JP2719474B2 - 液晶表示装置における輝点欠陥画素の遮光方法およびその実施に用いるマスキングテープ貼着・剥離装置 - Google Patents

液晶表示装置における輝点欠陥画素の遮光方法およびその実施に用いるマスキングテープ貼着・剥離装置

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JP2719474B2
JP2719474B2 JP34731891A JP34731891A JP2719474B2 JP 2719474 B2 JP2719474 B2 JP 2719474B2 JP 34731891 A JP34731891 A JP 34731891A JP 34731891 A JP34731891 A JP 34731891A JP 2719474 B2 JP2719474 B2 JP 2719474B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置に置ける
輝点欠陥画素の遮光方法およびその実施に用いるマスキ
ングテープ貼着・剥離装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、画像をスクリーンに拡大投影する
プロジェクション装置において、液晶表示パネルが用い
られている。このプロジェクション装置では、表示用画
素がマトリクス状に配列された透過型液晶パネルの一方
表面から表示用照明光を照射し、他方表面から出射する
出射光をスクリーン上に拡大投影して画素表示を行う。
前述のプロジェクション装置に使用される液晶パネルの
一例としてアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネル
がある。この液晶パネルは、貼り合わされる一対のガラ
スなどからなる透光性基板のうちの一方の基板上にマト
リクス状に配設される画素電極にTFT(薄膜トランジ
スタ)を接続し、該TFTのスイッチング動作によって
各画素電極の選択および非選択を行って表示動作を行
う。このため、単純マトリクス駆動方式の欠点である非
選択時のクロストークが発生せず、高画質の表示画面を
実現できる。
【0003】前記TFTは、基板上にゲート電極、ソー
ス電極およびドレイン電極などを積層した多層構造であ
るため、これらの金属薄膜を基板上に積層する工程と、
該金属薄膜をパターニングする工程とが繰り返し行われ
る。このため、欠陥のない完全なTFTを作成するため
には、各製造工程において各種設定条件を維持、管理す
るために多大な努力を要する。
【0004】従って、場合によっては正常なTFT特性
が得られていない欠陥TFTが発生することもあり、欠
陥が修復可能なものは、その欠陥内容によってそれぞれ
の修正技術を用いて修復が図られる。このようなTFT
の欠陥の一例として、回路形成パターン上での修復がで
きず、表示駆動した場合に、TFTに接続された画素電
極に相当する画素が輝点となって表示画面上で認識され
るいわゆる輝点欠陥がある。
【0005】前述のような不良絵素の発生を防止するた
めに、従来では例えば各画素電極に2本の配線を接続し
ておき、1本の配線が破損しても表示に影響は生じない
ようにしている。また、各画素を2つに分割して複数の
電極で1画素を表示し、1つの電極に電圧を印加するこ
とはできない場合には残りの電極で画素の表示を行って
いる。
【0006】しかしながら、各画素に2本の配線を接続
したり、1画素を2つに分割して複数の電極で1画素を
表示するような液晶表示装置では、駆動回路が複雑にな
り、回路の設計及び製造が困難であるという問題があ
る。また、回路が複雑になり、配線数が増加するため、
配線を形成する面積を増加しなければならず、各電極面
積が縮小され、表示の輝度が低下するという問題があ
る。
【0007】また、複数の電極で1画素を表示する場合
には、表示を行う駆動回路に負担がかかるという問題が
ある。
【0008】さらに、上述のような従来の技術を用いる
ことによっても、各画素に接続されている2本の配線の
いずれもが破損した場合、1画素を表示する複数の電極
のそれぞれに接続されている各配線が破損した場合に
は、輝点の発生を防ぐことができない。
【0009】そこで、本願発明者は、不良画素に対応す
る領域からの光の漏れを防止し、表示品位を向上させ得
る液晶表示装置における輝点欠陥遮光方法を先に提案し
