JP2749535B2 - コリオリ式の質量流量センサ - Google Patents

コリオリ式の質量流量センサ

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定すべき流体によっ
て貫流される振動体としての２本の直線的な平行な測定
管を備えた、コリオリ式の質量流量センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】アメリカ合衆国特許第４７９３１９１号
明細書から公知の、コリオリ式の質量流量センサでは、
質量流量センサが、測定すべき流体によって貫流される
所定直径の導管内に、この導管に軸方向で整合して、取
付け可能であり、質量流量センサが、導管に質量流量セ
ンサを連結するのに用いられる流入管及び流出管を有し
ていて、質量流量センサが、流入分配部材及び流出分配
部材を有していて、質量流量センサが、各端部で流入管
及び流出管にそれぞれ固定される外側の支持管を有して
いて、質量流量センサが、流入管及び流出管をそれぞれ
流入分配部材及び流出分配部材に連結する２つの環状の
ダイヤフラムを有していて、質量流量センサが、それぞ
れ両端部で流入分配部材及び流出分配部材内に固定され
る、同じ内径及び同じ壁厚さの２本の直線的な平行な測
定管を有していて、質量流量センサが、測定管を励起し
て共振振動させる励振手段を有していて、質量流量セン
サが、測定管の振動を検出するための、測定管に沿って
間隔を置いて配置された２つの光学的なセンサを有して
いる。
【０００３】更に国際公開第８８／０８５１７号明細
書、特にこの明細書の第８図に関連して記載された、コ
リオリ式の質量流量センサでは、質量流量センサが、測
定すべき流体によって貫流される所定直径の導管内に、
この導管に軸方向で整合して、取付け可能であり、質量
流量センサが、導管に質量流量センサを連結するのに用
いられる流入管及び流出管を有していて、質量流量セン
サが、流入分配部材及び流出分配部材を有していて、質
量流量センサが、各端部の内面で各中間片を介して流入
分配部材及び流出分配部材にそれぞれ固定される外側の
支持管を有していて、質量流量センサが、それぞれ両端
部で流入分配部材及び流出分配部材内に固定される、同
じ内径及び同じ壁厚さの２本の直線的な平行な測定管を
有していて、質量流量センサが、流入分配部材及び流出
分配部材の近くで両測定管を連結する２対の結節プレー
トを有していて、質量流量センサが、測定管毎に、測定
管のセンタから等間隔を置いて測定管に取り付けられた
２つの励振手段を有していて、この励振手段が測定管を
励起して、１つの振動平面内でのみ逆向き方向で共振振
動させるようになっていて、この共振手段の一方の対が
他方の対によって励起される振動方向に対して逆向き方
向で励起するようになっていて、質量流量センサが、測
定管の振動を検出するために各振動管に沿って間隔を置
いて配置されたそれぞれ２つの電気力学的なセンサを有
している。
【０００４】更にフランス国特許公開第２５９８８０１
号明細書から公知のコリオリ式の質量流量センサでは、
質量流量センサが、測定すべき流体によって貫流される
所定直径の導管内に、この導管に軸方向で整合して、取
付け可能であり、質量流量センサが、外側の支持管を有
していて、質量流量センサが、両端部で支持管内に固定
された、単一の直線的な測定管を有していて、質量流量
センサが、測定管を励起して、１つの振動平面内でのみ
共振振動させる２つの励振手段を有していて、質量流量
センサが、測定管の振動を検出するために測定管に沿っ
て間隔を置いて配置された２つの電気力学的なセンサを
有している。
【０００５】このような質量流量センサを有する質量流
量計は実地において有効であることが明らかになったけ
れども、市場における現在の価格戦争においては製造者
はコスト減少を余儀なくされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、種々
異なる構成部材をシンプルに構成して、従来よりも低コ
ストで製作できるような質量流量センサを提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】従って本発明によるコリ
オリ式の質量流量センサでは、質量流量センサが、測定
