JP2727355B2 - 超伝導体膜の製造方法 - Google Patents

超伝導体膜の製造方法

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    • Y02E40/60Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 短時間の焼成工程をもって、臨界温度が110Kの超伝導
体Bi2Sr2Ca2Cu3Ox(0<x)を主成分とする超伝導体膜
を製造する方法に関し、 短時間の焼成工程をもって、基板上に、臨界温度が高
く、すぐれた超伝導特性を有する超伝導体膜を製造する
ことを目的とし、 ビスマスとストロンチウムと銅とを2:2:1のモル比に
含有した酸化物超伝導体を主成分とするペーストと酸化
鉛カルシウムCa2PbOy(y=3〜4)を主成分とするペ
ーストとを、基板上に交互に積層して積層体を製造し、
この積層体を焼成して、前記の基板上に超伝導体膜を製
造するように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、短時間の焼成工程をもって、臨界温度が11
0K級の超伝導体Bi2Sr2Ca2Cu3Ox(0<x)を主成分とす
る超伝導体膜を製造する方法に関する。
〔従来の技術〕
基板上に酸化物超伝導体膜を形成するのに、基板上に
蒸着法等を使用して超伝導体膜の組成比に対応した組成
比を有する組成物の薄膜を形成する方法と、超伝導体の
組成比に対応した組成比を有する組成物を焼成して製造
した超伝導体の粉末を主成分とするペーストを、スクリ
ーン印刷法を使用して基板上に印刷・乾燥した後、焼成
する方法等が知られている。
ところで、臨界温度が100K以上の超伝導体膜を製造す
る方法としては、鉛とビスマスとストロンチウムとカル
シウムと銅とを含む組成物を100時間以上焼成して、超
伝導体Bi2Sr2Ca2Cu3Ox(0<x)を主組成とするバルク
を作製する方法が知られている(M.Takano et al.,Jpn.
J.Appl.Phys.,27(1988)L1041)。
〔発明が解決しようとする課題〕
スクリーン印刷法を用いて臨界温度が110K級の厚膜を
作製するため、Bi2Sr2Ca2Cu3Ox(0<x)を主組成とす
るバルクを前述したように100時間以上焼成して作製し
た後、このバルクを粉末化し、この粉末を主成分とする
ペーストをスクリーン印刷法で酸化マグネシウム(10
0)面上に印刷して乾燥後、焼成を行うと、この焼成工
程中に、焼成時間が長いと基板とその上に形成されたBi
2Sr2Can-1CunOxとが相互に反応し、超伝導体膜の超伝導
特性が著しく低下する。これを避けるためには、焼成時
間を極力短時間にすることが望ましい。
本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、短
時間の焼成工程をもって、基板上に、臨界温度が高く、
すぐれた超伝導特性を有する超伝導体膜を製造すること
にある。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的は、ビスマスとストロンチウムと銅とを2:
2:1のモル比に含有した酸化物超伝導体を主成分とする
ペーストと酸化鉛カルシウムCa2PbOy(y=3〜4)を
主成分とするペーストとを、基板(1)上に交互に積層
して積層体(2)を製造し、この積層体(2)を焼成し
て、前記の基板(1)上に超伝導体膜(3)を製造する
超伝導体膜の製造方法によって達成される。
〔作用〕
ビスマスとストロンチウムと銅とを含む組成物を焼成
して製造した超伝導体Bi2Sr2CuOxの粉末に酸化鉛カルシ
ウム(Ca2PbOy)の粉末を混合し、これを焼成すること
によって、臨界温度が110K級のBi2Sr2Cu3Ox超伝導体バ
ルクを比較的短時間で製造しうることはわかっている
が、これを膜状に製造することは未だ実現していない。
本発明に係る超伝導体膜の製造方法においては、超伝
導体Bi2Sr2CuOxを出成分とするペーストと酸化鉛カルシ
ウム(Ca2PbOy)を主成分とするペーストとを基板上に
交互に積層して積層体を形成し、これを焼成することに
より、各積層界面においてBi2Sr2CuOxと酸化鉛カルシウ
ム(Ca2PbOy)とが相互に反応して、比較的短時間で臨
界温度が110K級のBi2Sr2Ca2Cu3Ox超伝導体膜に転換され
る。
〔実施例〕