ている(特願平3−252319号)。この方法は、液
晶表示装置を構成する一対の透光性基板のうち少なくと
も一方の基板の液晶層とは反対側表面に、予め所定寸法
に切断したマスキングテープを接着剤等を用いて貼着
し、前記マスキングテープ部分であって不良画素に対応
する領域に凹所を形成し、該凹所に遮光性樹脂を充填し
て、この遮光性樹脂によって不良画素に対応する領域か
らの光の漏れを防止するようにし、最後にマスキングテ
ープをする剥離する方法である。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来方
法による場合には、小片に切断されたマスキングテープ
1つずつを基板上の輝点欠陥部分毎に貼着し、その後各
テープを1つずつ剥離する必要があり、作業が煩雑とな
っていた。特に、テープを1つずつ剥離するのに長時間
を要していた。
【0011】本発明は、このような課題を解決すべくな
されたものであり、マスキングテープの貼着・剥離、特
に剥離を容易に行うことができる液晶表示装置における
輝点欠陥画素の遮光方法およびそれに用いると好適なマ
スキングテープ貼着・剥離装置を提供することを目的と
する。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置に
おける輝点欠陥画素の遮光方法は、一対の透光性基板間
に液晶層を介在させてなる液晶表示装置にマトリクス状
に複数備わった画素の輝点欠陥画素を遮光する方法にお
いて、該一対の透光性基板のうち少なくとも一方の基板
の欠陥画素部分を含む領域に、ロール状に巻かれたマス
キングテープを解いた部分の一部を貼着する工程と、該
欠陥画素部分の基板に、該マスキングテープを貫通する
凹部を形成する工程と、該凹所に遮光材料を充填する工
程と、該マスキングテープ全体を移動させてマスキング
テープの貼着部を基板から剥離する工程と、を含んでお
り、そのことにより上記目的を達成することができる。
【0013】本発明のマスキングテープ貼着・剥離装置
は、一対の透光性基板間に液晶層を介在させてなる液晶
表示装置の一方の基板に、ロール状に巻かれたマスキン
グテープを解いた部分の一部を貼着した後に剥離するマ
スキングテープ貼着・剥離装置であって、該基板に対し
て接離可能に設けられた支持部材と、該支持部材に設け
られたマスキングテープを取り付けるための取付け部お
よびマスキングテープを巻取るための巻取り部と、該取
付け部と巻取り部との間にあるマスキングテープ部分の
基板とは反対側の面に当接するとともに、マスキングテ
ープの当接部を、該支持部材の基板への接近動作によ
り、基板に押し当てる1以上の当接ローラと、マスキン
グテープを基板に押し当てた状態のまま、該当接ローラ
を基板表面に沿って移動させる手段と、を具備してお
り、そのことにより上記目的を達成することができる。
【0014】
【作用】本発明にあっては、ロール状に巻かれたマスキ
ングテープの解かれた部分の一部を、基板の輝点欠陥画
素部分に貼着し、その後、マスキングテープ全体を基板
から離れる方向に移動させるので、マスキングテープの
貼着部を基板から簡単に剥離させることができる。
【0015】
【実施例】図4は、本発明の一実施例である液晶表示装
置1の構成を示す断面図である。液晶表示装置1は、ガ
ラスなどからなる透光性を有する透明基板2、3を対向
して配置し、透明基板2の透明基板3に対向する表面に
は、ITO(インジウム錫酸化物)などからなる1枚の
全面電極4が形成され、さらにその表面にはポリイミド
などの樹脂からなる配向膜5が形成される。また、透明
基板3の透明基板2に対向する表面には固形状の画素電
極6が複数個、マトリクス状に配置され、さらにその表
面には配向膜7が形成される。
【0016】透明基板2、3は、電極4、6がそれぞれ
形成された表面が対向するように配置され、基板間に液
晶層8を介在して構成される。前記画素電極6には、そ
れぞれ図示しないTFTが接続されている。
【0017】液晶表示装置1においては、全面電極4と
画素電極6とが重なり合う領域が画素領域とされる。本
実施例では、画素電極6aに輝点欠陥が発生しているも
のとする。この輝点欠陥の発生した画素電極6aは、配
線の断線、あるいはTFTの特性不良などによって、対
応する液晶層8に正常な駆動電圧を印加することができ
ず、画素電極6aを含む領域A1は不良画素領域とな
る。該不良画素領域A1は、画素電極6aへの電圧の印
