JP2723021B2 - イメージセンサ検査装置 - Google Patents
イメージセンサ検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイメージセンサ検査装置
に関し、特にイメージセンサの異常を容易に検出するた
めの検査装置に関する。
に関し、特にイメージセンサの異常を容易に検出するた
めの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のイメージセンサの良否を検査する
際、最も困難な検査項目として、イメージセンサ内の隣
接する素子の間におけるショートがある。このようなシ
ョートが発生すると、各センサ素子が明暗に対応する電
気信号を出力するので、一見して正常に動作しているよ
うにに見える。
際、最も困難な検査項目として、イメージセンサ内の隣
接する素子の間におけるショートがある。このようなシ
ョートが発生すると、各センサ素子が明暗に対応する電
気信号を出力するので、一見して正常に動作しているよ
うにに見える。
【０００３】また、イメージセンサの各センサ素子が正
常に動作している場合であっても、部分的に光学的な欠
陥があり、局部的にＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔ
ｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）が低下する場合に
おいて、同様に検査が困難である。
常に動作している場合であっても、部分的に光学的な欠
陥があり、局部的にＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔ
ｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）が低下する場合に
おいて、同様に検査が困難である。
【０００４】これらの欠陥を見出すための検査方法とし
て特開昭６３−３１１５８４号公報に記載された検出方
法が知られている。
て特開昭６３−３１１５８４号公報に記載された検出方
法が知られている。
【０００５】この方法では、図６（ａ）に示すように斜
め方向に白黒のパターンが挿入されたテストチャート２
をイメージセンサ１によって読み取り、イメージセンサ
からの出力を変換器（図示せず）によって４ビットのデ
ジタルデータに変換してデータメモリ（図示せず）に書
き込む。次に、演算部（図示せず）はデータメモリ中の
画信号データについてテストパターンの縞模様と同じ方
向の各ビット間の差分を求める。そして、イメージセン
サの各素子位置に対して最大の差分を求め、判定部（図
示せず）であらかじめ設定された判定基準値を越えた場
合に異常と判定する。例えば、図６（ｂ）に示す状態で
はイメージセンサは正常であると判定され、図６（ｃ）
に示す状態ではイメージセンサは異常であると判定され
る。
め方向に白黒のパターンが挿入されたテストチャート２
をイメージセンサ１によって読み取り、イメージセンサ
からの出力を変換器（図示せず）によって４ビットのデ
ジタルデータに変換してデータメモリ（図示せず）に書
き込む。次に、演算部（図示せず）はデータメモリ中の
画信号データについてテストパターンの縞模様と同じ方
向の各ビット間の差分を求める。そして、イメージセン
サの各素子位置に対して最大の差分を求め、判定部（図
示せず）であらかじめ設定された判定基準値を越えた場
合に異常と判定する。例えば、図６（ｂ）に示す状態で
はイメージセンサは正常であると判定され、図６（ｃ）
に示す状態ではイメージセンサは異常であると判定され
る。
【０００６】また、ＭＴＦを検査することによって電気
的、光学的欠陥を検査する方法として、特開昭５７−１
７２２２０号公報，特開昭５７−１７２２２１号公報お
よび特開昭５７−１７２２２２号公報に記載されている
ものが知られている。これら方法によれば、光源からの
拡散光で空間周波数のパターンを有するチャートのパタ
ーンを結像光学素子によってイメージセンサに投影し、
その出力振幅からＭＴＦを測定している。
的、光学的欠陥を検査する方法として、特開昭５７−１
７２２２０号公報，特開昭５７−１７２２２１号公報お
よび特開昭５７−１７２２２２号公報に記載されている
ものが知られている。これら方法によれば、光源からの
拡散光で空間周波数のパターンを有するチャートのパタ
ーンを結像光学素子によってイメージセンサに投影し、
その出力振幅からＭＴＦを測定している。
【０００７】さらにイメージセンサの試験装置として、
特開昭６３−１８７０８号公報に記載されたイメージセ
ンサ試験装置が知られており、この装置では、イメージ
センサの出力信号をデジタル値に変換し、受光面に対す
るデジタル値の最大値と最小値を検出し、最大値と最小
値の差と和の比からＭＴＦを算出することでイメージセ
ンサを試験している。
特開昭６３−１８７０８号公報に記載されたイメージセ
ンサ試験装置が知られており、この装置では、イメージ
センサの出力信号をデジタル値に変換し、受光面に対す
るデジタル値の最大値と最小値を検出し、最大値と最小
値の差と和の比からＭＴＦを算出することでイメージセ
ンサを試験している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特開昭６４
−３１１５８４号公報に記載されたイメージセンサ検査
方法によれば、データメモリ中に読み取ったデータにお
いて隣接ビットの差分を行う場合、テストチャートの縞
模様の方向と同一の方向で差分処理を行なわなければな
らない。このため、テストチャートとイメージセンサと
の間で相対的に走査する場合、イメージセンサのセンサ
素子が１次元に配列され、電気的に走査される主走査方
向と、この主走査方向に対して垂直方向になる副走査方
向に正確に走査方向を維持しなければならず、イメージ
センサの検査を行う装置の精度が必要で、特定の装置で
なければ検査を行えない欠点がある。
−３１１５８４号公報に記載されたイメージセンサ検査
方法によれば、データメモリ中に読み取ったデータにお
いて隣接ビットの差分を行う場合、テストチャートの縞
模様の方向と同一の方向で差分処理を行なわなければな
らない。このため、テストチャートとイメージセンサと
の間で相対的に走査する場合、イメージセンサのセンサ
素子が１次元に配列され、電気的に走査される主走査方
向と、この主走査方向に対して垂直方向になる副走査方
向に正確に走査方向を維持しなければならず、イメージ
センサの検査を行う装置の精度が必要で、特定の装置で
なければ検査を行えない欠点がある。
【０００９】さらに、隣接ショートを検査する目的の為
にこの縞模様のパターンのテストチャートを走査しなけ
ればならず、電気的な検査と異なって物理的なテストチ
ャートの走査時間が必要な事から、イメージセンサの検
査時間に余分な時間が必要になるという欠点がある。
