JP2766623B2 - 電子部品搭載装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、電子部品を無接触で位
置決めし、電子部品を基板上に搭載するようにした電子
部品の搭載装置に関する。 【０００２】 【従来技術】電子部品を基板上に搭載する装置には、種
々の方式があるが、その中で本発明に近い装置が、実開
昭５７−４２７５号公報、特開昭５７−１６４３１０号
公報に示されている。 【０００３】この従来の電子部品搭載装置は、電子部品
の基板に対する装着方向を所望の方向に設定するために
吸着ヘッドを回転可能にする手段を具備した回転式の電
子部品搭載装置であり、また電子部品の吸着姿勢を正確
に認識するための画像認識部を有し、画像認識部により
電子部品の回転方向の位置ずれを吸着ヘッドを回転して
補正することが記載されている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】上記したような電子部
品搭載装置においては、電子部品を基板上に高速で、か
つ高精度に搭載する機構になっておらず、また位置決め
不良や部品の落下、破損などのトラブルを起こすという
技術的な問題があった。 【０００５】 【０００６】 【０００７】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、
電子部品の落下、破損もなく、正確な位置決めを可能に
するとともに、生産性をも向上した電子部品搭載装置を
提供することを目的とする。 【０００８】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本出願の第１の発明は、テーピングされた状態で収
納された電子部品を供給する部品供給部と、ほぼ鉛直方
向の第１の回転軸を中心に間歇回転する取り付け部材
と、前記取り付け部材の取り付け面に前記第１の回転軸
を中心にほぼ円周状に等間隔で前記取り付け面とほぼ直
交するように配設されて各々ほぼ鉛直方向に摺動可能か
つほぼ鉛直方向の第２の回転軸を中心に回動可能であり
下端部にバックプレートを設けた複数の吸着ヘッドとを
有する搭載ヘッド部と、前記吸着ヘッドにより前記電子
部品が搭載される基板の位置を位置決めするＸＹテーブ
ルと、前記吸着ヘッドが前記電子部品を吸着する位置と
前記吸着ヘッドが前記電子部品を基板へ搭載する位置と
の間で、照明された前記バックプレートからの光を前記
電子部品の吸着されている面側に照射して得られる前記
電子部品のシルエット像を撮像して、前記吸着ヘッドに
吸着されている前記電子部品の姿勢を光学的に検知する
視覚認識部と、前記吸着ヘッドに吸着された前記電子部
品の姿勢を光学的に検知する位置と前記吸着ヘッドが前
記電子部品を基板へ搭載する位置との間で、前記吸着ヘ
ッドを隣り合う吸着ヘッドとは独立して回動させて吸着
された前記電子部品を前記第２の回転軸を中心に回し、
前記電子部品の姿勢を補正する回動手段と、前記取り付
け部材の間歇回転と複数の前記吸着ヘッドの摺動及び回
動により、前記電子部品の吸着、姿勢検知、姿勢補正、
前記基板への搭載を順次行うように制御する制御手段と
を備えた。また、本出願の第２の発明は、テーピングさ
れた状態で収納された電子部品を供給する部品供給部
と、前記電子部品を吸着して摺動可能かつ回動可能であ
り下端部にバックプレートを設けた複数の吸着ヘッド
を、ほぼ円周状に等間隔でかつ前記吸着ヘッドの摺動す
る方向と取り付け面とがほぼ直交するように配設した取
り付け部材をほぼ鉛直方向の回転軸を中心に間歇回転す
る搭載ヘッド部と、前記吸着ヘッドにより前記電子部品
が搭載される基板の位置を位置決めするＸＹテーブル
と、前記バックプレートを照明することにより前記バッ
クプレートからの光を前記電子部品の前記吸着ヘッドに
より吸着されている面側を照射する照明手段と、前記電
子部品を吸着して基板へ搭載する間に、前記照明手段に
より照射され た光により得られる前記電子部品のシルエ
ット像を撮像して、前記吸着ヘッドに吸着されている前
記電子部品の姿勢を光学的に検知する視覚認識部と、前
記電子部品の姿勢を光学的に検知して前記電子部品を基
板へ搭載する間に、前記吸着ヘッドを隣り合う吸着ヘッ
ドとは独立して回動させて、吸着された前記電子部品の
姿勢を補正する回動手段と、前記取り付け部材の間歇回
転と前記吸着ヘッドの摺動及び回動により、前記電子部
品の吸着、姿勢検知、姿勢補正、前記基板への搭載を順
次行うように制御する制御手段とを備えた。 【０００９】 【実施例】以下、本発明の一実施例について説明する。
まず、図１を用いて本実施例の概要を説明する。 【００１０】図１において、Ａ部は搭載ヘッド部であ
り、中空の主軸下端にテーブル７０が取付けられ、この
テーブル７０には、上下動可能に複数の吸着ヘッド５４
が取付けられている。Ｂ部は、テーピングされた部品を
吸着ヘッド５４の下方に搬入する部品供給部である。Ｃ
部は、部品を搭載する基板のＸ−Ｙ方向の位置決めをす
るとともに、上記吸着ヘッド５４の下方の所定位置に基
板を配置するためのＸＹテーブルである。Ｄ部は、基板
供給部である。Ｅ部は、吸着ヘッド５４に吸着した部品
の姿勢を光学的に監視し、吸着ヘッド５４の自転を自動
調節するための視覚認識部である。 【００１１】これらＡ〜Ｅ部は、枢体１０上に取付けら
れている。この他、図１に図示していないものとして制
御装置（別枢体）、画像入力処理部、駆動系（枢体１０
内）とからなる。基板供給部Ｄでは、コンベア１９１に
より部品を搭載する基板８が搬送され、基板供給部Ｄの
チャックＤ´でコンベア１９１からＸＹテーブルＣの基
板保持具に移される。この基板８はＸＹテーブルＣによ
り搭載ヘッド部Ａの下部に搬送され、搭載ヘッド部Ａに
より順次部品が搭載される。搭載完了後再びＸＹテーブ
ルＣにより基板８は基板供給部Ｄに搬送され、チャック
Ｄ〃によりコンベア２０１に移され、次工程に送られ
