JP2738963B2 - 半導体ペレット振込み用パレット - Google Patents
半導体ペレット振込み用パレットInfo
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- JP2738963B2 JP2738963B2 JP1253921A JP25392189A JP2738963B2 JP 2738963 B2 JP2738963 B2 JP 2738963B2 JP 1253921 A JP1253921 A JP 1253921A JP 25392189 A JP25392189 A JP 25392189A JP 2738963 B2 JP2738963 B2 JP 2738963B2
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- pallet
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- pellet
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1015—Shape
- H01L2924/10155—Shape being other than a cuboid
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- H01L2924/10155—Shape being other than a cuboid
- H01L2924/10158—Shape being other than a cuboid at the passive surface
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- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造装置に用いられる半導体ペレッ
ト振込み用パレットに関する。
ト振込み用パレットに関する。
［従来の技術と課題］ 周知の如く、半導体製造装置特に複合回路半導体装置
の製造装置においては、半導体ペレットを振込むために
パレットが用いられている。こうしたパレットには半導
体ペレットを振込むための穴が多数設けれており、これ
らの穴に表裏50％の確率で前記ペレットが振込まれ、こ
の後ペレットの電気的特性判別もしくは目視により人為
的に所望の極性に補正していた。
の製造装置においては、半導体ペレットを振込むために
パレットが用いられている。こうしたパレットには半導
体ペレットを振込むための穴が多数設けれており、これ
らの穴に表裏50％の確率で前記ペレットが振込まれ、こ
の後ペレットの電気的特性判別もしくは目視により人為
的に所望の極性に補正していた。
ところで、従来のパレットにおいては、上記穴の形状
が同じであるためとともに、穴に振込むペレットの外部
電極を構成するろう材の形状及び量も等しいものであっ
た。このため、電気的特性判別及び目視による極性選別
には限界があり、複合回路半導体装置（STACK）例えば
整流ブリッジなどを作る場合、回路通り半導体ペレット
を補正し並べるのに時間がかかったり、逆極性の組み込
みにより不良が多発する場合があった。また、回路通り
半導体ペレットを並べた後、バキューム治具でカーボン
治具に移しかえマウントしなければならず、その取扱が
容易ではなかった。
が同じであるためとともに、穴に振込むペレットの外部
電極を構成するろう材の形状及び量も等しいものであっ
た。このため、電気的特性判別及び目視による極性選別
には限界があり、複合回路半導体装置（STACK）例えば
整流ブリッジなどを作る場合、回路通り半導体ペレット
を補正し並べるのに時間がかかったり、逆極性の組み込
みにより不良が多発する場合があった。また、回路通り
半導体ペレットを並べた後、バキューム治具でカーボン
治具に移しかえマウントしなければならず、その取扱が
容易ではなかった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、カソード
電極，アノード電極の形状の異なるメサ型半導体ペレッ
トに対して、パレット本体にペレット振込み用の形状の
異なる第１開口部，第２開口部を夫々設ける事により、
パレット本体を傾斜した状態で振動させることにより、
ペレットを表裏の電極形状を誤ることなく確実に選別し
て振込むことができる半導体ペレット振込み用パレット
を提供することを目的とする。
電極，アノード電極の形状の異なるメサ型半導体ペレッ
トに対して、パレット本体にペレット振込み用の形状の
異なる第１開口部，第２開口部を夫々設ける事により、
パレット本体を傾斜した状態で振動させることにより、
ペレットを表裏の電極形状を誤ることなく確実に選別し
て振込むことができる半導体ペレット振込み用パレット