すべき流体によって貫流される所定直径の導管内に、こ
の導管に軸方向で整合して、取付け可能であり、質量流
量センサが、導管に質量流量センサを連結するのに用い
られる流入管及び流出管を有していて、質量流量センサ
が、流入分配部材及び流出分配部材を有していて、質量
流量センサが、各端部の内面で流入分配部材及び流出分
配部材にかつ各端面で流入管及び流出管に固定される外
側の支持管を有していて、質量流量センサが、それぞれ
両端部で流入管に整合して流入分配部材の平行な孔内に
かつ流出管に整合して流出分配部材の平行な孔内に固定
された、同じ内径及び同じ壁厚さの２本の直線的な平行
な測定管を有していて、質量流量センサが、流入分配部
材及び流出分配部材の近くで両測定管を連結する２つの
結節プレートを有していて、質量流量センサが、測定管
毎に、互いに向い合って配置された励振手段を有してい
て、この励振手段が、測定管を励起して、１つの振動平
面内でのみ逆向き方向で共振振動させるようになってい
て、質量流量センサが、測定管の振動を検出するために
測定管に沿って間隔を置いて位置決めされたそれぞれ２
対の電気力学的なセンサを有していて、２対の電気力学
的なセンサが互いに向い合って配置されている。
【０００８】本発明の別の構成では、各励振手段が測定
管の長さのセンタで、他方の測定管とは反対側の測定管
外面でしかも振動平面内に位置する励振軸線上に配置さ
れている。
【０００９】本発明の別の構成では、一方の測定管と協
働する各センサが、測定管のセンタから等間隔を置い
て、他方の測定管とは反対側の測定管外面でしかも振動
平面内に位置するそれぞれ１つの励振軸線上に配置され
ている。
【００１０】２つの励振手段及び４つのセンサは有利に
は次ぎの構成部材を有している。即ち、非磁性のねじ付
き連結片を備えた、各測定管にろう接された非磁性の金
属プレートと、底部の内側中央でねじ付き連結片が捩じ
込まれるねじスリーブを形成する軟磁性の金属コップ状
体と、ねじスリーブの端面に固定、有利には接着され且
つねじスリーブの軸方向で磁化された永久磁石ディスク
と、永久磁石ディスクがコイル内で自由に運動可能であ
るように、コイル保持体を介して支持管に取り付けられ
たコイルとを有している。
【００１１】２つの励振手段及び４つのセンサが有利に
はそれぞれ同じ寸法を有している。
【００１２】本発明の別の構成では、振動平面に対して
垂直でかつ各測定管の軸線を含む平面内に位置するよう
に、測定管毎に、分配部材とは反対の各結節プレート側
で２つのフラットな突出片が設けられている。
【００１３】２本の測定管、流入分配部材、流出分配部
材、結節プレート及び場合によってはフラットな突出片
が有利にはチタン又はチタン合金又はジルコニウムから
製作され、かつ、流入管及び流出管が有利には特殊鋼か
ら製作されている。
【００１４】本発明の別の有利な構成では、少なくとも
一方の測定管の端部が流入分配部材及び流出分配部材の
孔壁に、熱を供給することなしに、各端部内に挿入され
たローリング工具を使用して、圧接されている。
【００１５】有利な構成では、測定管が動的に最良にバ
ランスされるまでのみ、２本の測定管が流入分配部材及
び流出分配部材内に圧接されている。
【００１６】
【発明の効果】アメリカ合衆国特許第４７９３１９１号
明細書から公知の上述の質量流量センサの場合に設けら
れるダイヤフラム、即ち、単一の励振手段によって振動
させられる測定管の振動を他方の測定管に伝達するダイ
ヤフラムを放棄することによって、従来複雑であった流
入分配部材及び流出分配部材の三次元形状を著しく簡単
にすることができる。
【００１７】従って流入分配部材及び流出分配部材の製
作コストを、所要の第２励振手段のコストを無視できる
ように、著しく減少できる。
【００１８】別の著しいコスト削減は、前述の光学的な
センサの代わりに電気力学的なセンサを使用することに
よって、得られる。
【００１９】更に、２本の測定管が２対のセンサ及び１
対の励振手段を有しているため、各コイルを支持管に取
り付けることができ、これにより、コイルのリード線を
測定管に沿って敷設せずに済む。このことは、若干の市
販の質量流量センサの場合に一般的であるように、単一
の励振手段及び２つ電気力学的なセンサだけが設けられ
る場合には、必要である。