加/無印加に関わらず、光を透過する表示しか行うこと
ができない。従って、周囲の画素電極6に電圧が印加さ
れた場合、周囲の画素領域は光を遮断するけれども、不
良画素領域A1では光を透過するため輝点となり、表示
品位が低下する。本発明では、図4に示すように、不良
画素領域A1に、遮光部9を設けることによって、不良
画素領域A1を光が透過せず、輝点となることが防止さ
れる。
【0018】遮光部9は、基板3側のみに形成してもよ
いし、また、基板2、3の両方に形成してもよい。
【0019】図5は、液晶表示装置1の利用例を説明す
るための図である。ここでは、液晶表示装置1を、いわ
ゆる投影形表示装置の表示パネルとして使用している。
図示しない光源からの光源光11は、コンデンサレンズ
12を介して表示パネルである液晶表示装置1の透明基
板2側から入射し、透明基板3側からの出射光は投影レ
ンズ13を介して図示しないスクリーンに照射される。
これによって液晶表示装置1に表示された画像がスクリ
ーン上に拡大投影される。
【0020】このとき不良画素領域A1への入射光の光
路上には図4に示すように遮光部9が設けられ、入射光
は遮光される。従って、不良画素領域A1からの出射光
14がスクリーン上に照射されることはなく、拡大投影
された画像において輝点として表示されることはない。
【0021】このように、投影形表示装置では、液晶表
示装置1においては小さな輝点であっても、画像が拡大
されるため前記輝点もスクリーン上では拡大されて表示
される。従って、本発明のように不良画素領域A1に対
応する領域に遮光部9を設け、入射光を遮断することに
よって、前記輝点の拡大表示を防止することができる。
これによって、画像の表示品位が格段に向上する。
【0022】図6は、液晶表示装置1の平面図である。
前記遮光部9は、図6(1)に示すように、画素電極6
aを覆う正方形である。該遮光部9は、縦150μm、
横150μm、深さ100μmに選ばれる。また、図6
(2)に示すように、円形であってもよいし、またその
他の形状であっても画素電極6aを含む形状であれば如
何なる形状であってもよい。
【0023】図7は、本発明の輝点欠陥画素の遮光方法
を実施する際の工程図であり、図8はその遮光方法を説
明するための断面図である。本実施例では、図8(1)
に示すように、透明基板2側に遮光部9を形成する場合
を説明する。
【0024】工程a1では、図8(2)に示すように、
透明基板2の不良画素領域1の近傍部分にマスキングテ
ープ16が、後述するマスキングテープ貼着・剥離装置
により貼着される。本実施例では、マスキングテープ1
6として、厚さ50μm程度のセロファンテープの片面
に接着剤が塗布されたものを使用した。
【0025】工程a2では、図8(3)に示すように、
エキシマレーザなどを照射することによって、凹所17
を形成する。凹所17は、例えば縦150μm、横15
0μm、深さ100μmに選ばれる。
【0026】工程a3では、図8(4)に示すように、
例えば紫外線硬化形樹脂を含むインク18を凹所17内
に充填する。その後、工程a4では、図8(5)に示す
ように、マスキングテープ16上に溢れ出たインク18
を拭き取る。工程a5では、図8(6)に示すように、
マスキングテープ16を剥離し、その後紫外線を照射し
て前記インク18を固めることによって遮光部9を形成
する。
【0027】図1及び図2は、上記マスキングテープ貼
着・剥離装置を示す図である。このマスキングテープ貼
着・剥離装置は、図2に示すように、支持部材を構成す
るアーム51と、アーム51の先端部52に立設した2
つの支柱53a、53bとを備える。支柱53aの基端
側、つまりアーム51側にはマスキングテープ取付け部
を構成する取付ローラ54aが設けられ、この取付ロー
ラ54aにロール状に巻かれたマスキングテープ16が
取り付けられている。
【0028】取付ローラ54aに取り付けられたマスキ
ングテープ16が解かれた開放端側は、支柱53aの先
端側にそれぞれ設けられたガイド部材55a、案内ロー
ラ56aおよび当接ローラ57aをこの順に経て、支柱
53b側に導かれる。
【0029】もう一方の支柱53bの先端側には、当接
ローラ57b、案内ローラ56b及びガイド部材55b
が設けられ、支柱53bの基端側にはマスキングテープ
巻取り部を構成する巻取ローラ54bが設けられてい
る。支柱53b側に導かれたマスキングテープ16は、
