JP2796231B2 - 液晶表示装置及び液晶表示装置の欠陥修正方法 - Google Patents

液晶表示装置及び液晶表示装置の欠陥修正方法

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JP2796231B2
JP2796231B2 JP5144752A JP14475293A JP2796231B2 JP 2796231 B2 JP2796231 B2 JP 2796231B2 JP 5144752 A JP5144752 A JP 5144752A JP 14475293 A JP14475293 A JP 14475293A JP 2796231 B2 JP2796231 B2 JP 2796231B2
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康伸 田草
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一対の透明基板間に液
晶が封入され、表示用の絵素がマトリクス状に配列され
た透過型液晶パネルにおいて、照明光入射側透明基板に
マイクロレンズアレイ基板が貼り合わされた高輝度液晶
表示装置及び液晶表示装置の輝点欠陥を修正する方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】プロジェクション型液晶表示装置に使用
されるアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネルは、
一対のガラス基板の一方のガラス基板上にマトリクス状
に配設した絵素電極と、各絵素電極にそれぞれ接続され
るTFT(薄膜トランジスタ)を備え、このTFTのス
イッチング動作により各絵素電極に電圧印加の選択、非
選択を行って表示動作を行う。
【0003】ところでTFTはガラス基板上にゲ−ト電
極やソ−ス電極およびドレイン電極、絶縁層、半導体層
等を積層した多層構造であるため、これらの各層をガラ
ス基板上に積層する工程と、これら各層をパタ−ニング
する工程が繰り返し行われる。このため欠陥のない完全
なTFTを作製するには、製造工程において各種条件を
厳しく維持、管理するために非常な努力を要する。
【0004】それ故、場合によっては正常なTFT特性
が得られていない欠陥TFTを発生することもあり、欠
陥が修復可能ものはその欠陥の種類により、それぞれの
修正技術を用いて修復が図られる。このようなTFTの
欠陥の一例として、回路形成パタ−ン上での修復ができ
ず表示駆動した場合に、TFTに接続された絵素が輝点
となって表示画面上で認識される輝点欠陥がある。
【0005】この輝点欠陥の修正方法として、本件出願
人が出願した特願平3−36279号があり、図10に
示す。この構成は輝点絵素9を照射する照明光12の照
射経路上に位置する出射側の透明基板11の表面付近
(修正部31)に凹部32が形成され、該凹陥加工部3
2の底面32A、および側面32Bを粗面化処理するこ
とにより輝点絵素の透過光を抑制し、該輝点絵素の輝度
低減を行うものである。
【0006】また、本件出願人は、マイクロレンズアレ
イ基板33を貼り合わせた高輝度タイプの液晶表示装置
に対して輝点絵素の修正を施した液晶表示装置の構造及
び輝点絵素の修正方法を特願平5−104582号で出
願した。図11はその構造を示し、液晶表示パネルに発
生した輝点欠陥絵素9を照射する照明光12の照射経路
上に位置する入射側透明基板10の表面付近(修正部3
5)に凹陥加工部36が形成され、該凹陥加工部の底面
36A、側面36Bを粗面化処理するものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、マイクロレ
ンズアレイ基板を貼り合わせた高輝度タイプの液晶表示
装置において、より修正率を高くすることが可能な輝点
絵素の修正を施した液晶表示装置を得ることであり、ま
た輝点絵素を修正をする修正方法を課題とする。
【0008】図11の構造において、凹陥加工部36に
マイクロレンズアレイ基板33とガラス基板10を接着
する接着剤37が侵入して充満することがある。あるい
は凹陥加工部36に完全に接着剤37が入り込むことは
ないが、空洞を小さくしてしまう。マイクロレンズアレ
イ基板とガラス基板を貼り合わせる接着剤32は、透明
ガラス基板2の屈折率にほぼ等しく透過率の高い材質が
選ばれているので、凹陥加工部18に接着剤32が充填
すると透明基板2との屈折率差が得られず、そのため照
明光12を十分に屈折または減衰、遮光することができ
ない。そのため照明光12が輝点欠陥絵素9に入射し輝
点絵素の修正を十分に達成することができない。
【0009】本発明は上記問題を解消して輝点欠陥絵素
の修正率を向上させることを目的とし、液晶パネルの輝
点欠陥を照射する照明光の照射光路の全部にわたって照
明光を減衰させることを可能にする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の液晶表示
装置は、入射側透明基板と、反対側透明基板と、前記入
射側透明基板と反対側透明基板間に封入された液晶とか
らなる透過型液晶パネルと、前記入射側透明基板表面に
貼り合わせられ、透過型液晶パネルが形成するマトリク
ス状の各絵素領域に対応して配置されたマイクロレンズ
を有するマイクロレンズアレイ基板と、前記マイクロレ
ンズアレイ基板方向より表示用の照明光を照射する光源
手段とを有する液晶表示装置において、前記透過型液晶
パネルに発生した輝点欠陥絵素を照射する照明光の照射
経路上に位置する入射側透明基板の表面付近に表面側に
外形が大きく、液晶側に外形が小さい2段凹陥加工部を
形成した構造である。上記2段凹陥加工部の外形は、円
形、四角形、楕円形、五角形その他形状をとることがで
きる。
【0011】また本発明は、前記マイクロレンズアレイ
基板を入射側透明基板に貼り合わせする工程前に、輝点
欠陥を検出する工程と、該輝点欠陥が発生している絵素
を照射する照明光の照射経路上に位置する入射側透明基
板の表面付近に、外形の大きい凹陥加工部と、その中心
部に形成した外形の小さい凹陥加工部とからなる2段凹
陥加工部を形成する工程とを備える液晶表示装置の欠陥
修正方法である。
【0012】上記2段凹陥加工部は最初に外形の大きい
凹陥加工部を形成した後、その中心部分に外形の小さい
凹陥加工部を形成する方法と、逆に外形の小さい凹陥加
工部を深く形成した後、外形の大きい凹陥加工部を形成
する方法がある。この凹陥加工部はエキシマレーザビー
ムを用いたレーザーエッチングにより実施される。
【0013】本発明の第2の液晶表示装置は、入射側透
明基板と、反対側透明基板と、前記入射側透明基板と反
対側透明基板間に封入された液晶とからなる透過型液晶
パネルと、前記入射側透明基板表面に貼り合わされ、透
過型液晶パネルが形成するマトリクス状の各絵素領域に
対応して配置されたマイクロレンズを有するマイクロレ
ンズアレイ基板と、前記マイクロレンズアレイ基板方向
より表示用の照明光を照射する光源手段とを有する液晶
表示装置において、前記透過型液晶パネルに発生した輝
点欠陥絵素を照射する照明光の照射経路上に位置する入
射側透明基板の表面付近に凹陥加工部を形成し、該凹陥
加工部に前記入射側透明基板より透過率の低い樹脂を充
填する構造である。
【0014】また、本発明は前記マイクロレンズアレイ
基板を入射側透明基板に貼り合わせする工程前に、輝点
欠陥を検出する工程と、該輝点欠陥が発生している絵素
