JP2742207B2 - 超音波振動子 - Google Patents

超音波振動子

Info

Publication number
JP2742207B2
JP2742207B2 JP6014654A JP1465494A JP2742207B2 JP 2742207 B2 JP2742207 B2 JP 2742207B2 JP 6014654 A JP6014654 A JP 6014654A JP 1465494 A JP1465494 A JP 1465494A JP 2742207 B2 JP2742207 B2 JP 2742207B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
ultrasonic
acoustic wave
piezoelectric material
surface acoustic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP6014654A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07222286A (ja
Inventor
敏行 松中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Aloka Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aloka Co Ltd filed Critical Aloka Co Ltd
Priority to JP6014654A priority Critical patent/JP2742207B2/ja
Publication of JPH07222286A publication Critical patent/JPH07222286A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2742207B2 publication Critical patent/JP2742207B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動子、特に単
一の超音波振動子から多方向に向けて超音波ビーム発生
することのできる超音波振動子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の超音波振動子は、圧電材料を2つ
の電極で挟んだ構造をなし、その両電極間に高周波信号
を印加することによって、圧電材料が周期的に歪み、こ
の結果、圧電材料の表面からその垂直方向に弾性波であ
る超音波が放射される。
【0003】医療の世界における超音波の活用例として
は、超音波を生体内に送波し、生体内の臓器にて反射し
た反射波の強度に応じて臓器の断層画像を得る超音波診
断装置や、超音波を生体内に送波し、生体内の運動反射
体(例えば血流)にてドプラシフトを受けた反射波を受
波し、受信信号に含まれるドプラ情報から前記運動反射
体の速度等を測定する超音波ドプラ診断装置等が挙げら
れる。ここで、超音波の送受波は、超音波振動子を有す
る超音波探触子によって行われる。
【0004】ところで、冠動脈や大動脈等のバイパス手
術を行った後や血管拡張剤等を投与した後には血液の流
れが正常であるか否かを観察するために、血流量の計測
が要望される場合がある。
【0005】従来、血流量の計測は、血管上に載置され
た超音波探触子のAモード又はBモードによって得られ
る血管の断層情報によって血管径を算出して血管の断面
積を求めた後、同じく血管上に載置されたドプラ信号検
出用超音波探触子によって、血流速度を算出し、この血
流速度と血管の断面積とから単位時間当たりに血管断面
を通過する血流量を求めていた。
【0006】ところで、超音波がドプラシフトを受ける
ためには、原理上、運動反射体である血流等の運動方向
に対して超音波ビーム方向が直交していてはならず、あ
る程度以上の交差角度が必要である。従って、従来にお
いては、超音波探触子によって血管の血流速度を測定し
ようとする場合、超音波ビームを血管に対して斜めに設
定する必要から、傾斜面を有するスタンドオフ材等によ
って超音波振動子を血管に対して斜めに配置していた。
【0007】また、特願平4−322012号には、超
音波探触子において超音波を送受波する素子として、一
方向に弾性表面波を伝達させることのできる一方向性弾
性表面波素子(以下、一方向性SAW(Surface
Acoustic Wave)素子ともいう)を用い
ているものが記載されている。この一方向性SAW素子
は音響伝搬媒体に接合させると、SAW素子のSAWの
音速と音響伝搬媒体の音速との比で定まる角度で圧電材
料の表面から斜め方向に弾性波を放射する特性を持って
いる。従って、スタンドオフ材を用いることなくドプラ
信号の送受波を行うことが可能であり、超音波振動子の
小型化を行うことができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、血流量を計測
