JP2727415B2 - 非円形横断面を有する延在物体を検査する方法及びその装置 - Google Patents

非円形横断面を有する延在物体を検査する方法及びその装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は物体の周りの円形経路又
は軌道上で案内される少なくとも１個の検査プローブに
依り非円形横断面を有する延在物体を検査する方法、並
びに物体が横切る検査ヘッドに依り本方法を実施すると
共に物体を包囲する円形経路又は軌道上で案内される少
なくとも１個の検査プローブが装備されているような検
査装置に関するものである。本発明は更に詳細には非円
形横断面を有する金属製半仕上げ製品を製造後に好適に
は直接その表面欠陥を連続的に、中断無しで且つ非破壊
的に検査する方法及び装置に関するものである。例え
ば、自動車用エンジンの構築において弁バネ構造として
広範に使用されるようになった楕円形又は卵型横断面を
有するバネ・ワイヤ等の検査に好適である。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤ、棒又は管の如き金属製の半仕上
げ製品の品質管理の枠内での表面欠陥の検査は、現時点
では渦電流法に基づいて頻繁に行われている。円形横断
面を有する物体の検査に対するこの形式の公知の装置は
検査ヘッドを有し、このヘッドは検査される物体が検査
ヘッドの中心軸線を貫通するような様式で、半仕上げ製
品の生産ライン内に据え付けることが出来る。検査ヘッ
ド内では渦電流プローブとして構成された検査プローブ
が回転する。検査プローブは、試験される物体の長手方
向軸線に直角の面内でローターに取り付けられ、長手方
向に移動する検査物体の周りで高速度で回転する。かく
して高周波渦電流が誘引され、この誘引された磁場が測
定信号として検査プローブに依り再び記録される。検査
プローブの螺旋走査経路上に位置付けられた検査物体の
表面欠陥は渦電流に干渉を生ぜしめ、そのため測定信号
に変化をもたらす。
【０００３】連続的な表面検査においては、検査材料の
作動速度と同様、相互にその検査プローブの速度、個数
及びトラック幅を一致させる必要がある。そのため、例
えば検査プローブが４個で速度が９０００ｒｐｍの場合
は、軸方向における検査速度を３ｍ／ｓにすることがで
きる。
【０００４】検査部品の横断面が円形形状からズレてい
ると、検査部品の表面とプローブの間の間隔が変化し、
表面欠陥の場合と同様に測定信号に干渉が生じる。この
信号は、間隔の変化が所定量を越えない場合は電子的な
間隔補償を行うことに依り補償が可能であり、その結果
表面欠陥の誤った指示はもたらされない。しかしなが
ら、楕円形又は卵型横断面を有するワイヤの場合に典型
的であるように、検査部品の横断面の直径相当の差があ
る場合には、電子的に適切な補償をすることは出来ず、
又はこの問題が技術的に相当の出費をもたらし、そのた
め不経済になってしまう。
【０００５】円形部品とプロフィール処理された検査部
品両者が固定差動検査コイル又は絶対検査コイルを通じ
て案内されるようにした渦電流通路コイルは構成が簡単
であり、検査速度が早い。これらのコイルは孔や、横方
向及び長手方向の欠陥に関してコスト的に有効な検査を
行うことができるが、小さい欠陥については解決が限定
され、そのため例えば弁バネ構造に用いられるような比
較的薄肉のワイヤについては適切な検査結果をもたらさ
ない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、非円
形横断面を有する特にワイヤといった延在する物体を検
査することを可能とするような方法、及び、そのような
検査を行うための装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本願の第１発明は、検査物体の周りの円形のプロ
ーブ軌道上を案内される少なくとも１個の検査プローブ
によって、非円形断面を有し移動方向に移動している延
在物体を検査する方法において、検査プローブが、検査
物体の移動方向で見て、円形から外れるプローブ軌道上
を案内されることを特徴とする方法を要旨とする。
【０００８】また、本願の第２発明は、非円形断面を有
し移動方向に移動している延在物体を検査するための検
査装置であって、検査装置が検査ヘッドを備え、検査物
