JP2780239B2 - 非接触式変位測定装置 - Google Patents
非接触式変位測定装置Info
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- JP2780239B2 JP2780239B2 JP6276322A JP27632294A JP2780239B2 JP 2780239 B2 JP2780239 B2 JP 2780239B2 JP 6276322 A JP6276322 A JP 6276322A JP 27632294 A JP27632294 A JP 27632294A JP 2780239 B2 JP2780239 B2 JP 2780239B2
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- magnet
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
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- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は非接触式変位測定装置
に係り、特にスライシングマシンで半導体インゴットを
加工中の内周刃ブレードの変位を検出する非接触式変位
測定装置に関する。
に係り、特にスライシングマシンで半導体インゴットを
加工中の内周刃ブレードの変位を検出する非接触式変位
測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５に示すように、スライシングマシン
の内周刃ブレード１０を高速回転し、この高速回転して
いる内周刃ブレード１０に半導体インゴット１２を押圧
して半導体ウエハ１６を切断する。このように、半導体
インゴット１２を内周刃ブレード１０で切断する場合、
スライシングマシンは内周刃ブレード１０の変位量を検
出する変位センサ１４（図６参照）を備えている。この
変位センサ１４は半導体インゴット１２の外側近傍に設
けられて内周刃ブレード１０の変位量を検出する。この
検出結果に基づいて、切断した半導体ウエハ１６の切断
面形状を算出する。算出された切断面形状のデータは半
導体ウエハ１６の良否の判定データ等に利用される。
の内周刃ブレード１０を高速回転し、この高速回転して
いる内周刃ブレード１０に半導体インゴット１２を押圧
して半導体ウエハ１６を切断する。このように、半導体
インゴット１２を内周刃ブレード１０で切断する場合、
スライシングマシンは内周刃ブレード１０の変位量を検
出する変位センサ１４（図６参照）を備えている。この
変位センサ１４は半導体インゴット１２の外側近傍に設
けられて内周刃ブレード１０の変位量を検出する。この
検出結果に基づいて、切断した半導体ウエハ１６の切断
面形状を算出する。算出された切断面形状のデータは半
導体ウエハ１６の良否の判定データ等に利用される。
【０００３】しかしながら、従来の変位センサ１４は半
導体インゴット１２の外側に設けられて、半導体インゴ
ット１２の切断位置から離れているので、変位センサ１
４で求めた内周刃ブレード１０の変位量は内周刃ブレー
ドの実際の変位量と比較して必ずしも一致しない。従っ
て、従来の変位センサ１４では半導体インゴット２の切
断面形状を正確に検出することができない。
導体インゴット１２の外側に設けられて、半導体インゴ
ット１２の切断位置から離れているので、変位センサ１
４で求めた内周刃ブレード１０の変位量は内周刃ブレー
ドの実際の変位量と比較して必ずしも一致しない。従っ
て、従来の変位センサ１４では半導体インゴット２の切
断面形状を正確に検出することができない。
【０００４】このような問題を解消するために、半導体
インゴット１２の切断位置に変位センサ１８（図５参
照）を配して、この変位センサ１８で内周刃ブレード１
０の切断による変位量を直接検出する方法が提案されて
いる（特開平２−８１６０８号公報、特開平２−１６７
７０３号公報）。この方法を特開平２−８１６０８号公
報において説明すると、変位センサ１８は半導体ウエハ
１６の下方に配されている。
インゴット１２の切断位置に変位センサ１８（図５参
照）を配して、この変位センサ１８で内周刃ブレード１
０の切断による変位量を直接検出する方法が提案されて
いる（特開平２−８１６０８号公報、特開平２−１６７
７０３号公報）。この方法を特開平２−８１６０８号公
報において説明すると、変位センサ１８は半導体ウエハ
１６の下方に配されている。
【０００５】変位センサ１８は圧電素子に磁石を取り付
けたものが使用されているので、半導体ウエハ１６を切
断中の内周刃ブレード１０に変位量が発生した場合、内