る。 【００１２】一方、搭載ヘッド部Ａにより搭載される部
品は、部品供給部Ｂにテーピングされた状態でリール３
に巻かれて収納されており、これを部品供給部Ｂのテー
プ送りピンにより吸着ヘッド５４の直下まで搬送し、こ
れを吸着ヘッド５４が下降して吸着して取上げる。つい
で吸着ヘッド５４はインデックスユニット１２により間
歇的に回転させられ、視覚認識部Ｅへ送られる。視覚認
識部Ｅではカメラにより部品の位置（吸着ヘッド５４に
対する位置ずれ）を検出し、そのデータ（ΔＸ，ΔＹ，
Δθ）を制御装置へフィードバックする。制御装置は、
予め指示されたプログラムに従って部品を搭載させる位
置に移動させるデータを、ＸＹテーブルＣのモータに指
令を出すが、この時、視覚認識部Ｅからの位置ずれデー
タ（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を加味した移動データを指示す
る。これに従いＸＹテーブルＣは移動する。吸着ヘッド
５４は再びインデックスユニット１２により１ピッチ送
られ、基板８の直下に部品１を搬送してくる。ここで吸
着ヘッド５４が下降して部品１を基板８に搭載する。上
記手順を繰り返して部品が基板８に搭載される。 【００１３】以下、各部分ごとに更に詳細に説明する。 （搭載ヘッド部Ａについて）図４ないし図８により搭載
ヘッド部の詳細を説明する。図４は搭載ヘッド部Ａの正
面図、図５は図４のＡ−Ａ線矢視図、図６は搭載ヘッド
を示す垂直断面図、図７は図６のＢ−Ｂ断面図、図８は
同じくＣ−Ｃ断面図である。 【００１４】図４および図５において、コラム１１上に
インデックス装置１２が固定されている。インデックス
装置１２は、入力軸１３にタイミングプーリ１５、タイ
ミングベルト１６等を介して連続回転を与えると、出力
軸３０（図６参照）が間歇的に駆動されて回転する機能
を有している。図６において、出力軸３０に主軸３４が
ボルト３５で固定され、主軸３４の下端にテーブル７０
が固定されている。また、テーブル７０の外方向には部
品１（図２参照）を吸着するための吸着ヘッド５４を含
めた機構が４個配置されている。主軸３４の中心部は中
空となっており、この中空内に中空状の吸着ヘッド回転
軸７２と吸着ヘッド回転軸５５が２重に通っており、主
軸３４と中空状の吸着ヘッド回転軸７２、および中空状
の吸着ヘッド回転軸７２と吸着ヘッド回転軸５５間に各
々ギャップを設けてあるため、上記３本の軸は単独で動
作する。中空状の吸着ヘッド回転軸７２の下端外側はベ
アリング７１でラジアル方向を受け、さらに下端部には
歯車６６が固定されている。また、吸着ヘッド回転軸５
５の下端はブッシュ６４で回転自在に支持しており、最
下端部に歯車６７がナット６５で固定されている。ま
た、吸着ヘッド回転軸５５の上端には歯車５６が固定さ
れており、パルスモータ６０の軸に固定されている歯車
５９とタイミングベルト５８で連結されている。一方、
中空状の吸着ヘッド回転軸７２の上端も同様な歯車５７
が固定されており、タイミングベルト６１と連結してパ
ルスモータ６３と連動している。なお、インデックス装
置１２の出力軸３０は上端から下端まで中空部が貫通し
ており、ひの中空部を前記中空状の吸着ヘッド回転軸７
２および吸着ヘッド回転軸５５が通っている。 【００１５】つぎに、ノズルホルダー４３はガイド４４
により上下動と回転が自在に保持されている。また、ノ
ズルホルダー４３はブッシュ５２に上下スライド自在に
係合し、回転方向はキー５１により規制されている。ブ
ッシュ５２はテーブル７０とベアリング５０を介して回
転自在に保持されている。ブッシュ５２の下部外側には
歯車５３ａが固定されている。また、前記ノズルホルダ
ー４３のフランジ部に圧縮バネ４７が組み込まれてお
り、ノズルホルダー４３は常に上方に持ち上がろうとす
る力が付与されている。また、ノズルホルダー４３の中
空部４８に圧縮バネ４９が組み込まれており、吸着ノズ
ル５４ａの上端部を常に下方に押し下げている。吸着ノ
ズル５４ａはノズルホルダー４３内を上下自在にスライ
ドする。また、前記ガイド４４はテーブル７０に固定さ
れている。前記歯車５３ａは歯車６６と係合しているた
め、パルスモータ６３の回転はブッシュ５２、ノズルホ
ルダー４３を介して吸着ノズル５４ａに伝達され、吸着
ノズル５４ａはパルスモータ６３の回転により任意の回
転角が得られる。 【００１６】つぎに、部品を吸着するための真空回路の
構成について説明する。主軸３４の外周に溝３６ａない
し３６ｄが削設されており、この溝３６ａとつながった
縦穴３８ａが主軸３４の下方へ削設されており（図７参
照）、シールリング３１の下端を過ぎた位置から再び主
軸３４の外周へ抜け出ている。シールリング３１はボル
ト３２によりインデックス装置１２のフレームに固定さ
れており、内径は主軸３４と回転自在に接している。こ
のため、主軸３４の外径とシールリング３１の内径とは
若干のギャップがあり、真空のエアー洩れを防止するた
めＯリング３７を主軸３４側に装着している。 【００１７】一方、ノズルホルダー４３の上方外周部に
溝４５を削設し、この溝４５の一部から中空部４８に横
穴４６を通し、ガイド４４には前記溝４５と一致する位
置にパイプ４０ａの一端を接続している。パイプ４０ａ
の他端は主軸３４の縦穴３８ａに接続されている。これ
によりニップル３３ａを真空ポンプ（図示せず）などへ
接続することにより、溝３６ａ、縦穴３８ａ、パイプ４
０ａ、横穴４６、溝４５、中空部４８、吸着ノズル５４
ａを通して真空回路が構成され、吸着ノズル５４ａの先
端に部品１を吸着させることができる。 【００１８】部品１の吸着および搭載時の吸着ノズル５
４ａ〜５４ｄの上下動作は、加圧レバー２２ａ〜２２ｂ
が揺動してカムホロワ４１ａでキャップ４２を押し下げ
ると、ノズルホルダー４３とともに吸着ノズル５４ａが
下降することにより行われる。上昇は、加圧レバー２２
ａが上方に揺動し、圧縮バネ４７により吸着ノズル５４
ａはノズルホルダー４３とともに上方へ持ち上げられ
