JP2788064B2 - シリコン複合ノズル - Google Patents
シリコン複合ノズルInfo
- Publication number
- JP2788064B2 JP2788064B2 JP1178922A JP17892289A JP2788064B2 JP 2788064 B2 JP2788064 B2 JP 2788064B2 JP 1178922 A JP1178922 A JP 1178922A JP 17892289 A JP17892289 A JP 17892289A JP 2788064 B2 JP2788064 B2 JP 2788064B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- plate
- opening
- orifice
- orifice plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/34—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to influence the nature of flow of the liquid or other fluent material, e.g. to produce swirl
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M61/00—Fuel-injectors not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00
- F02M61/16—Details not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M61/02 - F02M61/14
- F02M61/18—Injection nozzles, e.g. having valve seats; Details of valve member seated ends, not otherwise provided for
- F02M61/1853—Orifice plates
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49428—Gas and water specific plumbing component making
- Y10T29/49432—Nozzle making
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はミクロ加工シリコンノズルに関する。
(従来の技術) 流体流を制御する種々の型式のシリコンノズルが公知
である。たとえばバスース(Bassous)の米国特許第4,0
07,464号は、貫通する開口を備えた、流体流を制御する
単一シリコン板の使用を開示している。
である。たとえばバスース(Bassous)の米国特許第4,0
07,464号は、貫通する開口を備えた、流体流を制御する
単一シリコン板の使用を開示している。
本出願人に譲渡されたジアキーノ(Giachino)他の米
国特許第4,628,576号は、2つのシリコン板が相対的に
移動して一方のシリコン板の開口を通る流体流を制御す
る弁を開示している。
国特許第4,628,576号は、2つのシリコン板が相対的に
移動して一方のシリコン板の開口を通る流体流を制御す
る弁を開示している。
(発明が解決しようとする問題点) 流体を燃焼シリンダ内に噴射するような応用におい
て、きわめて細かい霧化拡散燃料噴霧を生ずることが屡
々望まれる。公知のノズルはそのような霧化を実施しう
るが、改善が望まれるところである。さらに、容易に製
造され、そのような噴霧を生ずる比較的簡単なノズル構
造が望まれている。これらの問題のうちのいくつかは、
本発明によつて解決される。
て、きわめて細かい霧化拡散燃料噴霧を生ずることが屡
々望まれる。公知のノズルはそのような霧化を実施しう
るが、改善が望まれるところである。さらに、容易に製
造され、そのような噴霧を生ずる比較的簡単なノズル構
造が望まれている。これらの問題のうちのいくつかは、
本発明によつて解決される。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、流体流を案内する開口を備えた第1および
第2の全体的に平らなシリコン板を有するシリコンノズ
ルを提供する。第1シリコン板(すなわち、シリコン流
れ板)の第1開口は第2シリコン板(すなわち、シリコ
ンオリフイス板)の第2開口からと整合していない。第
1および第2開口間の区域において、第1および第2板
の平面にほぼ平行な流体流を剪断する剪断間隙(すなわ
ち、剪断間隙区域)を形成するように、シリコン板は厚
さが薄くなつている。そのような剪断流は乱流および流
体拡散の利点を生じ、燃焼シリンダ内に燃料を霧化す
る。1実施例において、流体拡散を促進するように、2
つの剪断流は互いに向合つて流れ、衝突する。
第2の全体的に平らなシリコン板を有するシリコンノズ
ルを提供する。第1シリコン板(すなわち、シリコン流
れ板)の第1開口は第2シリコン板(すなわち、シリコ
ンオリフイス板)の第2開口からと整合していない。第
1および第2開口間の区域において、第1および第2板
の平面にほぼ平行な流体流を剪断する剪断間隙(すなわ
ち、剪断間隙区域)を形成するように、シリコン板は厚
さが薄くなつている。そのような剪断流は乱流および流
体拡散の利点を生じ、燃焼シリンダ内に燃料を霧化す
る。1実施例において、流体拡散を促進するように、2
つの剪断流は互いに向合つて流れ、衝突する。
本発明実施例によるノズルは、シリコンミクロ加工技
術を使用して比較的容易に製造され、かつ高速排出特性
を備えた流体流を発生するので、有利である。
術を使用して比較的容易に製造され、かつ高速排出特性
を備えた流体流を発生するので、有利である。
(実施例) 第1図、第2図および第3図において、複合シリコン
ノズル集合体は全体的に平らなオリフイス板30と共働す