を照射する照明光の照射経路上に位置する入射側透明基
板の表面付近に凹陥加工部を形成する工程と、該凹陥加
工部に入射側透明基板より透過率の低い樹脂を充填する
工程とを行うことを特徴とする液晶表示装置の欠陥修正
方法である。 また本発明は、凹陥加工部に充填する樹
脂として高透過率の樹脂を用い、マイクロレンズアレイ
基板を貼り合わせた後、該樹脂を変色又は黒色化する。
また好ましくは、前記の高透過率樹脂はマイクロレンズ
アレイ基板と入射側の透明基板を貼り合わせるために用
いるのと同一材料を用いる。
【0015】
【作用】上記のように凹陥加工部をマイクロレンズの直
下に接近して形成し、該凹陥加工部を2段構造にする。
このことにより、マイクロレンズアレイ基板と入射側透
明基板を貼り合わせる接着剤は2段目の外形が小さい凹
陥加工部まで入り込むことはなく、確実に空洞を形成す
ることができる。
【0016】また凹陥加工部に透過率の低い樹脂を充填
することにより透過率の低い層を確実に形成することが
できる。
【0017】マイクロレンズの直下に形成した凹陥加工
部は、マイクロレンズによって照明光を集光する効果が
まだ発揮されない段階であるため、凹陥部内での入射光
の減光効果も大きい。また凹陥加工部内に気泡がないた
め、修正部の信頼性が高い。またマイクロレンズ基板組
付後に前記樹脂を変色させれば、適切な減光量を得るこ
とができる。また前記凹陥加工部の内表面を粗面化すれ
ば樹脂と透明基板との密着性が向上し、信頼性が高くな
る。
【0018】また、マイクロレンズ直下に接近して凹陥
部を形成したたため、修正サイズはマイクロレンズサイ
ズと同等、すなわち1絵素サイズで光り漏れが発生しな
い。この結果、輝点絵素の存在が周囲の正常絵素に対し
て目立たない状態になる。すなわち輝点絵素が修正され
たことになる。
【0019】
【実施例】以下本発明の一実施例を説明する。
【0020】図1は本発明の一実施例にかかる欠陥の修
正方法の一工程を模式的に示しており、エキシマレ−ザ
−発振器1から出射されたレ−ザ−ビ−ム2はスリット
パタ−ン3を通り、紫外線反射ミラ−4で反射された
後、レンズ5を経て載置台6上にセットされた液晶パネ
ル7の輝点修正部8に集光されて照射される。 図2に
斜線で示すように、この輝点修正部8は照射光に対して
輝点を発生している輝点絵素9と同一の照射経路上にあ
る。また、本実施例の輝点修正部8は、図3に示すよう
に貼り合わされる一対のガラス基板10,11の内、光
源からの照明光12が液晶パネル7に入射される側のガ
ラス基板10の表面付近に選定される。入射側ガラス基
板10の内面にはブラックマスク13の開口部が絵素に
対応して配列され、液晶に電圧を印加するための対向電
極14が設けられている。
【0021】一方、照明光12が出射される側のガラス
基板11の内面にはマトリクス状に配列された絵素電極
15と該絵素電極15への給電をスイッチングするTF
T16が形成され、両ガラス基板10と11間には90
度またはそれ以上ねじれ配向されたツイステッドネマテ
ィック液晶層17が封入されている。
【0022】上記の液晶パネル7の輝点修正部8へのレ
−ザ−ビ−ム2の入射方向は液晶パネル7に対する照明
光12の入射方向に一致している。
【0023】尚、スリットパタ−ン3には輝点修正部の
外形サイズが拡大された形状のパタ−ンが形成されてお
り、該スリットパタ−ン3を通した縮小スリット露光に
よりレ−ザ−ビ−ム2が輝点修正部8の位置に精度よく
照射されるようになっている。加えて、このようなスリ
ットパタ−ン3を用いれば、次に説明する凹陥加工部1
8の内表面に粗面19を種々の凹凸段差で形成できる利
点がある。また、載置台6は、例えば水平面内におい