る。 【００１９】加圧レバー２２ａの動作は、図４および図
５に示す如く、カム１７ａ，１７ｂにより行われる。加
圧レバー２２ａは軸２１ａに固定され、軸２１ａはブラ
ケット２０ａにより回転自在に指示されている。軸２１
ａの他端はレバー１９ａと固定され、レバー１９ａとレ
バー２５ａはロッド１８ａで回転自在に接続されてい
る。また、レバー２５ａの他端に固定されたカムホロワ
２６ａはカム１７ａに当接し、引張りバネ２８ａにより
常にカム１７ａに接触している。これによりカム１７ａ
の変位を加圧レバー２２ａに伝達し、吸着ノズル５４ａ
〜５４ｄを上下させて、部品１の吸着および搭載（搭載
時は真空源をＯＦＦとし大気へ解放する）動作が行われ
る。また、吸着ヘッド５４を含む吸着機構が９０°ピッ
チで４個テーブル上に配置されている。歯車６６は各々
対向する歯車５３ａおよび５３ｂに係合している。ま
た、歯車６７は９０°位置を変えた歯車５３ｃ，５３ｄ
に係合している。 【００２０】また、図６に示す如く、部品１を吸着する
位置と搭載する位置は、主軸３４を対称軸として１８０
°対向した位置に配置されている。従って吸着ノズル５
４ｂで部品１を吸着後、基板８上へ搭載する間にパルス
モータ６３が必要量回転して部品１の搭載姿勢を変更し
た場合、他方の吸着ノズル５４ａも同じ量だけ回転す
る。しかし、すでに吸着ノズル５４ａには部品１がない
ので（搭載済みである）回転角には無関係となる。すな
わち、テーブル７０の下面に２個の歯車６６，６７を設
置し、互いに対向する歯車５３ａ，５３ｂを歯車６６に
噛み合わせ、歯車５３ｃ，５３ｄを歯車６７に噛み合わ
せ、２個のパルスモータ６３，６０で順次部品１に回転
角を与えることにより、他の部品１の回転角が累積する
ことなく搭載姿勢を任意に制御し得る。 【００２１】以上のように構成した部品搭載部におい
て、図４に示すタイミングベルト１６、タイミングプー
リ１５および入力軸１３を介して図６に示す主軸３４に
間歇的な回転力が与えられ、テーブル７０が間歇的に回
転する。このテーブル７０の回転によって吸着ノズル５
４ａ〜５４ｄは公転する。 【００２２】一方、中空状の吸着ヘッド回転軸７２と吸
着ヘッド回転軸５５を介して、パルスモータ６３，６０
により吸着ノズル５４ａ〜５４ｄが自転する。この吸着
ノズル５４ａ〜５４ｄの自転により、吸着した部品を回
転し、姿勢を調節する。 【００２３】また、部品供給部Ｂから部品を吸着する時
および基板上に部品を搭載する時は、カム１７ａ，１７
ｂによってタイミングが計られて、吸着ノズル５４ａ〜
５４ｄを押し下げて行う。 【００２４】また、部品供給部Ｂから基板８への部品の
移載は、吸着ノズル５４ａ〜５４ｄの上記公転によって
行われる。 【００２５】このようにして吸着ノズル５４ａ〜５４ｄ
の公転、自転、上下動の動作の組合せにより、部品供給
部Ｂに供給されてきた部品を吸着し、部品の姿勢を調整
して基板上に搭載する。 【００２６】（部品供給部Ｂについて）つぎに、部品供
給部Ｂについて説明する。図２に示す如く、テープ２内
に収納された状態の部品１を、テープ２ごと吸着ヘッド
５４の直下まで送る機構に関するもので、その構成を図
９ないし図１５に示す。 【００２７】図９において、テープ２はテープリール３
ごとリール支え８２にセットされる。リール支え８２は
バー８１を介してベース８０に固定されている。テープ
２はテープリール３から引き出し、部品供給テーブルＢ
´部の所定の位置へ配置する。 【００２８】部品供給テーブルＢ´は、図１０に示す如
く複数個（本例では８個）のテープを供給できる構造と
なっており、２本のガイドバー１０３上を摺動自在にス
ラライドする。ガイドバー１０３はブラケット１１３お
よび１１４に固定されている。部品供給テーブルＢ´の
下部にラック８８がボルト１３２（図１２参照）で固定
されており、ラック８８はピニオン８７と係合し、ピニ
オン８７はモータ８５とカップリング８６を介して接続
されている。ブラケット１５５はベース８０に固定さ
れ、ピニオン８７を回転自在に支持している。モータ８
５はブラケット８４に固定されている。このため、モー
タ８５の回転によりピニオン８７、ラック８８を介して
部品供給テーブルＢ´が、２本のガイドバー１０３を案
内として任意の位置に移動することができ、これにより
つぎに吸着・搭載すべき部品１を吸着ヘッド５４の直下
へ移動させている。 【００２９】つぎに、テープ２の送り機構について説明
する。テープ２は図１２に示すように、テーブル１３１
の所定の溝１２１ａを通ってテープ２に収納されている
部品１が吸着ノズル５４ｂの直下に来るように配置す
る。ローラ１２４ａ〜１２４ｃはレバー１２５に回転自
在に支持され、レバー１２５はブラケット１５２にピン
１５３を介して回転自在に支持されている。また、引張
りバネ１５４の一端はレバー１２５に、他端はボルト１
５６に固定され、常にレバー１２５を介してローラ１２
４ａ〜１２４ｃがテープ２を押え溝１２１ａからテープ
２が浮き上がるのを防止している。テープ２は前記図２
に示す如く送り孔２´を有し、この送り孔２´に係合す
るピン状の突起１４０および１３４を固着した送り係止
部材１３５と同形の送り駆動部材１５０とを構成する。 【００３０】本実施例では上記双方の部材１５０，１３
５は、それぞれ２本ずつのピン１４０，１３４をテープ
２の送り孔２´のピッチに合わせて固定してある。本発
明を実施する場合、ピン１４０，１３４の数は任意に設
定し得る。また、送り係止部材１３５と送り駆動部材１
５０とは必ずしも同形に構成しなくてもよい。本実施例
においては、これらの部材を上下方向に案内するため、
その本体部分を円柱状に形成し、これに外嵌する円筒状
のガイド１３３，１４９を設けている。 【００３１】一方、テーブル１３１にアーム１２６を固
定し、前記の送り係止部材１３５に外嵌したガイド１３
３をこのアーム１２６に固定する。これにより送り係止
部材１３５は、テープ２に対して垂直方向に往復摺動自