にこの縞模様のパターンのテストチャートを走査しなけ
ればならず、電気的な検査と異なって物理的なテストチ
ャートの走査時間が必要な事から、イメージセンサの検
査時間に余分な時間が必要になるという欠点がある。
【００１０】また特開昭５７−１７２２２０号〜１７２
２２２号公報による方法では、結像光学素子のＣＯＳ4
θ則による周辺光量の低下で周辺光量の低下が発生する
為に、光学的または電気的に補正する必要がある。
２２２号公報による方法では、結像光学素子のＣＯＳ4
θ則による周辺光量の低下で周辺光量の低下が発生する
為に、光学的または電気的に補正する必要がある。
【００１１】また、イメージセンサのセンサ素子のピッ
チから決まる空間周波数の半分のナイキスト周波数での
ＭＴＦ値を求める場合、センサ素子のピッチが８本／ｍ
ｍであればチャートは１２５μｍ幅の白黒パターンにな
る。従ってこのパターンを正確にイメージセンサの全素
子に一致させる必要があり、テストチャートの精度が高
くなければ全素子でＭＴＦを測定することは一般に困難
である。
チから決まる空間周波数の半分のナイキスト周波数での
ＭＴＦ値を求める場合、センサ素子のピッチが８本／ｍ
ｍであればチャートは１２５μｍ幅の白黒パターンにな
る。従ってこのパターンを正確にイメージセンサの全素
子に一致させる必要があり、テストチャートの精度が高
くなければ全素子でＭＴＦを測定することは一般に困難
である。
【００１２】特公昭６３−１８７０８号公報に記載され
ている方法においても、イメージセンサの受光面に対応
するデジタル値の最大値と最小値の差と和の比からＭＴ
Ｆを算出して、部分的なＭＴＦの値でイメージセンサの
ＭＴＦ値を代表させている関係上、上述のような問題点
がある。
ている方法においても、イメージセンサの受光面に対応
するデジタル値の最大値と最小値の差と和の比からＭＴ
Ｆを算出して、部分的なＭＴＦの値でイメージセンサの
ＭＴＦ値を代表させている関係上、上述のような問題点
がある。
【００１３】いずれにしても、従来の検査方法では、イ
メージセンサ中に電気的な欠陥以外に光学的な欠陥が無
いことを顕微鏡で観察する他なく、そのため、工数が極
めて多く必要であるばかりでなく欠陥の見落とし、欠陥
の程度の判断が難しく、イメージセンサを精度よく検査
することができない。このため、イメージセンサにおけ
る品質上問題である。
メージセンサ中に電気的な欠陥以外に光学的な欠陥が無
いことを顕微鏡で観察する他なく、そのため、工数が極
めて多く必要であるばかりでなく欠陥の見落とし、欠陥
の程度の判断が難しく、イメージセンサを精度よく検査
することができない。このため、イメージセンサにおけ
る品質上問題である。
【００１４】さらに、完全密着型のイメージセンサは、
テストチャートの押圧条件によってＭＴＦ値が影響され
るので、イメージセンサを実装するファクシミリやイメ
ージスキャナの実機上でＭＴＦを測定する必要がある
が、テストパターンの縞パターンのピッチをセンサ素子
に一致させることが困難な為に、イメージセンサ全域で
ＭＴＦを測定するのに多大な時間を必要な欠点がある。
テストチャートの押圧条件によってＭＴＦ値が影響され
るので、イメージセンサを実装するファクシミリやイメ
ージスキャナの実機上でＭＴＦを測定する必要がある
が、テストパターンの縞パターンのピッチをセンサ素子
に一致させることが困難な為に、イメージセンサ全域で
ＭＴＦを測定するのに多大な時間を必要な欠点がある。
【００１５】本発明の目的は簡単にしかも正確にイメー
ジセンサを検査することのできる検査装置を提供するこ
とにある。
ジセンサを検査することのできる検査装置を提供するこ
とにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数の
センサ素子を備え光のパターンを画像信号に変換するイ
メージセンサを検査する検査装置であって、前記センサ
素子の配列ピッチと同等で明暗２種の透過率又は反射率
を有し予め定められた副走査方向に対して所定の角度を
有する縞模様状の第１のパターンと、該第１のパターン
の明部と同等の透過又は反射光量を有し前記副走査方向
に対して垂直な主走査方向に対して帯状の幅を有する第
２のパターンと、前記第１のパターンの暗部と同等の透
過率又は反射率を有し前記主走査方向に対して帯状の幅
を持つ第３のパターンと、前記第１、前記第２、及び前
記第３の各パターンの透過光又は反射光を前記センサ素
子に入射させる光学手段とを有し、さらに、前記光学手
段によって前記第１のパターンを前記副走査方向に走査
する際前記センサ素子毎にその最大出力値及び最小出力
値を検出して検出最大出力値及び検出最小出力値とする
検出手段と、前記検出最大出力値を素子最大出力値とし
て保持する第１のメモリと、前記検出最小出力値を素子
最小出力値として保持する第２のメモリと、前記光学手
段によって前記第２のパターンを前記主走査方向に走査
する際前記センサ素子毎にその出力値を第１の素子出力
値として保持する第３のメモリと、前記光学手段によっ
て前記第３のパターンを前記主走査方向に走査する際前
記センサ素子毎のその出力値を第２の素子出力値として
保持する第４のメモリと、前記センサ素子毎に前記素子
最大出力値と前記素子最小出力値との差分を演算して第
１の差分値を求める第１の減算手段と、前記センサ素子
毎に前記第１の出力値と前記第２の出力値との差分を演
算して第２の差分値を求める第２の減算手段と、前記セ
ンサ素子毎に前記第１の差分値を前記第２の差分値で除
算して除算値を得る除算手段とを有し、前記除算値が所
定値以下のとき異常ビットであると判定するようにした
ことを特徴とするイメージセンサ検査装置が得られる。
センサ素子を備え光のパターンを画像信号に変換するイ
メージセンサを検査する検査装置であって、前記センサ
素子の配列ピッチと同等で明暗２種の透過率又は反射率
を有し予め定められた副走査方向に対して所定の角度を
有する縞模様状の第１のパターンと、該第１のパターン
の明部と同等の透過又は反射光量を有し前記副走査方向
に対して垂直な主走査方向に対して帯状の幅を有する第
２のパターンと、前記第１のパターンの暗部と同等の透
過率又は反射率を有し前記主走査方向に対して帯状の幅
を持つ第３のパターンと、前記第１、前記第２、及び前
記第３の各パターンの透過光又は反射光を前記センサ素
子に入射させる光学手段とを有し、さらに、前記光学手
段によって前記第１のパターンを前記副走査方向に走査
する際前記センサ素子毎にその最大出力値及び最小出力
値を検出して検出最大出力値及び検出最小出力値とする
検出手段と、前記検出最大出力値を素子最大出力値とし
て保持する第１のメモリと、前記検出最小出力値を素子
最小出力値として保持する第２のメモリと、前記光学手
段によって前記第２のパターンを前記主走査方向に走査
する際前記センサ素子毎にその出力値を第１の素子出力
値として保持する第３のメモリと、前記光学手段によっ