する場合、血管の断面積と血流速度、つまり、血管の断
層情報と血流のドプラ情報との2種類の情報を得るため
に異なる2方向に超音波ビームを照射する2つの超音波
振動子が必要であり、超音波探触子に2つの超音波振動
子を併設する必要があり、超音波探触子が大型化してし
まうという問題があった。特に、冠動脈や大動脈等のバ
イパス手術を行った後は、バイパス部に超音波探触子を
留置し、該超音波探触子の信号ケーブルのみを術部から
引き出し、残りの部分は縫合し血流量の観察を行ってい
る。そして、観察終了後に超音波探触子は信号ケーブル
と共に引き抜かれるため、超音波探触子が大型化する
と、生体組織を損傷することなく引き抜き作業を行うこ
とができないという問題があった。
【0009】そこで、本発明は、小型で多方向に向けて
超音波ビーム発生することのできる超音波振動子を提供
することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題点を
解決するため、圧電材料と、前記圧電材料の一方面に形
成されその表面にて一方向に弾性表面波を発生させる弾
性表面波電極と、前記圧電材料の他方面に形成され前記
弾性表面波電極とによって前記圧電材料の表面から垂直
方向の弾性波を発生させる平面電極と、を有し、弾性表
面波と垂直方向の弾性波とを発生することを特徴とす
る。
【0011】
【作用】本発明における超音波振動子においては、圧電
材料の一方面に弾性表面波電極を設け、一方面にて一方
向に弾性表面波を発生させる。また前記圧電材料の他方
面に平面電極を設け、前記弾性表面波電極とによって前
記圧電材料の表面から垂直方向の弾性波を発生させる。
【0012】従って、被検体のドプラ情報を得るために
必要な超音波ビームは弾性表面波電極によって発生させ
ることが可能であり、被検体の断層情報を得るために必
要な超音波ビームは平面電極と弾性表面波電極との間に
電圧を印加することで発生させることができる。
【0013】このように、弾性表面波電極を被検体のド
プラ情報を得るため超音波ビーム発生用と断層情報を得
るために必要な超音波ビーム発生用とに兼用することに
よって超音波振動子の小型化、つまり超音波探触子の小
型化を行うことができる。
【0014】
【実施例】以下、この発明の好適な実施例を図を用いて
説明する。
【0015】図1には、本実施例に係る超音波振動子1
0の概略外観図が示されている。圧電材料12は、例え
ば圧電セラミックスや水晶等が用いられている。圧電材
料12の上面(電極形成面)には、弾性表面波を発生さ
せる弾性表面波電極(SAW電極)14がパターン形成
されている。
【0016】SAW電極から成るSAW素子の一般的な
使用態様においては、電極間に信号を印加すると、圧電
材料の上面(電極面)に弾性表面波が生じる。
【0017】そして、生体や生体等価物質等の音響伝搬
媒体に電極面を接触させると、圧電材料12におけるS
AWの速度と音響伝搬媒体の音波の速度との比で定まる
角度で漏れ弾性波が音響伝搬媒体内へ斜めに放射される
ことが実験によって確認されている。
【0018】ところが、SAW素子は、前後方向に斜め
に2つの弾性波が放射されるため、そのままでは、ドプ
ラシフトが正負両方向に生じ、ドプラ診断を行うことは
困難となる。そこで、一方向のみに斜め弾性波を生じさ
せることが必要となり、本発明においては、一方向性S
AW素子を用いている。一方向性SAW素子としては、
現在まで各種のものが提案されており、いわゆる八木ア
ンテナのように波の重なりと相殺とを利用して、一方向
のみに弾性表面波を生じさせるようにしたものがある。
【0019】図1に示されるように、このSAW電極1
4は3つのパターン要素から成っている。すなわちSA
W電極14は電極要素14a,14b,14cで構成さ
れている。ここで、各電極要素は櫛形状あるいはすだれ
形状をなしており、電極要素14cは中央付近で左右に
反転している。なお、この電極パターンは従来から知ら
れている一方向性のためのパターンである。また、圧電
材料12の下面側には平面電極16が形成されている。
そして、電極要素14a,14b,14c及び平面電極
16には図示しないフレキシブル基板上に形成された電
極層にリード線18によって電気的に接続されている。
そして、その電極層には図示しない信号ケーブルが電気
的に接続されている。
【0020】本実施例の特徴的事項は圧電材料12の表
面側の設けられたSAW電極14に電圧を印加すること
によって表面側にて一方向に弾性表面波を発生させ、ま
た、裏面側に設けられた平面電極16と表面側に設けら
れたSAW電極14との間に電圧を印加することによっ
て電極形成面の垂直方向に弾性波を発生させることがで
きるところである。 図2には、このSAW電極14及
び平面電極16を含む超音波振動子を有する超音波診断
装置の構成が概念的に示されている。
【0021】まず、SAW電極14による弾性表面波を
発生させる場合について図1及び図2を用いて説明す
る。
