JP2731665B2 - リフローはんだ付け装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、各種ガスを加熱した熱
ガスにより電子部品を回路基板にはんだ付けするリフロ
ーはんだ付け装置に係り、特に、予熱および加熱を行う
予熱室，リフロー室での温度変動が小さく、所望の温度
プロフィールが維持できる、はんだ付け性が良好で経済
的なリフローはんだ付け装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、実装基板の高密度化あるいは表面
実装化が進み、電子部品を回路基板にはんだ付けするに
当っては、はんだ付けの信頼性や生産性の観点からリフ
ロー法が広く用いられるようになった。はんだ付けに用
いるはんだペーストは、はんだ粒子が微細化し、フラッ
クス中の固形物が少なくなっている。はんだペーストが
このようになると、従来の空気を用いたリフロー法によ
り回路基板をはんだ付けすると、はんだ粒子の酸化、あ
るいは活性剤の不足にともなうはんだボール、濡れ不良
が多発する。

【０００３】そこで、空気に変わり、窒素などの不活性
熱ガスを用いるリフロー法が採用されるに至った。この
方法による代表的なリフロー装置として、例えば特開昭
６４−７１５７１号公報記載のものが知られている。図
７は、当該公報記載の従来のリフローはんだ付け装置の
構成を示す略示縦断面図である。図７に示すリフローは
んだ付け装置は、３ブロックの予備加熱域（予熱室）と
２ブロックの本加熱域（リフロー室）と２ブロックの冷
却域（冷却室）とで構成されている。

【０００４】加熱ヒータとしてはいずれもガス吹き出し
形の赤外線ヒータ５４が採用され、被処理物搬送路（図
示せず）の上下に一対づつ設けられている。各赤外線ヒ
ータ５４の間には、上下対にガス吹き込み方向が調節自
在のノズル５５が設けられている。熱媒体のガスはライ
ン６０から各赤外線ヒータ５４に吹き出し用ガスとして
供給し、ライン６１からのガスは各赤外線ヒータ５４の
間に設置されたノズル５５に送られ、炉内に噴出され
る。各赤外線ヒータ５４の間から吹き出すガスはライン
６２を経て回収され、ブロア５８、熱交換器５９を経て
冷却ノズル５６に供給される。

【０００５】被処理物（図示せず）はコンベア（図示せ
ず）により図７に向かって右側から装置に搬入され、予
備加熱域で３対の赤外線ヒータ５４により所定の温度に
予熱され、さらに本加熱域で２対の赤外線ヒータ５４に
よりはんだが溶融する温度に加熱され、冷却域で冷却ノ
ズル５６と冷却ファン５７とにより冷却されてはんだ付
けを完了する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術には次
のような問題のあることが確かめられている。 （１）熱ガス循環のための送風機が設置されていないの
で、対流伝熱に寄与するガスの流速は供給ガス量により
制限される。一方、供給ガスは高価であるから、供給量
（消費量）を最小限にする必要があり、対流伝熱より赤
外線による輻射伝熱が主体になる。このために、被処理
物の部品の色による不均一な加熱や部品の熱容量の大小
による不均一な加熱が生じてはんだ付けの信頼性が低下
する。

【０００７】（２）熱ガスの大半は被処理物に上，下か
ら垂直に当たると、流れは水平方向に変わるが、搬入，
搬出方向の流速は被処理物上の部品により異なる。した
がって、被処理物がない場合に熱ガスの流れが安定して
いても、被処理物が来ると、そのバランスが崩れて冷え
た大気が装置内に流入したり、熱ガスが流出したりす
る。このために、熱ガスの温度が変動してはんだ付けの
信頼性が低下する。また、温度維持のため、ガス供給量
を増したり、加熱を強化する必要を生じ経済性が低下す
る。

【０００８】（３）被処理物により、搬入，搬出方向へ
の流れのバランスが変わると、予熱室、リフロー室、冷
却室など各室間の漏洩量が増すので、各室間の温度を維
持することが困難となる。そのため、回路基板をはんだ
付けするのに必要な温度プロフィールを得ることができ
ず、はんだ付けできる回路基板に制限を生じ、装置の経
済性が低下する。