【００２０】この場合、別の励振手段及び別の２つの電
気力学的なセンサに関する僅かばかりの超過コストは測
定管に沿ったリード線敷設及び固定の欠点を克服する。
特にリード線案内が測定管の質量及び振動挙動に影響を
及ぼすことが回避される。
【００２１】本発明の別の利点は、上記アメリカ合衆国
特許第４７９３１９１号明細書で記載の質量流量センサ
のために必要であるような質量流量センサ用の別個のケ
ーシングが放棄されるということにある。それというの
も、支持管がケーシングとして用いられるからである。
【００２２】
【実施例】測定すべき流体によって貫流される所定直径
の導管内に、この導管に軸方向で整合して取付け可能な
質量流量センサ１０（第１図では軸方向縦断面図で図
示）は、導管に質量流量センサを連結するのに用いられ
る流入管１１及び流出管１２を有している。このような
連結は例えばフランジ１５，１７を介して又は別の形式
で行なわれる。
【００２３】別のフランジ１６，１８を介して流入管１
１及び流出管１２は、各連結部に設けられるシールリン
グ２１，２２を用いて剛性的な外側の支持管１４の端部
に固定、有利にはねじ結合されている。流入管１１及び
流出管１２は、２つの所属のフランジ１５，１６及び１
７，１８と協働して、それぞれ単一の連結部材を成して
いて、この連結部材は鍛造部材として又は互いに溶接さ
れる２つの構成部材から形成されている。
【００２４】支持管１４の端部部分内には流入分配部材
１９及び流出分配部材２０が各連結部に設けられたシー
ルリング２１’，２２’を用いて支持管の内壁に固定さ
れている。
【００２５】流入分配部材１９及び流出分配部材２０は
それぞれ支持管１４の軸方向で２つの平行な孔を有して
いて、この孔内には同じ内径及び同じ壁厚さを有する直
線的で平行な２本の測定管２３，２４の各端部が、流入
管１１及び流出管１２に整合して固定されている。
【００２６】流入分配部材１９及び流出分配部材２０の
近くにはそれぞれ、２本の測定管２３，２４を連結する
結節プレート２５，２６が設けられていて、この結節プ
レート２５，２６によって、流入分配部材１９及び流出
分配部材２０内に突入する測定管部分が、振動に起因す
る交番負荷から防護される。
【００２７】支持管１４は多数の開口を有していて、こ
の開口内には、一方では、下記に詳述する励振手段及び
センサが取り付けられていて、かつ、他方では、支持管
自体の温度を検出する温度センサ３３及び測定管ひいて
は流体の温度を検出する温度センサ３４が取り付けられ
ている。更に開口３５を介して励振手段及びセンサ用の
リード線が案内されている。
【００２８】本発明の有利な実施例では、測定管と協働
するセンサは測定管のセンタから等間隔を置いて、他方
の測定管とは反対側の測定管外面でしかも振動平面内に
位置する各センサ軸線上に配置されている。
【００２９】第１図上側部分では保持体１３の基部部分
が示されていて、この保持体には評価、駆動及び表示・
電子機構用のケーシング（図示せず）が取り付けられて
いる。
【００３０】第１図の質量流量センサを９０度だけ回動
した平面内で図示した第２図軸方向縦断面図から明らか
なように、励振手段２７，２８は測定管２３，２４毎に
各測定管のセンタに固定されている。励振手段は測定管
を励起して、第２図図平面である一平面内でのみ、逆向
き方向で共振振動させる。
【００３１】各励振手段２７，２８は測定管の長さのセ
ンタにおいて、他方の測定管とは反対側の測定管外面で
しかも第２図図平面である振動平面内に位置する励振軸
線３７上に位置決めされている。
【００３２】励振手段２７，２８の前記配置形式によっ
て事実上前記平面内で強制的に振動が生ぜしめられ、従
って別の平面内では振動が生ぜしめられないとはいえ、
別の平面内で生ずる振動を抑制するために分配部材とは
反対の各結節プレート側で測定管毎にフラットな突出片
４０，４１，４２，４３が設けられると、有利であり、
この場合、フラットな突出片は振動平面と所定の角度を
成しかつ各測定管の軸線を含む。第２図の有利な実施例
ではフラットな突出片は図平面に対して垂直に位置して
いる。
【００３３】各測定管２３，２４に沿って、測定管の振
動を検出するための電気力学的な２つのセンサ２９，３
０，３１，３２が位置決めされている。有利には、測定