る全体的に平らな流れ板10を備えている。流れ板10は、
流れ板10を貫通しかつ流れ板10の中心部の周りに設置さ
れた供給オリフイス11,12,13及び14を備えた、対称的な
正方形シリコン部材である。各開口は流れ板10のもつと
も近い端部に平行なその長い側面を有する。
ノズル集合体は全体的に平らなオリフイス板30と共働す
る全体的に平らな流れ板10を備えている。流れ板10は、
流れ板10を貫通しかつ流れ板10の中心部の周りに設置さ
れた供給オリフイス11,12,13及び14を備えた、対称的な
正方形シリコン部材である。各開口は流れ板10のもつと
も近い端部に平行なその長い側面を有する。
第2図、第4図および第5図に示すように、オリフイ
ス板30に面する流れ板10の面は、頂部16の周りに形成さ
れ流れ板10の端部から離れた、全体的に矩形の環状樋15
を有する。
ス板30に面する流れ板10の面は、頂部16の周りに形成さ
れ流れ板10の端部から離れた、全体的に矩形の環状樋15
を有する。
第6図および第7図はオリフィス板30を示している。
中心排出オリフィス31はオリフイス板30の中間部を貫通
し、流れ板10に面するオリフイス板30の頂面からの距離
が増大するのにつれて断面積が増加するように傾斜して
いる。立上り壁33はオリフイス板30端部の周りに延びて
いる。オリフイス板30の壁33は樋15に隣接する流れ板10
の周辺部分に連なつている。オリフイス板30の凹んだ剪
断オリフイス部分32は壁33によつて限界され、オリフイ
ス板30が流れ板10に隣接して設置されるとき、オリフイ
ス板30は壁33の境界線内部で流れ板10に接触しない。
中心排出オリフィス31はオリフイス板30の中間部を貫通
し、流れ板10に面するオリフイス板30の頂面からの距離
が増大するのにつれて断面積が増加するように傾斜して
いる。立上り壁33はオリフイス板30端部の周りに延びて
いる。オリフイス板30の壁33は樋15に隣接する流れ板10
の周辺部分に連なつている。オリフイス板30の凹んだ剪
断オリフイス部分32は壁33によつて限界され、オリフイ
ス板30が流れ板10に隣接して設置されるとき、オリフイ
ス板30は壁33の境界線内部で流れ板10に接触しない。
第2図において、オリフイス板30の排出オリフイス31
は流れ板10の頂部16に整合している。凹んだ剪断オリフ
イス部分32は、オリフイス板30に隣接して流れ板10から
離れている。各供給オリフイス11,12,13および14は樋15
と一緒に作用して、剪断オリフイス部分32へ、ついで排
出オリフイス31を通り流れ板10およびオリフイス板30の
組合わせを通過する流体流を生ずる。
は流れ板10の頂部16に整合している。凹んだ剪断オリフ
イス部分32は、オリフイス板30に隣接して流れ板10から
離れている。各供給オリフイス11,12,13および14は樋15
と一緒に作用して、剪断オリフイス部分32へ、ついで排
出オリフイス31を通り流れ板10およびオリフイス板30の
組合わせを通過する流体流を生ずる。
第2図からもつとも良く分るように、頂部16に隣接す
る排出オリフイス31の大きさは、頂部16の大きさより小
さい。頂部16がオリフイス板30の剪断オリフイス部分32
上方まで延びるような、剪断間隙が形成されている。た
とえば、流体流が供給オリフイス14に入つた後、流体流
は樋15に入り、排出オリフイス31を通過する前に剪断オ
リフイス部分32に隣接して全体的に水平流となる。
る排出オリフイス31の大きさは、頂部16の大きさより小
さい。頂部16がオリフイス板30の剪断オリフイス部分32
上方まで延びるような、剪断間隙が形成されている。た
とえば、流体流が供給オリフイス14に入つた後、流体流
は樋15に入り、排出オリフイス31を通過する前に剪断オ
リフイス部分32に隣接して全体的に水平流となる。
複合ノズル集合体を製造するため、2つの別々のシリ
コン板構造はミクロ加工されついで接合される。製造に
は、公知のシリコンウエハのマスク技術が用いられ、つ
いでオリフイスを製造するためエツチング作用をうけ
る。オリフイスの傾斜特性は一側からのエツチングの結
果である。通常の傾斜は〈100〉結晶配置を備えたシリ
コン材料用エツチング角度である。樋15と供給オリフイ
ス11,12,13および14との組合わせのような二重傾斜は、
両面エツチングの結果である。頂部16はエツチング中頂
部区域をマスクして保護することによつて形成される。
同様に、壁33は剪断オリフイス部分32のエツチング中壁
33の区域をマスクして保護することによつて形成され
る。剪断オリフィス部分32及び排出オリフィス31は両側
からエツチングされ、それらは向合つた傾斜を有する。
流体剪断間隙は、頂部と排出オリフイスとに隣接する底
板の重なりによつて形成される。この間隙は一定圧力の
流体流用のノズルの流量および拡散特性を決定する。
コン板構造はミクロ加工されついで接合される。製造に
は、公知のシリコンウエハのマスク技術が用いられ、つ
いでオリフイスを製造するためエツチング作用をうけ
る。オリフイスの傾斜特性は一側からのエツチングの結
果である。通常の傾斜は〈100〉結晶配置を備えたシリ
コン材料用エツチング角度である。樋15と供給オリフイ
ス11,12,13および14との組合わせのような二重傾斜は、
両面エツチングの結果である。頂部16はエツチング中頂
部区域をマスクして保護することによつて形成される。
同様に、壁33は剪断オリフイス部分32のエツチング中壁
33の区域をマスクして保護することによつて形成され
る。剪断オリフィス部分32及び排出オリフィス31は両側
からエツチングされ、それらは向合つた傾斜を有する。
流体剪断間隙は、頂部と排出オリフイスとに隣接する底
板の重なりによつて形成される。この間隙は一定圧力の
流体流用のノズルの流量および拡散特性を決定する。
種々の変型および変更が、本発明に関連する技術に通
じた人々によつてなしうることは疑いないところであ
る。たとえば、開口の特殊な形状を、ここに開示したも
のから変化することができる。これらのそしてすべての
変更はこの開示によつて進歩した技術に基本的に依存