【０００９】本発明は、上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたもので、コンベア上を被処理物が流れ
て来ても来なくても、予熱室、リフロー室で熱ガスの回
流を形成させ、冷えた大気の流入や熱ガスの流出を阻止
し、予熱室、リフロー室における熱ガスの温度変動を抑
え、所望の温度プロフィールを維持してはんだ付けの信
頼性を向上するとともに、経済性を高めたリフローはん
だ付け装置を提供することを、その目的とするものであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るリフローはんだ付け装置の構成は、は
んだを塗布した回路基板に電子部品を装着してなる被処
理物を、コンベアにて予熱室およびリフロー室を搬送
し、これら両室通過中に前記被処理物に熱ガスを吹き付
けて予熱および本加熱を行なって前記はんだを溶融させ
前記電子部品を前記回路基板にはんだ付けするリフロー
はんだ付け装置において、前記予熱室およびリフロー室
にあって熱ガスを吹き付ける手段は、それぞれ前記コン
ベアの上下に設置され、そして、それぞれ貫流送風機と
末広ノズルとを有するものであり、かつ、それらの熱ガ
スを吹き出す前記末広ノズルは、前記被処理物の搬送方
向に対して上流側のものが前記コンベアを中心に上方向
および下方向のうちの一方の方向に熱ガスを吹き出すも
のであり、下流側のものは前記コンベアを中心に上方向
および下方向のうちの他方の方向に熱ガスを吹き出すも
のであり、しかも、前記コンベアを中心に同じ側で隣接
して配置される前記末広ノズルは上下の同じ方向に熱ガ
スを吹き出すものであり、前記予熱室およびリフロー室
のそれぞれにおいて上流に位置する前記末広ノズルが吹
き出す熱ガスは前記コンベアの搬送方向に対して下流方
向の成分を備え、下流に位置する前記末広ノズルが吹き
出す熱ガスは前記コンベアの搬送方向に対して上流方向
の成分を備え、前記末広ノズルは、コンベアの搬送方向
に向かって熱ガス吹出流路を２分割する隔壁を有し、分
割された熱ガス吹出流路のうち前記末広ノズルの背面側
の熱ガ ス吹出流路には該吹出口を閉塞する蓋が設けられ
ているものである。

【００１１】

【作用】上記技術的手段の働きは下記のとおりである。
コンベアの上下に設置される熱ガス吹出ノズルから吹き
出される熱ガスは、互いに衝突することなく予熱室およ
びリフロー室内を回流する。そのため、予熱室、リフロ
ー室の出入口では、回流する熱ガスがエアカーテンの機
能を果たし、装置外部から冷えた大気が流入することを
阻止し、また熱ガスが装置外に流出することを阻止す
る。

【００１２】コンベア上を被処理物が流れてきた場合で
も、予熱室、リフロー室で被処理物に熱ガスが吹き付け
られることによって、コンベアの上下に被処理物を隔壁
とするような分室を生じ、各分室内で熱ガスの回流が形
成され、冷えた大気の流入，熱ガスの流出が阻止され
る。

【００１３】冷えた大気の流入，熱ガスの流出が阻止さ
れることによって、予熱室およびリフロー室での熱ガス
の温度変動は小さくなる。さらに、末広の熱ガス吹出ノ
ズルの分割された熱ガス吹出流路のうち、背面側の熱ガ
ス吹出流路には吹出口を閉塞する蓋が設けられているこ
とによって、揃った流速の熱ガスが吹出し、被処理物を
均等に加熱する。それで、温度プロフィールも維持でき
て、はんだ付けの信頼性が向上する。また、熱ガスの温
度維持も容易となり、加熱面で省力化ができるだけでな
く、各種の回路基板を処理できることから、利用度が高
くなって装置の経済性が高まる。

【００１４】

〔実施例 １〕

図１は、本発明の一実施例に係るリフローはんだ付け装
置の構成を示す縦断面図、図２は、図１のＡ−Ａ矢視断
面図である。以下、各図における引用符号の添字ａは、
各部品がコンベアの上側にあることを示し、添字ｂはコ
ンベアの下側にあることを示す。例えば、予熱室第１ゾ
ーン１における１５ａは、コンベアの上側にある赤外線
ヒータ、１５ｂは、コンベアの下側にある赤外線ヒータ
であり、文中、１５ａ，１５ｂを総称して赤外線ヒータ
１５と呼ぶものとする。