管２３と協働するセンサ２９，３０及び測定管２４と協
働するセンサ３１，３２は各測定管のセンタから等間隔
を置いて、他方の測定管とは反対側の測定管外面でしか
も振動平面内に位置する各センサ軸線３８，３９上に配
置されている。
【００３４】対のセンサ２９，３１及び対のセンサ３
０，３２を介して、センサ位置における測定管振動に関
して異なる２つの電気信号が生ぜしめられる。これら信
号間の位相差に基づき質量流量が前述の評価、駆動及び
表示電子機構内で規定される。
【００３５】第３図ではインサイチュー（in situ）・
励振手段又は電気力学的なセンサが横断面図で図示され
ている。非磁性のねじ付き連結片５２を備えた、測定管
２３にろう接された非磁性の金属プレート５１は軟磁性
の金属コップ状体５３を支持していて、この金属コップ
状体の底部の内側中央には、ねじ付き連結片が捩じ込ま
れるねじスリーブ５４が形成されている。
【００３６】別の測定管２４は図示されていないが、下
側の水平なセンタラインに対して対称的に延びるように
配置されねばならない。
【００３７】ねじスリーブ５４の軸方向で磁化された永
久磁石ディスク５５はねじスリーブの端面に固定、有利
には接着されている。従って第３図では永久磁石ディス
ク５５の上端に一方の磁極が形成される。
【００３８】支持管１４にはコイル保持体５６によって
コイル５７が固定されていて、このコイル内では、測定
管が振動した場合、永久磁石ディスク５５が自由に運動
する。コイル保持体５６はコイル５７の線材用の貫通孔
５９を備えた適当に成形されたプラスチック部材として
形成されていてかつ支持管１４の対応する孔６０内に差
し嵌められている。
【００３９】従ってコイル５７は支持管１４に固定さ
れ、かつ、コイルのリード線は振動する測定管２３，２
４との機械的な接触点又は連結点を有していない。この
ことは当然、第３図で図示されてない別の５つの電気力
学的なシステムにも当て嵌まる。
【００４０】ほぼ２５ｍｍまでの公称直径を有する導管
内に取り付けられる質量流量計のために、本発明による
質量流量センサが２つの励振手段及び４つの電気力学的
なセンサを備えると、特に有利であり、このセンサの寸
法及び電気量（コイルのインダクタンス又はオーム抵抗
等）は可能な限り互いに合致している。
【００４１】第４図では、センサの製作中に使用される
ようなローリング工具６と共に、部分的に断面した概略
的な斜視図で質量流量センサを図示している。第４図の
説明のために不要な構成部材は図面を明瞭にするために
図示されていない。
【００４２】製作中両測定管２３，２４を流入分配部材
及び流出分配部材内に挿入した後で、ローリング工具６
が各測定管の端部の内径内に挿入される。（挿入方向で
見て）前方の端部ではローリング工具６は保持器６１を
支持していて、この保持器は適当な開口内に回転可能に
取り付けられた周方向で分配されたローラ６２を備えて
いる。ボイラー又は熱交換器の管を取り付けるためのこ
のようなローリング工具は、例えばアメリカ合衆国特許
第４０９０３８２号明細書に記載されている。
【００４３】ローリング工具の回転中にローラ６２が運
動する円は、挿入方向で可動なプランジャ６３を介して
調節される半径を有している。この半径を、ローリング
工具６が測定管の内径内に挿入された当初の半径に比し
て拡大することによって、測定管の端部は流入分配部材
及び流出分配部材の孔壁に圧接される。このことはあら
ゆるエネルギ供給なしに、特に熱を供給することなしに
行なわれる。このような圧接によって測定管材料の僅か
ばかりの塑性流れが生ぜしめられひいてはこの個所で極
めて強固な機械的な結合が得られる。
【００４４】更に測定管２３，２４の端部の壁厚さが多
少薄くされひいては各測定管は長手方向で圧縮応力（以
後短く軸方向応力と呼ぶ）を受ける。それというのも、
測定管は、支持管１４内で締付け固定されることなし
に、多少延長されるからである。他面において、各孔内
では半径方向で圧縮応力（以後短く半径方向応力と呼
ぶ）が生ぜしめられる。
【００４５】半径方向応力とは次ぎの事実に起因してい
る；即ち、圧接中に測定管の端部部分が塑性変形するの
に対して、端部部分に比して大きな壁厚さに基づき流入
分配部材及び流出分配部材１９，２０がほぼ弾性変形
し、これにより圧接後流入分配部材及び流出分配部材が