し、この技術は本発明の範囲内において適当に考慮され
る。
じた人々によつてなしうることは疑いないところであ
る。たとえば、開口の特殊な形状を、ここに開示したも
のから変化することができる。これらのそしてすべての
変更はこの開示によつて進歩した技術に基本的に依存
し、この技術は本発明の範囲内において適当に考慮され
る。
(発明の効果) 本発明は、それぞれ開口を有する第1および第2のシ
リコン板を用い、互いに整合しない前記第1および第2
開口間に、前記第1および第2シリコン板の平面にほぼ
平行な流体流用第1剪断間隙を形成することにより、き
わめて簡単な構造にも係わらず、従来のノズルの性能を
いちじるしく改善したシリコン複合ノズルを得ることが
できた。
リコン板を用い、互いに整合しない前記第1および第2
開口間に、前記第1および第2シリコン板の平面にほぼ
平行な流体流用第1剪断間隙を形成することにより、き
わめて簡単な構造にも係わらず、従来のノズルの性能を
いちじるしく改善したシリコン複合ノズルを得ることが
できた。
第1図は本発明の実施例による複合ノズル集合体の平面
図。 第2図は、第1図の2−2線に沿う断面図。 第3図は、第1図のノズル集合体の部分破断、斜視図。 第4図は、本発明の実施例の第3図に示すノズル集合体
流れ板の頂部斜視図。 第5図は、本発明実施例の第4図に示す流れ板の底部斜
視図。 第6図は、本発明実施例の第3図に示すノズル集合体オ
リフイス板の頂部斜視図。 第7図は、第6図に示すオリフイス板の底面斜視図。 10……流れ板、11〜14……供給オリフイス、 15……樋、16……頂部、 30……オリフイス板、31……排出オリフイス。
図。 第2図は、第1図の2−2線に沿う断面図。 第3図は、第1図のノズル集合体の部分破断、斜視図。 第4図は、本発明の実施例の第3図に示すノズル集合体
流れ板の頂部斜視図。 第5図は、本発明実施例の第4図に示す流れ板の底部斜
視図。 第6図は、本発明実施例の第3図に示すノズル集合体オ
リフイス板の頂部斜視図。 第7図は、第6図に示すオリフイス板の底面斜視図。 10……流れ板、11〜14……供給オリフイス、 15……樋、16……頂部、 30……オリフイス板、31……排出オリフイス。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マービン ディー.ウエルズ アメリカ合衆国ミシガン州,レッドフォ ード,マッカーサー 17446 (72)発明者 スチーブ ジェイ.ヨッケイ アメリカ合衆国ミシガン州,ファーミン トン ヒルズ,グリーニング 28029 (56)参考文献 特開 昭56−113470(JP,A) 特開 昭61−193862(JP,A) 特公 昭59−34865(JP,B2)
Claims (3)
- 【請求項1】流体流を案内するシリコン複合ノズルであ
って、 その中心の周りにほぼ対称的に貫通する多数の供給オリ
フィスを有する全体的に平らなシリコン流れ板であっ
て、前記流れ板の下側に形成された環状樋が前記供給オ
リフィスと交差し、前記樋の中央に頂部を有する、前記
流れ板と、 貫通する排出オリフィスを有する全体的に平らなシリコ
ンオリフィス板であって、前記オリフィス板上側位置に
おける前記排出オリフィスの開口は前記頂部に整合して
いるが、該オリフィス板上側位置における該排出オリフ
ィスの開口の大きさは、前記頂部の大きさより小さくな
っており、前記オリフィス板の周囲に立上り壁が設けら
れ、かつ厚さの薄い剪断間隙区域が設けられた、前記シ
リコンオリフィス板とを含み、 前記頂部の一部分および前記剪断間隙区域は整合し、前
記頂部および前記剪断間隙区域に隣接する領域は前記排
出オリフィスおよび前記供給オリフィスと連通する、 前記シリコン複合ノズル。 - 【請求項2】流体流を案内するシリコン複合ノズルであ
って、 貫通する第1、第2、第3および第4開口を有する全体
的に平らなシリコン流れ板、および 貫通しかつ前記シリコン流れ板の前記第1、第2、第3
および第4開口と整合しない第5開口を有する全体的に
平らなシリコンオリフィス板、 を含み、 前記シリコン複合ノズルは、前記シリコン流れ板および
前記シリコンオリフィス板の平面にほぼ平行な流体流の
剪断間隙区域を形成するように、前記第5開口と前記各
第1開口、第2開口、第3開口および第4開口の間に厚
さが薄い区域を有し、前記第1、第2、第3および第4
開口から前記剪断間隙区域を通って流れる流体流は衝突
し且つ前記第5開口を通って排出し、 前記第1、第2、第3および第4開口は全体的に矩形で
中央の頂部の周りに互いに隔てられた関係に設けられ、
前記中央の頂部は前記シリコンオリフィス板の前記第5
開口に整合し、前記剪断間隙区域は前記頂部の頂面およ
び前記シリコンオリフィス板の隣接面によって形成さ
れ、前記第5開口に隣接する前記頂部と前記シリコンオ
リフィス板の間の前記剪断間隙区域の重なり量は前記第
5開口の大きさに比較して比較的小さく、 前記シリコン流れ板は前記中央の頂部の周りの環状樋を
有し、前記環状樋は前記シリコン流れ板の前記各第1、
第2、第3および第4開口に整合し、前記シリコン流れ
板の前記環状樋は傾斜しかつ前記シリコンオリフィス板
からの距離が増加するのにつれて断面が縮小し、 前記各第1、第2、第3および第4開口は傾斜しかつ前
記シリコンオリフィス板からの距離が減少するのにつれ
て断面が縮小する、 前記流体流を案内するシリコン複合ノズル。 - 【請求項3】一定間隙シリコンノズルを形成する方法で
あって、 全体的に平らなシリコン流れ板に第1の開口を形成する
こと、 全体的に平らなシリコンオリフィス板に、前記第1の開
口と整合しない第2の開口を形成すること、 前記シリコン流れ板および前記シリコンオリフィス板の
境界面において前記第1および第2の開口の間に一定間
隙の流体流通路を形成すること を含む、前記方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US231365 | 1988-08-12 | ||
US07/231,365 US4828184A (en) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | Silicon micromachined compound nozzle |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0283051A JPH0283051A (ja) | 1990-03-23 |
JP2788064B2 true JP2788064B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=22868924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1178922A Expired - Lifetime JP2788064B2 (ja) | 1988-08-12 | 1989-07-11 | シリコン複合ノズル |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4828184A (ja) |
EP (1) | EP0354660B1 (ja) |
JP (1) | JP2788064B2 (ja) |
CA (1) | CA1313216C (ja) |
DE (1) | DE68909145T2 (ja) |
Families Citing this family (82)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG45171A1 (en) * | 1990-03-21 | 1998-01-16 | Boehringer Ingelheim Int | Atomising devices and methods |
US5208501A (en) * | 1990-08-06 | 1993-05-04 | Texas Instruments Incorporated | Rim driven stepper motor and method of operation RIM driven |
US5072145A (en) * | 1990-09-05 | 1991-12-10 | Sundstrand Corporation | Composite center module housing using specifically shaped segments to form fluid channels |
IL100224A (en) * | 1990-12-04 | 1994-10-21 | Dmw Tech Ltd | Spray nozzle |
DE4104019C1 (ja) * | 1991-02-09 | 1992-04-23 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
US6007676A (en) * | 1992-09-29 | 1999-12-28 | Boehringer Ingelheim International Gmbh | Atomizing nozzle and filter and spray generating device |
IL107120A (en) * | 1992-09-29 | 1997-09-30 | Boehringer Ingelheim Int | Atomising nozzle and filter and spray generating device |
US5492277A (en) * | 1993-02-17 | 1996-02-20 | Nippondenso Co., Ltd. | Fluid injection nozzle |
US5545073A (en) * | 1993-04-05 | 1996-08-13 | Ford Motor Company | Silicon micromachined CO2 cleaning nozzle and method |
US5383597A (en) * | 1993-08-06 | 1995-01-24 | Ford Motor Company | Apparatus and method for controlling the cone angle of an atomized spray from a low pressure fuel injector |
WO1995004881A1 (en) * | 1993-08-06 | 1995-02-16 | Ford Motor Company | A fuel injector |
DE4331851A1 (de) * | 1993-09-20 | 1995-03-23 | Bosch Gmbh Robert | Lochkörper und Ventil mit Lochkörper |
US5405283A (en) * | 1993-11-08 | 1995-04-11 | Ford Motor Company | CO2 cleaning system and method |
US5390450A (en) * | 1993-11-08 | 1995-02-21 | Ford Motor Company | Supersonic exhaust nozzle having reduced noise levels for CO2 cleaning system |
US5514024A (en) * | 1993-11-08 | 1996-05-07 | Ford Motor Company | Nozzle for enhanced mixing in CO2 cleaning system |
AUPM333394A0 (en) * | 1994-01-13 | 1994-02-03 | Meyer, David Jeffrey | Improved flow conditioners for fire fighting nozzles |
DE4404021A1 (de) * | 1994-02-09 | 1995-08-10 | Bosch Gmbh Robert | Düsenplatte, insbesondere für Einspritzventile und Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte |
JPH07289953A (ja) * | 1994-03-03 | 1995-11-07 | Nippondenso Co Ltd | 流体噴射ノズル |
JP3560174B2 (ja) * | 1994-05-17 | 2004-09-02 | 株式会社デンソー | 流体噴射ノズル及びそれを用いた燃料噴射弁 |
US5685491A (en) * | 1995-01-11 | 1997-11-11 | Amtx, Inc. | Electroformed multilayer spray director and a process for the preparation thereof |
BR9605943A (pt) * | 1995-03-29 | 1997-08-19 | Bosch Gmbh Robert | Disco perfurado particularmente para válvulas de injeção |
ES2179184T3 (es) * | 1995-03-29 | 2003-01-16 | Bosch Gmbh Robert | Procedimiento para la fabricacion de un disco perforado. |
DE19607266A1 (de) | 1995-03-29 | 1996-10-02 | Bosch Gmbh Robert | Lochscheibe, insbesondere für Einspritzventile und Verfahren zur Herstellung einer Lochscheibe |
CN1144943C (zh) * | 1995-03-29 | 2004-04-07 | 罗伯特·博施有限公司 | 尤其用于喷油嘴的孔板 |
US5679062A (en) * | 1995-05-05 | 1997-10-21 | Ford Motor Company | CO2 cleaning nozzle and method with enhanced mixing zones |
DE19530193A1 (de) * | 1995-08-17 | 1997-02-20 | Bosch Gmbh Robert | Düsenplatte, insbesondere für Kraftstoffeinspritzventile, und Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte |
US5616067A (en) * | 1996-01-16 | 1997-04-01 | Ford Motor Company | CO2 nozzle and method for cleaning pressure-sensitive surfaces |
US6533366B1 (en) | 1996-05-29 | 2003-03-18 | Kelsey-Hayes Company | Vehicle hydraulic braking systems incorporating micro-machined technology |
DE19622350A1 (de) * | 1996-06-04 | 1997-12-11 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung einer Düsenplatte |
CA2259625A1 (en) | 1996-07-08 | 1998-01-15 | Spraychip Systems Corp. | Gas-assisted atomizing device |
US6352209B1 (en) | 1996-07-08 | 2002-03-05 | Corning Incorporated | Gas assisted atomizing devices and methods of making gas-assisted atomizing devices |
JP2001522296A (ja) | 1996-07-08 | 2001-11-13 | コーニング インコーポレイテッド | レイリー分裂噴霧装置及びレイリー分裂噴霧装置の作成方法 |
DE19639506A1 (de) * | 1996-09-26 | 1998-04-02 | Bosch Gmbh Robert | Lochscheibe und Ventil mit einer Lochscheibe |
WO1998051506A1 (fr) * | 1997-05-14 | 1998-11-19 | Seiko Epson Corporation | Procede de formation d'ajutage pour injecteurs et procede de fabrication d'une tete a jet d'encre |
EP0939858B1 (de) | 1997-09-16 | 2004-04-28 | Robert Bosch Gmbh | Lochscheibe bzw. zerstäuberscheibe und einspritzventil mit einer lochscheibe bzw. zerstäuberscheibe |
DE19742439C1 (de) * | 1997-09-26 | 1998-10-22 | Boehringer Ingelheim Int | Mikrostrukturiertes Filter |
BR9813652A (pt) * | 1997-12-19 | 2000-10-03 | Corning Inc | Queimador e método para produção de fuligem de óxido de metal |
JP3814815B2 (ja) * | 1998-03-25 | 2006-08-30 | 株式会社デンソー | 噴孔プレートおよびその製造方法 |
DE19829177A1 (de) * | 1998-06-30 | 2000-01-05 | Asea Brown Boveri | Düse mit einer Einrichtung zum Zurückhalten von Festteilchen in einem Strömungsmedium |
US6523560B1 (en) | 1998-09-03 | 2003-02-25 | General Electric Corporation | Microvalve with pressure equalization |
US7011378B2 (en) | 1998-09-03 | 2006-03-14 | Ge Novasensor, Inc. | Proportional micromechanical valve |
JP4831446B2 (ja) | 1998-09-03 | 2011-12-07 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | マイクロバルブ装置 |
JP2000104647A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-11 | Denso Corp | 燃料噴射ノズル |
US6540203B1 (en) | 1999-03-22 | 2003-04-01 | Kelsey-Hayes Company | Pilot operated microvalve device |
JP3327246B2 (ja) * | 1999-03-25 | 2002-09-24 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
US6694998B1 (en) | 2000-03-22 | 2004-02-24 | Kelsey-Hayes Company | Micromachined structure usable in pressure regulating microvalve and proportional microvalve |
US6845962B1 (en) | 2000-03-22 | 2005-01-25 | Kelsey-Hayes Company | Thermally actuated microvalve device |
US6494804B1 (en) | 2000-06-20 | 2002-12-17 | Kelsey-Hayes Company | Microvalve for electronically controlled transmission |
US6581640B1 (en) | 2000-08-16 | 2003-06-24 | Kelsey-Hayes Company | Laminated manifold for microvalve |
NL1016030C1 (nl) | 2000-08-28 | 2002-03-01 | Aquamarijn Holding B V | Sproei inrichting met een nozzleplaat, een nozzleplaat, alsmede werkwijzen ter vervaardiging en voor toepassing van een dergelijke nozzleplaat. |
DE10056006A1 (de) * | 2000-11-11 | 2002-05-16 | Bosch Gmbh Robert | Brennstoffeinspritzventil |
US6513724B1 (en) | 2001-06-13 | 2003-02-04 | Siemens Automotive Corporation | Method and apparatus for defining a spray pattern from a fuel injector |
US6439136B1 (en) * | 2001-07-03 | 2002-08-27 | Alstom (Switzerland) Ltd | Pulverized solid fuel nozzle tip with ceramic component |
US6920749B2 (en) | 2002-03-15 | 2005-07-26 | Parker-Hannifin Corporation | Multi-function simplex/prefilmer nozzle |
DE102004005526B4 (de) | 2003-02-05 | 2022-03-31 | Denso Corporation | Kraftstoffeinspritzvorrichtung einer Brennkraftmaschine mit innerer Verbrennung |
CA2546585A1 (en) * | 2003-11-24 | 2005-06-09 | Alumina Micro Llc | Microvalve device suitable for controlling a variable displacement compressor |
US20070251586A1 (en) * | 2003-11-24 | 2007-11-01 | Fuller Edward N | Electro-pneumatic control valve with microvalve pilot |
US8011388B2 (en) * | 2003-11-24 | 2011-09-06 | Microstaq, INC | Thermally actuated microvalve with multiple fluid ports |
KR20070012375A (ko) * | 2004-02-27 | 2007-01-25 | 알루미나 마이크로 엘엘씨 | 하이브리드 마이크로/매크로 평판 밸브 |
KR20060128042A (ko) * | 2004-03-05 | 2006-12-13 | 알루미나 마이크로 엘엘씨 | 선택식 마이크로밸브 형성 접합방법 |