て、X−Y直交2軸方向に移動可能になっており、該載
置台6の移動によりレ−ザ−ビ−ム2を所望の輝点修正
部8に照射できるようになっている。
【0024】尚、輝点絵素9の検出は、前工程におい
て、液晶パネル7に光源より照明光12を照射し、駆動
状態にある液晶パネル7の表示画像を表示面上に投影
し、この投影像を検査装置の画像認識による検査又は検
査員の視認により行われる。 本発明の実施例のスリッ
トパタ−ン3を用いて形成した凹陥加工部18の形状
は、図4に拡大して示すように、2段に形成される。即
ち、最初に大きい直径を持つスリットパタ−ン3aが使
用され、マイクロレンズ20より大きい直径で浅く凹部
21が形成される。次に小さい直径を持つスリットパタ
−ン3が使用され、マイクロレンズ20より若干大きい
直径で深い凹部22が形成される。2段凹部は最初に小
さく深い凹部22を形成して、次に大きくて浅い凹部2
1を形成してもよい。凹陥加工部は必要に応じて3段以
上にすることも可能である。
【0025】凹陥加工部18は、図5および図6に示す
ように、底面にむけて狭幅になった四角錘状、あるいは
円錐状をなす凹陥加工部18を輝点絵素9に対応するガ
ラス基板10の表面部分、すなわち輝点修正部8に形成
し、且つ該凹部18の底面および側面(傾斜面)に粗面
19A、19Bを形成し、これにより輝点絵素9を透過
する照明光を減光または遮光する。
【0026】このような凹陥加工部18、粗面19A、
19Bはエキシマレ−ザ−を用いたエッチング加工によ
り以下のようにして形成される。まず、スリットパタ−
ン3を通して縮小露光されるレ−ザ−ビ−ム2の縮小率
およびレ−ザ−ビ−ム2のエネルギ−密度を適宜の値に
設定した上で、エキシマレ−ザ−発振器1からレ−ザ−
ビ−ム2を輝点修正部8に照射し、これにより凹陥加工
部18を形成する。
【0027】次いで、スリットパタ−ン3bとして図7
に示されるように丸穴3bbが形成されたメッシュ状の
スリットパタ−ンマスクを挿入し、この状態でレ−ザ−
ビ−ム2を凹陥加工部18に照射する。これにより、凹
陥加工部18の側面に鋸歯状の粗面19Bが形成され、
同時に底面にメッシュ状の粗面19Aが形成される。
【0028】凹陥加工部18の仕様としては、直径が大
きい凹部21はその最表面が四角錘形状および円錐形状
いずれの場合もマイクロレンズのサイズ(114μm)
より大きく(直径160〜200μm、最適値170μ
m、深さ30〜60μm、最適値40μm)、また直径
が小さい凹部22はマイクロレンズのサイズ(114μ
m)と同等又は若干大きく(110〜80μm、最適値
120μm、深さ基板表面から120〜200μm、最
適値基板表面から150μm)設定される。傾斜角度は
直径が大きい凹部21は5〜45度、好ましくは20度
以下、直径が小さい凹部22は5〜30度、好ましくは
15度以下に設定される。直径が大きい凹部20と小さ
い凹部21との直径差は少なくとも20μm以上必要で
ある。
【0029】このような修正方法による減光レベルはレ
−ザ−ショット数を変えることにより凹部18の大き
さ、深さを変化させることにより可能である。所望のレ
ベルに粗面化した液晶パネルはこの後、図8に示すよう
にマイクロレンズアレイ23を入射側透明基板10の表
面に透明性接着剤24を用いて貼り合わせる。
【0030】透明性接着剤24はその粘性、表面張力、
ガラス基板10との濡れ性、凹部18を構成する直径が
大きい凹部21の傾斜角、直径が大きさ凹部21と小さ
い凹部22との直径差、凹部21の段差部表面の粗面度
その他の条件により、直径が小さい凹部22に入り込む
のを防止することができ、凹部22を確実に空洞にする
ことができる。特に凹部21と凹部22の直径差が20
μm以上に設定することと、凹部21の段差面を粗面化
