JP2776084B2 - アクティブマトリックス液晶表示装置 - Google Patents

アクティブマトリックス液晶表示装置

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JP2776084B2
JP2776084B2 JP3236997A JP23699791A JP2776084B2 JP 2776084 B2 JP2776084 B2 JP 2776084B2 JP 3236997 A JP3236997 A JP 3236997A JP 23699791 A JP23699791 A JP 23699791A JP 2776084 B2 JP2776084 B2 JP 2776084B2
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JP
Japan
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wiring
lead
layer
liquid crystal
crystal display
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敬三 小林
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NEC Corp
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Nippon Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アクティブマトリック
ス液晶表示装置に関し、特に画素電極基板における引き
出し配線部での金属配線の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】アクティブマトリックス液晶表示装置
は、TFT等の素子が形成されている画素電極基板と、
必要に応じてカラーフィルタが形成される共通電極基板
とを有する。画素電極基板の素子アレイ部には走査線と
これと直交する信号線とが延在しており、これら各配線
は引き出し配線を介して基板周辺部に設けられた接続パ
ッドと接続される。
【0003】図3は、引き出し配線部の接続状態を示す
平面図である。同図において、11は走査線または信号
線である素子アレイ部配線、12は配線接続部、13は
引き出し配線、14は外部に設けられた駆動回路と接続
される接続パッドである。
【0004】この引き出し配線部付近の従来の各種構造
を、断面図にて図4に示す。これらはいずれも逆スタガ
ード型TFTを用いた場合の例であって、第1層配線を
ゲート電極に接続される走査線として用い、第2層配線
をソース・ドレイン電極に接続される信号線として用い
ている。一方、接続パッドは通常第2層配線を用いて形
成される。
【0005】図4において、1はガラス基板、2は第1
層配線、3は、ゲート絶縁膜と同時に形成された絶縁膜
(以下、便宜上ゲート絶縁膜と記す)、4は第2層配線
である。
【0006】図4の(a)に示す第1の従来例では、信
号線に関しては素子アレイ部の信号線、引き出し配線お
よび接続パッドのすべてが第2層配線により形成され、
走査線については素子アレイ部の走査線および引き出し
配線とが第1層配線により、また接続パッドが第2層配
線により形成されている。
【0007】図4の(b)に示す第2の従来例は、上記
第1の従来例の接続配線部での断線不良をなくすべく改
良を加えたものであって、この従来例では、接続配線部
での配線が第1層配線2と第2層配線4との2層構造と
なっている。
【0008】図4の(c)に示す第3の従来例は、引き
出し配線を成膜およびエッチングが比較的安定して行わ
れる第1層配線を用いて形成することにより断線・短絡
不良を削減しようとしたものである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の引き出
し配線構造では、断線・短絡等の不良を発生し易いとい
う問題点があった。これは、引き出し配線が、図3に摸
式的に示したように斜めの配線を使うため、最小線間隔
が狭くなること、引き出し配線の配線長が数mmから数十
mm程度と比較的長くなること、引き出し配線部と素子ア
レイ部とでは下地構造が異なっているため、特にドライ
法で配線をパターニングする際にそれぞれの領域でのエ
ッチング速度が異なり終点の設定が難しいこと等の理由
による。
【0010】即ち、図4の(a)に示す従来例では、信
号線、走査線のいずれについても断線・短絡が発生しや
すく、また第2の従来例では、断線不良は削減されるが
短絡不良が増加する。一方、図4の(c)の例は第1の
従来例と基本的に異なるものではないため、第1の従来
例と同程度に不良が発生する。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明のアクティブマト
リックス液晶表示装置における画素電極基板では、素子
アレイ部での配線と第2層配線により形成された接続パ
ッドとの間を接続する引き出し配線が、第1層配線と第
2層配線とを一本おきに交互に用いて構成されている。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明の第1の実施例を示す断面