を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、表裏に形状の異なるカソード電極，アノー
ド電極を夫々形成したメサ型半導体ペレットを振動によ
り振込むパレットにおいて、ペレット本体と、このパレ
ット本体に設けられ，前記ペレットがアノード側から振
動により抜け落ちない様に振込まれる第１開口部と、前
記パレット本体に設けられ，前記ペレットがカソード側
から振動により抜け落ちない様に振込まれる第２開口部
とを具備することを特徴とする半導体ペレット振込み用
パレットである。
ド電極を夫々形成したメサ型半導体ペレットを振動によ
り振込むパレットにおいて、ペレット本体と、このパレ
ット本体に設けられ，前記ペレットがアノード側から振
動により抜け落ちない様に振込まれる第１開口部と、前
記パレット本体に設けられ，前記ペレットがカソード側
から振動により抜け落ちない様に振込まれる第２開口部
とを具備することを特徴とする半導体ペレット振込み用
パレットである。
［作用］ 本発明においては、パレット本体を振動テーブルの上
に載せた後、振動をかけ、更に振動テーブルを傾ける事
によりペレットの振込みを行う。これにより、多数のペ
レットがパレット本体上を滑降し、所定の形状をした第
１開口部，第２開口部に振込まれる。この際、ペレット
が逆さに開口部に振込まれた時は振動によりその開口部
からはみ出し、別な種類の開口部に落ち着く。また、２
つのペレットが開口部に収納された時は不安定な状態の
ため、振動によりいずれか一方のペレットがはみ出す。
に載せた後、振動をかけ、更に振動テーブルを傾ける事
によりペレットの振込みを行う。これにより、多数のペ
レットがパレット本体上を滑降し、所定の形状をした第
１開口部，第２開口部に振込まれる。この際、ペレット
が逆さに開口部に振込まれた時は振動によりその開口部
からはみ出し、別な種類の開口部に落ち着く。また、２
つのペレットが開口部に収納された時は不安定な状態の
ため、振動によりいずれか一方のペレットがはみ出す。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例について第１図〜第３図を参
照して説明する。ここで、第１図は整流ブリッジ用の振
込み用パレットの傾斜面、第２図はこのパレットの第１
開口部の拡大断面図、第３図は同パレットの第２開口部
の拡大断面図である。
照して説明する。ここで、第１図は整流ブリッジ用の振
込み用パレットの傾斜面、第２図はこのパレットの第１
開口部の拡大断面図、第３図は同パレットの第２開口部
の拡大断面図である。
図中の１は、ベーク材からなるパレット本体からな
る。このパレット本体１には複数の開口部群２が設けら
れており、この開口部群２には第１開口部３と第２開口
部４が設けられている。ここで、第１・第２開口部に
は、第４図及び第５図に示す如く、径の小さいカソード
電極5aにろう材６がデップされかつ径の大きいアノード
電極5bにろう材６がデップされたメサ型半導体ペレット
７が収納される。前記第１開口部３の形状は、第２図に
示す如く浅くしかもペレット７のアノード電極5bの径よ
りも若干大きくなっており、かつ開口部上面には120℃
（θ）の面取りがなされている。これにより、振動によ
りペレット７がアノード電極5bを下にした状態で第１開
口部３に収納されるようになっている（第８図図示）。
る。このパレット本体１には複数の開口部群２が設けら
れており、この開口部群２には第１開口部３と第２開口
部４が設けられている。ここで、第１・第２開口部に
は、第４図及び第５図に示す如く、径の小さいカソード
電極5aにろう材６がデップされかつ径の大きいアノード
電極5bにろう材６がデップされたメサ型半導体ペレット
７が収納される。前記第１開口部３の形状は、第２図に
示す如く浅くしかもペレット７のアノード電極5bの径よ
りも若干大きくなっており、かつ開口部上面には120℃
（θ）の面取りがなされている。これにより、振動によ
りペレット７がアノード電極5bを下にした状態で第１開
口部３に収納されるようになっている（第８図図示）。
一方、前記第２開口部４の形状は、第３図に示す如く
深くしかもペレット７のカソード電極5aの径よりも若干
大きくなっており、かつ開口部上面は階段状になってい
る。これにより、振動によりペレット７がカソード電極
5aを下にした状態で第２開口部４に振込まれるようにな
っている（第10図図示）。なお、第１開口部３の径R1は
第２開口部４の径R2よりも大きくなっている。
深くしかもペレット７のカソード電極5aの径よりも若干
大きくなっており、かつ開口部上面は階段状になってい
る。これにより、振動によりペレット７がカソード電極
5aを下にした状態で第２開口部４に振込まれるようにな
っている（第10図図示）。なお、第１開口部３の径R1は
第２開口部４の径R2よりも大きくなっている。
ところで、前記ペレット７をパレットに振込むには、
パレット本体１を振動テーブル（図示せず）の上に載せ