したことにより確実に接着剤はが直径の小さい凹部22
に入り込むのを阻止することができた。
【0031】また、本発明の第2実施例では、図9に示
すようにマイクロレンズアレイ23を入射側透明基板1
0の表面に透明性接着剤24を用いて貼り合わせる前
に、凹部18にガラス基板10より屈折率が小さい樹脂
28を充填する。この樹脂28の屈折率や透過率を適切
に選べば、減光量が適性化される。輝点絵素の輝度に適
合するよう減光量を調整することができる。前記凹陥加
工部18には気泡または空洞が少ないため、熱サイクル
等の信頼性テストを行っても気泡部が拡大し、減光レベ
ルが変化したり、マイクロレンズ基板23と透明基板1
0が剥離を生じることがない。
【0032】なお、上述した粗面化処理はCO2レ−ザ
−によるレ−ザ−エッチングで行ってもよいし、あるい
はダイヤモンド針や超硬合金製の針を用いた触刻によっ
て行うこともできるが、エキシマレ−ザ−エッチングに
よればこれらの方法に比して以下に示す利点がある。ま
ず、触刻法と比較すると、粗面加工が容易になると共
に、凹凸形状の精度がよい粗面19を形成できる利点が
ある。
【0033】一方、CO2レ−ザ−と比較すると、CO2
レ−ザ−エッチングは熱加工であるため、輝点修正部8
の周囲のガラスに熱的ダメ−ジを与えることになるが、
エキシマレ−ザ−エッチングによればこのような熱的ダ
メ−ジを与えることがないという利点がある。従って、
以上の理由によりエキシマレ−ザ−エッチングにより粗
面19を形成する修正方法が実施する上で最も好ましい
ものになる。 更に、エキシマレ−ザ−エッチングは封
入ガスとして、発振波長193nmのArF、発振波長
248nmのKrF、発振波長308nmのXeCl等
が使用され、該封入ガスの種類によってエキシマレ−ザ
−発振器1のパルスエネルギ−が異なり、粗面の表面粗
さも異なることになるが、本発明者等による以下の実験
結果により、封入ガスとしてKrFを使用したエキシマ
レ−ザ−エッチング加工が最も好ましい修正方法である
ことを確認できた。
【0034】すなわち、輝点修正部8への入射光を拡散
させる粗面化に最適なエキシマレ−ザ−ガス種類を検討
するため、封入ガスの種類を変え、同一のパルスショッ
ト条件で実験したところ、粗面の表面粗さはKrFが最
も粗く、次いでArFであった。一方、封入ガスとして
XeClを使用した場合は、レ−ザ−ビ−ム2がガラス
面を透過するため粗面化処理はできなかった。そして、
表面粗さを最も粗面化できたKrFによる粗面を顕微鏡
で観察すると、粗面が砂粒状を呈し、透過照明の透過が
十分に抑制されることが確認できた。
【0035】また、マイクロレンズアレイ基板23の貼
付後、樹脂28に例えばレーザー光を照射して変色させ
ることにより、必要な減光レベルが容易に得られる。こ
の結果、周囲の絵素に比べて、明るすぎる事もなく、ま
た暗すぎることもなく、表示品位が向上する。更に、前
記樹脂28を前記接着剤24と同一材料にすれば、信頼
性が高くなるとともに、低コスト化が図れる。
【0036】なお、実施例で図示していないカラ−フィ
ルタ−については、単板パネル方式の投影型液晶表示装
置に用いられている液晶パネルのようにR(赤)、G
(緑)、B(青)の三原色カラ−フィルタ−が交互に透
明基板上に配列されたもの、また3枚パネル方式の投影
型液晶表示装置に用いられている液晶パネルのように各
パネル毎にR(赤)、G(緑)、B(青)の三原色カラ
−フィルタ−を専用とするもの、即ちカラ−フィルタ−
が液晶パネル内にある場合、あるいは液晶パネルから独
立した位置にある場合、いずれのカラ−フィルタ−形式
の液晶パネルであっても本発明の修正方法は同様に実施
することができる。
【0037】《比較例》図12はマイクロレンズアレイ