体がその検査ヘッドを横切るようになっており、検査ヘ
ッドがローターを備え、そのローターが少なくとも１つ
の検査プローブを有しており、その検査プローブが検査
物体の周りのプローブ軌道上をローターによって案内さ
れる構成の検査装置において、検査プローブが円形のプ
ローブ軌道上を案内され、そのプローブ軌道が平面を画
成し、その平面が検査物体の移動方向に関して９０°か
ら外れる設定角度にて設定されており、検査物体の移動
方向で見て検査プローブが円形から外れるプローブ軌道
上をローターによって案内されるように構成したことを
特徴とする検査装置を要旨とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】前述の課題を解決するため、本発
明では請求項１に記載の諸特徴を有する方法並びに請求
項２に記載の諸特徴を有する装置を提案している。この
方法と装置は非円形断面を有する延在物体の検査を実施
する一方、回転技術の使用を通じて達成可能な高速検査
及び同時に高解像度といった前述した如き諸利点を維持
するのに特に適したものである。
【００１０】本発明に依れば、特に磁気的プローブのよ
うな検査プローブがプローブ軌道上で検査物体の周りに
案内され、このプローブ軌道の形状が物体の移動方向で
見て円形から外れるようにすることが出来る。移動方向
で見た検査プローブ軌道の投影が検査物体の横断面の形
状に適合される場合は、検査プローブと検査物体の間の
相互作用は材料の検査目的上特に簡単な様式で利用可能
である。特に、楕円横断面を有する物体の検査に対して
は、検査プローブが円形経路上で案内され、その面が検
査物体移動方向に関して９０゜から外れる設定角度にて
設定されるような実施態様が特に有利である。周速度が
一定で、例えば質量補償（バランシング）等によって支
持が適切に行われる場合には、円形軌道上で検査プロー
グに作用する一定の遠心力を支持部が受けることになる
ので、軸受けの負荷を抑えて運転速度を速くできる。
【００１１】検査物体を長手方向に移動し「点状（ｐｕ
ｎｃｔｉｆｏｒｍ）」方式にて作用するプローブを用
い、検査法の解像度向上のために常時材料表面の極めて
狭い領域のみを検出する場合には、軌道上で検査プロー
ブを高速にすることが必要である。これは全体の材料表
面の完全且つ早い解像走査を可能にすると共に、検査物
体の高速移動を可能にする。９０゜から外れた設定角度
に依り検査プローブ軌道は移動方向で見て楕円形に投影
されるが、この楕円の長短径の比は実質的に設定角度の
大きさに依り決定される。楕円断面の長短径の比が異な
る複数の検査部品を検査する場合は、プローブの軌道を
検査物体移動方向に対して傾斜可能にする事が結果的に
有利である。例えば、プローブを半径方向に変位可能に
する等してプローブの軌道を改変出来る場合は、検査装
置は横断面形状と寸法がかなり変動する検査物体に対し
ても容易に適合可能となる。
【００１２】円形軌道の中心が検査物体の長手方向軸線
上に位置付けられるが、軌道面が前記長手方向軸線に対
して直角になっていないような回転プローブは、その回
転中に各場合における検査物体の半径方向ベクトルに面
するその相対的向きを変え、プローブから見た場合、検
査物体の半径方向は一定の角度範囲にあり、そのセクタ
ー角度（分弧角度）は９０°からその設定角度のズレの
量の２倍に対応している。こうした構成の場合、検査信
号の更なる処理は少なくとも前記セクターにおけるプロ
ーブの検査感度が実質的に一定であれば特に簡単であ
る。検査物体の半径が一定の検査感度の角度範囲内にあ
る全ての設定角度においては、測定装置の電子的設定値
を著しく変えずに検査を実施することが出来る。楕円形
状からの検査物体の横断面の僅かの外れは好適には電子
信号の補償に依り補償可能であり、この場合例えば、物
体表面とプローブの間の半径方向間隔が決定され、所望
の値からの外れが信号補正用として用いられる。検査プ
ローブの形状とその軸方向長さを変えることにより、例
えばレンズ形のような理想楕円から外れた実質通過断面
を得ることもできる。また、９０゜から僅かに異なる設
定角度の場合、「点状に（ｐｕｎｃｔｉｆｏｒｍ）」作
用するプローブが楕円軌道をえがく場合より大きい半径
の差が生じることがある。
【００１３】検査感度が検査分弧（セクター）において
均一ではなく又は理想的な「点状の作用（ｐｕｎｃｔｉ