当接ローラ57b、案内ローラ56b及びガイド部材5
5bをこの順に経て、巻取ローラ54bに巻取られてい
く。マスキングテープ16は片面を接着剤の着いた接着
面となし、もう一方の片面を接着剤の着かない非接着面
となして形成され、接着面側を外側として透明基板2に
向けられてセットされる。
【0030】上記案内ローラ56a、56bは位置を固
定した支持棒60a、60bに設けられており、当接ロ
ーラ57a、57bは軸57a´、57b´の回りに回
動可能に設けられた支持棒61a、61bに取付られて
いる。支持棒61a、61bには、図3に示すように支
柱53a、53bの内側にそれぞれ設けたソレノイド6
2a、62bのプランジャー63a、63bが取付られ
ており、支持棒61a、61bの回動は、ソレノイド6
2a、62bのオン・オフ動作により行われる。両ソレ
ノイド62a、62bのオン・オフ動作は同期して行わ
れる。なお、支持棒61a、61bの回動は、上記以外
の方式により行うようにしてもよく、例えばY状になし
た牽引具の下側の2つに支持棒61a、61bを取付
け、上側の1つにソレノイド等の駆動源を取付け、その
駆動源を駆動させて牽引具の上を引き上げ、戻すときに
は図示しないスプリングにより支持棒61a、61bを
逆方向に回転させる方式等でもよい。
【0031】上述した支持棒61a、61bの回動によ
り、当接ローラ57a、57bはマスキングテープ16
を透明基板2に押し付けたままで、接近した状態から離
隔した状態へなるようにして透明基板2の表面に沿って
移動する。これによりマスキングテープ16は、あたか
も指で押さえ付けられたようにして透明基板2の不良画
素領域A1の近傍部分に貼着される。マスキングテープ
16の貼着部分の剥離は、アーム51を上昇させること
により行われる。
【0032】このようにして貼着、剥離が行われる際、
液晶表示装置1に静電気が発生する虞れがあるので、上
記マスキングテープ貼着・剥離装置には支柱53aにア
ース部材58が取付けられ、アーム51の先端部52に
エアーブロアー59が取付けられており、マスキングテ
ープ16を貼着して剥離するまで、アース部材58が液
晶表示装置1に接触してアースし、かつ、エアーブロア
ー59から液晶表示装置1にエアーが吹き付けられる。
この結果として、静電気により液晶表示装置1が破壊さ
れるのを防止することが可能となる。
【0033】上述したアーム51の上昇の際には、前記
ソレノイドをオフして当接ローラ57a、57bが離隔
した状態から接近した状態に戻され、次の貼着への待機
状態になる。この待機状態のときに、巻取ローラ54b
はマスキングテープ16を一定長さ分だけ巻き取り、レ
ーザ照射のされていない部分を次の貼着に使用できるよ
うにする。なお、レーザ照射に支障がないように、アー
ム51の先端部52にはレーザ通過口52aが開設され
ている。
【0034】図9は、本発明の他の実施例を説明するた
めの図である。マスキングテープ16の厚みを調整する
ことによって、インク拭き取り時のインク18の厚みを
調整することができる。従って、図9(1)に示すよう
に、透明基板2の表面と均一となるような厚みにするこ
とも可能であり、また比較的マスキングテープ16の厚
みを大きく選ぶことによって、図9(2)に示すよう
に、透明基板2の表面から盛り上がった形に形成するこ
とも可能である。
【0035】図10および図11は、本発明における比
較例を説明するための図である。図10では、前記紫外
線硬化形樹脂を含むインク18を、直接透明基板2の不
良画素領域A1上に塗布している。この図10に示す比
較例では、透明基板2の表面の汚れを拭き取るなどの外
的要因によって遮光部9が剥がれ易く、かつ膜厚はイン
ク18の表面張力によって決定されるので、調整するこ
とが難しく、また膜全体の厚さを均一にすることも困難
である。
【0036】図11では、透明基板2上にマスキングテ
ープ16を貼着せずに直接凹所を形成し、該凹所に前記
紫外線硬化形樹脂を含むインク18を充填している。図
11に示す比較例では、充填するインク量が少なすぎる
と、図11(1)に示すように凹所に充分インク18を
充填することができないため、比較的インク量を多くし
て凹所に充填する必要がある。この場合、図11(2)
に示すように、凹所からインク18が溢れ出てしまうた
め、拭き取る必要がある。このとき、図11(3)に示
すように、凹所の中心部分のインク18も同時に拭き取