US7156365B2 (en) * | 2004-07-27 | 2007-01-02 | Kelsey-Hayes Company | Method of controlling microvalve actuator |
KR20070092328A (ko) * | 2005-01-14 | 2007-09-12 | 알루미나 마이크로 엘엘씨 | 가변용량형 압축기를 제어하기 위한 시스템 및 방법 |
US20070075158A1 (en) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Pelletier Robert R | Nozzle assembly |
US7703479B2 (en) * | 2005-10-17 | 2010-04-27 | The University Of Kentucky Research Foundation | Plasma actuator |
EP2100061A1 (en) * | 2006-06-19 | 2009-09-16 | Norgren, Inc. | A fluid control device with a non-circular flow area |
DE112007003035T5 (de) | 2006-12-15 | 2009-11-05 | Microstaq, Inc., Austin | Mikroventilvorrichtung |
CN101675280B (zh) | 2007-03-30 | 2013-05-15 | 盾安美斯泰克公司(美国) | 先导式微型滑阀 |
CN101668973B (zh) | 2007-03-31 | 2013-03-13 | 盾安美斯泰克公司(美国) | 先导式滑阀 |
WO2010019329A2 (en) * | 2008-08-09 | 2010-02-18 | Microstaq, Inc. | Improved microvalve device |
US8113482B2 (en) * | 2008-08-12 | 2012-02-14 | DunAn Microstaq | Microvalve device with improved fluid routing |
US8540207B2 (en) | 2008-12-06 | 2013-09-24 | Dunan Microstaq, Inc. | Fluid flow control assembly |
WO2010117874A2 (en) | 2009-04-05 | 2010-10-14 | Microstaq, Inc. | Method and structure for optimizing heat exchanger performance |
WO2011022267A2 (en) | 2009-08-17 | 2011-02-24 | Microstaq, Inc. | Micromachined device and control method |
US9006844B2 (en) | 2010-01-28 | 2015-04-14 | Dunan Microstaq, Inc. | Process and structure for high temperature selective fusion bonding |
US8956884B2 (en) | 2010-01-28 | 2015-02-17 | Dunan Microstaq, Inc. | Process for reconditioning semiconductor surface to facilitate bonding |
US8996141B1 (en) | 2010-08-26 | 2015-03-31 | Dunan Microstaq, Inc. | Adaptive predictive functional controller |
CN102410121A (zh) * | 2011-09-08 | 2012-04-11 | 何林霏 | S型雾化喷嘴 |
US8925793B2 (en) | 2012-01-05 | 2015-01-06 | Dunan Microstaq, Inc. | Method for making a solder joint |
US9140613B2 (en) | 2012-03-16 | 2015-09-22 | Zhejiang Dunan Hetian Metal Co., Ltd. | Superheat sensor |
DE202013002282U1 (de) * | 2013-03-11 | 2014-06-12 | Neoperl Gmbh | Strahlregler mit Prallfläche und Ringwandung |
US9188375B2 (en) | 2013-12-04 | 2015-11-17 | Zhejiang Dunan Hetian Metal Co., Ltd. | Control element and check valve assembly |
CN107989731B (zh) * | 2017-11-24 | 2018-11-16 | 广西卡迪亚科技有限公司 | 一种单孔雾化喷油器及其前置雾化结构 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2229306A5 (ja) * | 1973-01-17 | 1974-12-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | |
DE2407856C3 (de) * | 1974-02-19 | 1978-09-14 | Ulrich Dipl.-Ing. 5160 Dueren Rohs | Einspritzdüse für flüssige Medien, insbesondere Kraftstoff |