た後、振動をかけ、更に振動テーブルを傾ける事により
行う。これにより、多数のペレット７がパレット本体１
上を滑降し、第８図及び第９図に示す如く夫々指定され
た位置に振込まれる。この際、第９図及び第11図に示す
如くペレット７が逆さに収納された時は振動によりその
開口部からはみ出し、所定の開口部に落ち着く。具体的
には、第11図に示す如くカソード5aを下にした状態で第
１開口部３に収納されたペレット７は振動によりはみ出
し、カソード5aを上にした状態で第１開口部３に収納さ
れる。また、第12図や第13図に示す如く２つのペレット
７が開口部に収納された状態は不安定で、振動によりい
ずれか一方のペレットがはみ出す。
パレット本体１を振動テーブル（図示せず）の上に載せ
た後、振動をかけ、更に振動テーブルを傾ける事により
行う。これにより、多数のペレット７がパレット本体１
上を滑降し、第８図及び第９図に示す如く夫々指定され
た位置に振込まれる。この際、第９図及び第11図に示す
如くペレット７が逆さに収納された時は振動によりその
開口部からはみ出し、所定の開口部に落ち着く。具体的
には、第11図に示す如くカソード5aを下にした状態で第
１開口部３に収納されたペレット７は振動によりはみ出
し、カソード5aを上にした状態で第１開口部３に収納さ
れる。また、第12図や第13図に示す如く２つのペレット
７が開口部に収納された状態は不安定で、振動によりい
ずれか一方のペレットがはみ出す。
このように上記実施例によれば、パレット本体１に、
任意の形状をした第１開口部3,第２開口部４を多数設け
た構成になっているため、パレット本体１を傾斜させた
状態で振動させることにより、第１開口部３には第８図
に示す如くカソード電極5aを上にした状態でペレット７
を確実に収納でき、かつ第２開口部４には第10図に示す
如くアノード電極5bを上にした状態でペレット７を確実
に収納できる。
任意の形状をした第１開口部3,第２開口部４を多数設け
た構成になっているため、パレット本体１を傾斜させた
状態で振動させることにより、第１開口部３には第８図
に示す如くカソード電極5aを上にした状態でペレット７
を確実に収納でき、かつ第２開口部４には第10図に示す
如くアノード電極5bを上にした状態でペレット７を確実
に収納できる。
事実、従来表裏形状の異なる半導体ペレットを使用し
ても50〜70％の確率で整列していたが、本発明パレット
によれば99.8％以上の確率で選択整列できるようになっ
た。また、従来手作業で検査補正を費やしたものが、自
動で極めて用意にできるようになった。例えば、従来方
式では6144ケのペレットを所定の位置に選択整列させる
のに約90分位必要であったが、本発明によれば約３分間
でできるようになった。下記第１表は、6144ケのペレッ
トを夫々前記パレットの開口部に振込んだ場合のペレッ
トの収納状況を示す（実施例Ｉ〜VII）。
ても50〜70％の確率で整列していたが、本発明パレット
によれば99.8％以上の確率で選択整列できるようになっ
た。また、従来手作業で検査補正を費やしたものが、自
動で極めて用意にできるようになった。例えば、従来方
式では6144ケのペレットを所定の位置に選択整列させる
のに約90分位必要であったが、本発明によれば約３分間
でできるようになった。下記第１表は、6144ケのペレッ
トを夫々前記パレットの開口部に振込んだ場合のペレッ
トの収納状況を示す（実施例Ｉ〜VII）。
記表により、不良発生率は0.1％以下のレベルであり、
実用使用上特に問題ないことが判明した。
実用使用上特に問題ないことが判明した。
なお、上記実施例では半導体ペレットの構造が丸形で
ある場合について述べたが、これに限らなず、異形のも
のでも良い。例えば、アノードが六角形状でカソードが
丸形、またはこの逆でも良い。
ある場合について述べたが、これに限らなず、異形のも
のでも良い。例えば、アノードが六角形状でカソードが
丸形、またはこの逆でも良い。
上記実施例では、パレット本体の材質としてベーク材
を用いた場合について述べたが、合成樹脂板，金属板等
を用いてもよい。
を用いた場合について述べたが、合成樹脂板，金属板等
を用いてもよい。
［発明の効果］ 以上詳述した如く本発明によれば、パレット本体を傾
斜した状態で振動させることにより、ペレットを表裏の
電極形状を誤ることなく確実に選別して振込むことがで
きる半導体ペレット振込み用パレットを提供できる。
斜した状態で振動させることにより、ペレットを表裏の
電極形状を誤ることなく確実に選別して振込むことがで
きる半導体ペレット振込み用パレットを提供できる。
第１図は本発明の一実施例に係る半導体ペレット振込み
用パレットの斜視図、第２図はこのパレットの第１開口
部の拡大断面図、第３図は同パレットの第２開口部の拡
大断面図、第４図は本発明に係るメサ型半導体ペレット
の正面図、第５図は第４図の平面図、第６図は従来のメ
サ型半導体ペレットの正面図、第７図は第６図の平面