在に案内される。上記のアーム１２６に対してテープ送
り方向（Ｘ−Ｘ´方向）に摺動自在にスライダ１４７を
支承し、前記の送り駆動部材１５０に外嵌したガイド１
４９をこのスライダ１４７に固着する。これにより送り
駆動部材１５０はテープ２に対して垂直方向に摺動自在
に案内され、かつテープ送り方向（Ｘ−Ｘ´方向）に、
スライダ１４７とともに摺動し得る。 【００３２】上記のスライダ１４７にブラケット部分を
形成してピン１４３を固定し、このピン１４３を支点と
してレバー１４５を回転自在に支承する。本実施例にお
いては、レバー１４５をＴ字形状に構成して中心付近を
ピン１４２で支承するとともに、長辺の両端部に長孔１
４１，１４６を設け、これらの長孔と前記の送り係止部
材１３５、送り駆動部材１５０をそれぞれピン−長孔結
合する。これにより、Ｔ字状のレバー１４５の垂直辺の
先端部にＸ方向の力とＸ´方向の力とを交互に加える
と、該レバー１４５はピン１４３の回りに往復回動しつ
つスライダ１４７とともにＸ−Ｘ´方向に往復摺動す
る。 【００３３】上記のレバー１４５の回動により送り係止
部材１３５と送り駆動部材１５０とが交互に上下に摺動
せしめられ、その上端に固着したピン１３４，１４０が
テープ２の送り孔に挿脱される。また、レバー１４５が
スライダ１４７とともにＸ−Ｘ´方向に往復平行移動せ
しめられる。１４４，１４４´は上記のレバー１４５の
回転角を規制するためのストッパボルトである。このス
トッパボルトによってレバー１４５の回転角を加減する
と、前記ピン１３４，１４０がそれぞれテープ２の送り
孔に係合する深さを調整し得る。 【００３４】スライダ１４７のＸ−Ｘ´方向摺動ストロ
ークを規制するため、該スライダ１４７に切欠溝１４８
を形成するとともに、この切欠溝１４８に対してボール
１３６をバネ１３７で押し付ける構造のストローク調整
手段１３８をアーム１２６に固定する。このボール、バ
ネ、切欠溝よりなるストローク調整手段１３８は、弾性
的にスライダ１４７の位置を係止し、係止力よりも強い
力を受けるとスライダ１４７の摺動を許容する。前記レ
バー１４５の垂直辺の先端をＸ−Ｘ´方向に往復駆動す
るため、ドグ９０とカムフォロア１２７とを設け、カム
フォロア１２７を支承するロッド１２９を構成してその
一端をピン１４２でレバー１４５に回動自在に軸着す
る。１２８はロッド１２９を摺動自在に支承するブッシ
ュ、１３０はロッド１２９を図の右方に向けて付勢して
カムフォロア１２７をドグ９０に当接せしめているバネ
である。 【００３５】ドグ９０は図９に示す如くブラケット８９
により摺動自在に支承されている。レバー１００はピン
９２を支点として揺動し、一端はドグ９０の下面に固着
されたＴ溝をもつ係止部材９１と摺動自在に係合し、他
端は引張りバネ１０１により下方へ引っ張られている。
また、ロッド９３はレバー１００と回転自在に係合して
いる。これによりロッド９３のＹ−Ｙ´方向の動作が、
レバー１００、係止部材９１を介してドグ９０に伝達さ
れ、カムフォロア１２７を介してロッド１２９をＸ−Ｘ
´方向に摺動せしめる。 【００３６】つぎに、以上のように構成した送り機構の
作動を、図１３ないし図１５を参照して説明する。図１
３はロッド１２９が右方に動いた状態を示す。この状態
でレバー１４５は図示左回り方向に回動するとともに、
スライダ１４７とともに右方へ引き寄せられている。こ
のため、送り係止部材１３５は上昇してピン１３４をテ
ープ２の送り孔に係合せしめる。送り係止部材１３５は
アーム１２６に固着したガイド１３３に嵌合しているの
で、Ｘ−Ｘ´方向には動かずテープ２がＸ−Ｘ´方向に
動かないように係止している。 【００３７】つぎに、ロッド１２９が左方に動くと、図
１４に示したようにレバー１４５が、図示の右回りに回
動して送り係止部材１３５を下降せしめるとともに、送
り駆動部材１５０を上昇させる。これにより送り係止部
材１３５のピン１３４は、テープ２の送り孔から抜去さ
れ、送り駆動部材１５０のピン１４０がテープ２の送り
孔に係合する。図示の如くストッパボルト１４４がスラ
イダ１４７に当接してレバー１４５の回動が係止された
後、ロッド１２９が図の左方にさらに動くと、スライダ
１４７はレバー１４５とともに左方に摺動する。このと
き、スライダ１４７に固定したガイド１４９に嵌合した
送り駆動部材１５０は、図の左方に動かされテープ２を
図の左方へ送る。 【００３８】再びロッド１２９が右方に動く際は、図１
５に示す如く前記と反対に、送り係止部材１３５が上昇
してテープ２のＸ−Ｘ´方向の動きを係止し、送り駆動
部材１５０は下降した後、右方に引き寄せられ、図１３
に示す如くボール１３６がスライダ１４７の切欠溝１４
８に係合したとき、スライダ１４７のＸ方向（右方向）
摺動が停止せしめられる。前記図１２を参照して容易に
理解されるように、ロッド１２９の右方移動中にスライ
ダ１４７の摺動が係止されると、ドグ９０とカムフォロ
ア１２７の間に空隙を生じてロッド１２９が停止する。 【００３９】上述の本実施例の如く、スライダ１４７の
摺動ストロークを規制する手段（上記のボール、バネ、
切欠溝）を設けておくと、ドグ９０の揚程を変えずにテ
ープ２の送りピッチを調整することができる。 【００４０】上記図１３ないし図１５を参照して説明し
た作動から明らかなように、本実施例の送り係止部材１
３５は、テープ２に対して垂直方向にのみ摺動し、ピン
１３４をテープ２の送り孔に対して真直に挿入、抜去せ
しめる。また、送り駆動部材１５０も同様に、ピン１４
０をテープ２の送り孔に対して真直に挿入、抜去せしめ
る。この送り駆動部材１５０は、Ｘ−Ｘ´方向の運動も
するが、送り係止部材１３５の下降が終わるまで（すな
わち、送り駆動部材１５０の上昇が終わるまで）、スラ
イダ１４７がボール１３６と切欠溝１４８とによって係
止されているため、ピン１４０が送り孔に対して斜めに
侵入することは無い。その理由は、レバー１４５の右回
り方向の回動が、ストッパボルト１４４によって制動さ