て前記第３のパターンを前記主走査方向に走査する際前
記センサ素子毎のその出力値を第２の素子出力値として
保持する第４のメモリと、前記センサ素子毎に前記素子
最大出力値と前記素子最小出力値との差分を演算して第
１の差分値を求める第１の減算手段と、前記センサ素子
毎に前記第１の出力値と前記第２の出力値との差分を演
算して第２の差分値を求める第２の減算手段と、前記セ
ンサ素子毎に前記第１の差分値を前記第２の差分値で除
算して除算値を得る除算手段とを有し、前記除算値が所
定値以下のとき異常ビットであると判定するようにした
ことを特徴とするイメージセンサ検査装置が得られる。
【００１７】さらに、本発明によれば、複数のセンサ素
子を備え光のパターンを画像信号に変換するイメージセ
ンサを検査する検査装置であって、前記センサ素子の配
列ピッチと同等で明暗２種の透過率又は反射率を有し予
め定められた副走査方向に対して所定の角度を有する縞
模様状パターンと、該縞模様状パターンを前記センサ素
子に入射させる光学手段とを有し、さらに、該光学手段
によって前記縞模様状パターンを前記副走査方向に走査
する際前記センサ素子毎にその最大出力値及び最小出力
値をそれぞれ検出最大出力値及び検出最小出力値として
検出する検出手段と、前記検出最大出力値を素子最大出
力値として保持する第１のメモリと、前記検出最小出力
値を素子最小出力値として保持する第２のメモリと、前
記センサ素子毎に前記素子最大出力値と前記素子最小出
力値との差及び和を求め該差と該和との比を演算して比
値を得る演算手段とを有し、該比値が所定値以下のとき
異常ビットと判定するようにしたことを特徴とするイメ
ージセンサ検査装置が得られる。
子を備え光のパターンを画像信号に変換するイメージセ
ンサを検査する検査装置であって、前記センサ素子の配
列ピッチと同等で明暗２種の透過率又は反射率を有し予
め定められた副走査方向に対して所定の角度を有する縞
模様状パターンと、該縞模様状パターンを前記センサ素
子に入射させる光学手段とを有し、さらに、該光学手段
によって前記縞模様状パターンを前記副走査方向に走査
する際前記センサ素子毎にその最大出力値及び最小出力
値をそれぞれ検出最大出力値及び検出最小出力値として
検出する検出手段と、前記検出最大出力値を素子最大出
力値として保持する第１のメモリと、前記検出最小出力
値を素子最小出力値として保持する第２のメモリと、前
記センサ素子毎に前記素子最大出力値と前記素子最小出
力値との差及び和を求め該差と該和との比を演算して比
値を得る演算手段とを有し、該比値が所定値以下のとき
異常ビットと判定するようにしたことを特徴とするイメ
ージセンサ検査装置が得られる。
【００１８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１９】図１は本発明の一実施例のイメージセンサ
の検査装置のブロック図である。
の検査装置のブロック図である。
【００２０】図１を参照して、この検査装置では、イメ
ージセンサ１から出力された画像信号はＡ／Ｄ変換器３
でデジタル信号に変換され、例えば、８ビットで表わさ
れる“０”が黒、“２５５”が白に対応した符号とな
る。イメージセンサ１において８本／ｍｍのピッチで、
主走査方向と定義する電気的に掃引される方向に１次元
のセンサアレイが構成され、原稿がＢ４のサイズである
と、イメージセンサ１から読み出された１ライン分の信
号は２０４８バイトのデジタル信号となる。
ージセンサ１から出力された画像信号はＡ／Ｄ変換器３
でデジタル信号に変換され、例えば、８ビットで表わさ
れる“０”が黒、“２５５”が白に対応した符号とな
る。イメージセンサ１において８本／ｍｍのピッチで、
主走査方向と定義する電気的に掃引される方向に１次元
のセンサアレイが構成され、原稿がＢ４のサイズである
と、イメージセンサ１から読み出された１ライン分の信
号は２０４８バイトのデジタル信号となる。
【００２１】本実施例においては、このデータを蓄える
手段として、８ビット×２０４８段のＦＩＦＯ（Ｆｉｒ
ｓｔ Ｉｎ Ｆｉｒｓｔ Ｏｕｔ）メモリを使用し、Ｖ
w −ＦＩＦＯ４，ＶB −ＦＩＦＯ５，Ｖmax −ＦＩＦＯ
６，Ｖmin −ＦＩＦＯ７の４個のメモリが用意されてい
る。
手段として、８ビット×２０４８段のＦＩＦＯ（Ｆｉｒ
ｓｔ Ｉｎ Ｆｉｒｓｔ Ｏｕｔ）メモリを使用し、Ｖ
w −ＦＩＦＯ４，ＶB −ＦＩＦＯ５，Ｖmax −ＦＩＦＯ
６，Ｖmin −ＦＩＦＯ７の４個のメモリが用意されてい
る。
【００２２】イメージセンサ１はテストチャート２を読
取ることで検査されるが、テストチャート２は図２に示
す様にテストチャート白部２１による第２のパターン
と、黒部２２による第３のパターンと、縞パターン２３
による第１のパターンと、縞パターン２４による第１の
パターンの４つの部分から構成されている。
取ることで検査されるが、テストチャート２は図２に示
す様にテストチャート白部２１による第２のパターン
と、黒部２２による第３のパターンと、縞パターン２３
による第１のパターンと、縞パターン２４による第１の
パターンの４つの部分から構成されている。
【００２３】図２を参照して、まずイメージセンサ１の
検査の開始時には制御回路１６が、リセット信号（ＲＥ
ＳＥＴ）３５とプリセット信号（ＰＲＥＳＥＴ）３６を
発生し、Ｖmax −ＦＩＦＯ６とＶmin −ＦＩＦＯ７の内
容をそれぞれ“０”と“２５５”に初期化しておく。
検査の開始時には制御回路１６が、リセット信号（ＲＥ
ＳＥＴ）３５とプリセット信号（ＰＲＥＳＥＴ）３６を
発生し、Ｖmax −ＦＩＦＯ６とＶmin −ＦＩＦＯ７の内
容をそれぞれ“０”と“２５５”に初期化しておく。
【００２４】次に制御回路１６はイメージセンサ１を動
作させるクロック信号（ＣＬＫ）３４及び同期信号（Ｓ
Ｔ）３７を発生するとともに、テストチャート白部２１
による第２のパターンを読取る様にモーター駆動信号
（ＭＯＴＯＲ）３８を発生する。テストチャート白部２
１をイメージセンサ１が読取るとクロック信号（ＣＬ
Ｋ）３４に同期して主走査方向の２０４８個のセンサ素
子の出力電圧が出力され、Ａ／Ｄ変換器３によってデジ
タルの画像信号Ｖ（Ｓn ，Ｓn ＝１〜２０４８）３９に
変換される。
作させるクロック信号（ＣＬＫ）３４及び同期信号（Ｓ
Ｔ）３７を発生するとともに、テストチャート白部２１
による第２のパターンを読取る様にモーター駆動信号
（ＭＯＴＯＲ）３８を発生する。テストチャート白部２
１をイメージセンサ１が読取るとクロック信号（ＣＬ
Ｋ）３４に同期して主走査方向の２０４８個のセンサ素
子の出力電圧が出力され、Ａ／Ｄ変換器３によってデジ
タルの画像信号Ｖ（Ｓn ，Ｓn ＝１〜２０４８）３９に
変換される。
【００２５】同時に制御回路１６はＶ w ＥＮ信号３２
をアクティブにする。これによって、Ｖw −ＦＩＦＯ４
にクロックが供給され、Ｖ（Ｓn ）３９の２０４８バイ