【0022】まず、第1送受信器20から出力された信
号100は2つに分岐され、一方の信号100は90°
位相器22を介して位相が90°遅延された信号101
となり、更に反転器24を介した後、後述する選択器2
6を介してライン28aから電極要素14aに供給され
ている。
【0023】他方、信号100は上記90°位相器22
を介さずに反転器24及び選択器26を介してライン2
8bから電極要素14bに供給されている。
【0024】ここで、90°位相器22は、信号の位相
を90°遅延させるものであり、これによってSAW電
極14には互いに90°位相が異なる2つの信号が供給
される。また、反転器24は、これらの2種類の信号の
前記電極要素への供給の切換え反転を行うものである。
【0025】すなわち、反転器24が順方向にセットさ
れている場合には、図1に示す電極要素14aには信号
101が供給され、一方90°の位相差を持った信号1
00は電極要素14bに供給される。この際、電極要素
14cはグランドに接続されている。以上のような信号
の供給を行うと、圧電素子12の上面において図1にお
けるA方向に弾性表面波が生じることになる。ここで、
Aと反対方向の波は上述した90°の位相差によって相
殺されることになる。
【0026】他方、反転器24を反転方向にセットする
と、電極要素14aには90°の移相差を持った信号が
供給され、電極要素14bには位相差のない信号101
が供給される。この結果、上述した方向とは反対方向、
すなわちA方向と反対方向に弾性表面波が生じることに
なる。
【0027】なお、図1には図示されていないが、圧電
材料12の上面を絶縁性が高い膜でコーティングするこ
とが好ましい。その場合には絶縁性が高く薄膜化が可能
な例えばパリレンを用いることができる。また、生体組
織と音響インピーダンスが同じ生体等価物質の層を圧電
材料12の上面に形成してもよい。いずれにしても、圧
電材料12中のSAWの音速とそれに接触する物質の音
速との比によって定められる角度で弾性表面波が斜め方
向に放射されることになる。
【0028】一方、垂直方向の弾性波を発生させる場
合、ライン28a,28bを並列に接続する。つまり、
SAW電極14の電極素子14a,14b,14cを同
電位になるようにする。SAW電極14は細かいほぼ櫛
形形状を呈しているので、1枚の平面電極として扱うこ
とができる。そして、第2送受信器30から平面電極1
6とSAW電極14との間に信号を印加すると、図2中
B方向に弾性波を発生する。
【0029】各弾性波の発生時において選択器26はラ
イン28a,28b,28cの切り替えを行うものであ
る。例えば、表面弾性波の発生時にはライン28a,2
8bに第1送受信器20からの信号を印加し、ライン2
8cはオープンとする。また、垂直方向の弾性波の発生
時にはライン28a,28bを並列に接続し、ライン2
8cとの間に第2送受信器30の信号を印加する。
【0030】図3は本実施例の超音波振動子10を有す
る超音波探触子32を血管34に当接させた時の血流量
の計測状態について説明する説明図である。
【0031】まず、SAW電極14と平面電極16(図
1参照)とによって垂直方向(図3中B方向)の弾性波
によって、血管径を検出する。そして、図示しない超音
波診断装置本体の演算部で検出された血管径から血管の
断面積を求める。
【0032】次に、SAW電極14によって表面弾性波
を発生させる。前述したように音響伝搬媒体、すなわ
ち、血流内での音速の速度と圧電材料12におけるSA
Wの速度との比で定まる角度で漏れ弾性波が血流へ斜め
に放射され、ドプラ信号の検出を行い、超音波診断装置
本体の演算部にて血流速度を算出する。そして、超音波
診断装置本体の演算部は血管の断面積と血流速度とから
単位時間当たりに血管断面を通過する血流量を算出す
る。
【0033】なお、本実施例のほかに、例えば体表面に
当接して用いられる超音波探触子に適用してもよい。
【0034】また、圧電材料12の材質を適宜選択する
ことによって、所望の角度で弾性波を生体内に放射する
ことができる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、超音波振動子の一
方面に設けられたSAW電極と他方面に設けられた平面
電極によって選択的にドプラ情報検出用の超音波ビーム
と断層情報検出用の超音波ビームを発生させることがで
きるので超音波振動子の形状を小さくして、超音波探触
子の小型化を行うことができる。
【0036】また、生体内に超音波探触子を留置して後
に引き抜く場合でも超音波探触子を小型化できるので容
易に引く抜くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る超音波振動子の斜視図である。
【図2】本発明に係る超音波振動子を有する超音波診断
装置の構成を示すブロック図である。
【図3】血管当接型超音波探触子の概念を示す概念図で
ある。
【符号の説明】
10 超音波振動子 12 圧電材料 14 弾性表面波電極 16 平面電極