れた後でないと、スライダ１４７がボール１３６と切欠
溝１４８とによる係止力に打ち勝って左方に摺動する力
を受けないからである。上記のようにして送り駆動部材
１５０のピン１４０が、確実にテープ２の送り孔に挿入
された後、送り駆動部材１５０によって所定のストロー
クだけ送られ、その他の時間は送り係止部材１３５によ
ってテープ２を係止しているので、テープ２の送りピッ
チを正確に一定に保ち得る。 【００４１】また、送り係止部材１３５と送り駆動部材
１５０は、垂直方向に上下動するとともに、ストッパボ
ルト１４４，１４４´により上下方向のストロークをテ
ープ２の種類によって調整し、各種のテープ２に対応さ
せる。 【００４２】以上説明した動作によりテープ２は送られ
るが、前記図２に示す如くテープ２に収納された部品１
を取り出すためには、アッパテープ４を剥がす必要があ
る。つぎに、このアッパテープ４の引き剥がしおよび巻
取り機構について説明する。 【００４３】図１２において、アッパテープ４はテープ
ガイド１５６ａを過ぎた点からテープ２の送り方向とは
反対方向に引っ張られることにより、テープ２から剥離
される。剥離されたアッパテープ４は巻取リール１１１
により巻き取られる。巻取リール１１１は前記図９に示
すように、支持ローラ１０９、駆動ローラ１１０の２点
に当接するよう押し付けローラ１０７により押し付けら
れている。押し付けローラ１０７はレバー１０６に回転
自在に支持され、レバー１０６はブラケット１０４にピ
ン１０５で支持されている。 【００４４】駆動ローラ１１０の断面構造を図１１に示
す。駆動ローラの本体１１５はベアリング１１８により
ブラケット１１７に回転自在に支承されており、回転は
モータ１１２（図１０参照）によりスプライン軸１１
６、ブッシュ１１９を介してローラ本体１１５に伝達さ
れる。ブラケット１１７はテーブル１３１に固定されて
いる。従って、先に述べた如く、テーブル１３１がモー
タ８５により左右方向にスライドした場合、当然ブラケ
ット１１７も左右方向にスライドする。このため、スプ
ライン軸１１６とブッシュ１１９の関係は回転のみを伝
達し、軸方向への移動は自由に行えるものとする。１本
の駆動ローラ１１０に対してセットされたテープ２の数
だけ巻取リール１１１が接することとなり、このため、
駆動ローラ１１０と巻取リール１１１の間は常にスリッ
プしており、テープ２が送られた時だけその余長分を巻
き取る動作を行う。また、図９に示した固定カッタ９７
はブラケット９５、支柱９４を介してベース７にに固定
されており、可動カッタ９６は固定カッタ９７と一定の
間隙を保ちながら、ロッド９８の上下動作によりピッチ
送りされるテープ２を、順次にピッチ寸法に切断して落
下させる。 【００４５】（ＸＹテーブルＣについて）つぎに、基板
８を位置決めし、所定の位置に部品１が搭載されるよう
にＸＹ方向に移動するＸＹテーブルＣについて説明す
る。図１６はＸＹテーブルの平面図、図１７は図１６の
Ｆ−Ｆ断面図、図１８は図１６のＧ−Ｇ断面図である。 【００４６】図１６において、テーブル１６３はガイド
１６９，１７０にガイドされ、フレーム１６２に保持さ
れている。フレーム１６２にはラック１６４が固定さ
れ、モータ１６６からカップリング１６８を介して軸１
８５に固定されているピニオン１６５が、前記ラック１
６４と噛み合っている。従ってモータ１６６を回転させ
ると、ラック１６４を介してテーブル１６３はＹ−Ｙ´
方向に移動する。 【００４７】さらにテーブル１６３の両側面には図１７
に示すように、ステー１８６，１８６´が固定されてお
り、ステー１８６，１８６´の下端にはガイドバー１７
１が保持されている。ガイドバー１７１はローラ１７
５，１７５´によってＸ方向の両サイドからガイドされ
ている。ローラ１７５，１７５´はブラケット１７８を
介してスライドブロック１７９に保持され、スライドブ
ロック１７９の一端にラック１８１が固定されている。
スライドブロック１７９を摺動自在に保持するブロック
１８０はサブベース１７７に固定されている。サブベー
ス１７７に保持されているモータブラケット１４７にモ
ータ１８２が保持され、軸１４８を介してピニオン１８
７がラック１８１と噛み合っている。これによりモータ
１８２の回転によってテーブル１６３はＸ方向にスライ
ドする。サブベース１７７上には図１７に示すようにロ
ーラ１７５と同様なローラ１７４，１７４´，１８９，
１８９´がブロック１７３上に回転自在に保持されてい
る。ただし、ブロック１７３に保持されているローラは
ＸＹ方向とも移動できない。さらに、サブベース１７７
の両端にはサイドブロック１６０ａ，１６０ｂがあり、
Ｙ方向のスライドシャフト１６１ａ，１６１ｂを保持し
ている。基板８（図１６参照）は、図１７に示すよう
に、基板供給位置（矢印Ｑの位置）で、ＸＹテーブル上
の治具２５１上に供給される（供給手段は後述する）。 【００４８】図１６において、基板８の位置決めは、基
板押し付けローラ２５７，２５８が十分開いた状態で基
板が供給された後、基板押し付けローラ２５７，２５８
がバネ２５９の力により基板８を基準ローラ２５２ａな
いし２５２ｄに押し付けることにより行われる。 【００４９】基板８がＸＹテーブル上に位置決め後、Ｘ
Ｙテーブルが作業位置（矢印Ｐの位置）まで移動する。
しかるに、ＸＹテーブルを前述した如き構成とすれば、
作業位置Ｐにおいては、モータ１８２を回転させ、ロー
ラ１７５，１７５´を介してガイドバー１７１と一体と
なったテーブル１６３がＸ方向に移動させられ任意の位
置決めが可能である。また、Ｙ方向に大きく移動して基
板供給位置Ｑに移動するときは、まず、Ｘ方向の位置を
ガイドバー１７１がローラ１７４，１７４´にガイドさ
れる位置に位置決めし、ついでＹ方向に移動すると、ガ
イドバー１７１はローラ１７５，１７５´から外れ、順
次固定ローラを通過して固定ローラ２６０，２６０´に
ガイドされて基板供給位置Ｑに達する。ここでＹ方向を
位置決めすれば、Ｘ方向はすでに固定ローラで位置決め