ｆｏｒｍ）」を行わないプローブの場合、周期的に変動
する測定信号が得られることがある。本装置の電子的な
キャリブレーション（較正）を適宜行い、その後で表面
欠陥の検出のため前記周期的に変動する信号からのズレ
のみを用いるようにしても良い。２つの同じプローブ軌
道の適切な直列接続で得られるような、検査物体上の測
定点と、同じ横断面及び同じ材料での規準点との間の差
動信号が、表面欠陥の検出目的に使用出来よう。
【００１４】特に、検査中、清浄中及び再工具付け過程
中における検査装置の取扱い並びに例えば線引き機械と
いった検査物体を案内する装置への本装置の適合を有利
に実施できるようにするため、検査ヘッド用の駆動ユニ
ットは物体の通過経路に対して横方向に位置付けられ
る。検査ヘッドはトランスミッション又はトランスファ
部材に依り駆動ユニットに接続可能である。トランスミ
ッション部材は駆動ユニット及び検査ヘッドに作用する
アームで構成でき、これは駆動ユニットで発生する回転
運動を前記ヘッドに伝えるベルト駆動装置を有し、選択
的に同者を含んでいる。駆動ユニットと検査ヘッドの空
間的分離に依るこうした設計が多くの利点を結合する。
検査ヘッドは極めてコンパクトに作成可能であり、即
ち、特に軽量に出来、検査物体移動方向において短くす
ることが出来る。検査ヘッドはその軸線と物体の通過経
路を平行にする必要性の無いことから、最低量の必要調
節を以て検査物体通路の経路の周りに位置付けることが
出来る。長い検査ヘッドに付いては、通過経路と検査ヘ
ッド軸線の平行性からの外れが検査装置と検査物体の間
の望ましくない接触を容易にもたらし得るので、正確な
調整が必要である。その上、トランスミッション部材上
に位置付けられた検査ヘッドは、検査物体通過経路外か
ら駆動機構のベルト駆動軸線の周りの枢軸運動に依り容
易にサービス位置に来ることができ、サービス位置では
検査ヘッド上での洗浄と検査と併せて例えば再工具設定
動作等を実施出来る。
【００１５】トランスミッション部材の枢軸運動位置の
設定に依り検査ヘッドの検査物体の周りでの高さ位置を
容易に設定することも出来る。三相モーターとして好適
に構成された駆動素子は、例えば検査装置の電子素子と
供に基礎板上に固定される。この基礎板は振動（可能
な）マウント上に設置出来る。そして、検査物体の周り
での検査ヘッドの向きの横方向の補正は、基礎板に直角
の軸線周りの基礎板軸受け内での検査装置の運動に依り
行えることから、検査装置の自動的な横方向中心合わせ
を検査物体を利用して実施することが出来る。処理が困
難なこと及び検査ヘッドの中心合わせに対する高価なリ
フト／摺動テーブルの使用の問題はこうした構成により
削減されよう。
【００１６】最低の横方向運動を検査物体の長手方向運
動に重ねることは、検査ヘッドの位置付けに関して検査
条件を変えない関点から特に有利である。従って、検査
ヘッドは検査物体に対する案内装置に引続いて位置付け
ることが有利となり、線引き機械の場合はこれを引っ張
り板孔の背後に直接設けることが出来る。
【００１７】円形経路上で急速に回転する検査プローブ
の諸利点は、特に楕円形からズレた横断面を備え、横断
面周囲が円形セグメント又は楕円セグメントから形成可
能な検査物体に対して使用出来よう。従って、弁バネ・
ワイヤの横断面に対しては特に有利な卵型形状が円形セ
グメントと楕円形セグメントから大略形成される。検査
物体の移動方向で見て円形の様式に回転する検査プロー
ブ及び検査物体の移動方向で見て楕円軌道で回転する検
査プローグを、楕円経路と円形経路の想像上の相互交差
部での２個の検査信号が適宜逆転するように直列接続す
れば、ワイヤ形状の検査用に利用出来よう。同様の様式
で、通過方向の周りで９０°の角度で変位している２つ
の楕円軌道の投影を用いれば、実質的に矩形の検査物体
をカバー出来る。９０゜からの設定角度のズレを増加さ
せると、結果的に生じる横方向面セグメントの曲率は小
さくなる。半径の比が同一若しくは異なる２個の楕円経
路の投影例えば楕円の短径の方向で往復動的に変位され
る場合はレンズ状断面を有する検査物体を検査すること
も可能であろう。
【００１８】検査プローブという用語は、物理的パラメ
ーターの空間的分布の記録若しくは発生及び記録のため
採用され且つ例えば渦電流プローブ又は漂遊磁束プロー
ブ等のように検査物体との空間位置関係の設定が必要な