トのデータをＶw −ＦＩＦＯ４に読み込む。読み込みが
終了すると、Ｖ w ＥＮ信号３２がインアクティブにな
って、Ｖw −ＦＩＦＯ４にはイメージセンサ１の全セン
サ素子の白出力データが保持される。
をアクティブにする。これによって、Ｖw −ＦＩＦＯ４
にクロックが供給され、Ｖ（Ｓn ）３９の２０４８バイ
トのデータをＶw −ＦＩＦＯ４に読み込む。読み込みが
終了すると、Ｖ w ＥＮ信号３２がインアクティブにな
って、Ｖw −ＦＩＦＯ４にはイメージセンサ１の全セン
サ素子の白出力データが保持される。
【００２６】さらに、制御回路１６はＭＯＴＯＲ信号３
８を発生してテストチャート２を副走査方向と定義され
る主走査方向に対して垂直な方向に移動させる。こうし
て、テストチャート黒部２２による第３のパターンをイ
メージセンサ１で読取る位置に移動させ、ＶB −ＥＮ信
号３３をアクティブにしてＶB −ＦＩＦＯ５にＶ
（Ｓn ）３９のデジタル画像データを読み込み、ＶB −
ＥＮ信号３３をインアクティブにする。以上でＶB −Ｆ
ＩＦＯ５にはイメージセンサ１の全センサ素子の黒出力
データが保持される。
８を発生してテストチャート２を副走査方向と定義され
る主走査方向に対して垂直な方向に移動させる。こうし
て、テストチャート黒部２２による第３のパターンをイ
メージセンサ１で読取る位置に移動させ、ＶB −ＥＮ信
号３３をアクティブにしてＶB −ＦＩＦＯ５にＶ
（Ｓn ）３９のデジタル画像データを読み込み、ＶB −
ＥＮ信号３３をインアクティブにする。以上でＶB −Ｆ
ＩＦＯ５にはイメージセンサ１の全センサ素子の黒出力
データが保持される。
【００２７】同様に、テストチャート２の縞パターン２
３による第１のパターンの位置の読取りを行い、ＭＴＦ
ＥＮ信号３１をアクティブにする。このとき、Ｖmax
−ＦＩＦＯ６とＶmin −ＦＩＦＯ７にＣＬＫ信号３４が
供給されて読込みを行うが、まずデジタル画像データＶ
（Ｓn ）３９はコンパレータ８に入力され、Ｖmax −Ｆ
ＩＦＯ６から出力されるＶmax （Ｓn ）信号４０と比較
される。
３による第１のパターンの位置の読取りを行い、ＭＴＦ
ＥＮ信号３１をアクティブにする。このとき、Ｖmax
−ＦＩＦＯ６とＶmin −ＦＩＦＯ７にＣＬＫ信号３４が
供給されて読込みを行うが、まずデジタル画像データＶ
（Ｓn ）３９はコンパレータ８に入力され、Ｖmax −Ｆ
ＩＦＯ６から出力されるＶmax （Ｓn ）信号４０と比較
される。
【００２８】前述のＲＥＳＥＴ信号３５によってＶmax
−ＦＩＦＯ６の内容は“０”にクリアされており、コン
パレータ８はＡ／Ｄ変換器３から出力されるデジタル画
像信号３９の最初のデータすなわちＶ（Ｓ0 ）と、Ｖ
max −ＦＩＦＯ６の最初の出力データＶmax （Ｓ0 ）を
比較して、Ｖ（Ｓ0 ）が“０”以上であればセレクタ１
０に切換信号を送り、Ｖ（Ｓ0 ）を選択してＶmax −Ｆ
ＩＦＯ６に送出する。これをセンサ素子２０４８個分に
ついて行う。
−ＦＩＦＯ６の内容は“０”にクリアされており、コン
パレータ８はＡ／Ｄ変換器３から出力されるデジタル画
像信号３９の最初のデータすなわちＶ（Ｓ0 ）と、Ｖ
max −ＦＩＦＯ６の最初の出力データＶmax （Ｓ0 ）を
比較して、Ｖ（Ｓ0 ）が“０”以上であればセレクタ１
０に切換信号を送り、Ｖ（Ｓ0 ）を選択してＶmax −Ｆ
ＩＦＯ６に送出する。これをセンサ素子２０４８個分に
ついて行う。
【００２９】Ｖmin −ＦＩＦＯ７についても同様に、最
初のデジタル画像データＶ（Ｓ0 ）とＶmin −ＦＩＦＯ
７の最初の出力データであるＶmin （Ｓ0 ）を比較し、
Ｖ（Ｓ0 ）が“２５５”以下であればコンパレータ９が
セレクタ１１に切換信号を送り、Ｖ（Ｓ0 ）を選択して
Ｖmin −ＦＩＦＯ７に送出する。これを同様に２０４８
個分について行う。
初のデジタル画像データＶ（Ｓ0 ）とＶmin −ＦＩＦＯ
７の最初の出力データであるＶmin （Ｓ0 ）を比較し、
Ｖ（Ｓ0 ）が“２５５”以下であればコンパレータ９が
セレクタ１１に切換信号を送り、Ｖ（Ｓ0 ）を選択して
Ｖmin −ＦＩＦＯ７に送出する。これを同様に２０４８
個分について行う。
【００３０】次に、制御回路１６はＭＯＴＯＲ信号３８
を発生して、縞パターン２３による第１のパターンの位
置を１ライン分副走査方向に移動させ、さらに１ライン
分について前述の動作を行う。この動作を繰返すことで
Ｖmax −ＦＩＦＯ６には、イメージセンサの各センサ素
子の各ビットが縞パターン２３及び縞パターン２４を読
み取ったデジタル画像信号の最大値が保持され、Ｖmin
−ＦＩＦＯ７には最小値が保持されることになる。
を発生して、縞パターン２３による第１のパターンの位
置を１ライン分副走査方向に移動させ、さらに１ライン
分について前述の動作を行う。この動作を繰返すことで
Ｖmax −ＦＩＦＯ６には、イメージセンサの各センサ素
子の各ビットが縞パターン２３及び縞パターン２４を読
み取ったデジタル画像信号の最大値が保持され、Ｖmin
−ＦＩＦＯ７には最小値が保持されることになる。
【００３１】これを図３を参照して説明する。イメージ
センサ１中の２個のセンサ素子ＳnとＳn+1 が１２５μ
ｍのピッチで並んでおり、副走査方向にテストチャート
２の白黒の縞パターンを読み取り、それぞれＶSn及びＶ
Sn+1の電圧が出力される。前述の縞パターンは副走査方
向に対して傾きがあり、副走査方向の距離Ｌで１ピッチ
（１２５μｍ）分ずれる様に設定されている。
センサ１中の２個のセンサ素子ＳnとＳn+1 が１２５μ
ｍのピッチで並んでおり、副走査方向にテストチャート
２の白黒の縞パターンを読み取り、それぞれＶSn及びＶ
Sn+1の電圧が出力される。前述の縞パターンは副走査方
向に対して傾きがあり、副走査方向の距離Ｌで１ピッチ
（１２５μｍ）分ずれる様に設定されている。
【００３２】センサ素子がａの位置にある場合はＳn の
素子は黒部に一致しており、黒レベルの出力電圧ＶB を
出力するが、ＭＴＦが１００％以下であれば隣接する白
部との光学的，電気的なクロストークによって完全な黒
レベルを保つことが出来ず、少し大きいレベルであるＶ
min の電圧を出力する。
素子は黒部に一致しており、黒レベルの出力電圧ＶB を
出力するが、ＭＴＦが１００％以下であれば隣接する白
部との光学的，電気的なクロストークによって完全な黒
レベルを保つことが出来ず、少し大きいレベルであるＶ
min の電圧を出力する。
【００３３】またｂの位置では白と黒の割合が同等なの
で中間の電圧レベルを出力し、Ｃの位置では同様に白レ
ベルＶw より小さいＶmax の電圧を出力する。
で中間の電圧レベルを出力し、Ｃの位置では同様に白レ
ベルＶw より小さいＶmax の電圧を出力する。
【００３４】以上の様にしてセンサ素子からは副走査方
向のＬの周期でＶmax とＶmin の間を変化する出力が得
られる。
