像光学系2は、正のパワ−を有するガラス
    球面レンズ3と、負のパワ−を有するプラスチックレン
    ズ4と、ガラスシリンドリカルレンズ5とから構成され
    る光ビ−ム走査光学装置。
  2. 【請求項2】 上記負のパワ−を有するプラスチックレ
    ンズ4は、走査方向の断面内において、上記第2の結像
    光学系7のプラスチックレンズのパワ−とほぼ同じ大き
    さで逆符号のパワ−を有し、上記第2の結像光学系7の
    プラスチックレンズによって生じる温度変化に対するフ
    ォ−カスずれを補正することを特徴とする請求項1記載
    の光ビ−ム走査光学装置。
  3. 【請求項3】 上記負のパワ−を有するプラスチックレ
    ンズ4は、軸対象な非球面を有することを特徴とする請
    求項2記載の光ビ−ム走査光学装置。
  4. 【請求項4】 上記第2の結像光学系7の中のアナモフ
    ィックなプラスチックレンズ9は、次式で示される位置
    に配置された請求項3記載の光ビ−ム走査光学装置。 L1/L0<L0/(1/C+L0) 〔 但し、C=0.0003・ΔT 〕 ここで、ΔTは温度変化範囲、L0は上記偏向装置6の
    反射面11と上記被走査面10との距離、L1は上記偏
    向装置6の反射面11からアナモフィックなプラスチッ
    クレンズまでの距離を示す。
  5. 【請求項5】 光を発散する光源1と、 該光源1からの光を線状に結像する第1の結像光学系3
    1と、 該第1の結像光学系31の結像位置にその偏向反射面を
    有する偏向装置6と、該偏向装置6で偏向された光ビ−
    ムを被走査面10上に収束させる第2の結像光学系36
    と、被走査面10とから構成され、 上記第2の結像光学系36は、少なくとも1枚のアナモ
    フィックなプラスチックレンズを有し、 上記第1の結像光学系31は、正のパワ−を有するガラ
    ス球面レンズ32と、負のパワ−を有するプラスチック
    レンズ33と、走査方向と垂直な断面内において負のパ
    ワ−を有するプラスチックシリンドリカルレンズ34
    と、走査方向と垂直な断面内において正のパワ−を有す
    るガラスシリンドリカルレンズ(35)とから構成され
    る光ビ−ム走査光学装置。
  6. 【請求項6】 上記負のパワ−を有するプラスチックレ
    ンズ33は、走査方向の断面内において、上記第2の結
    像光学系36のプラスチックレンズのパワ−とほぼ同じ
    大きさで逆符号のパワ−を有し、上記第2の結像光学系
    36のプラスチックレンズによって生じる温度変化に対
    するフォ−カスずれを補正することを特徴とする請求項
    5記載の光ビ−ム走査光学装置。
  7. 【請求項7】 上記負のパワ−を有するプラスチックレ
    ンズ33は、軸対象な非球面を有することを特徴とする
    請求項6記載の光ビ−ム走査光学装置。
  8. 【請求項8】 上記負のパワ−を有するプラスチックレ
    ンズ4は、アナモフィックな非球面を有し、走査方向の
    断面において、上記第2の結像光学系7のプラスチック
    レンズのパワ−とほぼ同じ大きさで逆符号のパワ−を有
    する請求項3記載の光ビ−ム走査光学装置。
  9. 【請求項9】 上記負のパワ−を有するプラスチックレ
    ンズ4は、一方の面が軸対称な非球面でもう一方の面が
    シリンドリカル面により構成され、走査方向の断面にお
    いては、上記第2の結像光学系7のプラスチックレンズ
    のパワ−とほぼ同じ大きさで逆符号のパワ−を有する請
    求項3記載の光ビ−ム走査光学装置。
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