されているので基板供給に必要な位置決めは完了する。 【００５０】以上述べた如き構成とすれば、ＸＹ両方向
移動用のそれぞれのモータ１８２および１６６がサブベ
ース１７７上に固定でき、かつ作業位置Ｐから基板供給
位置Ｑまでの長いストロークを移動させても、ガイドバ
ー１７１は比較的短くてよい。このことはテーブルの移
動時のイナーシャが小さくて済み、小形で高速動作をさ
せる場合に非常に有利である。 【００５１】つぎに、基板供給部Ｄについて説明する。
図１９は基板供給部Ｄの平面図、図２０は図１９のＨ−
Ｈ断面図、図２１および図２２は図１９の基板チャック
部Ｄ’，Ｄ”の詳細を示す図である。 【００５２】図１９において、基板はＣ部のＸＹテーブ
ルに保持されている。また、基板の供給側コンベア１９
１には基板ガイド１９２，１９２´およびストッパ１９
３が取付けられている。２０１は基板排出側コンベア
で、図示矢印方向に駆動する。基板チャック部Ｄ’と
Ｄ”は、図２０に示すように連結板２０５によって連結
している。 【００５３】図２０において、ブロック２０２とブロッ
ク２１０は連結板２０５により結合され、さらにガイド
シャフト２００に摺動自在に支持されている。ガイドシ
ャフト２００はサブベース１９４に固定された２個のブ
ラケット１９５ａ，１９５ｂに支持されている。また、
ブロック２０２および２１０には軸２０３および２１２
が摺動自在に係合している。軸２０３の上端部にプレー
ト１９０ａが、軸２１２の上端部にはプレート１９０ｂ
がそれぞれ固着され、プレート１９０ａと１９０ｂは接
続板２０８によって各々連結されている。また、連結板
２０５の中央部にシリンダ２０７が取付けられており、
該シリンダ２０７のロッドは接続板２０８に固接されて
いる。このため、シリンダ２０７により軸２０３，２１
２を案内としてプレート１９０ａと１９０ｂは各々上下
動作を行うことができる。 【００５４】また、図１９に示すように、サブベース１
９４に固定されたブラケット１９７に取付けられている
シリンダ１９８は、そのロッド先端がＬ金具１９９を介
してブロック２１０に接続されている。このため、プレ
ート１９０ａと１９０ｂは、軸２００をガイドとしてシ
リンダ１９８によりＸ−Ｘ´方向に任意に摺動する。ま
た、１９６ａ，１９６ｂはストッパボルトで、ストロー
ク調整を行う。図２０に示す２１３，２１４はショック
アブソーバで、シリンダ１９８の前進、後退端での衝撃
緩和を行う。 【００５５】つぎに、図２１および図２２において、歯
車２０７，２０６は互いに噛み合っており、さらにプレ
ート１９０ａに固設された軸２０６´，２０７´に回転
自在に係合している。また、歯車２０７にはレバー２０
３が、歯車２０６にはレバー２０４が各々接続されてお
り、レバー２０３の他端はシリンダ２０２のロッドに回
転自在に接続されている。シリンダ２０２の他端はブロ
ック２１７に揺動自在に支持されている。また、爪部２
１４，２１５は軸２１３で摺動自在に支持され、軸２１
３はプレート１９０ａに固設されたブラケット２１２，
２１１に支持されている。爪部２１４，２１５には、ピ
ン２０８，２０５が各々固設され、プレート１９０ａの
長穴を通って上部に突き出しており、レバー２０３およ
び２０４に当接する。 【００５６】すなわち、シリンダ２０２のロッドが引っ
込んだ時は、レバー２０３がピン２０８に当って爪部２
１４は開く方向に移動し、同時にレバー２０３、歯車２
０７および２０６を介してレバー２０４がピン２０５に
当り爪部２１５も開く方向に移動する。前記シリンダ２
０２のロッドが突き出した時は、上記動作と逆に爪部２
１４，２１５が閉じる方向に動作して基板をチャックす
る。なお、爪部２１４，２１５の端面にはバネ２１６が
取付けられており、爪部の閉じる力（基板をチャックす
る力）を付与する。 【００５７】以上述べた構成の基板チャック機構をＤ’
部とＤ”部の２箇所に有している。 【００５８】つぎに、基板供給動作を説明する。図１９
は基板を供給、排出する直前の状態を示している。すな
わち、供給コンベア１９１上を流れてきた基板は、スト
ッパ１９３によりストップしている。一方、ＸＹテーブ
ル上の基板（部品１の搭載が完了したもの）は、クラン
プレバー２６２がストッパ２６１に当ってクランプを開
放した状態になっている。また、爪部２１４，２１５は
シリンダ２０２により開いた状態にしておく。上記状態
でシリンダ２０７によりチャック部Ｄ’，Ｄ”が各々下
降する。 【００５９】下降端でクランプシリンダ２０２が閉じ
て、爪部２１４，２１５の先端部がコンベア１９１上の
基板およびＸＹテーブル上の基板を同時にチャックす
る。つぎに、シリンダ２０７が働き、チャック部Ｄ’，
Ｄ”を上昇させる。その後、シリンダ１９８が前進し、
チャック部Ｄ’はＸＹテーブル上に、チャック部Ｄ”は
排出コンベア２０１上に移動する。ここで再びシリンダ
２０７が作動し、チャック部Ｄ’，Ｄ”を下降させた
後、シリンダ２０２により爪部２１４，２１５を開状態
として、各々の基板をＸＹテーブル上にセットし、ま
た、もう一方では排出コンベア２０１上へ排出する。こ
のように基板８の供給と排出を同時に行うことにより、
基板交換時間の短縮を図っている。 【００６０】（視覚認識部Ｅについて）つぎに、視覚認
識部Ｅについて説明する。先に述べた部品供給部Ｂで吸
着ヘッド５４が下降し、テープ２に収納されている部品
１を吸着後、吸着ヘッド５４が上昇し、インデックス装
置１２によりインデックスすると、部品１は視覚認識部
Ｅに搬出されてくる。部品１がテープ２に収納されてい
る状態を図２５に示す。本図から明らかなように、部品
１はテープ２の凹部６内に間隙を有して収納されている
ため、凹部６内を自由に動き得る状態にある。従って、
吸着ヘッド５４に吸着された部品１の姿勢はまちまちと
なる。このため、この状態で基板８を搭載すると、位置
ずれが生じ接続不良等が生じることになる。 【００６１】そこで、図２３に示す如き構成により部品