向のＬの周期でＶmax とＶmin の間を変化する出力が得
られる。
【００３５】図４にイメージセンサが主走査方向に出力
する信号を示す。図４（ａ）〜（ｄ）を参照して、イメ
ージセンサ１にテストチャート２の縞パターンによる第
１のパターンを読取らせる場合に、テストチャート２の
ピッチが、イメージセンサ１とわずかに異なると、図４
（ａ）に示す状態の出力波形となる。イメージセンサ１
のセンサアレイがテストチャート２の縞パターンと一致
している場所は最大の振幅となり、半分ずれた場所では
振幅が出ない状態となる。図４ではイメージセンサの全
幅でテストチャートに３ピッチ分のずれが発生している
ことになるが、テストチャート２の縞パターンを１ピッ
チ分移動するまで副走査方向に移動させて、各センサ素
子毎のＶmax ，Ｖmin を保持すれば、各センサ素子に対
して縞パターンに一致した場所での白パターン，黒パタ
ーンに対する出力電圧が得られたことに相当する。
する信号を示す。図４（ａ）〜（ｄ）を参照して、イメ
ージセンサ１にテストチャート２の縞パターンによる第
１のパターンを読取らせる場合に、テストチャート２の
ピッチが、イメージセンサ１とわずかに異なると、図４
（ａ）に示す状態の出力波形となる。イメージセンサ１
のセンサアレイがテストチャート２の縞パターンと一致
している場所は最大の振幅となり、半分ずれた場所では
振幅が出ない状態となる。図４ではイメージセンサの全
幅でテストチャートに３ピッチ分のずれが発生している
ことになるが、テストチャート２の縞パターンを１ピッ
チ分移動するまで副走査方向に移動させて、各センサ素
子毎のＶmax ，Ｖmin を保持すれば、各センサ素子に対
して縞パターンに一致した場所での白パターン，黒パタ
ーンに対する出力電圧が得られたことに相当する。
【００３６】以上の動作によって、図１に示すＶmax −
ＦＩＦＯ６には各センサ素子毎の白レベル値が保持さ
れ、Ｖmin −ＦＩＦＯ７には同様に黒レベル値が保持さ
れる。
ＦＩＦＯ６には各センサ素子毎の白レベル値が保持さ
れ、Ｖmin −ＦＩＦＯ７には同様に黒レベル値が保持さ
れる。
【００３７】次に制御回路１６はＶ w ＥＮ信号３２，
Ｗ B ＥＮ信号３３，さらにＭＴＦ ＥＮ信号３１を１ラ
イン期間分アクティブにする。すると、４つのＦＩＦＯ
から同時にＶmax （Ｓn ），Ｖmin （Ｓn ），Ｖw （Ｓ
n ），ＶB （Ｓn ）の各信号としてＣＬＫ信号３４に従
って、イメージセンサ１のセンサ素子の１番目から２０
４８番目に対応するセルの電圧として順に出力される。
減算器１２はＶmax−ＦＩＦＯ６より出力されたＶmax
（Ｓn ）信号４０からＶmin −ＦＩＦＯ７より出力され
たＶmin （Ｓn ）信号４１を減算する。
Ｗ B ＥＮ信号３３，さらにＭＴＦ ＥＮ信号３１を１ラ
イン期間分アクティブにする。すると、４つのＦＩＦＯ
から同時にＶmax （Ｓn ），Ｖmin （Ｓn ），Ｖw （Ｓ
n ），ＶB （Ｓn ）の各信号としてＣＬＫ信号３４に従
って、イメージセンサ１のセンサ素子の１番目から２０
４８番目に対応するセルの電圧として順に出力される。
減算器１２はＶmax−ＦＩＦＯ６より出力されたＶmax
（Ｓn ）信号４０からＶmin −ＦＩＦＯ７より出力され
たＶmin （Ｓn ）信号４１を減算する。
【００３８】また減算器１３は、Ｖw −ＦＩＦＯ４より
出力されたＶw （Ｓn ）信号４２からＶB −ＦＩＦＯ５
より出力されたＶB （Ｓｎ）信号４３を減算する。さら
に除算器１５で減算器１２と減算器１３の信号を除算す
るとＭＴＦ（Ｓn ）信号４４が得られる。これを式で表
わせば数１で示される。
出力されたＶw （Ｓn ）信号４２からＶB −ＦＩＦＯ５
より出力されたＶB （Ｓｎ）信号４３を減算する。さら
に除算器１５で減算器１２と減算器１３の信号を除算す
るとＭＴＦ（Ｓn ）信号４４が得られる。これを式で表
わせば数１で示される。
【００３９】
【数１】
【００４０】これによって、イメージセンサ１の全セン
サ素子に対応したＭＴＦ値を求めることができる。
サ素子に対応したＭＴＦ値を求めることができる。
【００４１】また図３に示す隣接するセンサ素子がショ
ートしていた場合には、２つのセンサ素子の出力電流、
蓄積電荷が加算される為に、１つのセンサ素子の出力は
副走査方向の位置が変化しても同じ出力電圧となってし
まう。
ートしていた場合には、２つのセンサ素子の出力電流、
蓄積電荷が加算される為に、１つのセンサ素子の出力は
副走査方向の位置が変化しても同じ出力電圧となってし
まう。
【００４２】従ってコンパレータ１４によりＶmax とＶ
min の差が所定値以下の場合をＥＲＲＯＲ信号４５で隣
接ショートビットを検出可能となる。
min の差が所定値以下の場合をＥＲＲＯＲ信号４５で隣
接ショートビットを検出可能となる。
【００４３】また、図１には示されていないが、ＭＴＦ
（Ｓn ）信号４４が所定値以下になったことをコンパレ
ータで検出すれば、イメージセンサ１に光学的欠陥があ
り、ＭＴＦ値が局部的に低下していても検出することが
可能である。
（Ｓn ）信号４４が所定値以下になったことをコンパレ
ータで検出すれば、イメージセンサ１に光学的欠陥があ
り、ＭＴＦ値が局部的に低下していても検出することが
可能である。
【００４４】次に、テストチャート２がイメージセンサ
１に対して斜行した場合の影響を図５に示す。
１に対して斜行した場合の影響を図５に示す。
【００４５】一般にテストチャート２をイメージセンサ
１に対して走行させる場合に、最も簡易に行うのは、ロ
ーラーで送る方法であるが、この場合は必ずテストチャ
ートが傾いたままイメージセンサ１を通過する可能性が
ある。
１に対して走行させる場合に、最も簡易に行うのは、ロ
ーラーで送る方法であるが、この場合は必ずテストチャ
ートが傾いたままイメージセンサ１を通過する可能性が
ある。
【００４６】図５（ｂ）はテストチャート２が副走査方
向に対して傾いていない場合での縞パターン２３による
第１のパターンおよび縞パターン２４による第１のパタ
ーンの状態を示したもので、センサアレイの副走査方向
に対する縞パターンの傾きは、テストチャート２での縞
パターンに一致するθの角度となる。
向に対して傾いていない場合での縞パターン２３による
第１のパターンおよび縞パターン２４による第１のパタ
ーンの状態を示したもので、センサアレイの副走査方向
に対する縞パターンの傾きは、テストチャート２での縞
パターンに一致するθの角度となる。
【００４７】従って縞パターンが主走査方向にセンサ素
子の１ピッチに相当する長さを縞パターンが移動すれ
ば、上述の方法でＶmin ，Ｖmax に正確に出力が保持さ
れることになり、縞パターンの副走査方向の長さを適当
に設定しておけば、縞パターン２３および２４のいずれ
によっても正しいＶmin ，Ｖmax 値を保持できる。
子の１ピッチに相当する長さを縞パターンが移動すれ