端部部分のセンタに向けて半径方向力を及ぼするとい
う、事実に起因している。
【００４６】半径方向応力によって応力腐食割れを事実
上回避でき、この応力腐食割れは従来の質量流量センサ
の場合常に生ずる。それというのも、測定管の端部部分
は流入分配部材及び流出分配部材内に軟ろう接又は硬ろ
う接又は溶接されているからである。軸方向応力も同様
に、半径方向応力に比して僅かな程度応力腐食割れを回
避するのに寄与する。
【００４７】本発明では、従来移動不能の、特に振動不
能の管、即ちボイラー又は熱交換器の管と関連してのみ
適用された上述の圧接を、運転中に振動する質量流量セ
ンサの測定管において特に効果的に使用できひいてはろ
う接、硬ろう接又は溶接作業の上述の欠点が回避され
る。
【００４８】記述の圧接は特に有利には、測定管を最良
に動的にバランスさせるためにも役立つ。このことを第
１図乃至第４図の質量流量センサの実施例によって説明
する。
【００４９】まず、流入分配部材及び流出分配部材１
９，２０が支持管１４内に固定される。つまり、支持
管、流入分配部材及び流出分配部材は一体構造で製作さ
れる。次いで、測定管２３，２４の端部が流入分配部材
及び流出分配部材の所属の孔内に位置決めされかつ孔の
全長に亘ってローリング工具６の回転によって孔壁に圧
接される。つまりこの場合まだ完全な圧接圧はかけられ
ていない。
【００５０】次いで、一方の測定管２３の端部が完全な
圧接圧によって流入分配部材の孔壁に圧接される。これ
に次いで、両測定管が動的に最良にバランスされるま
で、即ち、ローリング工具のプランジャ６３が移動する
と同時に回転して測定管をバランスさせるまで、他方の
測定管２４の端部がローリング工具６によって流入分配
部材内に圧接される。
【００５１】最終的に測定管の予め圧接された端部は完
全な圧接圧によって流出分配部材の孔壁に圧接される。
次いで、他方の測定管２４の予め圧接された端部が、両
測定管が動的に最良にバランスされるまで、ローリング
工具６によって圧接される。
【００５２】最良の動的なバランスを規定するために、
支持体１４に加速センサが配置されている。圧接はこの
センサの信号が最小値になるまで、行なわれる。
【００５３】各孔端部及び各測定管端部を圧接後整合さ
せようとする場合には、流入分配部材及び流出分配部材
の対応する面（流入分配部材の場合第４図で図示されて
いるような前方の面）がストッパとして用いられる手段
によってカバーされるか又は各測定管は孔端部まで完全
には押し込まれない。
【図面の簡単な説明】
【図１】質量流量センサの軸方向縦断面図。
【図２】第１図の質量流量センサを９０度だけ回動した
平面内で図示した軸方向縦断面図。
【図３】インサイチュー・励振手段及び電気力学的なセ
ンサの基本構造を示した横断面図。
【図４】センサ製作中に使用されるようなローリング工
具と共に部分的に断面して質量流量センサを示した概略
的な斜視図。
【符号の説明】
６ ローリング工具 １０ 質量流量センサ １１ 流入管 １２ 流出管 １４ 支持管 １９ 流入分配部材 ２０ 流出分配部材 ２３，２４ 測定管 ２５，２６ 結節プレート ２７，２８ 励振手段 ２９，３０，３１，３２ センサ ３７ 励振軸線 ３８，３９ センサ軸線 ４０，４１，４２，４３ 突出片 ５１ 金属プレート ５２ ねじ付き管片 ５３ 金属コップ状体 ５４ ねじスリーブ ５５ 永久磁石ディスク ５６ コイル保持体 ５７ コイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ゲルハルト エッケルト ドイツ連邦共和国 ラインフェルデン キルヒシュトラーセ 18 (72)発明者 パトリック フルーリ スイス国 クルテテル リュ サン モ ーリス １ (72)発明者 ライナー ローレンツ ドイツ連邦共和国 レーラッハ バーズ ラー シュトラーセ 69 (72)発明者 アルフレート ヴェンガー スイス国 ネフテンバッハ シュールシ ュトラーセ 170 (56)参考文献 特開 平４−236328（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−158420（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−189417（ＪＰ，Ａ)