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電材料と、 前記圧電材料の一方面に形成されその表面にて一方向に
    弾性表面波を発生させる弾性表面波電極と、 前記圧電材料の他方面に形成され前記弾性表面波電極と
    によって前記圧電材料の表面から垂直方向の弾性波を発
    生させる平面電極と、 を有し、弾性表面波と垂直方向の弾性波とを発生するこ
    とを特徴とする超音波振動子。
JP6014654A 1994-02-08 1994-02-08 超音波振動子 Expired - Fee Related JP2742207B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6014654A JP2742207B2 (ja) 1994-02-08 1994-02-08 超音波振動子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6014654A JP2742207B2 (ja) 1994-02-08 1994-02-08 超音波振動子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07222286A JPH07222286A (ja) 1995-08-18
JP2742207B2 true JP2742207B2 (ja) 1998-04-22

Family

ID=11867208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6014654A Expired - Fee Related JP2742207B2 (ja) 1994-02-08 1994-02-08 超音波振動子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2742207B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4870530B2 (ja) * 2006-11-20 2012-02-08 日本無線株式会社 弾性表面波センサ
JP5692042B2 (ja) * 2011-12-16 2015-04-01 コニカミノルタ株式会社 圧電セル、圧電素子、超音波探触子および超音波診断装置
JP6351551B2 (ja) * 2015-07-14 2018-07-04 三菱電機株式会社 半導体装置、半導体装置の劣化評価方法、半導体装置を含むシステム

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07222286A (ja) 1995-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7753847B2 (en) Ultrasound vibrometry
US5903516A (en) Acoustic force generator for detection, imaging and information transmission using the beat signal of multiple intersecting sonic beams
JP4582827B2 (ja) 超音波診断装置
US6050943A (en) Imaging, therapy, and temperature monitoring ultrasonic system
US4276491A (en) Focusing piezoelectric ultrasonic medical diagnostic system
US20050165306A1 (en) Detection of motion in vibro-acoustography
KR20030081084A (ko) 천자침 안내구, 초음파 프로브 및 초음파 촬영 장치
CN111820946A (zh) 一种用于多普勒超声探测的柔性测速装置及其应用
WO1998057581A1 (fr) Dispositif emetteur-recepteur a ondes entretenues d'imagerie par ultrasons et sonde a ultrasons
JP2003230560A (ja) 超音波画像診断装置
JP2742207B2 (ja) 超音波振動子
JPH021263B2 (ja)
JPS6340974Y2 (ja)
JP3200482B2 (ja) ドプラ診断用超音波診断装置
JPH0140619B2 (ja)
Foster et al. Cylindrical transducer scatter scanner
JP2735266B2 (ja) パルスエコー型超音波装置
Hwang et al. Principles of ultrasound
JP2010110642A (ja) 超音波診断装置
JP2760558B2 (ja) 超音波診断装置
JPH0135656B2 (ja)
JPH1189840A (ja) 穿刺針並びに超音波撮像方法および装置
JPH0492650A (ja) 超音波診断装置
JP4564544B2 (ja) 超音波診断装置
JPS6329630A (ja) 超音波音速測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees