JPH07151734A - 非円形横断面を有する延在物体を試験する方法及びその装置 - Google Patents

非円形横断面を有する延在物体を試験する方法及びその装置

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JPH07151734A
JPH07151734A JP6204169A JP20416994A JPH07151734A JP H07151734 A JPH07151734 A JP H07151734A JP 6204169 A JP6204169 A JP 6204169A JP 20416994 A JP20416994 A JP 20416994A JP H07151734 A JPH07151734 A JP H07151734A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 非円形横断面を有する延在物体の試験方法及
びその装置を提供すること。 【構成】 試験物体（１７）が貫通する試験ヘッド（１
１）は試験物体の周りの円形経路上で案内される少なく
とも１個の試験プローブ（１８）を備え，物体（１７）
の移動方向（１６）で考察した際のプローブ（１８）の
円形路若しくは軌道の形状は円形形状から拡散する。円
形経路上でプローブ（１８）を案内し，回転軸線が通路
方向（１６）に対して相対的に傾斜可能になっているロ
ーター（１５）の駆動装置はベルト駆動装置（１３）に
依り提供され，ベルト駆動装置は送信素子（１２）内を
走り，送信素子は試験ヘッド（１１）を支承し，これを
基礎板（２０）上に横方向に位置付けられた駆動ユニッ
ト（１４）に連結する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は円形経路又は物体の周り
の軌道上で案内される少なくとも１個の試験プローブに
依り非円形横断面を有する延在物体を試験する方法並び
に物体が往復動する試験ヘッドに依り本方法を実施する
と共に円形経路又は物体を包囲する軌道上で案内される
少なくとも１個の試験プローブが装備されているような
試験装置に関するものである。本発明は更に詳細には非
円形横断面を有する金属製半仕上げ製品を製造後に好適
には直接その表面欠陥を連続的，中断無しに且つ非破壊
的に試験する方法及び装置に関するものである。自動車
用エンジンの構築において弁バネの構成において広がる
範囲に対して使用されるような楕円形又は卵型横断面を
有する例えばバネ・ワイヤ等に特別の関心が寄せられて
いる。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤ，棒又は管の如き金属製の半仕上
げ製品の品質管理の枠内での表面欠陥の検査は現時点で
は渦電流法を基に頻繁に行われている。円形横断面を有
する物体の試験に対するこの形式の公知の装置は試験ヘ
ッドを有し，このヘッドは試験されている物体が試験ヘ
ッドの中心軸線を貫通するような様式で半仕上げ製品の
生産ライン内に据え付けることが出来る。試験ヘッド内
では渦電流プローブとして構成された試験プローブが回
転し，試験されている物体の長手方向軸線に直角の面内
にて試験プローブがローターに取り付けられ，長手方向
に移動する試験物体の周りで高速度で回転し，かくして
高周波渦電流が誘引され，この誘引された磁場が測定信
号として試験プローブに依り再び記録される。試験プロ
ーブの螺旋走査経路上に位置付けられた試験物体の表面
欠陥は渦電流に干渉を生ぜしめ，そのため測定信号に変
化をもたらす。
【０００３】非中断表面検査に対しては試験材料の作動
速度と同様，相互にその試験プローブの速度，個数及び
トラック幅を一致させる必要がある。そのため例えば試
験プローブが４個で速度が９０００ｒｐｍの場合は軸方
向における試験速度として３ｍ／ｓが可能である。
【０００４】表面欠陥の場合と同様，試験部品の表面と
プローブの間の改変された間隔に起因する円形形状から
のこの試験部品の横断面の拡散は測定信号を生ぜしめ，
この信号は間隔変更が所定量を越えない場合は電子的間
隔補償に依り補償が可能であり，その結果表面欠陥の誤
った指示はもたらさない。しかしながら，楕円形又は卵
型横断面を有するワイヤの場合に典型的に発生するよう