【００１５】図１，２に示すリフローはんだ付け装置
は、予熱室第１ゾーン１、予熱室第２ゾーン２、リフロ
ー室４、冷却室５、搬入側シール室６、および搬出側シ
ール室７からなっている。予熱室第１ゾーン１には、赤
外線ヒータ１５が装備されている。予熱室第２ゾーン
２，リフロー室４には、それぞれ貫流送風機１６，３０
と、熱ガス吹出ノズルに係る末広ノズル１７，３１と、
加熱ヒータ１８，３２と、温度センサ１９，３３と、温
度調整器２０，３４と、電力調整器２１，３５とからな
る熱ガス吹付手段に係る熱ガス循環手段２２，３６が装
備されている。

【００１６】さらに、リフロー室４には赤外線ヒータ３
７が具備されている。冷却室５には、内部に低温のガス
を通した冷却コイル４０が装備されている。冷却コイル
４０は、リフロー室４に設けたガス供給ノズル５２に接
続している。末広ノズル１７，３１は、図１に示すよう
に、コンベア４４上の被処理物４３に対して斜め方向に
向いていて、ノズルの通路は拡大角方向に２分割されて
いる。そして、分割されたノズルの通路（熱ガス流路）
のうち、背面側の通路は蓋５３で閉塞されている。 な
お、末広ノズルにおけるガス吹出流路の分割比率は自由
に設定して差し支えない。貫流送風機１６，３０は、コ
ンベア４４より上部では、貫流送風機１６ａと３０ａと
が背面合わせに配置され、コンベア４４より下部では、
貫流送風機１６ｂと３０ｂとが互いに正面合わせに配置
されている。

【００１７】図２に示すように、貫流送風機１６，３０
の羽根車４８（図２では４８ａを示す）は、軸受４９
（４９ａ）に支持され、モータ５０（５０ａ）により駆
動される。加熱ヒータ１８，３２側にはそれぞれガスの
吸込口が対向しており、羽根車４８で昇圧されたガスは
末広ノズル１７，３１から吹き出すようになっている。

【００１８】予熱室第１ゾーン１、予熱室第２ゾーン
２、リフロー室４、冷却室５を通して、被処理物４３を
搬送するエンドレスのコンベア４４を設け、コンベア駆
動モータ４７により駆動スプロケット４６を駆動して、
被処理物４３が図面上左から右へ移動するようにコンベ
ア４４を移動させる。４５は、コンベア４４のアイドラ
である。

【００１９】次に、冷却コイル４０を経てガス供給ノズ
ル５２から供給されるガスを窒素として、以下に装置の
動作を説明する。予熱室第１ゾーン１では、被処理物４
３は、コンベア４４の上，下部に設けられた赤外線ヒー
タ１５ａ，１５ｂの輻射により加熱昇温される。予熱室
第２ゾーン２の窒素ガスは、加熱ヒータ１８ａ，１８ｂ
により予熱に適した温度に加熱され、貫流送風機１６
ａ，１６ｂに吸い込まれて羽根車４８により昇圧され、
末広ノズル１７ａ，１７ｂを通して被処理物４３に吹き
付けられ、被処理物４３に熱を与えて窒素ガスは降温
し、再び加熱ヒータ１８ａ，１８ｂによって昇温されて
貫流送風機１６ａ，１６ｂに吸い込まれて循環を繰り返
す。

【００２０】リフロー室４では、被処理物４３に対する
窒素ガスの加熱方法は予熱室第２ゾーン２と同様である
が、さらに、上，下部に赤外線ヒータ３７ａ，３７ｂを
設け、窒素ガスの温度をはんだ付けに適した値にできる
ようにしてあり、被処理物４３は予熱室第２ゾーン２よ
り高い温度に昇温される。リフロー室４には、ガス配管
５１、冷却コイル４０を経て、リフロー室４の出入口に
設けたガス供給ノズル５２により窒素ガスが供給され、
窒素濃度の高い雰囲気に保たれる。リフロー室４の窒素
ガスは搬出，搬入方向に流出し、リフロー室のほかの各
室は漏洩量に応じた窒素濃度になる。

【００２１】図１に示す第一の実施例では、窒素ガスの
ガス供給ノズル５２をリフロー室４に設けた例を説明し
たが、目的に応じて予熱室あるいは冷却室にも設けても
差し支えない。被処理物４３は、リフロー室４ではんだ
が溶融したのち、冷却室５で冷却コイル４０により冷却
された窒素ガスにより冷却され、所定の温度条件ではん
だ付けが完了する。