１の姿勢を検出し、修正後搭載するようにする。部品１
を吸着した吸着ノズル５４ｄの下方に、鏡２３２を有す
る反射板２３１がホルダー２３３により光学系の鏡筒２
３４に保持されており、鏡筒２３４の他端にはカメラ２
３９が接続され、検出系全体はブラケット２３８により
ベース７に固定されている。この検出系により、部品１
の像は鏡２３２で反射して光学系２３６，２３７を介し
てカメラ２３９に達し、この像をマイクロコンピュータ
を用いた画像処理装置（図省略）によって処理すること
により、部品１の位置、形状を認識する。このデータに
基づき、つぎの搭載位置にインデックスする間に、所定
の回転角になるように角度の補正量を前記図６に示すパ
ルスモータ６３，６０に与えて吸着ヘッド５４を回転さ
せ、同時に基板８を位置決めしているＸＹテーブルＣの
モータ１６６，１８２にＸＹ方向のずれ量を送り、補正
量を加えた位置に位置決めすれば、部品１は基板８の所
定の位置に搭載される。 【００６２】図２４に示す如く、ノズルホルダー４３の
下面にバックプレート２３０を設置し、ランプ２３５
ａ，２３５ｂを各々バックプレート２３０の斜め下方に
設置し、部品１を直接照らさずバックプレート２３０の
下面を照明することにより、部品１をシルエット像とし
てとらえる。これにより部品１の半田面や金属光沢面に
よるハレーション等を起さず鮮明な画像が得られる。 【００６３】つぎに、カメラ２３９に入力された画像
は、電圧信号に変換されて画像処理部に送られる。画像
処理部では図２６に示す如く、画面ＡＢＣＤ内に部品１
（４点のコーナをａ，ｂ，ｃ，ｄとする）が取り込まれ
たとき画面の走査方向をＡ→Ｄの方向として順次上辺よ
り走査し、背景部分を白、部品１を黒の２値で表示した
時、黒の生じ始める点ａ、黒の消える点ｃ、黒の始まる
点が不連続になる点、すなわち、単調増加ないし単調減
少が変わる点ｂ，ｄを求め、この４点を部品１の４つの
頂点として部品１の位置を算出する。この結果を元に補
正量を求める。 【００６４】今、点Ｏを部品１の像の本来有るべき位置
とし、Ｘ，Ｙ軸に部品１の像の辺が平行で有るべきもの
とする。この時点のａ，ｂ，ｃ，ｄの座標をａ（ｘ₁，
ｙ₁），ｂ（ｘ₂，ｙ₂），ｃ（ｘ₃，ｙ₃），ｄ（ｘ₄，ｙ
₄）とすれば、傾きΔθは、 【００６５】 【数１】【００６６】または 【００６７】 【数２】 【００６８】で求められる。 【００６９】ついで、回転中心（＝吸着ヘッド５４の像
中心）Ｏの回りにΔθだけ回転させて回転角の補正をし
たと仮定したとき、部品１の像中心の座標Ｐ（ｘ₀，
ｙ₀）は、Ｐ（ｘ₀´，ｙ₀´）に移る。ｘ₀´，ｙ₀´
は、 【００７０】 【数３】 【００７１】 【数４】 【００７２】 【数５】 【００７３】となる。ここで、ｘ₀，ｙ₀は、 【００７４】 【数６】 【００７５】 【数７】 【００７６】で求められる。 【００７７】以上により、Δθ，ｘ₀´，ｙ₀´を補正値
として制御用マイクロコンピュータへデータとして送
り、Δθは前記図６に示すパルスモータ６３，６０へ、
ｘ₀´，ｙ₀´は図１８に示すモータ１８２，１６６へ補
正値としてマイクロコンピュータから指令を出し、各々
補正量だけ動作させると、部品１は正しい位置に搭載さ
れる。 【００７８】このように構成した視覚認識部Ｅにおい
て、吸着ヘッド５４にて吸着している部品１の姿勢を光
学的に認識し、認識したデータを電気信号に変換し、こ
の電気信号によって吸着ヘッド５４を回転して部品１の
姿勢を調整するとともに、ＸＹテーブルの位置合わせを
行うことにより、非接触で部品１を正確に基板８上に搭
載することが可能になる。 【００７９】 【発明の効果】以上説明したように本発明の電子部品搭
載装置によれば、部品供給部より供給されてきた部品を
吸着ヘッドで吸着し、吸着されたこの部品を視覚認識部
で光学的に認識し、認識したデータを基に上記吸着ヘッ
ドを回転させて部品の姿勢を調整するとともに、ＸＹテ
ーブルの位置を決めるようにしたので、部品には全く触
れずに非接触の状態で部品を正確に基板上に搭載するこ
とができ、部品のバリとか形状不良による位置決め不良
が全くなく、部品を正確に基板上に搭載することができ
るとともに、部品の落下および破損は全く起らない。 【００８０】また、非接触であるので、従来のような爪
部の定期的な検査、調整および取替えが全く不要である
ので、これらに費やす時間は皆無となり、生産性を大幅
に向上することができた。 【００８１】また、部品供給部Ｂにおいて、垂直に上下
動する送り係止部材と送り駆動部材とを設け、レバーを
介してテープの送りストロークと、上記上下動のストロ
ークとを調整可能にしたので、各種のテープ（部品）に
対応させることができて部品供給部の取替えが不要とな
り、大幅に生産性を向上することができた。 【００８２】また、搭載ヘッド部Ａにおいて、テーブル
を回転する主軸と同心状に吸着ヘッド回転軸を設け、２
個１対の吸着ヘッドを自転するようにして部品の姿勢を
調整するようにするとともに、テーブルによって吸着ヘ
ッドを公転して部品の移載を行うようにしたので、部品
の姿勢の調整と移載が敏速に行われ、生産性を大幅に向
上することができた。 【００８３】また、ＸＹテーブルの駆動用モータを固定
板に取付けて、ＸＹテーブルの重量を軽くするととも
に、ガイドによってＸＹテーブルのＸまたはＹ方向の一
方を固定化して基板の受入れを容易にしたので、ＸＹの
テーブルの移動速度を早くすることができるとともに、
基板の位置合わせを容易にし、生産性を大幅に向上する
ことができた。 【００８４】また、視覚認識部Ｅにおいて、部品をシル
エット像としてとらえたので、部品の半田面や金属光沢
面によるハレーション等が起らず、鮮明な画像が得ら
れ、種々の部品に対する適用が可能であり、さらには、
正確な部品の姿勢が得られるので、部品の位置決めがよ
り正確となる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明による電子部品搭載装置の外観図であ