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 コリオリ式の質量流量センサにおいて、 イ）質量流量センサが、測定すべき流体によって貫流さ
    れる所定直径の導管内に、この導管に軸方向で整合し
    て、取付け可能であり、 ロ）質量流量センサが、導管に質量流量センサを連結す
    るのに用いられる流入管及び流出管を有していて、 ハ）質量流量センサが、流入分配部材及び流出分配部材
    を有していて、 ニ）質量流量センサが、各端部の内面で流入分配部材及
    び流出分配部材にかつ各端面で流入管及び流出管にそれ
    ぞれ固定される外側の支持管を有していて、 ホ）質量流量センサが、それぞれ両端部で流入管に整合
    して流入分配部材の平行な孔内にかつ流出管に整合して
    流出分配部材の平行な孔内に固定された、同じ内径及び
    同じ壁厚さの２本の直線的な平行な測定管を有してい
    て、 ヘ）質量流量センサが、流入分配部材及び流出分配部材
    の近くで両測定管を連結する２つの結節プレートを有し
    ていて、 ト）質量流量センサが、測定管毎に、互いに向い合って
    配置された励振手段を有していて、この励振手段が、測
    定管を励起して、１つの振動平面内でのみ逆向き方向で
    共振振動させるようになっていて、 チ）質量流量センサが、測定管の振動を検出するために
    各測定管に沿って間隔を置いて位置決めされたそれぞれ
    ２対の電気力学的なセンサを有していて、２対の電気力
    学的なセンサが互いに向い合って配置されており、 リ）少なくとも一方の測定管の端部が流入分配部材及び
    流出分配部材の孔壁に、各端部内に挿入されるローリン
    グ工具を使用して、冷間変形されて圧接されているいる
    ことを 特徴とする、コリオリ式の質量流量センサ。
  2. 【請求項２】 各励振手段が測定管の長さのセンタで、
    他方の測定管とは反対側の測定管外面でしかも振動平面
    内に位置する励振軸線上に配置されている、請求項１記
    載の質量流量センサ。
  3. 【請求項３】 一方の測定管と協働する各センサが、測
    定管のセンタから等間隔を置いて、他方の測定管とは反
    対側の測定管外面でしかも振動平面内に位置するそれぞ
    れ１つの励振軸線上に配置されている、請求項１記載の
    質量流量センサ。
  4. 【請求項４】 ２つの励振手段及び４つのセンサが以下
    の構成部材を有している。即ち、 イ）非磁性のねじ付き連結片を備え、各測定管にろう接
    された非磁性の金属プレートと、 ロ）底部の内側中央でねじ付き連結片が捩じ込まれるね
    じスリーブを形成する軟磁性の金属コップ状体と、 ハ）ねじスリーブの端面に固定、有利には接着され且つ
    ねじスリーブの軸方向で磁化された永久磁石ディスク
    と、 ニ）永久磁石ディスクがコイル内で自由に運動可能であ
    るように、コイル保持体を介して支持管に取り付けられ
    たコイルとを有している、請求項１記載の質量流量セン
    サ。
  5. 【請求項５】 ２つの励振手段及び４つのセンサがそれ
    ぞれ同じ寸法を有している、請求項４記載の質量流量セ
    ンサ。
  6. 【請求項６】 振動平面に対して垂直でかつ各測定管の
    軸線を含む平面内に位置するように、測定管毎に、分配
    部材とは反対の各結節プレート側で２つのフラットな突
    出片が設けられている、請求項１記載の質量流量セン
    サ。
  7. 【請求項７】 ２本の測定管、流入分配部材、流出分配
    部材、結節プレート及び場合によってはフラットな突出
    片がチタン又はチタン合金又はジルコニウムから製作さ
    れ、かつ、流入管及び流出管が特殊鋼から製作されてい
    る、請求項１記載の質量流量センサ。
  8. 【請求項８】 測定管が動的に最良にバランスされるま
    でのみ、２本の測定管が流入分配部材及び流出分配部材
    内に圧接されている、請求項１記載の質量流量センサ。
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