【００２２】熱ガスの循環には、幅方向に流れが均一な
貫流送風機１６，３０を用いているので、被処理物４３
を均一に昇温できる。また、窒素ガスの流速を幅方向や
被処理物の搬送方向に、整流板や抵抗体を用いずに一様
に流すことができるので、送風機の負荷は小さくなり、
送風機の電力や騒音も小さく、経済性が向上する。赤外
線ヒータ１５，３７は、上，下部に別々の温度に加熱で
きるので、被処理物４３が熱変形するのを防止したり、
被処理物４３の回路基板と電子部品とに温度差を付ける
のにも適している。

【００２３】特に、熱ガス循環手段２２，３６の貫流送
風機１６，３０は、前述のように上部で背面合わせ、下
部では正面合わせに配設されており、各貫流送風機１
６，３０は吹出口を有している。そこで、被処理物４３
が予熱室第２ゾーン２やリフロー室４にない場合には、
各室の出入口で上下方向循環流れ（矢印Ｒで示す回流）
によるエアカーテン作用が生じ、また、被処理物４３が
予熱室第２ゾーン２やリフロー室４にある場合には、コ
ンベア４４の上，下部別々に対向した搬送方向循環流れ
（矢印Ｓで示す回流）ができる。したがって、冷えた大
気の流入、熱ガスの流出は抑えられ、被処理物４３によ
る窒素ガスの変動が小さく、温度の変動も小さいことか
ら、所望の温度プロフィールを得て、省力化しつつ確実
なはんだ付けを行うことができる。

【００２４】末広ノズル１７，３１から吹き出される熱
い窒素ガスは、被処理物４３の搬送方向に対して斜めに
なっており、上下方向成分のほかに水平成分（上流方向
あるいは下流方向）を持っているので、エアカーテン作
用を発生させるだけでなく、電子部品の陰になる部分に
も吹き付けが行われるようになり、全ての部位で充分な
昇温を得ることができる。特に、ＩＣパッケージの腹の
部分にある場合でも、確実にはんだを溶融できる。した
がって、多ピン大形パッケージを含む高密度実装基板な
ど多様な基板のはんだ付けが可能である。

【００２５】また、被処理物４３が、その通過中に予熱
室第２ゾーン２とリフロー室４との間にまたがって位置
するような場合でも、末広ノズル１７ａと末広ノズル３
１ａから吹き出す熱い窒素ガスは被処理物４３に対し斜
めに流れ、予熱室第２ゾーン２では上流に向い、リフロ
ー室４では下流に向い、例えば、リフロー室４から予熱
室第２ゾーン２に流出することはない。コンベア４４の
下側では、リフロー室，予熱室第２ゾーン２それぞれに
回流Ｓが形成されている。したがって、冷えた大気の流
入や熱い熱ガスの流出はなく、予熱室およびリフロー室
における熱ガスの温度変動を抑え、所望の温度プロフィ
ールを維持して、はんだ付けの信頼性を向上させること
ができる。

【００２６】また、蓋５３は、図示するように、各貫流
送風機１６，３０の背面側の熱ガス流路を閉塞するよう
に設置されている。そのため、貫流送風機１６，３０
（末広ノズル１７，３１）の背面側でない熱ガスの流速
は、背面側の閉塞された熱ガス吹出流路に流れ込んだ熱
ガスが逆流することによって流速が揃い、コンベヤ４４
の搬送方向において、揃った流速の熱ガスの吹き付けと
なり、被処理物４３は均等な加熱を得る。この蓋５３
は、吹き出される熱ガスに水平成分を付加し、被処理物
４３の通過中に生ずる回流Ｓの形成に有効で、冷えた大
気の流入や熱い熱ガスの流出を阻止する働きも持ってい
る。

【００２７】予熱室第２ゾーン２、リフロー室４での熱
ガス回流（Ｒ，Ｓ）は、各室２，４における上下の末広
ノズル１７ａ，１７ｂ，３１ａ，３１ｂ、貫流送風機１
６ａ，１６ｂ，３０ａ，３０ｂの配置が、コンベア４４
の上流，下流で対角の位置関係になっているために生じ
ているものであるから、図１に示す実施例のように、上
側のものは背面合わせ、下側のものは正面合わせにする
ほかに、上流から下流に向かって、上下に千鳥足状の配
置にしても良い。また、上側のものを正面合わせ、下側
のものを背面合わせにしても良い。さらに、予熱室の一
部の加熱手段として、図１に示すように、赤外線ヒータ
等の他の加熱手段を用いてもよい。