周刃ブレード１０の変位量に対応して磁石が圧電素子か
ら離れる方向又は圧電素子に近づく方向に力が変化す
る。これにより、圧電素子が変位して圧電素子から変位
信号が出力され、圧電素子の変位信号に基づいて内周刃
ブレードの変位位置を検出する。
けたものが使用されているので、半導体ウエハ１６を切
断中の内周刃ブレード１０に変位量が発生した場合、内
周刃ブレード１０の変位量に対応して磁石が圧電素子か
ら離れる方向又は圧電素子に近づく方向に力が変化す
る。これにより、圧電素子が変位して圧電素子から変位
信号が出力され、圧電素子の変位信号に基づいて内周刃
ブレードの変位位置を検出する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
２−８１６０８号公報に記載の変位センサ１８は圧電素
子に磁石が一体的に設けられているので外部振動により
磁石が振動すると、磁石の振動が圧電素子に影響する。
これにより、内周刃ブレード１０の変位位置を正確に検
出することができないという問題がある。
２−８１６０８号公報に記載の変位センサ１８は圧電素
子に磁石が一体的に設けられているので外部振動により
磁石が振動すると、磁石の振動が圧電素子に影響する。
これにより、内周刃ブレード１０の変位位置を正確に検
出することができないという問題がある。
【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、内周刃ブレードの位置を正確に検出することが
できる非接触式変位測定装置を提供することを目的とす
る。
もので、内周刃ブレードの位置を正確に検出することが
できる非接触式変位測定装置を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、ケーシングと、前記ケーシング内に配設さ
れ、略中央を支点にして揺動自在に支持されたてこ部材
と、前記てこ部材の一端に設けられ、前記ケーシングの
外側に配された金属性被測定物の変位に対応して移動す
る変位検出用マグネット部材と、前記変位検出用マグネ
ット部材に近接して設けられて前記変位検出用マグネッ
ト部材の変位を検出し、該検出された変位検出用マグネ
ット部材の変位に基づいて前記被測定物の変位を求める
変位検出手段と、を備えたことを特徴としている。
成する為に、ケーシングと、前記ケーシング内に配設さ
れ、略中央を支点にして揺動自在に支持されたてこ部材
と、前記てこ部材の一端に設けられ、前記ケーシングの
外側に配された金属性被測定物の変位に対応して移動す
る変位検出用マグネット部材と、前記変位検出用マグネ
ット部材に近接して設けられて前記変位検出用マグネッ
ト部材の変位を検出し、該検出された変位検出用マグネ
ット部材の変位に基づいて前記被測定物の変位を求める
変位検出手段と、を備えたことを特徴としている。
【０００９】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、前記ケーシング内に液体を充填したことを特徴とし
ている。
に、前記ケーシング内に液体を充填したことを特徴とし
ている。
【００１０】
【作用】本発明によれば、変位検出手段を変位検出用マ
グネット部材に近接して設け、変位検出用マグネット部
材を被測定物に対して非接触状態に配した。そして、て
こ部材で変位検出用マグネット部材を被測定物に対応し
て移動する。従って、変位検出用マグネット部材と被測
定物との間に非磁性体ワーク等が介在した場合でも、変
位検出手段で変位検出用マグネット部材の変位を検出
し、検出された変位検出用マグネット部材の変位に基づ
いて被測定物の変位を検出する。
グネット部材に近接して設け、変位検出用マグネット部
材を被測定物に対して非接触状態に配した。そして、て
こ部材で変位検出用マグネット部材を被測定物に対応し
て移動する。従って、変位検出用マグネット部材と被測
定物との間に非磁性体ワーク等が介在した場合でも、変
位検出手段で変位検出用マグネット部材の変位を検出
し、検出された変位検出用マグネット部材の変位に基づ
いて被測定物の変位を検出する。
【００１１】また、変位検出用マグネット部材を変位検
出手段から独立して配したことにより、変位検出用マグ
ネット部材を被測定物の変位に対応させて精度よく移動
させることができる。さらに、ケーシング内に液体を充
填して、変位検出用マグネット部材及びてこ部材等を液
体に浸漬したことで、非接触式変位測定装置に振動が生
じた場合でも振動の影響を少なくすることができる。
出手段から独立して配したことにより、変位検出用マグ
ネット部材を被測定物の変位に対応させて精度よく移動
させることができる。さらに、ケーシング内に液体を充
填して、変位検出用マグネット部材及びてこ部材等を液
体に浸漬したことで、非接触式変位測定装置に振動が生