ば、上述の方法でＶmin ，Ｖmax に正確に出力が保持さ
れることになり、縞パターンの副走査方向の長さを適当
に設定しておけば、縞パターン２３および２４のいずれ
によっても正しいＶmin ，Ｖmax 値を保持できる。
【００４８】図５（ａ）及び図５（ｃ）はテストチャー
トがθの角度だけ斜行した場合であり、副走査方向に対
する縞パターンの傾きは、２θあるいは“０”になる。
イメージセンサ１に対する縞パターンの傾きが“０”度
になった部分では正しいＶmin ，Ｖmax 値が保持できな
いが、２θになった部分では保持可能なので、副走査方
向に正または負の角度を持つ２種の縞パターン２３によ
る第１のパターンおよび縞パターン２４による第１のパ
ターンを走査すれば、テストチャートが斜行してもＭＴ
Ｆの測定が行えることになる。
トがθの角度だけ斜行した場合であり、副走査方向に対
する縞パターンの傾きは、２θあるいは“０”になる。
イメージセンサ１に対する縞パターンの傾きが“０”度
になった部分では正しいＶmin ，Ｖmax 値が保持できな
いが、２θになった部分では保持可能なので、副走査方
向に正または負の角度を持つ２種の縞パターン２３によ
る第１のパターンおよび縞パターン２４による第１のパ
ターンを走査すれば、テストチャートが斜行してもＭＴ
Ｆの測定が行えることになる。
【００４９】前述のθを斜行の発生する角度より充分大
きくすれば、縞パターンは片側だけでも良いが、センサ
素子の副走査方向から見た角度が大きくなると、図３で
の１ピッチ分縞パターンが主走査方向に移動する為に必
要な副走査方向の移動距離Ｌが短くなる。
きくすれば、縞パターンは片側だけでも良いが、センサ
素子の副走査方向から見た角度が大きくなると、図３で
の１ピッチ分縞パターンが主走査方向に移動する為に必
要な副走査方向の移動距離Ｌが短くなる。
【００５０】このため、Ｌの長さで読み取れるライン数
が減少し、ＭＴＦの測定分解能が悪化することになる。
が減少し、ＭＴＦの測定分解能が悪化することになる。
【００５１】例えば主走査方向のセンサ素子密度が８本
／ｍｍで、副走査方向の走査を７．７ライン／ｍｍで行
うメカニズムを使用する場合、テストチャート１の縞パ
ターンの傾きを１００ラインで１ピッチ（１２５μｍ）
分とすればその角度θMTF は数２で求められる。
／ｍｍで、副走査方向の走査を７．７ライン／ｍｍで行
うメカニズムを使用する場合、テストチャート１の縞パ
ターンの傾きを１００ラインで１ピッチ（１２５μｍ）
分とすればその角度θMTF は数２で求められる。
【００５２】
【数２】
【００５３】またテストチャート１を１％以内の斜行で
走査可能なメカニズムを使用すると斜行角度は数３で示
される。
走査可能なメカニズムを使用すると斜行角度は数３で示
される。
【００５４】
【数３】
【００５５】テストチャートが±１［％］で斜行した場
合、センサー素子から見た縞パターンの傾きは数４及び
数５で表わされる。
合、センサー素子から見た縞パターンの傾きは数４及び
数５で表わされる。
【００５６】
【数４】
【００５７】
【数５】
【００５８】すなわち、θmin はほぼ副走査方向と平行
になるのでこの領域では測定出来ない。θmax では測定
可能であり、１ピッチ（１２５μｍ）主走査方向に移動
するのに必要な副走査の距離Ｌは数６で表わされる。
になるのでこの領域では測定出来ない。θmax では測定
可能であり、１ピッチ（１２５μｍ）主走査方向に移動
するのに必要な副走査の距離Ｌは数６で表わされる。
【００５９】
【数６】
【００６０】１つのセンサ素子が白から黒に変化するの
に４９ラインが必要となる。従ってＭＴＦの分解能は約
２％で求められ、必要な測定精度はテストチャートの傾
きθMTF 、メカニズムの斜行角度θC によって検査時間
とのバランスを取って任意に設定可能である。
に４９ラインが必要となる。従ってＭＴＦの分解能は約
２％で求められ、必要な測定精度はテストチャートの傾
きθMTF 、メカニズムの斜行角度θC によって検査時間
とのバランスを取って任意に設定可能である。
【００６１】以上説明した実施例では、イメージセンサ
１の信号ＦＩＦＯを利用して減算回路、除算回路を利用
してＭＴＦを計算したが、例えばイメージセンサ１のデ
ジタル画像信号をメモリに書き込み、ＣＰＵがソフトウ
ェアによってデジタル画像信号を読み出して、Ｖmin,Ｖ
max を求め、さらにＶw ，ＶB を読み出してＭＴＦを算
出しても構わない。また単にＭＴＦと隣接ビットのショ
ートを検査する目的であればテストチャート１は縞パタ
ーンの部分のみとして、Ｖmax −ＦＩＦＯ６とＶmin −
ＦＩＦＯ７中のデータから数７によって各センサ素子毎
のＭＴＦ値を求め、所定値以下のＭＴＦ値を異常ビット
を判定する方法でも構わない。
１の信号ＦＩＦＯを利用して減算回路、除算回路を利用
してＭＴＦを計算したが、例えばイメージセンサ１のデ
ジタル画像信号をメモリに書き込み、ＣＰＵがソフトウ
ェアによってデジタル画像信号を読み出して、Ｖmin,Ｖ
max を求め、さらにＶw ，ＶB を読み出してＭＴＦを算
出しても構わない。また単にＭＴＦと隣接ビットのショ
ートを検査する目的であればテストチャート１は縞パタ
ーンの部分のみとして、Ｖmax −ＦＩＦＯ６とＶmin −
ＦＩＦＯ７中のデータから数７によって各センサ素子毎
のＭＴＦ値を求め、所定値以下のＭＴＦ値を異常ビット
を判定する方法でも構わない。
【００６２】
【数７】
【００６３】さらに、イメージセンサ１に対してメカニ
ズムの斜行角度θC が十分小さい精度で副走査方向に相
対的に移動可能な検査装置であれば、テストチャート１
の縞パターンは一方の傾きだけを持ったものでも構わな
い。
ズムの斜行角度θC が十分小さい精度で副走査方向に相
対的に移動可能な検査装置であれば、テストチャート１
の縞パターンは一方の傾きだけを持ったものでも構わな
い。
【００６４】また、テストチャートは反射型のものであ
っても、透過型のもので光源からイメージセンサに投影
するものであっても本実施例と同様に検査を行えること
は明らかである。
っても、透過型のもので光源からイメージセンサに投影
するものであっても本実施例と同様に検査を行えること
は明らかである。
【００６５】この検査を２次元型のイメージセンサに適
用しても構わない。それは特定の水平ラインや垂直ライ
ン方向で同じ処理を行えばどの場所のセンサ素子であっ
てもＭＴＦや隣接ビットショートを検査することが可能
な為である。
用しても構わない。それは特定の水平ラインや垂直ライ
ン方向で同じ処理を行えばどの場所のセンサ素子であっ
てもＭＴＦや隣接ビットショートを検査することが可能
な為である。
【００６６】その上、Ｖw （Ｓn ）信号４２はイメージ
センサのシェーディング波形をそのまま示し、ＶB （Ｓ
n ）信号４３も使用すればセンサ素子の欠陥の検査や、
明出力不均一性や隣接ビットのバラツキ特性の検査も同