る。 【図２】電子部品の外観図である。 【図３】図２のＬ−Ｌ断面図である。 【図４】搭載ヘッド部の正面図である。 【図５】図４のＡ−Ａ線における矢視図である。 【図６】搭載ヘッドの垂直断面図である。 【図７】図６のＢ−Ｂ断面図である。 【図８】図６のＣ−Ｃ断面図である。 【図９】部品供給部の側面図である。 【図１０】図９のＤ−Ｄ線における矢視図である。 【図１１】図１０のＥ−Ｅ断面図である。 【図１２】図１０のＢ´部の断面図である。 【図１３】図１２の動作工程説明図である。 【図１４】図１２の動作工程説明図である。 【図１５】図１２の動作工程説明図である。 【図１６】ＸＹテーブルの平面図である。 【図１７】図１６のＦ−Ｆ断面図である。 【図１８】図１６のＧ−Ｇ断面図である。 【図１９】基板供給部の平面図である。 【図２０】図１９のＨ−Ｈ断面図である。 【図２１】図１９に示すＤ’，Ｄ”部を部分拡大して示
した平面図である。 【図２２】図２１の縦断面図である。 【図２３】視覚認識部の全体を示す側面図である。 【図２４】照明部分を拡大して示した側面図である。 【図２５】部品の状態を示す平面図である。 【図２６】部品検出を説明するために示した説明用図で
ある。 【符号の説明】 １…部品、２…テープ、３…テープリール、８…基板、
１２…インデックス装置、３０…出力軸、３４…中空状
の主軸、５３，６６，６７…歯車（伝達機構）、５４…
吸着ヘッド、５４ａ〜５４ｄ…吸着ノズル、５５…吸着
ヘッド回転軸、７２…中空状の吸着ヘッド回転軸、２３
０…バックプレート、２３１…反射板、２３２…鏡、２
３９…カメラ、Ａ…搭載ヘッド部、Ｂ…部品供給部、Ｃ
…ＸＹテーブル、Ｄ…基板供給部、Ｅ…視覚認識部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川名 武 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社 日立製作所 生産技術研究所 内 (56)参考文献 特開 昭59−155200（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−164310（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−4275（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H05K 13/00 H05K 13/04 H05K 13/08

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 １．テーピングされた状態で収納された電子部品を供給
   する部品供給部と、 ほぼ鉛直方向の第１の回転軸を中心に間歇回転する取り
   付け部材と、前記取り付け部材の取り付け面に前記第１
   の回転軸を中心にほぼ円周状に等間隔で前記取り付け面
   とほぼ直交するように配設されて各々ほぼ鉛直方向に摺
   動可能かつほぼ鉛直方向の第２の回転軸を中心に回動可
   能であり下端部にバックプレートを設けた複数の吸着ヘ
   ッドとを有する搭載ヘッド部と、 前記吸着ヘッドにより前記電子部品が搭載される基板の
   位置を位置決めするＸＹテーブルと、 前記吸着ヘッドが前記電子部品を吸着する位置と前記吸
   着ヘッドが前記電子部品を基板へ搭載する位置との間
   で、照明された前記バックプレートからの光を前記電子
   部品の吸着されている面側に照射して得られる前記電子
   部品のシルエット像を撮像して、前記吸着ヘッドに吸着
   されている前記電子部品の姿勢を光学的に検知する視覚
   認識部と、 前記吸着ヘッドに吸着された前記電子部品の姿勢を光学
   的に検知する位置と前記吸着ヘッドが前記電子部品を基
   板へ搭載する位置との間で、前記吸着ヘッドを隣り合う
   吸着ヘッドとは独立して回動させて吸着された前記電子
   部品を前記第２の回転軸を中心に回し、前記電子部品の
   姿勢を補正する回動手段と、 前記取り付け部材の間歇回転と複数の前記吸着ヘッドの
   摺動及び回動により、前記電子部品の吸着、姿勢検知、
   姿勢補正、前記基板への搭載を順次行うように制御する
   制御手段とを備えた ことを特徴とする電子部品搭載装
   置。 ２．テーピングされた状態で収納された電子部品を供給
   する部品供給部と、 前記電子部品を吸着して摺動可能かつ回動可能であり下
   端部にバックプレートを設けた複数の吸着ヘッドを、ほ
   ぼ円周状に等間隔でかつ前記吸着ヘッドの摺動する方向
   と取り付け面とがほぼ直交するように配設した取り付け
   部材をほぼ鉛直方向の回転軸を中心に間歇回転する搭載
   ヘッド部と、 前記吸着ヘッドにより前記電子部品が搭載される基板の
   位置を位置決めするＸ Ｙテーブルと、 前記バックプレートを照明することにより前記バックプ
   レートからの光を前記電子部品の前記吸着ヘッドにより
   吸着されている面側を照射する照明手段と、 前記電子部品を吸着して基板へ搭載する間に、前記照明
   手段により照射された光により得られる前記電子部品の
   シルエット像を撮像して、前記吸着ヘッドに吸着されて
   いる前記電子部品の姿勢を光学的に検知する視覚認識部
   と、 前記電子部品の姿勢を光学的に検知して前記電子部品を
   基板へ搭載する間に、前記吸着ヘッドを隣り合う吸着ヘ
   ッドとは独立して回動させて、吸着された前記電子部品
   の姿勢を補正する回動手段と、 前記取り付け部材の間歇回転と前記吸着ヘッドの摺動及
   び回動により、前記電子部品の吸着、姿勢検知、姿勢補
   正、前記基板への搭載を順次行うように制御する制御手
   段とを備えたことを特徴とする電子部品搭載装置。 ３．前記照明手段が前記バックプレートの斜め下方に設
   置されていることを特徴とする請求項２記載の電子部品
   搭載装置。