US4007464A (en) * | 1975-01-23 | 1977-02-08 | International Business Machines Corporation | Ink jet nozzle |
US4756508A (en) * | 1985-02-21 | 1988-07-12 | Ford Motor Company | Silicon valve |
US4647013A (en) * | 1985-02-21 | 1987-03-03 | Ford Motor Company | Silicon valve |
US4628576A (en) * | 1985-02-21 | 1986-12-16 | Ford Motor Company | Method for fabricating a silicon valve |
US4768751A (en) * | 1987-10-19 | 1988-09-06 | Ford Motor Company | Silicon micromachined non-elastic flow valves |
-
1988
- 1988-08-12 US US07/231,365 patent/US4828184A/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-06-19 CA CA000603191A patent/CA1313216C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-07-07 EP EP89306938A patent/EP0354660B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-07-07 DE DE89306938T patent/DE68909145T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-07-11 JP JP1178922A patent/JP2788064B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0283051A (ja) | 1990-03-23 |
US4828184A (en) | 1989-05-09 |
EP0354660B1 (en) | 1993-09-15 |
CA1313216C (en) | 1993-01-26 |
DE68909145T2 (de) | 1994-01-13 |
EP0354660A1 (en) | 1990-02-14 |
DE68909145D1 (de) | 1993-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2788064B2 (ja) | シリコン複合ノズル | |
RU2180407C2 (ru) | Распылительная шайба и клапан с такой шайбой | |
EP0787255B1 (de) | Lochscheibe, inbesondere für einspritzventile | |
AU729427B2 (en) | Gas-assisted atomizing device | |
US6189813B1 (en) | Rayleigh-breakup atomizing devices and methods of making rayleigh-breakup atomizing devices | |
CA2475424C (en) | Atomising nozzle and filter and spray generating device | |
US5383597A (en) | Apparatus and method for controlling the cone angle of an atomized spray from a low pressure fuel injector | |
US5924674A (en) | Microvalve and method for manufacturing a microvalve | |
JP3579426B2 (ja) | 孔付き円板を製造するための方法 | |
EP0787254A1 (de) | Lochscheibe, insbesondere für einspritzventile | |
US20030075623A1 (en) | Atomising nozzel and filter and spray generating device | |
JP2008527230A (ja) | マルチファンジェットノズル及び該マルチファンジェットノズルを備えた燃料噴射弁 | |
DE19607266A1 (de) | Lochscheibe, insbesondere für Einspritzventile und Verfahren zur Herstellung einer Lochscheibe | |
WO1998001228A9 (en) | Rayleigh-breakup atomizing devices and methods of making rayleigh-breakup atomizing devices | |
CN103485952B (zh) | 用作燃料喷射器的一部分的孔板及其制造方法 | |
US6352209B1 (en) | Gas assisted atomizing devices and methods of making gas-assisted atomizing devices | |
EP1978241B1 (de) | Zerstäuberanordnung zur Abgabe eines fein zerstäubten Fluids | |
JPH02241975A (ja) | 燃料噴射弁のための孔付プレート | |
JPH07167017A (ja) | 有孔装置 | |
MXPA99000451A (en) | Auxiliary atomizing device by |