じた場合でも振動の影響を少なくすることができる。
【００１２】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る非接触式
変位測定装置について詳説する。図１には本発明に係る
非接触式変位測定装置２４の断面図が示されている。非
接触式変位測定装置２４はケーシング２６、てこ部材２
８、変位検出用マグネット３０、変位検出手段３２を備
えている。ケーシング２６には基台３４が設けられ、基
台３４の略中央には支点部材３６が設けられている。支
点部材３６にはてこ部材２８の略中央が支持され、これ
により、てこ部材２８は支点部材３６を支点として揺動
自在に支持される。
変位測定装置について詳説する。図１には本発明に係る
非接触式変位測定装置２４の断面図が示されている。非
接触式変位測定装置２４はケーシング２６、てこ部材２
８、変位検出用マグネット３０、変位検出手段３２を備
えている。ケーシング２６には基台３４が設けられ、基
台３４の略中央には支点部材３６が設けられている。支
点部材３６にはてこ部材２８の略中央が支持され、これ
により、てこ部材２８は支点部材３６を支点として揺動
自在に支持される。
【００１３】 てこ部材２８の左端部には変位検出用マ
グネット３０が設けられ、てこ部材２８の右端部にはバ
ランス調整用マグネット４２が設けられている。バラン
ス調整用マグネット４２は上部にＳ極、下部にＮ極が配
されている。バランス調整用マグネット４２の上端部は
カバー４４で覆われている。カバー４４は鉄材で形成さ
れ、これにより、バランス調整用マグネット４２の磁界
の強さはカバー４４の上方で小さくなる。
グネット３０が設けられ、てこ部材２８の右端部にはバ
ランス調整用マグネット４２が設けられている。バラン
ス調整用マグネット４２は上部にＳ極、下部にＮ極が配
されている。バランス調整用マグネット４２の上端部は
カバー４４で覆われている。カバー４４は鉄材で形成さ
れ、これにより、バランス調整用マグネット４２の磁界
の強さはカバー４４の上方で小さくなる。
【００１４】従って、スライシングマシンの内周刃ブレ
ード４５で半導体インゴット４７から半導体ウエハ４９
を切断する際、内周刃ブレード４５がバランス調整用マ
グネット４２の上方に位置した場合に、バランス調整用
マグネット４２の吸着力が内周刃ブレード４５に作用し
ない。バランス調整用マグネット４２の下方の基台３４
にはねじ部材４６が回動可能にねじ結合され、ねじ部材
４６の上端部にはマグネット４８が設けられている。マ
グネット４８は上部にＮ極、下部にＳ極が配されてい
る。これにより、バランス調整用マグネット４２のＮ極
とマグネット４８のＮ極とが互いに対向して配されるの
で、バランス調整用マグネット４２を上方に押し上げる
反発力が作用する。
ード４５で半導体インゴット４７から半導体ウエハ４９
を切断する際、内周刃ブレード４５がバランス調整用マ
グネット４２の上方に位置した場合に、バランス調整用
マグネット４２の吸着力が内周刃ブレード４５に作用し
ない。バランス調整用マグネット４２の下方の基台３４
にはねじ部材４６が回動可能にねじ結合され、ねじ部材
４６の上端部にはマグネット４８が設けられている。マ
グネット４８は上部にＮ極、下部にＳ極が配されてい
る。これにより、バランス調整用マグネット４２のＮ極
とマグネット４８のＮ極とが互いに対向して配されるの
で、バランス調整用マグネット４２を上方に押し上げる
反発力が作用する。
【００１５】また、ねじ部材４６を時計回り方向に回動
するとマグネット４８はバランス調整用マグネット４２
に近づく方向（上方向）に移動し、ねじ部材４６を反時
計回り方向に回動するとマグネット４８はバランス調整
用マグネット４２から離れる方向（下方向）に移動す
る。これにより、バランス調整用マグネット４２に作用
する反発力の強さを調整することができる。
するとマグネット４８はバランス調整用マグネット４２
に近づく方向（上方向）に移動し、ねじ部材４６を反時
計回り方向に回動するとマグネット４８はバランス調整
用マグネット４２から離れる方向（下方向）に移動す
る。これにより、バランス調整用マグネット４２に作用
する反発力の強さを調整することができる。
【００１６】さらに、ねじ部材４６内には電磁石用のコ
イル５０が設けられている。この電磁石用のコイル５０
に流す電流を調整することにより、コイル５０の磁力を
調整してバランス調整用マグネット４２に作用する反発
力の強さを調整することができる。電磁石用のコイル５
０を使用することにより、電磁石用のコイル５０に流す
電流の大きさを調整するだけでバランス調整用マグネッ
ト４２に作用する反発力を調整することができるので、
スライシングマシンの稼動中にバランス調整用マグネッ
ト４２に作用する反発力を調整することができる。
イル５０が設けられている。この電磁石用のコイル５０
に流す電流を調整することにより、コイル５０の磁力を
調整してバランス調整用マグネット４２に作用する反発
力の強さを調整することができる。電磁石用のコイル５
０を使用することにより、電磁石用のコイル５０に流す
電流の大きさを調整するだけでバランス調整用マグネッ
ト４２に作用する反発力を調整することができるので、
スライシングマシンの稼動中にバランス調整用マグネッ
ト４２に作用する反発力を調整することができる。
【００１７】変位検出用マグネット３０の下方の基台３
４には静電容量センサ（変位検出手段）３２が設けられ
ている。静電容量センサ３２はてこ部材２８と静電容量
センサ３２との隙間Ｓの静電容量を検出して、検出した
静電容量に基づいて隙間Ｓを求める。また、ケーシング
２６内にはシリコンオイル５４が充填されている。これ
により、非接触式変位測定装置２４に外部振動が付与さ
れた場合でも、てこ部材２８は振動が抑えられる。
４には静電容量センサ（変位検出手段）３２が設けられ
ている。静電容量センサ３２はてこ部材２８と静電容量
センサ３２との隙間Ｓの静電容量を検出して、検出した
静電容量に基づいて隙間Ｓを求める。また、ケーシング
２６内にはシリコンオイル５４が充填されている。これ
により、非接触式変位測定装置２４に外部振動が付与さ
れた場合でも、てこ部材２８は振動が抑えられる。
【００１８】前記の如く構成された本発明に係る非接触
式変位測定装置の作用について説明する。先ず、非接触
式変位測定装置２４を内周刃ブレード４５の下方に取り
付ける（図１参照）。次に、ねじ部材４６を時計回り方
向又は反時計回り方向に回動して、てこ部材２８が水平
状態になるように、バランス調整用マグネット４２に作
用する反発力の強さを調整する。次いで、スライシング
マシンの内周刃ブレード４５を高速回転し、半導体イン
ゴット４７を矢印方向（図１参照）に移動して内周刃ブ
レード４５で半導体インゴット４７を半導体ウエハ４９
に切断する。
式変位測定装置の作用について説明する。先ず、非接触
式変位測定装置２４を内周刃ブレード４５の下方に取り
付ける（図１参照）。次に、ねじ部材４６を時計回り方
向又は反時計回り方向に回動して、てこ部材２８が水平
状態になるように、バランス調整用マグネット４２に作
用する反発力の強さを調整する。次いで、スライシング
マシンの内周刃ブレード４５を高速回転し、半導体イン
ゴット４７を矢印方向（図１参照）に移動して内周刃ブ
レード４５で半導体インゴット４７を半導体ウエハ４９
に切断する。
【００１９】このように、内周刃ブレード４５で半導体
インゴット４７を半導体ウエハ４９に切断する場合、例
えば内周刃ブレード４５に下方への変位量が発生すると
内周刃ブレード４５が変位検出用マグネット３０に近づ
くので、変位検出用マグネット３０が上方に吸着される
吸着力が大きくなり、変位検出用マグネット３０が上方
に移動する。これにより、てこ部材２８が時計回り方向
に揺動して、バランス調整用マグネット４２が下降す
る。従って、バランス調整用マグネット４２がマグネッ
ト４８に近づいて、バランス調整用マグネット４２を上
方に移動しようとする反発力が大きくなる。このため、
てこ部材２８が時計回り方向に所定角傾斜した状態でバ
ランス状態に維持され、変位検出用マグネット３０が上
方に所定量移動した位置で静止する。
インゴット４７を半導体ウエハ４９に切断する場合、例
えば内周刃ブレード４５に下方への変位量が発生すると
内周刃ブレード４５が変位検出用マグネット３０に近づ
くので、変位検出用マグネット３０が上方に吸着される
吸着力が大きくなり、変位検出用マグネット３０が上方
に移動する。これにより、てこ部材２８が時計回り方向
に揺動して、バランス調整用マグネット４２が下降す
る。従って、バランス調整用マグネット４２がマグネッ
ト４８に近づいて、バランス調整用マグネット４２を上
方に移動しようとする反発力が大きくなる。このため、
てこ部材２８が時計回り方向に所定角傾斜した状態でバ
ランス状態に維持され、変位検出用マグネット３０が上
方に所定量移動した位置で静止する。
【００２０】これにより、てこ部材２８の底面と静電容
量センサ３２との隙間Ｓが大きくなるので静電容量が大
きくなる。この変化した静電容量を静電容量センサで検
出して変位検出用マグネット３０の変位を算出し、算出
した変位検出用マグネット３０の変位に基づいて変位量
により変動した内周刃ブレード４５の変位を求める。こ
の場合、非接触式変位測定装置を半導体インゴット４７
の下方に取り付けて、内周刃ブレード４５の変位量が発
生した箇所の変位を直接測定することができるので、高
精度に内周刃ブレード４９の変位を測定することができ
る。
量センサ３２との隙間Ｓが大きくなるので静電容量が大
きくなる。この変化した静電容量を静電容量センサで検
出して変位検出用マグネット３０の変位を算出し、算出
した変位検出用マグネット３０の変位に基づいて変位量
により変動した内周刃ブレード４５の変位を求める。こ
の場合、非接触式変位測定装置を半導体インゴット４７
の下方に取り付けて、内周刃ブレード４５の変位量が発
生した箇所の変位を直接測定することができるので、高
精度に内周刃ブレード４９の変位を測定することができ
る。
【００２１】前記実施例では隙間Ｓを静電容量センサで
検出する場合について説明したが、これに限らず、うず
電流センサで隙間Ｓを測定しても内周刃ブレード５８の
変位量を同様に測定することができる。このうず電流セ
ンサはコイルのインピーダンス変化を検出して隙間Ｓを
測定する。静電容量センサに代えて差動変圧器を使用し
て変位検出用マグネット３０の変位を検出することも可
能である。
検出する場合について説明したが、これに限らず、うず
電流センサで隙間Ｓを測定しても内周刃ブレード５８の
変位量を同様に測定することができる。このうず電流セ
ンサはコイルのインピーダンス変化を検出して隙間Ｓを
測定する。静電容量センサに代えて差動変圧器を使用し
て変位検出用マグネット３０の変位を検出することも可
能である。
【００２２】前記実施例では支点部材３６にてこ部材２
８を揺動自在に支持した場合について説明したが、これ
に限らず、図２に示すように板ばね６０を介しててこ部
材２８を基台３４に支持してもよい。このように、板ば
ね６０で支持れたてこ部材２８は板ばね６０が曲がるこ
とにより揺動する。また、てこ部材２８を図３、図４に
示すように支持してもよい。すなわち、板ばね６２に穴
６２Ａを形成し、穴６２Ａにてこ部材２８を貫通させた
状態で固定部６４でてこ部材２８を固定することによ
り、てこ部材２８は板ばね６２を介して基台３４に支持
される。この場合、てこ部材２８の揺動中心Ｇ（図３参
照）がてこ部材２８の軸線上に位置するので、てこ部材
２８の軸線方向に負荷が作用した場合にてこ部材２８が
揺動しない。
８を揺動自在に支持した場合について説明したが、これ
に限らず、図２に示すように板ばね６０を介しててこ部
材２８を基台３４に支持してもよい。このように、板ば
ね６０で支持れたてこ部材２８は板ばね６０が曲がるこ
とにより揺動する。また、てこ部材２８を図３、図４に
示すように支持してもよい。すなわち、板ばね６２に穴
６２Ａを形成し、穴６２Ａにてこ部材２８を貫通させた
状態で固定部６４でてこ部材２８を固定することによ
り、てこ部材２８は板ばね６２を介して基台３４に支持
される。この場合、てこ部材２８の揺動中心Ｇ（図３参
照）がてこ部材２８の軸線上に位置するので、てこ部材
２８の軸線方向に負荷が作用した場合にてこ部材２８が
揺動しない。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る非接触
式変位測定装置によれば、変位検出用マグネット部材と
被測定物との間にワーク等が介在した場合でも、変位検
出手段で変位検出用マグネット部材の変位を検出し、検
出された変位検出用マグネット部材の変位に基づいて被
測定物の変位を検出する。
式変位測定装置によれば、変位検出用マグネット部材と
被測定物との間にワーク等が介在した場合でも、変位検
出手段で変位検出用マグネット部材の変位を検出し、検
出された変位検出用マグネット部材の変位に基づいて被
測定物の変位を検出する。
【００２４】また、変位検出用マグネット部材を変位検
出手段から独立して配したことにより、変位検出用マグ
ネット部材を被測定物の変位に対応させて精度よく移動
させることができる。従って、被測定物の変位を精度よ
く検出することができる。さらに、ケーシング内に液体
を充填して、変位検出用マグネット部材及びてこ部材等
を液体に浸漬したので、非接触式変位測定装置に振動が
生じた場合でも変位検出用マグネット部材を振動から保
護することができる。従って、振動の影響を受けずに被
測定物の変位を精度よく検出することができる。
出手段から独立して配したことにより、変位検出用マグ
ネット部材を被測定物の変位に対応させて精度よく移動
させることができる。従って、被測定物の変位を精度よ
く検出することができる。さらに、ケーシング内に液体
を充填して、変位検出用マグネット部材及びてこ部材等
を液体に浸漬したので、非接触式変位測定装置に振動が
生じた場合でも変位検出用マグネット部材を振動から保
護することができる。従って、振動の影響を受けずに被
測定物の変位を精度よく検出することができる。
【図１】本発明に係る非接触式変位測定装置の断面図
【図２】本発明に係る非接触式変位測定装置の他の実施
例を示した要部拡大図
例を示した要部拡大図
【図３】本発明に係る非接触式変位測定装置の他の実施
例を示した要部拡大図
例を示した要部拡大図
【図４】図３のＡ−Ａ矢視図
【図５】従来のスライシングマシンの要部を示した断面
図
図
【図６】従来のスライシングマシンの要部を示した平面
図
図
１０…非接触式変位測定装置 ２８…てこ部材 ３０…変位検出用マグネット ３２…静電容量センサ（変位検出手段） ４２…バランス調整用マグネット ４５…内周刃ブレード（被測定物） ４８…マグネット ５０…電磁石 ５４…シリコンオイル（液体）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０１Ｂ 21/30 １０２ Ｇ０１Ｂ 21/30 １０２ (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23Q 17/22 B23Q 17/09 B28D 5/02 G01B 21/00 B24D 5/12
Claims (3)
- 【請求項１】 ケーシングと、 前記ケーシング内に配設され、略中央を支点にして揺動
自在に支持されたてこ部材と、 前記てこ部材の一端に設けられ、前記ケーシングの外側
に配された金属性被測定物の変位に対応して移動する変
位検出用マグネット部材と、 前記変位検出用マグネット部材に近接して設けられて前
記変位検出用マグネット部材の変位を検出し、該検出さ
れた変位検出用マグネット部材の変位に基づいて前記被
測定物の変位を求める変位検出手段と、 を備えたことを特徴とする非接触式変位測定装置。 - 【請求項２】 前記ケーシング内に液体を充填したこと
を特徴とする請求項１の非接触式変位測定装置。 - 【請求項３】 前記てこ部材の他端には、バランス調整
用マグネット部材が設けられ、 該バランス調整用マグネット部材に対向した前記ケーシ
ングには、前記バランス調整用マグネット部材に磁力に
よる反発力を付与して前記てこ部材のバランスを調整す
るためのマグネット部材が設けられていることを特徴と
する請求項１の非接触式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6276322A JP2780239B2 (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | 非接触式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6276322A JP2780239B2 (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | 非接触式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08141887A JPH08141887A (ja) | 1996-06-04 |
| JP2780239B2 true JP2780239B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=17567842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6276322A Expired - Fee Related JP2780239B2 (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | 非接触式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2780239B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082702A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-10 | Yamaguchi Univ | 加工状態評価システム |
| KR102247337B1 (ko) * | 2014-11-24 | 2021-05-06 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 자기력을 이용한 무접촉 압전형 변위 센서 및 이를 이용한 회전체의 변위 측정 방법 |
| CN111283277A (zh) * | 2018-12-06 | 2020-06-16 | 东莞市深动精密机械有限公司 | 一种模内攻牙丝锥检测装置 |
-
1994
- 1994-11-10 JP JP6276322A patent/JP2780239B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08141887A (ja) | 1996-06-04 |
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