時に行なえるので検査装置１台で各種試験を行うことが
可能である。
センサのシェーディング波形をそのまま示し、ＶB （Ｓ
n ）信号４３も使用すればセンサ素子の欠陥の検査や、
明出力不均一性や隣接ビットのバラツキ特性の検査も同
時に行なえるので検査装置１台で各種試験を行うことが
可能である。
【００６７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、イメージ
センサの全センサ素子毎のＭＴＦ値を測定し、所定値以
下を異常ビットと判定するのでセンサ素子の隣接ビット
ショート及び光学的欠陥による局所的なＭＴＦの低下で
あっても確実に検出可能であって、しかも定量的に検査
可能であるから、検査もれや欠陥の程度の判断に差が無
く、短時間で安定した検査が行なえる利点がある。
センサの全センサ素子毎のＭＴＦ値を測定し、所定値以
下を異常ビットと判定するのでセンサ素子の隣接ビット
ショート及び光学的欠陥による局所的なＭＴＦの低下で
あっても確実に検出可能であって、しかも定量的に検査
可能であるから、検査もれや欠陥の程度の判断に差が無
く、短時間で安定した検査が行なえる利点がある。
【００６８】しかも、測定精度や測定時間を必要な量だ
け自由に設定した検査が行なえるので、安価なメカニズ
ムであっても必要な精度で検査が可能であり、イメージ
センサを実装するファクシミリやイメージスキャナの装
置であってもイメージセンサ全幅のＭＴＦを簡単に求め
ることが可能であり、さらにメモリとＣＰＵによって装
置を制御している装置の場合は、実機上に検査ソフトウ
ェアを搭載しておき、テストモードに設定するとＭＴＦ
の検査をすることも可能で、しかもコスト上昇は無しで
行える為に生産ライン上の検査や、フィールドで検査す
ることも可能となる利点がある。
け自由に設定した検査が行なえるので、安価なメカニズ
ムであっても必要な精度で検査が可能であり、イメージ
センサを実装するファクシミリやイメージスキャナの装
置であってもイメージセンサ全幅のＭＴＦを簡単に求め
ることが可能であり、さらにメモリとＣＰＵによって装
置を制御している装置の場合は、実機上に検査ソフトウ
ェアを搭載しておき、テストモードに設定するとＭＴＦ
の検査をすることも可能で、しかもコスト上昇は無しで
行える為に生産ライン上の検査や、フィールドで検査す
ることも可能となる利点がある。
【００６９】さらに、本発明ではイメージセンサの基本
特性検査で必要な項目の検査も同時に行なえるので、特
に隣接ビットショートの検査の為だけに検査装置を変え
て測定したり、余分なテストチャートを走査する必要が
なく、検査時間を大幅に短縮できる利点がある。その
上、テストチャートがセンサ全幅でセンサ素子に完全に
一致したピッチを持つ必要が無いことから、テストチャ
ートも安価なものが使用出来る利点がある。
特性検査で必要な項目の検査も同時に行なえるので、特
に隣接ビットショートの検査の為だけに検査装置を変え
て測定したり、余分なテストチャートを走査する必要が
なく、検査時間を大幅に短縮できる利点がある。その
上、テストチャートがセンサ全幅でセンサ素子に完全に
一致したピッチを持つ必要が無いことから、テストチャ
ートも安価なものが使用出来る利点がある。
【図１】本発明によるイメージセンサ検査装置の一実施
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
【図２】図１に示すテストチャートとタイミング信号と
の関係を説明するため図である。
の関係を説明するため図である。
【図３】図１に示すテストチャートについて説明するた
めの図である。
めの図である。
【図４】図１に示す主走査方向における出力信号を説明
するため図である。
するため図である。
【図５】図１に示すテストチャートの斜行の状態を説明
するための図である。
するための図である。
【図６】従来のイメージセンサ検査方法を説明するため
の図である。
の図である。
１ イメージセンサ ２ テストチャート ３ Ａ／Ｄ変換器 ４ Ｖw −ＦＩＦＯ ５ ＶB −ＦＩＦＯ ６ Ｖmax −ＦＩＦＯ ７ Ｖmin −ＦＩＦＯ ８ コンパレータ ９ コンパレータ １０ セレクタ １１ セレクタ １２ 減算器 １３ 減算器 １４ コンパレータ １５ 除算器 １６ 制御回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０４Ｎ 5/335 Ｈ０１Ｌ 27/14 Ｚ
Claims (16)
- 【請求項１】 複数のセンサ素子を備え光のパターンを
画像信号に変換するイメージセンサを検査する検査装置
であって、前記センサ素子の配列ピッチと同等で明暗２
種の透過率又は反射率を有し予め定められた副走査方向
に対して所定の角度を有する縞模様状の第１のパターン
と、該第１のパターンの明部と同等の透過又は反射光量
を有し前記副走査方向に対して垂直な主走査方向に対し
て帯状の幅を有する第２のパターンと、前記第１のパタ
ーンの暗部と同等の透過率又は反射率を有し前記主走査
方向に対して帯状の幅を持つ第３のパターンと、前記第
１、前記第２、及び前記第３の各パターンの透過光又は
反射光を前記センサ素子に入射させる光学手段とを有
し、さらに、前記光学手段によって前記第１のパターン
を前記副走査方向に走査する際前記センサ素子毎にその
最大出力値及び最小出力値を検出して検出最大出力値及
び検出最小出力値とする検出手段と、前記検出最大出力
値を素子最大出力値として保持する第１のメモリと、前
記検出最小出力値を素子最小出力値として保持する第２
のメモリと、前記光学手段によって前記第２のパターン
を前記主走査方向に走査する際前記センサ素子毎にその
出力値を第１の素子出力値として保持する第３のメモリ
と、前記光学手段によって前記第３のパターンを前記主
走査方向に走査する際前記センサ素子毎のその出力値を
第２の素子出力値として保持する第４のメモリと、前記
センサ素子毎に前記素子最大出力値と前記素子最小出力
値との差分を演算して第１の差分値を求める第１の減算
手段と、前記センサ素子毎に前記第１の出力値と前記第
２の出力値との差分を演算して第２の差分値を求める第
２の減算手段と、前記センサ素子毎に前記第１の差分値
を前記第２の差分値で除算して除算値を得る除算手段と
を有し、前記除算値が所定値以下のとき異常ビットであ
ると判定するようにしたことを特徴とするイメージセン
サ検査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のイメージセンサ検査装
置において、前記第１のパターンは前記副走査方向に対
して正方向および負方向に所定の角度を有する２種のパ
ターンを備えていることを特徴とするイメージセンサ検
査装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載のイメージセンサ検査装