な試験部品の横断面に直径上の相当の差があることは適
切に電子的に補償することは出来ず，又はこの問題が技
術的に相当の出費をもたらし，そのため不経済になり得
る。
【０００５】円形部品とプロフィール処理された試験部
品両者が固定差動試験コイル又は絶対試験コイルを通じ
て案内されるようにした渦電流通路コイルは構成が簡単
であり，検査速度が早い。これらのコイルは孔，横方向
及び長手方向の欠陥に関してコスト的に有効な試験の可
能性を成しているが，小さい欠陥については解決が限定
され，そのため例えば弁バネ構成に対して要求されるよ
うな比較的細いワイヤについては適切な試験結果をもた
らさない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題はこうし
た試験を実施する装置と同様，非円形横断面を有する特
にワイヤといった延在する物体を試験することを可能と
するような方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本願の第１発明は、試験物体の周りのプローブ軌
道上に案内される少なくとも１個の試験プローブにより
移動方向に移動する非円形横断面を有する延在物体を試
験する方法であって，試験物体の移動方向で考察した際
試験プローブが円形形状から拡散するプローブ軌道上に
案内されるようにした方法を要旨とする。
【０００８】また、本願の第２発明は、試験物体を包囲
するプローブ軌道上で案内される少なくとも１個の試験
プローブを有する試験物体に依り往復動される試験ヘッ
ドを以て移動方向に移動する非円形横断面を有する延在
物体の試験装置であって，試験物体の移動方向で考察し
た際，試験プローブが円形形状から拡散するプローブ軌
道上で試験プローブが案内されるようにした試験装置を
要旨とする。
【０００９】
【実施例】前述の課題を解決するため，本発明では請求
項１に記載の諸特徴を有する方法並びに請求項２に記載
の諸特徴を有する装置を提案している。この方法と装置
はこうした物体の試験を実施する一方高速試験及び同時
に高解像度といった回転技術の使用を通じて達成可能な
前述した如き諸利点を維持するのに特に適しているもの
である。
【００１０】本発明に依れば，特に磁気的プローブとい
った試験プローブがプローブ軌道上でその試験される物
体の周りに案内され，このプローブの軌道の形状は円形
形状からの物体の移動方向において広がることが出来
る。試験プローブの軌道の移動方向放射がその試験され
る物体の横断面の形状に適合される場合は，試験プロー
ブと試験物体の間の相互作用は材料の試験目的上特に簡
単な様式で利用可能である。特に，楕円横断面を有する
物体の試験に対しては，試験プローブが円形経路上で案
内され，その面が試験物体移動方向に関して９０°から
広がる設定角度にて設定されるような実施態様が特に有
利である。その円形軌道上で，その懸下に依り提供され
る一定の遠心力は一定の周方向速度の場合は試験プロー
ブ上に作用し，例えば，質量の補償に依る懸下の適切な
設計に依り軸受けの最低負荷に依る極めて早いプローブ
の回転速度が可能になる。
【００１１】長手方向に移動する試験物体と「打撃形態
(punctiform)」様式にて作用するプローブの場合にプロ
ーブの軌道上における試験プローブの高い通過速度が可
能とされ，ここで試験方法の解像度の理由に対して任意
の時点において材料表面の極めて狭い領域のみが検出さ
れ，全体の材料表面の完全且つ早い解像走査を可能にす
ると共に試験物体の高い移動速度を可能にする。９０°
から広がる設定角度に依り発生される試験プローブ軌道
の楕円移動方向放射の場合，この楕円の半径比は実質的
に設定角度の大きさに依り決定される。直径の比が異な
る試験部品を試験する場合は，プローブの軌道を試験物
体移動方向に対して相対的に傾斜可能にする事が結果的
に有利である。例えば，プローブの半径方向の変位可能
性等に依りプローブの軌道を改変出来る場合は，試験装
置は最も変動する横断面形状と寸法を有する試験物体に
対して容易に適合させることが出来る。
【００１２】円形軌道の中心が試験物体の長手方向軸線
上に位置付けられるが，軌道面が前記長手方向軸線に対
して直角になっていないような回転プローブはその回転
中に各場合における試験物体の半径方向ベクトルに面す
るその相対的向きを変え，プローブから考察した場合の
試験物体の半径方向は固体角度範囲にあり，そのセクタ
ー角度は９０°からその設定角度の広がりの量の２倍に
対応している。こうした配列の場合，試験信号の更なる
処理は少なくとも前記セクター上方でのプローブの試験
感度が実質的に一定であれば特に簡単である。試験物体
の半径が一定の試験感度の角度範囲内にある全ての設定
角度においては，測定装置の電子的設定値を著しく変え
ずに試験を実施することが出来る。楕円形状からの試験
物体の横断面の僅かの広がりは電子信号の補償に依り補
償出来ることが有利であり，この場合例えば，物体表面
とプローブの間の半径方向間隔が決定され，所望の値か
らの広がりが信号補正用として利用される。試験プロー
ブの形状とその軸方向延在の結果，理想的な楕円形状か
ら広がることが出来、例えば，両凸状に出来る様な効果
的な通路の横断面が存在する。従って，９０°から僅か
にだけ異なる設定角度の場合，楕円軌道が原因で「打撃
形態(punctiform)」作用するプローブから結果的に得ら
れる差より大きい半径の差が生じよう。
【００１３】試験セクター又は理想的に「打撃作用(pun
ctiform)」の無いプローブの場合，一定でない所定の試
験感度に対しては周期的に変動する測定信号が存在しよ
う。本装置の電子的な較正に引続き任意に表面欠陥の検
出のため前記周期的に変動する信号からの広がりを使用
することのみが考えられよう。試験物体上の測定点と２
つの同じプローブ軌道の適切な直列接続で達成可能とさ
れるような同じ横断面と同じ材料での規準点の間の差動
信号が表面欠陥の検出目的に使用出来よう。
【００１４】特に，検査中，清浄中及び再工具付け過程
中における試験装置の取扱い並びに例えば線引き機械と
いった試験物体を案内する装置への本装置の適合は有利
に実施可能であることから，試験ヘッドに対する駆動ユ
ニットは物体の通過経路に対して横方向に位置付けられ
る。試験ヘッドは送信素子又は転送素子に依り駆動ユニ
ットに接続可能である。送信素子は駆動ユニット及び駆
動ユニットで発生される回転運動を前記ヘッドに伝える
ベルト駆動装置を有し且つ任意に駆動ユニットを導入し
ているような試験ヘッド上に作用するアームににするこ
とが出来る。駆動ユニットと試験ヘッドの空間的分離に
依るこうした設計が多くの利点を結合する。試験ヘッド
は極めてコンパクトに作成可能であり，即ち，特に軽量
に出来，試験物体移動方向において短くすることが出
来，従って，試験ヘッドはその軸線と物体の通過経路が
平行にする必要性の無いことから，最低量の必要調節を
以て試験物体通路の経路の周りに位置付けることが出来
る。長い試験ヘッドに付いては，通過経路と試験ヘッド
軸線の平行性からの拡散が試験装置と試験物体の間の望
ましくない接触を容易にもたらし得るので，正確な調整
が必要である。その上，送信素子上に位置付けられた試
験ヘッドは試験物体通過経路外から駆動素子のベルト駆
動軸線の周りでサービス位置に入る枢軸運動に依り容易
に達成可能とされ，試験ヘッド上での洗浄と検査と併せ
て例えば再工具設定作動等を実施出来よう。
【００１５】送信素子の枢軸運動位置の設定に依り試験
ヘッドの試験物体の周りでの高さ位置を容易に設定する
ことも出来る。三相モーターとして好適に構成された駆
動素子が例えば試験装置の電子素子に依り基礎板上に固
定されれば，これは振動マウント上に設置出来，そこで
試験物体の周りでの試験ヘッドの向きの横方向の補正は
基礎板に直角の軸線の周りでの基礎板軸受け内での試験
装置の運動に依り生じることから試験装置の自動的な横
方向中心合わせの形式を試験物体に依り実施することが
出来る。処理が困難なこと及び試験ヘッドの中心合わせ
に対する高価なリフト／摺動テーブルの使用の問題はこ
うした構成により削減されよう。
【００１６】試験ヘッドの位置付けは最低の横方向運動
が試験物体の長手方向運動に重ねられる場合は試験状態
の不変的理由に対して特に有利である。従って，試験ヘ
ッドは試験物体に対する案内装置に引続いて位置付ける
ことが有利となり，線引き機械の場合はこれは引っ張り
板孔の背後に直接設けることが出来る。
【００１７】円形経路上で急速に回転する試験プローブ
の諸利点は特に横断面周囲が円形セグメント又は楕円セ
グメントから形成可能になっている，楕円形から拡散す
る横断面を備えた試験物体に対して使用出来よう。従っ
て，弁バネ・ワイヤの横断面に対しては特に有利な卵型
形状が円形セグメントと楕円形セグメントから大略形成
される。試験物体の移動方向において円形の様式にて回
転する試験プローブ及び楕円経路と円形経路の想像上の
相互交差部上の２個の試験信号の間で適切な逆転に依り
前記試験物体経路内の楕円経路上で回転する試験プロー
ブの直接接続がこうしたワイヤ幾何の試験用に利用出来
よう。同様の様式で，通路方向の周りで９０°往復動的
に変位される２つの楕円軌道放射の場合，実質的に矩形
の試験物体をカバー出来，結果的に生じる横方向面セグ
メントの曲率は９０°からの設定角度の拡散を増加させ
ることになる。半径の比が同一若しくは異なる２個の楕
円経路放射が例えば楕円の短径の方向で往復動的に変位
される場合は両凸断面を有する試験物体を試験すること
も可能であろう。
【００１８】試験プローブという用語は，物理的パラメ
ーターの空間的分布の記録若しくは発生及び記録のため
採用され且つ例えば渦電流プローブ又は漂遊磁束プロー
ブ等といった試験物体と空間関係状態にすることが出来
る全ての装置をカバーする目的で使用出来る。しかしな
がら，光学的若しくは音響的原理に基付き作動するプロ
ーブも可能である。
【００１９】本発明のこれらの及び他の諸特徴並びに諸
構成は特許請求の範囲，明細書本文並びに図面から集め
ることが出来，単独で及び副次的組み合わせの形態の両
者に依る個々の特徴は本発明の実施態様並びに他の分野
で実現が可能であり，本明細書で保護を要求している有
利で独立的に保護可能な構成を表すことが出来る。本発
明の諸実施態様について図面を参照しながら以後一層詳
細に説明する。
【００２０】図示例 図１に示された試験装置の好適実施態様の場合，試験ヘ
ッド１１は伝送若しくは送信素子１２上に位置付けら
れ，この素子にはベルト駆動１３が含まれ，このベルト
駆動は非図示の転送手段若しくは送信手段に依り駆動ユ
ニット１４の発生する回転運動を試験ヘッド１１のロー
ター１５へ転送若しくは送信する。回転軸線を矢印で示
された試験物体１７の上方向１６に対して相対的に傾斜
可能とされるローター１５上には試験プローブ１８が設
置され，この試験プローブはローター１５の回転時に図
１においては薄いワイヤになっている試験物体１７の周
りの円形軌道若しくは円形経路上に案内される。
【００２１】この表された実施態様においてはローター
１５は単一の試験プローブ１８を有し，ローター１５上
の質量補償はローターの軸受け保護偏心性を確実に出来
る。ローター周囲の周りに対称的に分布された２個の直
径方向に面する試験プローブ又は多数の，特に４個のプ
ローブを設けることが出来る。
【００２２】ローター１５が固定子ケーシング１９内で
回転している状態で試験ヘッド１１のその表された構成
の結果，試験プローブの速度を増加させることに依りヘ
ッドの既に高い出力を簡単な様式で増加させることが出
来る。試験プローブ１８の円形経路又は軌道の直径は例
えば回転螺旋ディスクに依り連続的に調節可能であるこ
とから，試験装置は寸法の異なる試験物体に対して容易
に適合させることが出来る。その構成の結果，この極め
て効率的で可変の試験ヘッドの機構は容易且つ正確に製
造可能な曲がった部品に依り完全に実施が可能である。
【００２３】基礎板２０上で駆動ユニット１４に沿って
設置された予備増幅器と動力駆動装置で且つケーシング
２１に依り包囲されているその示された実施態様におい
て渦電流プローブになっている試験プローブ１８の接続
は，例えば，現場，試験プローブの背後に位置付けられ
た測定と任意に空間を設けるチャンネルに対しての接触
しない且つ磨耗の無い機能を持った回転送信手段に依り
作り出すことが出来る。一つの空間チャンネルは電子的
信号補償の一部であり，これは試験物体の横断面が正確
な楕円形状とは幾分異なる場合でも即ち試験物体の周り
でのプローブの回転中にプローブと物体表面の間の空
間，従って，プローブの空間に起因する試験感度が僅か
の局部的変動を受ける場合でも試験信号の正確な受信と
解釈を可能にする。
【００２４】図１に示された実施態様においては，試験
ヘッド１１を支承している送信素子１２を駆動ユニット
１４の枢軸軸線２２の周りに枢軸運動させることに依り
試験物体１７の周りでの試験ヘッド１１の正確な位置付
けがその高さを基にして得られる。基礎板２０に直角の
軸線の周りで試験装置全体を回転させることに依り横方
向の補正が実施され，傾斜の補正は基礎板２０が振動マ
ウント内に設置されるその基礎板２０を支承している脚
部２３の適切な垂直方向の調節に依り行われる。この軸
受けの結果，自動的な横方向中心合わせの様式にて実際
の試験物体に依る試験過程中に僅かの横方向補正を実施
することが出来る。
【００２５】図２は試験ヘッドの他の実施態様の模式的
断面図であり，この場合，以後の試験プローブ１８は軸
受け２４で案内されるローター１５上で相互に直径方向
に対面している。ローター１５は固定子ケーシング１９
内に位置付けられ，この固定子ケーシングは切り欠き２
５を有し，これを通じてローター軸線からの拡散する移
動方向１６において試験物体１７は試験ヘッド１１を通
じて案内されるので，プローブは円形プローブ軌道上で
試験物体１７の周りに案内され，この円形プローブ軌道
は移動方向１６に対して９０°異なっている角度２６に
設定される。試験プローブ１８の感度が適切に一定にな
っているその上のセクター３１を見ることが出来る。ロ
ーター１５は送信素子１２で案内されるベルト駆動１３
に依り駆動可能である。
【００２６】機能 矢印で示された移動方向１６に移動する（左側に示され
た）楕円横断面と長手方向亀裂２７を有するワイヤとし
ての試験物体１７を示している図３を参照しながら試験
方法について説明する。ローター１５の適切な設置及び
ベルト駆動の運動を伝える構成要素の適切な設計又は図
２に依る試験ヘッドの配列に依ってプローブ軌道２８の
弧状矢印を含む面が移動方向１６に対して９０°とは異
なる角度２６に設定される。従って，移動方向１６で考
察した場合の円形のプローブ軌道２８は楕円形である。
【００２７】試験プローブ１８は好適には渦電流プロー
ブとして構成され，これはその軌道の各点において試験
物体たるワイヤ１７の半径方向において同じ試験感度を
有している。大略一定の試験感度を有するセクター３１
を見ることが出来る。プローブは「打撃(punctiform)」
様式にて作用する。即ち、使用される試験信号がプロー
ブへ通過する試験物体の表面の面積は直径が例えば５ｍ
ｍ程度の小さい状態である。一方ではプローブ軌道２８
上での試験プローブ１８の円形運動，更に他方では移動
方向１６におけるワイヤたる試験物体１７の運動を通じ
てプローブはワイヤとの接触無しにワイヤの周りの螺旋
走査経路２９上でワイヤ表面を走査し，長手方向の亀裂
２７に対して接線方向にある４個の中断の無い隣接して
いる経路セグメントが図示されている。単一試験プロー
ブの場合における全体の試験物体の表面の中断されない
走査に対して，試験物体の移動速度はプローブの回転中
に前記試験物体が走査経路２９の試験幅３０の量だけ進
められるよう選択される。従って，例えば，試験幅が５
ｍｍになっている単一プローブの場合，３６０００ｒｐ
ｍの回転速度においては３ｍ／ｓにて移動する物体の中
断されない試験が可能である。直径方向に面する２本の
プローブが存在する場合は試験物体１７の移動速度は２
倍程度に早く出来るが，その理由は試験プローブ１８が
走査幅３０に依り移動方向にて往復動可能に変位される
勾配の２倍の２個の走査経路２９を走査することによ
る。プローブが４本あってローターの回転速度が無変化
の場合は試験物体はその移動速度が４倍早くなっている
場合に中断無しに走査出来る。
【００２８】試験方法の解像度は試験物体上のプローブ
作用面積の寸法，即ち，プローブが反応するその信号に
関係ある面積で本質的に決定される。作用面積が極めて
小さい「打撃(punctiform)」作用するプローブの場合は
亀裂といった小さな欠陥が小さいプローブの作用面積内
に高割合の干渉をもたらし，これが結果的に明瞭且つ容
易に解釈可能な試験信号を発生する。従って，渦電流プ
ローブの場合，亀裂，即ち，材料がプローブの作用面積
内で失われる面積はプローブで試験される材料の低減化
した電気的導電率に向かって作用する。
【００２９】試験物体の周りでのその回転中にプローブ
試験感度が変化しない場合はプローブで発生される試験
信号を分析することが特に容易である。これは図２及び
図３の例においては一定試験感度の固定角度範囲たるセ