【００２８】〔実施例 ２〕 次に、図３を参照して第２の実施例を説明する。図３
は、本発明の他の実施例に係るリフローはんだ付け装置
の構成を示す縦断面図である。図中、図１と同一符号の
ものは先の第１の実施例と同等部分であるから、その説
明を省略する。

【００２９】図３に示す実施例が、先の図１に示す実施
例と相違するところは、搬入側，搬出側シール室６，７
にそれぞれラビリンス４２を設けたことである。この実
施例によれば、ラビリンス効果により搬入口および搬出
口からの熱ガスの漏洩量を一層低減できて、より経済性
が向上する。

【００３０】〔実施例 ３〕 次に、図４を参照して第３の実施例を説明する。図４
は、本発明のさらに他の実施例に係るリフローはんだ付
け装置の構成を示す縦断面図である。図中、図１または
図３と同一符号のものは先の第１，第２の実施例と同等
部分であるから、その説明を省略する。図４に示す実施
例では、搬出側シール室７のラビリンス４２の間に冷却
コイル４１を設けたものである。

【００３１】本実施例によれば、搬出側シール室７の冷
却コイル４２による窒素ガスの冷却で、被処理物４３の
はんだ付けの信頼性が向上する。また、冷却コイル４
０，４１を流れていくうちに窒素ガスは温められていく
から、ガス供給ノズル５２から吹き出しても、リフロー
室４の温度を下げる度合いが小さくなる。

【００３２】〔実施例 ４〕 次に、図５を参照して第４の実施例を説明する。図５
は、本発明のさらに他の実施例に係るリフローはんだ付
け装置の構成を示す縦断面図である。図中、図１と同一
符号のものは先の第１の実施例と同等部分であるから、
その説明を省略する。

【００３３】図５に示す第４の実施例が図１に示した第
１の実施例と異なるところは、予熱室第３ゾーン３を設
け、熱ガス循環手段２９を装備するとともに、予熱室第
１ゾーン１Ａに熱ガス循環手段１４を装備したことであ
る。熱ガス循環手段１４，２９は、それぞれ貫流送風機
８，２３、末広ノズル９，２４、加熱ヒータ１０，２
５、温度センサ１１，２６、温度調整器１２，２７、電
力調整器１３，２８からなっている。符号の添字ａは、
各部品がコンベアの上側にあることを示し、添字ｂはコ
ンベアの下側にあることを示すことは、先の各実施例と
同じである。

【００３４】図５に示すリフローはんだ付け装置では、
予熱室第１，２，３ゾーン１Ａ，２Ａ，３およびリフロ
ー室４にそれぞれ熱ガス循環手段１４，２２，２９，３
６を装備している。しかして、予熱室第１，２ゾーン１
Ａ，２Ａでは、貫流送風機８ａ，１６ａをコンベア４４
の上部で背面合わせに、貫流送風機８ｂ，１６ｂをコン
ベア４４の下部で正面合わせに配設し、予熱室第３ゾー
ン３，リフロー室４では、貫流送風機２３ａ，３０ａを
コンベア４４の上部で背面合わせに、貫流送風機２３
ｂ，３０ｂをコンベア４４の下部で正面合わせに配設し
ている。

【００３５】また、昇温率の大きな予熱室第１ゾーンお
よびリフロー室４には、コンベア４４の上，下部に赤外
線ヒータ１５ａ，１５ｂおよび赤外線ヒータ３７ａ，３
７ｂを設置している。この実施例は、熱容量の大きい被
処理物を取扱う場合、あるいは上部で加熱、下部で冷却
するような場合に適するものである。

【００３６】〔実施例 ５〕 次に、図６を参照して第５の実施例を説明する。図６
は、本発明のさらに他の実施例に係るリフローはんだ付
け装置の構成を示す縦断面図である。図中、図５と同一
符号のものは先の第４の実施例と同等部分であるから、
その説明を省略する。