全ての装置をカバーする目的で使用出来る。もちろん、
光学的若しくは音響的原理に基付き作動するプローブも
可能である。
【００１９】本発明のこれらの及び他の諸特徴並びに諸
構成は特許請求の範囲、明細書本文並びに図面から集め
ることが出来、単独で及び副次的組み合わせの形態の両
者に依る個々の特徴は本発明の実施態様並びに他の分野
で実現が可能であり、本明細書で保護を要求している有
利で独立的に保護可能な構成を表すことが出来る。本発
明の諸実施態様について図面を参照しながら以後一層詳
細に説明する。
【００２０】
【実施例】図１に示された検査装置の好適実施態様の場
合、検査ヘッド１１はトランスファ若しくはトランスミ
ッション部材１２上に位置付けられ、この部材にはベル
ト駆動１３が含まれ、このベルト駆動は非図示のトラン
スファ手段若しくはトランスミッション手段に依り駆動
ユニット１４の発生する回転運動を検査ヘッド１１のロ
ーター１５へ送り若しくは伝える。回転軸線を矢印で示
された検査物体１７の上方向１６に対して相対的に傾斜
可能とされるローター１５上には検査プローブ１８が設
置され、この検査プローブはローター１５の回転時に図
１においては薄いワイヤになっている検査物体１７の周
りの円形軌道若しくは円形経路上に案内される。
【００２１】図示された実施態様においてはローター１
５は単一の検査プローブ１８を有し、ローター１５上の
バランシング（質量補償）はローターの軸受けの回転保
護を確実に出来る。ローター周囲の周りに対称的に分布
された２個の直径方向に面する検査プローブ又は多数
の、特に４個のプローブを設けることが出来る。
【００２２】ローター１５が固定子ケーシング１９内で
回転している状態で検査ヘッド１１の図示された構成の
結果、検査プローブの速度を増加させることに依り、ヘ
ッドの処理量を簡単な様式で増加させることが出来る。
検査プローブ１８の円形経路又は軌道の直径は例えば回
転螺旋ディスクに依り連続的に調節可能であることか
ら、検査装置は寸法の異なる検査物体に対して容易に適
合させることが出来る。その構成の結果、この極めて効
率的で可変の検査ヘッドの機構は容易且つ正確に製造可
能な曲がった部品に依り完全に実施が可能である。
【００２３】基礎板２０上で駆動ユニット１４に沿って
設置された予備増幅器と動力駆動装置で且つケーシング
２１に依り包囲されているその示された実施態様におい
て渦電流プローブになっている検査プローブ１８の接続
は、例えば、現場、検査プローブの背後に位置付けられ
た測定と任意に空間を設けるチャンネルに対しての接触
しない且つ磨耗の無い機能を持った回転トランスミッシ
ョン手段に依り作り出すことが出来る。一つの空間チャ
ンネルは電子的信号補償の一部であり、これは検査物体
の横断面が正確な楕円形状とは幾分異なる場合でも即ち
検査物体の周りでのプローブの回転中にプローブと物体
表面の間の空間、従って、プローブの空間に起因する検
査感度が僅かの局部的変動を受ける場合でも検査信号の
正確な受信と解釈を可能にする。
【００２４】図１に示された実施態様においては、検査
ヘッド１１を支承している送信素子１２を駆動ユニット
１４の枢軸軸線２２の周りに枢軸運動させることに依り
検査物体１７の周りでの検査ヘッド１１の正確な位置付
けがその高さを基にして得られる。基礎板２０に直角の
軸線の周りで検査装置全体を回転させることに依り横方
向の補正が実施され、傾斜の補正は基礎板２０が振動
（可能な）マウント内に設置されるその基礎板２０を支
承している脚部２３の適切な垂直方向の調節に依り行わ
れる。この軸受けの結果、自動的な横方向中心合わせの
様式にて実際の検査物体に依る検査過程中に僅かの横方
向補正を実施することが出来る。
【００２５】図２は検査ヘッドの他の実施態様の模式的
断面図であり、この場合、以後の検査プローブ１８は軸
受け２４で案内されるローター１５上で相互に直径方向
に対面している。ローター１５は固定子ケーシング１９
内に位置付けられ、この固定子ケーシングは切り欠き２
５を有し、これを通じてローター軸線からの外れている
移動方向１６において検査物体１７は検査ヘッド１１を
通じて案内される。プローブは円形プローブ軌道上で検
査物体１７の周りに案内されるが、この円形プローブ軌
道は、移動方向１６に対して９０°ではなく、異なる角
度２６を成す。検査プローブ１８の感度が大体一定にな
っている分弧（セクター）３１が示されている。ロータ
ー１５は送信素子１２で案内されるベルト駆動１３に依
り駆動可能である。
【００２６】機能 矢印で示された移動方向１６に移動する（左側に示され
た）楕円横断面と長手方向亀裂２７を有するワイヤとし
ての検査物体１７を示している図３を参照しながら検査
方法について説明する。ローター１５の適切な設置及び
ベルト駆動の運動を伝える構成要素の適切な設計又は図
２に依る検査ヘッドの配列に依ってプローブ軌道２８の
弧状矢印を含む面が移動方向１６に対して９０°とは異
なる角度２６に設定される。従って、移動方向１６で見
た場合の円形のプローブ軌道２８は楕円形である。
【００２７】検査プローブ１８は好適には渦電流プロー
ブとして構成され、これはその軌道の各点において検査
物体たるワイヤ１７の半径方向において同じ検査感度を
有している。大略一定の検査感度を有する分弧（セクタ
ー）３１が示されている。プローブは「点状の（ｐｕｎ
ｃｔｉｆｏｒｍ）」様式にて作用する。即ち、使用され
る検査信号がプローブへ通過する検査物体の表面の面積
は直径が例えば５ｍｍ程度の小さい状態である。一方で
はプローブ軌道２８上での検査プローブ１８の円形運
動、更に他方では移動方向１６におけるワイヤたる検査
物体１７の運動を通じてプローブはワイヤとの接触無し
にワイヤの周りの螺旋走査経路２９上でワイヤ表面を走
査する。長手方向の亀裂２７に接する方向にあって、中
断無しで隣接している４個の経路セグメントが図示され
ている。単一検査プローブの場合における全体の検査物
体の表面の中断されない走査に対して、検査物体の移動
速度はプローブの回転中に前記検査物体が走査経路２９
の検査幅３０の量だけ進められるよう選択される。従っ
て、例えば、検査幅が５ｍｍになっている単一プローブ
の場合、３６０００ｒｐｍの回転速度においては３ｍ／
ｓにて移動する物体の中断されない検査が可能である。
直径方向に面する２本のプローブが存在する場合は検査
物体１７の移動速度は２倍程度に早く出来るが、その理
由は検査プローブ１８が走査幅３０に依り移動方向にて
往復動可能に変位される勾配の２倍の２個の走査経路２
９を走査することによる。プローブが４本あってロータ
ーの回転速度が無変化の場合は検査物体はその移動速度
が４倍早くなっている場合に中断無しに走査出来る。
【００２８】検査方法の解像度は検査物体上のプローブ
作用面積の寸法、即ち、プローブが反応するその信号に
関係ある面積で本質的に決定される。作用面積が極めて
小さい「点状の（ｐｕｎｃｔｉｆｏｒｍ）」作用するプ
ローブの場合は、亀裂のような小さな欠陥が小さいプロ
ーブの作用面積内に高割合の干渉をもたらし、これが結
果的に明瞭且つ容易に解釈可能な検査信号を発生する。
従って、渦電流プローブの場合、亀裂、即ち、プローブ
の作用領域内での材料の欠損は、電気導電性を低減さ
せ、それがプローブで検知される。
【００２９】検査物体の周りでのその回転中にプローブ
検査感度が変化しない場合はプローブで発生される検査
信号を分析することが特に容易である。これは図２及び
図３の例においては、一定検査感度の固定角度範囲たる
分弧（セクター）３１がプローブ長手方向軸線の周りに
対称的に配列され、その開き角度が９０゜から外れてい
る設定角度２６の大きさの少なくとも２倍になっている
ようなプローブの方向性特性に依り達成される。ロータ
ーの回転軸線から外れが少ないか又は無い状態で検査物
体が検査ヘッド１１に依り案内されれば検査は特に信頼
性のあるエラーの低い様式にて行うことが出来る。前記
検査物体は特に静かな様式で移動することから、検査物
体に対する案内手段に引き続き検査ヘッドを設置するこ
とに依りこれを行うことが出来る。ワイヤの検査の場合
は、ワイヤの成形加工をする引き板孔に引き続き検査ヘ
ッドを設置することが特に有利である。検査プローブは
損傷から保護することが出来、即ち、検査物体移動方向
において検査プローブの前方に位置付けられる保護ノズ
ルに依り検査物体との接触から保護することが出来る。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、例えば楕円等の非円形
横断面を有する特にワイヤといった延在する物体を検査
することが可能である。
【００３１】しかも、こうした物体の検査を実施する一