図である。本実施例は逆スタガード型TFTを用いた例
に関する。
【0013】Aに示された接続方法では、素子アレイ部
の信号線は第1層配線2を用いた引き出し配線を介して
接続パッドと接続されている。またBに示された接続方
法では、素子アレイ部の信号線は第2層配線4を用いた
引き出し配線を介して接続パッドと接続されている。そ
して、本実施例においてはA、Bに示された引き出し配
線が1本おきに交互に配置されている。
【0014】一方、走査線においては、第1層配線2に
より形成された素子アレイ部の走査線はCに示すよう
に、第1層配線2による引き出し配線を介して接続パッ
ドと接続され、あるいはDに示すように第2層配線4に
よる引き出し配線を介して接続パッドと接続されてい
る。そして、走査線においても、Cに示すものとDに示
すものとは1本おきに交互に配置される。
【0015】信号線および走査線に関して、引き出し配
線は第1層配線と第2層配線とが交互に用いられてお
り、隣接する引き出し配線は異なる層内に存在している
ため短絡事故の発生は大きく削減される。また、同一面
内では引き出し配線間のピッチが従来例の2倍となって
いるため、配線の線幅を十分に大きく設定することがで
き断線事故を激減させることができる。
【0016】なお、本実施例における各配線は、素子ア
レイ部のTFTを形成する際に同時に形成されるもので
あるので、本実施例により工程数が増加することはな
い。
【0017】図2は本発明の第2の実施例を示す引き出
し配線部付近の断面図である。本実施例はTFTが順ス
タガード型である場合に関する。順スタガード型のTF
Tでは、ソース・ドレイン電極に接続される信号線が第
1層配線を用いて形成され、また、ゲート電極に接続さ
れる走査線が第2層配線を用いて形成される。
【0018】本実施例は、TFTが順スタガード型とな
ったことに応じた変更を第1の実施例に加えたものであ
って、第1の実施例と同様に、信号線に関しては、第1
層配線2により形成された引き出し配線(Aに示す)
と、第2層配線4により形成された引き出し配線(Bに
示す)とが、1本おきに交互に配置され、走査線に関し
ては、第1層配線2により形成された引き出し配線(C
に示す)と、第2層配線4により形成された引き出し配
線(Dに示す)とが、1本おきに交互に配置されてい
る。
【0019】以上の実施例では、信号線および走査線の
双方に関して引き出し配線の交互配置を採用していた
が、通常は信号線の方が配線数が多く短絡・断線不良を
起こし易い。それゆえ走査線に関しては従来構造とし、
信号線のみに交互配置を実施するようにしてもよい。勿
論走査線側において不良が発生しやすい場合には走査線
に関してのみ交互配置を採用するようにすることができ
る。また、本発明はTFTを用いたものばかりでなく、
他のスイッチング素子を用いた液晶表示装置に対しても
適用しうるものである。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、液晶表
示装置の画素電極基板において、信号線や走査線と接続
パッドとの間を接続する引き出し配線を、第1層配線と
第2層配線とを交互に用いて形成したものであるので、
本発明によれば、隣接した引き出し配線が同一層内に存
在することがなくなり短絡事故が大幅に削減される。
【0021】さらに、引き出し配線のピッチが従来例の
2倍となるので、短絡事故が発生しない範囲で配線幅を
十分に大きくできる。従って、本発明によれば、引き出
し配線の断線事故を激減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す画素電極基板の断
面図。
【図2】本発明の第2の実施例を示す画素電極基板の断
面図。
【図3】画素電極基板の引き出し配線部付近のパターン
を摸式的に示した平面図。
【図4】従来例の画素電極基板の断面図。
【符号の説明】
1…ガラス基板、 2…第1層配線、 3…ゲート
絶縁膜、 4…第2層配線。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1層配線により構成された互いに平行
    な複数の第1の配線と、 第2層配線により構成された、前記第1の配線とは直交
    する方向に延びる複数の第2の配線と、第2層配線により構成された、 外部回路に接続される接
    続パッドと、 前記第1の配線および前記第2の配線と前記接続パッド
    との間を接続する引き出し配線と、 を具備するアクティブマトリックス液晶表示装置におい
    て、 前記第1の配線と接続される引き出し配線と前記第2の
    配線と接続される引き出し配線のうち少なくとも一方
    は、第1層配線または第2層配線によって形成されかつ
    隣接する引き出し配線とは異なる層の配線を用いて形成
    されていることを特徴とするアクティブマトリックス液
    晶表示装置。
JP3236997A 1991-08-23 1991-08-23 アクティブマトリックス液晶表示装置 Expired - Lifetime JP2776084B2 (ja)

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