図、第８図はペレットがパレットの開口部に正常に収納
された場合の説明図、第９図はペレットがパレットの開
口部に異常に収納された場合の説明図、第10図はペレッ
トがパレットの開口部に正常に収納された場合の説明
図、第11図，第12図及び第13図は夫々ペレットがパレッ
トの開口部に異常に収納された場合の説明図である。 １…パレット本体、３…第１開口部、４…第２開口部、
5a…カソード電極、5b…アノード電極、６…ろう材、７
…半導体ペレット。
用パレットの斜視図、第２図はこのパレットの第１開口
部の拡大断面図、第３図は同パレットの第２開口部の拡
大断面図、第４図は本発明に係るメサ型半導体ペレット
の正面図、第５図は第４図の平面図、第６図は従来のメ
サ型半導体ペレットの正面図、第７図は第６図の平面
図、第８図はペレットがパレットの開口部に正常に収納
された場合の説明図、第９図はペレットがパレットの開
口部に異常に収納された場合の説明図、第10図はペレッ
トがパレットの開口部に正常に収納された場合の説明
図、第11図，第12図及び第13図は夫々ペレットがパレッ
トの開口部に異常に収納された場合の説明図である。 １…パレット本体、３…第１開口部、４…第２開口部、
5a…カソード電極、5b…アノード電極、６…ろう材、７
…半導体ペレット。
Claims (1)
- 【請求項１】表裏に形状の異なるカソード電極，アノー
ド電極を夫々形成したメサ型半導体ペレットを振動によ
り振込むパレットにおいて、ペレット本体と、このパレ
ット本体に設けられ，前記ペレットがアノード側から振
動により抜け落ちない様に振込まれる第１開口部と、前
記パレット本体に設けられ，前記ペレットがカソード側
から振動により抜け落ちない様に振込まれる第２開口部
とを具備することを特徴とする半導体ペレット振込み用
パレット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1253921A JP2738963B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 半導体ペレット振込み用パレット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1253921A JP2738963B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 半導体ペレット振込み用パレット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03116844A JPH03116844A (ja) | 1991-05-17 |
| JP2738963B2 true JP2738963B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=17257879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1253921A Expired - Fee Related JP2738963B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 半導体ペレット振込み用パレット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2738963B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6708628B2 (en) * | 2001-10-16 | 2004-03-23 | Conrad Herring | Load bearing structure for composite ecological shipping pallet |
| US6857377B2 (en) | 2001-10-16 | 2005-02-22 | Conrad C. Herring | Load bearing structure for a shipping pallet |
| WO2015147217A1 (ja) | 2014-03-27 | 2015-10-01 | 株式会社根本杏林堂 | 漏出検出センサ用のセンサパッドキット、漏出検出システム、および薬液注入システム |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP1253921A patent/JP2738963B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03116844A (ja) | 1991-05-17 |
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Legal Events
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