【００３７】図６に示すリフローはんだ付け装置は、予
熱室第１，２ゾーン１Ａ，２Ａ、リフロー室４Ａに、そ
れぞれ熱ガス循環手段１４，２２、３６を装備してお
り、冷却室５Ａに、末広ノズル３９付きの貫流送風機３
８を装備している。しかして、予熱室第１，２ゾーン１
Ａ，２Ａでは、貫流送風機８ａ，１６ａをコンベア４４
の上部で背面合わせに、貫流送風機８ｂ，１６ｂをコン
ベア４４の下部で正面合わせに配設し、リフロー室４
Ａ，冷却室５Ａでは、貫流送風機３０ａ，３８ａをコン
ベア４４の上部で背面合わせに、貫流送風機３０ｂ，３
８ｂをコンベア４４の下部で正面合わせに配設してい
る。

【００３８】この実施例では、図５に示した第４の実施
例におけるものと同様の効果が得られるほか、冷却効果
を高めたものである。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
コンベア上を被処理物が流れて来ても来なくても、予熱
室、リフロー室で熱ガスの回流を形成させ、冷えた大気
の流入や熱ガスの流出を阻止し、予熱室、リフロー室に
おける熱ガスの温度変動を抑え、所望の温度プロフィー
ルを維持してはんだ付けの信頼性を向上するとともに、
経済性を高めたリフローはんだ付け装置を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るリフローはんだ付け装
置の構成を示す縦断面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図３】本発明の他の実施例に係るリフローはんだ付け
装置の構成を示す縦断面図である。

【図４】本発明のさらに他の実施例に係るリフローはん
だ付け装置の構成を示す縦断面図である。

【図５】本発明のさらに他の実施例に係るリフローはん
だ付け装置の構成を示す縦断面図である。

【図６】本発明のさらに他の実施例に係るリフローはん
だ付け装置の構成を示す縦断面図である。

【図７】従来のリフローはんだ付け装置の構成を示す略
示縦断面図である。

【符号の説明】

１，１Ａ…予熱室第１ゾーン、２，２Ａ…予熱室第２ゾ
ーン、３…予熱室第３ゾーン、４，４Ａ…リフロー室、
５，５Ａ…冷却室、６…搬入側シール室、７…搬出側シ
ール室、８，１６，２３，３０，３８…貫流送風機、
９，１７，２４，３１，３９…末広ノズル、１０，１
８，２５，３２…加熱ヒータ、１４，２２，２９，３６
…熱ガス循環手段、１５，３７…赤外線ヒータ、４０，
４１…冷却コイル、４２…ラビリンス、４３…被処理
物、４４…コンベア、５２…ガス供給ノズル、５３…
蓋。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−83395（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−278668（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−124369（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−81269（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−155010（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−98364（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 はんだを塗布した回路基板に電子部品を
   装着してなる被処理物を、コンベアにて予熱室およびリ
   フロー室を搬送し、これら両室通過中に前記被処理物に
   熱ガスを吹き付けて予熱および本加熱を行なって前記は
   んだを溶融させ前記電子部品を前記回路基板にはんだ付
   けするリフローはんだ付け装置において、 前記予熱室およびリフロー室にあって熱ガスを吹き付け
   る手段は、それぞれ前記コンベアの上下に設置され、そ
   して、それぞれ貫流送風機と末広ノズルとを有するもの
   であり、 かつ、それらの熱ガスを吹き出す前記末広ノズルは、前
   記被処理物の搬送方向に対して上流側のものが前記コン
   ベアを中心に上方向および下方向のうちの一方の方向に
   熱ガスを吹き出すものであり、下流側のものは前記コン
   ベアを中心に上方向および下方向のうちの他方の方向に
   熱ガスを吹き出すものであり、 しかも、前記コンベアを中心に同じ側で隣接して配置さ
   れる前記末広ノズルは上下の同じ方向に熱ガスを吹き出
   すものであり、 前記予熱室およびリフロー室のそれぞれにおいて上流に
   位置する前記末広ノズルが吹き出す熱ガスは前記コンベ
   アの搬送方向に対して下流方向の成分を備え、下流に位
   置する前記末広ノズルが吹き出す熱ガスは前記コンベア
   の搬送方向に対して上流方向の成分を備え、前記末広ノズルは、コンベアの搬送方向に向かって熱ガ
   ス吹出流路を２分割する隔壁を有し、分割された熱ガス
   吹出流路のうち前記末広ノズルの背面側の熱ガス吹出流
   路には該吹出口を閉塞する蓋が設けられている ことを特
   徴とするリフローはんだ付け装置。