クター３１がプローブ長手方向軸線の周りに対称的に配
列され，その開口角度が９０°から設定角度２６の拡散
する領域の少なくとも２倍になっているようなプローブ
の方向性特性に依り達成される。ローターの回転軸線か
ら拡散が少ないか又は無い状態で試験物体が試験ヘッド
１１に依り案内されれば試験は特に信頼性のあるエラー
の低い様式にて行うことが出来る。前記試験物体は特に
静かな様式で移動することから，試験物体に対する案内
手段に引き続き試験ヘッドを設置することに依りこれを
行うことが出来る。ワイヤの試験の場合は，ワイヤの成
形加工をする引き板孔に引き続き試験ヘッドを設置する
ことが特に有利である。試験プローブは損傷から保護す
ることが出来，即ち，試験物体移動方向において試験プ
ローブの前方に位置付けられる保護ノズルに依り試験物
体との接触から保護することが出来る。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、非円形横断面を有する
特にワイヤといった延在する物体を試験することが可能
となる。
【００３１】しかも、こうした物体の試験を実施する一
方高速試験及び同時に高解像度といった回転技術の使用
を通じて達成可能な諸利点を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】試験装置の実施態様の部分断面に依る全体図。
【図２】平面図における試験ヘッドの断面図。
【図３】試験原理を模式的に示す図。
【符号の説明】
１１ 試験ヘッド １２ 送信素子 １３ ベルト駆動 １４ 駆動ユニット １５ ローター １６ 上方向 １７ 試験物体 １８ 試験プローグ １９ 固定子ケージング ２０ 基礎板 ２１ ケーシング ２２ 枢軸軸線 ２３ 脚部 ２４ 軸受け ２５ 切り欠き ２６ 角度 ２７ 長手方向亀裂 ２８ プローグ軌道 ２９ 螺旋走査経路 ３０ 試験幅 ３１ セクター

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 試験物体の周りのプローブ軌道上に案内
    される少なくとも１個の試験プローブにより移動方向に
    移動する非円形横断面を有する延在物体を試験する方法
    であって，試験物体の移動方向で考察した際試験プロー
    ブが円形形状から拡散するプローブ軌道上に案内される
    ようにした方法。
  2. 【請求項２】 試験物体を包囲するプローブ軌道上で案
    内される少なくとも１個の試験プローブを有する試験物
    体に依り往復動される試験ヘッドを以て移動方向に移動
    する非円形横断面を有する延在物体の試験装置であっ
    て，試験物体の移動方向で考察した際，試験プローブが
    円形形状から拡散するプローブ軌道上で試験プローブが
    案内されるようにした試験装置。
  3. 【請求項３】 試験プローブが円形プローブ軌道上で案
    内され，試験プローブ軌道が面を定め，当該面が９０°
    から広がる設定角度にて移動方向に対して設定されるよ
    うにした請求項２の試験装置。
  4. 【請求項４】 試験プローブ軌道が移動方向に対して相
    対的に傾斜可能な請求項２の試験装置。
  5. 【請求項５】 試験プローブが方向特性及び試験感度を
    有し，かくして方向特性がその試験感度が実質的にセク
    ター上で一定であり，前記セクターを決定するセクター
    角度が９０°からの設定角度の拡散の量の少なくとも２
    倍に等しくなっている請求項２の試験装置。
  6. 【請求項６】 試験プローブの信号に対して電子信号補
    償が提供される請求項２の試験装置。
  7. 【請求項７】 駆動ユニットが提供され，試験ヘッドが
    試験物体の移動方向に対して相対的に横方向に位置付け
    られている駆動ユニットに依り駆動されるようにした請
    求項２の試験装置。
  8. 【請求項８】 駆動ユニットと送信素子に取り付けられ
    たアームガ提供され，試験ヘッドが送信素子を含むアー
    ム上に位置付けられる請求項７の試験装置。
  9. 【請求項９】 試験プローブが渦電流プローブである請
    求項２の試験装置。
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