置において、前記所定の角度より小さい斜行角度で第１
のパターンは前記副走査方向に走査されるようにしたこ
とを特徴とするイメージセンサ検査装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載のイメージセンサ検査装
置において、前記第１のパターン、前記第２のパター
ン、及び前記第３のパターンはテストチャートに記載さ
れており、該テストチャートからの反射光が前記イメー
ジセンサに入射されるようにしたことを特徴とするイメ
ージセンサ検査装置。 - 【請求項５】 請求項１に記載のイメージセンサ検査装
置において、前記第１のパターン、前記第２のパター
ン、及び前記第３のパターンをそれぞれ投影する投影手
段を備え、該投影手段によって前記第１のパターン、前
記第２のパターン、及び前記第３のパターンを前記イメ
ージセンサに入射するようにしたことを特徴とするイメ
ージセンサ検査装置。 - 【請求項６】 請求項２に記載のイメージセンサの検査
装置において、前記所定の角度より小さい斜行角度で第
１のパターンは前記副走査方向に走査されるようにした
ことを特徴とするイメージセンサ検査装置。 - 【請求項７】 請求項２に記載のイメージセンサ検査装
置において、前記第１のパターン、前記第２のパター
ン、及び前記第３のパターンはテストチャートに記載さ
れており、該テストチャートからの反射光が前記イメー
ジセンサに入射されるようにしたことを特徴とするイメ
ージセンサ検査装置。 - 【請求項８】 請求項２に記載のイメージセンサ検査装
置において、前記第１のパターン、前記第２のパター
ン、及び前記第３のパターンをそれぞれ投影する投影手
段を備え、該投影手段によって前記第１のパターン、前
記第２のパターン、及び前記第３のパターンを前記イメ
ージセンサに入射するようにしたことを特徴とするイメ
ージセンサ検査装置。 - 【請求項９】 複数のセンサ素子を備え光のパターンを
画像信号に変換するイメージセンサを検査する検査装置
であって、前記センサ素子の配列ピッチと同等で明暗２
種の透過率又は反射率を有し予め定められた副走査方向
に対して所定の角度を有する縞模様状パターンと、該縞
模様状パターンを前記センサ素子に入射させる光学手段
とを有し、さらに、該光学手段によって前記縞模様状パ
ターンを前記副走査方向に走査する際前記センサ素子毎
にその最大出力値及び最小出力値をそれぞれ検出最大出
力値及び検出最小出力値として検出する検出手段と、前
記検出最大出力値を素子最大出力値として保持する第１
のメモリと、前記検出最小出力値を素子最小出力値とし
て保持する第２のメモリと、前記センサ素子毎に前記素
子最大出力値と前記素子最小出力値との差及び和を求め
該差と該和との比を演算して比値を得る演算手段とを有
し、該比値が所定値以下のとき異常ビットと判定するよ
うにしたことを特徴とするイメージセンサ検査装置。 - 【請求項１０】 請求項９に記載のイメージセンサ検査
装置において、前記縞模様状パターンは前記副走査方向
に対して正方向および負方向に所定の角度を有する２種
のパターンを備えていることを特徴とするイメージセン
サ検査装置。 - 【請求項１１】 請求項９に記載のイメージセンサ検査
装置において、前記所定の角度より小さい斜行角度で前
記縞模様状パターンは前記副走査方向に走査されるよう
にしたことを特徴とするイメージセンサ検査装置。 - 【請求項１２】 請求項９に記載のイメージセンサ検査
装置において、前記縞模様状パターンはテストチャート
に記載されており、該テストチャートからの反射光が前
記イメージセンサに入射されるようにしたことを特徴と
するイメージセンサ検査装置。 - 【請求項１３】 請求項９に記載のイメージセンサ検査
装置において、前記縞模様状のパターンを投影する投影
手段を備え、該投影手段によって前記縞模様状パターン
を前記イメージセンサに入射するようにしたことを特徴
とするイメージセンサ検査装置。 - 【請求項１４】 請求項１０に記載のイメージセンサ検
査装置において、前記所定の角度より小さい斜行角度で
前記縞模様状パターンは前記副走査方向に走査されるよ
うにしたことを特徴とするイメージセンサ検査装置。 - 【請求項１５】 請求項１０に記載のイメージセンサ検
査装置において、前記縞模様状パターンはテストチャー
トに記載されており、該テストチャートからの反射光が
前記イメージセンサに入射されるようにしたことを特徴
とするイメージセンサ検査装置。 - 【請求項１６】 請求項１０に記載のイメージセンサ検
査装置において、前記縞模様状のパターンを投影する投
影手段を備え、該投影手段によって前記縞模様状パター
ンを前記イメージセンサに入射するようにしたことを特
徴とするイメージセンサ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5330235A JP2723021B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | イメージセンサ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5330235A JP2723021B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | イメージセンサ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190851A JPH07190851A (ja) | 1995-07-28 |
| JP2723021B2 true JP2723021B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=18230378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5330235A Expired - Fee Related JP2723021B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | イメージセンサ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2723021B2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5330235A patent/JP2723021B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07190851A (ja) | 1995-07-28 |
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Legal Events
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