以下、図面を参照しつゝ、本発明の一実施例に係る超
伝導体膜の製造方法について説明する。
第3図参照 第3図は超伝導体Bi2Sr2CuOxを主成分とするペースト
の製造工程を示すフローチャートである。
Bi2O3とSrCO3とCuOとの粉末をBiとSrとCuとのモル比
が2:2:1となるように混合し、200×106Paの圧力をもっ
て圧粉してペレット状に成型する。このペレット状の圧
粉体を大気中、820℃の温度において約6時間焼成して
超伝導体Bi2Sr2CuOxを製造する。この超伝導体をめのう
乳鉢で粗粉砕した後、ボールミルを使用して整粒し、こ
れに有機物からなる粘性媒体を加えて混練し、超伝導体
Bi2Sr2CuOxを主成分とするペーストを製造する。
第4図参照 第4図はCa2PbOyを主成分とするペーストの製造工程
を示すフローチャートである。
CaOとPbOとの粉末をCaとPbとのモル比が2:1となるよ
うに混合し、200×106Paの圧力をもって圧粉してペレッ
ト状に成型する。このペレット状の圧粉体を大気中、82
0℃の温度において約17時間焼成してCa2PbOy焼成体を製
造する。この焼成体をめのう乳鉢で粗粉砕した後、ボー
ルミルを使用して整粒し、これに有機物からなる粘性媒
体を加えて混練し、Ca2PbOyを主成分とするペーストを
製造する。
第4図、第1図参照 第4図は臨界温度が110Kの超伝導体膜の製造工程を示
すフローチャートであり、第1図は工程説明図である。
MgOの単結晶基板1の(100)面上に超伝導体Bi2Sr2Cu
Oxを主成分とするペーストとCa2PbOyを主成分とするペ
ーストとをスクリーン印刷法等を使用して交互に積層し
て積層体2を形成する。なお、超伝導体Bi2Sr2CuOxを主
成分とするペースト層とCa2PbOyを主成分とするペース
ト層とを各1層づゝ積層した合計の厚さは約20μmであ
り、第1図は、この積層工程を2回実行した状態を示
す。
第2図参照 次いで、大気中、840℃の温度において24時間焼成
し、第2図に示すように、臨界温度が110K級のBi2Sr2Ca
2Cu3Oxを主成分とする超伝導体膜3をMgO基板1上に形
成する。
〔発明の効果〕
以上説明せるとおり、本発明に係る超伝導体膜の製造
方法においては、ビスマスとストロンチウムと銅との組
成物を焼成して製造した超伝導体Bi2Sr2CuOxを主成分と
するペーストと酸化鉛カルシウム(Ca2PbOy)を主成分
とするペーストとを交互に積層して焼成することによっ
て、各積層界面においてBi2Sr2CuOxと酸化鉛カルシウム
(Ca2PbOy)とが相互に反応して、24時間という比較的
短時間の焼成工程をもって、臨界温度が110K級のBi2Sr2
Ca2Cu3Oxに転換され、超伝導特性のすぐれた超伝導体膜
が基板上に形成される。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は、本発明の一実施例に係る超伝導体膜
の製造方法を説明する工程図である。 第3図は、超伝導体Bi2Sr2CuOxを主成分とするペースト
の製造工程を示すフローチャートである。 第4図は、Ca2PbOyを主成分とするペーストの製造工程
を示すフローチャートである。 第5図は、110K級超伝導体膜の製造工程を示すフローチ
ャートである。 1……MgO基板、 2……積層体、 3……Bi2Sr2Ca2Cu3Oxを主成分とする超伝導体膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 亀原 伸男 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 丹羽 紘一 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 平2−172822(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ビスマスとストロンチウムと銅とを2:2:1
    のモル比に含有した酸化物超伝導体を主成分とするペー
    ストと酸化鉛カルシウムCa2PbOyを主成分とするペース
    トとを、基板(1)上に交互に積層して積層体(2)を
    製造し、該積層体(2)を焼成して、前記基板(1)上
    に超伝導体膜(3)を製造する ことを特徴とする超伝導体膜の製造方法。
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