方高速検査及び同時に高解像度といった回転技術の使用
を通じて達成可能な諸利点を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】検査装置の実施態様の部分断面をとった全体
図。
【図２】平面図における検査ヘッドの断面図。
【図３】検査原理を模式的に示す図。
【符号の説明】
１１ 検査ヘッド １２ トランスミッション部材 １３ ベルト駆動 １４ 駆動ユニット １５ ローター １６ 上方向 １７ 検査物体 １８ 検査プローブ １９ 固定子ケージング ２０ 基礎板 ２１ ケーシング ２２ 枢軸軸線 ２３ 脚部 ２４ 軸受け ２５ 切り欠き ２６ 角度 ２７ 長手方向亀裂 ２８ プローグ軌道 ２９ 螺旋走査経路 ３０ 検査幅 ３１ 分弧（セクター）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−140783（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−54446（ＪＰ，Ａ) 特公 昭49−32150（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭58−44206（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭58−19058（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 検査物体の周りの円形のプローブ軌道上
    を案内される少なくとも１個の検査プローブによって、
    非円形断面を有し移動方向に移動している延在物体を検
    査する方法において、検査プローブが、検査物体の移動
    方向で見て、円形から外れるプローブ軌道上を案内され
    ることを特徴とする方法。
  2. 【請求項２】 非円形断面を有し移動方向に移動してい
    る延在物体を検査するための検査装置であって、検査装
    置が検査ヘッドを備え、検査物体がその検査ヘッドを横
    切るようになっており、検査ヘッドがローターを備え、
    そのローターが少なくとも１つの検査プローブを有して
    おり、その検査プローブが検査物体の周りのプローブ軌
    道上をローターによって案内される構成の検査装置にお
    いて、検査プローブが円形のプローブ軌道上を案内さ
    れ、そのプローブ軌道が平面を画成し、その平面が検査
    物体の移動方向に関して９０°から外れる設定角度にて
    設定されており、検査物体の移動方向で見て検査プロー
    ブが円形から外れるプローブ軌道上をローターによって
    案内されるように構成したことを特徴とする検査装置。
  3. 【請求項３】 検査プローブ軌道が移動方向に対して傾
    斜可能になっていることを特徴とする請求項２に記載の
    検査装置。
  4. 【請求項４】 検査プローブが方向依存の特性及び検査
    感度を有し、方向特性に関してはセクター上で検査感度
    が実質的に一定となっており、前記セクターを決定する
    セクター角度が、９０°から外れた分の角度の少なくと
    も２倍になっていることを特徴とする請求項２に記載の
    検査装置。
  5. 【請求項５】 検査プローブの信号に対して電子信号補
    償が提供されることを特徴とする請求項２に記載の検査
    装置。
  6. 【請求項６】 駆動ユニットが設けられ、検査ヘッドが
    検査物体の移動方向に対して横方向に配置された駆動ユ
    ニットに依り駆動されることを特徴とする請求項２に記
    載の検査装置。
  7. 【請求項７】 駆動ユニットに取り付けられたアームと
    トランスミッション部材が設けられており、検査ヘッド
    がトランスミッション部材を含むアーム上に配置される
    ことを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
  8. 【請求項８】 検査プローブが渦電流プローブであるこ
    とを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
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