られてしまうため、前述の図9に示すように、基板表面
と均一あるいは基板表面よりも盛り上げて遮光部9を形
成することは非常に困難であり、充分な膜厚を確保する
ことができない。
【0037】なお、凹所の大きさは、液晶表示装置の画
素に対応して決定されるため、通常数十μm〜百数十μ
m角に選ばれる。
【0038】図12は、凹所17の形成に用いられる凹
所形成装置30の側面図である。レーザ発振器31から
出射されたレーザビーム32は、不良画素領域A1上に
形成する凹所17の外形サイズが拡大された形状のパタ
ーンが形成されているスリットパターン33を通り、紫
外線反射ミラー34で反射された後、レンズ35を経て
載置台36上に載置された液晶表示装置1の不良画素領
域A1に集光されて照射される。
【0039】レーザビーム32は、スリットパターン3
3を介して縮小スリット露光するため、不良画素領域A
1の位置に精度よく照射される。また、遮断片6を方形
の不良画素領域A1に対応する形状に形成することは困
難だけれども、スリットパターン33を用いることによ
って、凹所17を方形に形成することができ、形成領域
を小さくすることができる。また、載置台36は、例え
ば水平面内においてX−Y直交2軸方向に移動可能にな
っており、該載置台36の移動によってレーザビーム3
2を所望の不良画素領域A1に照射することができる。
【0040】図13は、本発明に用いられる遮光部形成
装置20を示す図であり、図13(1)は後述する図1
4の工程b1を示す図であり、図13(2)は図14の
工程b5を示す図である。
【0041】フレーム49によって水平に設置されてい
るレール40の下面側に、レール40に沿って摺動する
摺動部材41が設置されている2つのストッパ42a、
42bによって規定される。
【0042】摺動部材41には図13の下方に向かって
支持部材43が設置されており、支持部材43には図1
3の上下方向に摺動自在に摺動片44が設置されてい
る。摺動片44には図13の下方に向かって針45が設
置されている。
【0043】摺動部材41にバネ46の一端が接続され
ており、バネ46の他端は摺動片44に接続されてい
る。摺動片44は、バネ46によって摺動部材41方向
にバネ付勢されている。
【0044】前述の構造の図13の下方には、台48が
載置されている。台48上には遮光部9となるインク1
8の入った容器47と、不良画素領域A1を有する液晶
表示装置1とが設置されている。インク18は紫外線硬
化樹脂を含み、紫外線照射処理前は液体である。
【0045】摺動部材41をストッパ42aと接触さ
せ、摺動片44を降下させてインク18が針45に付着
する位置に、容器47は設置されている。また、摺動部
材41をストッパ42aと接触させ、摺動片44を降下
させて針45が接触する位置Pに不良画素領域A1がく
るように、液晶表示素子1が設置されている。
【0046】図14は、図13に示した遮光部形成装置
20を用いて、遮光部9を形成する工程を説明する工程
図である。工程b1では、図13(1)に示すように、
摺動部材41をストッパ42aに接触する位置に摺動さ
せる。この位置では、針45がインク18上に位置す
る。工程b2では、摺動片44を降下して針45の先端
にインク18を付着させる。
【0047】工程b3では、ストッパ42bに摺動部材
41を接触させて、摺動片44を降下したときに針45
が接触する位置Pに、液晶表示装置1の不良画素領域A
1がくるように液晶表示装置1を位置決めする。
【0048】工程b4では、摺動部材41をストッパ4
2bに接触するまで摺動させ、工程b5では、図13
(2)に示すように、摺動片44を降下させて不良画素
領域A1上に針45の先端を接触させ、インク18を付
着する。
【0049】その後、インク18に紫外線を照射して硬
化させる。インク18は硬化するとともに、液晶表示装
置1上に固着される。
【0050】形成される遮光部9の大きさは、針45の
先端形状や太さ、容器47内のインク18の膜厚などに
よって任意に選ばれる。
【0051】以上のように本実施例によれば、不良画素
領域A1を透過する光の光路を遮断することによって、
不良画素からの光の漏れを防止することができ、表示品
位を向上することができる。
【0052】上記実施例では2つの当接ローラを使用し
ているが、本発明はこれに限らず、1つの当接ローラを
不良画素領域A1の近傍部分全域を往復動させる構成に
しても実施できる。例えば、図15に示すように、2本
の支持体70a、70bを平行に設けると共に、その支
持体70a、70bに設けた軸支持部(図示せず)に当
接ローラ71の軸72の両端を回動可能に支持させ、前
記軸支持部を支持体70a、70bに沿って移動させる
ようにしてもよい。なお、当接ローラ71を待機させて
おく位置としては、凹所形成のためのレーザ照射に支障
がないように端の方に寄った位置としておく。また、本
発明は3以上の当接ローラを使用してもよい。
【0053】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ロール
状に巻かれたマスキングテープの解かれた部分の一部
を、基板の輝点欠陥画素部分に貼着し、その後、マスキ
ングテープ全体を基板から離れる方向に移動させるの
で、マスキングテープの貼着部を基板から簡単に剥離さ
せることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマスキングテープ貼着・剥離装置の動
作を示す図である。
【図2】図1のマスキングテープ貼着・剥離装置の構成
を示す斜視図である。
【図3】図1のマスキングテープ貼着・剥離装置に設け
られた当接ローラの回動機構を示す図である。
【図4】本発明の一実施例である液晶表示装置1の構成
を示す断面図である。
【図5】液晶表示装置1の利用例を説明するための図で
ある。
【図6】液晶表示装置1の平面図である。
【図7】本発明の輝点欠陥画素の遮光方法を説明するた
めの工程図である。
【図8】その遮光方法を説明するための断面図である。
【図9】本発明の他の実施例を説明するための図であ
る。
【図10】本発明における比較例を説明するための図で
ある。
【図11】本発明における比較例を説明するための図で
ある。
【図12】凹所形成装置30の側面図である。
【図13】遮光部形成装置20の側面図である。
【図14】遮光部の形成方法を説明する工程図である。
【図15】本発明のマスキングテープ貼着・剥離装置に
備わった当接ローラを移動させる他の機構を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 液晶表示装置 2、3 透明電極 6 画素電極 8 液晶層 9 遮光部 16 マスキングテープ 17 凹所 18 インク(遮光材料) A1 不良画素領域 51 アーム 52 先端部 53a 支柱 53b 支柱 54a 取付ローラ(取付け部) 54b 巻取ローラ(巻取り部) 57a 当接ローラ 57b 当接ローラ 62a ソレノイド 62b ソレノイド

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の透光性基板間に液晶層を介在させ
    てなる液晶表示装置にマトリクス状に複数備わった画素
    の輝点欠陥画素を遮光する方法において、 該一対の透光性基板のうち少なくとも一方の基板の欠陥
    画素部分を含む領域に、ロール状に巻かれたマスキング
    テープを解いた部分の一部を貼着する工程と、 該欠陥画素部分の基板に、該マスキングテープを貫通す
    る凹部を形成する工程と、 該凹所に遮光材料を充填する工程と、 該マスキングテープ全体を移動させてマスキングテープ
    の貼着部を基板から剥離する工程と、 を含む液晶表示装置における輝点欠陥画素の遮光方法。
  2. 【請求項2】 一対の透光性基板間に液晶層を介在させ
    てなる液晶表示装置の一方の基板に、ロール状に巻かれ
    たマスキングテープを解いた部分の一部を貼着した後に
    剥離するマスキングテープ貼着・剥離装置であって、 該基板に対して接離可能に設けられた支持部材と、 該支持部材に設けられたマスキングテープを取り付ける
    ための取付け部およびマスキングテープを巻取るための
    巻取り部と、 該取付け部と巻取り部との間にあるマスキングテープ部
    分の基板とは反対側の面に当接するとともに、マスキン
    グテープの当接部を、該支持部材の基板への接近動作に
    より、基板に押し当てる1以上の当接ローラと、 マスキングテープを基板に押し当てた状態のまま、該当
    接ローラを基板表面に沿って移動させる手段と、 を具備するマスキングテープ貼着・剥離装置。
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