基板を貼り合わせた高輝度タイプ液晶表示装置に前記先
行出願(特願平3−36279号)の修正方法を用いた
断面図を示している。この液晶表示装置は、マイクロレ
ンズ20を各絵素15に対応して配置されたマイクロレ
ンズアレイ基板23を照明光12の入射側透明基板10
の表面に貼り合わされて構成され、各絵素15への照明
光12はマイクロレンズ20による集光効果で高輝度の
液晶表示装置を実現している。この高輝度タイプ液晶表
示装置において、輝点絵素9を照射する照明光12の照
射経路上に位置する出射側の透明基板11の表面付近
(修正部35)に凹部36が形成され、該凹部の底面3
6A、および側面36Bを粗面化処理することにより輝
点絵素の透過光を抑制し、該輝点絵素の輝度低減を行
う。
【0038】しかしながら、上記マイクロレンズ20に
より、集光効果が発揮される出射側透明基板11の表面
に前記修正方法で修正した場合、マイクロレンズ20の
集光効果のため修正部を透過する光量が増え、輝点の輝
度低減が周囲の正常な絵素の輝度レベルと同程度迄に低
減させることが困難になる。またマイクロレンズに入光
する光軸の角度ズレも配慮する必要もあることから、修
正部35の修正サイズは絵素ピッチの1.3倍以上が必
要となり、このサイズで修正した場合は表示画面で修正
点の大きさが目立つことになる問題がある。
【0039】
【発明の効果】詳述してきたように、マイクロレンズ付
き高輝度液晶表示装置に於ける輝点欠陥絵素を正常絵素
と同程度まで確実に減光させるため、本発明では2段構
成の凹陥加工部をマイクロレンズの直下に接近して形成
することにより、また、該凹陥加工部に樹脂を充填する
ことにより、輝点欠陥絵素への入光がこの凹陥加工部で
減光され、輝点欠陥絵素が周囲の正常絵素に対し目立た
なくなり、また、修正サイズもほぼ絵素サイズ相当でよ
いため、このことも修正点が目立たない大きな効果があ
る。また、凹陥加工部内には気泡が少なく信頼性が高く
なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を説明するエキシマレ−ザ装
置を用いた欠陥修正方法を模式的に示す図。
【図2】輝点絵素と輝点修正部が照明光に対して同一の
照射経路上にあることを示す図。
【図3】エキシマレ−ザエッチングにより形成された凹
陥加工部の形状を示す液晶パネル断面図。
【図4】2段凹陥加工部とマイクロレンズアレイの配置
関係を拡大して示す断面図。
【図5】凹陥加工部が四角錘形状であることを示す図3
のA方向矢視図。
【図6】凹陥加工部が円錐形状であることを示す図3の
A方向矢視図。
【図7】エキシマレ−ザ−エッチングに使用するスリッ
トパタ−ンマスクを示す図。
【図8】本発明の第1実施例により修正した後、マイク
ロレンズアレイが貼り合わされて完成品となった液晶パ
ネルを示す断面図。
【図9】本発明の第2実施例により修正した後、マイク
ロレンズアレイが貼り合わされて完成品となった液晶パ
ネルを示す断面図。
【図10】本件発明者を含む発明者等による先に出願し
た特許の第1の修正方法を示す液晶パネル断面図。
【図11】本件発明者を含む発明者等による先に出願し
た特許の第2の修正方法を示す液晶パネル断面図。
【図12】比較例を説明する高輝度液晶パネル断面図。
【符号の説明】
1 レーザー発振機 2 レーザービーム 3 スリットパターン 6 載置台 7 液晶パネル 8 輝点修正部 9 輝点絵素 10 ガラス基板 11 ガラス基板 12 照明光 13 ブラックマスク 14 対向電極 15 絵素電極 16 TFT 17 液晶層 18 凹陥加工部 19 粗面 20 マイクロレンズ 21 直径の大きい凹部 22 直径の小さい凹部 23 マイクロレンズアレイ 24 接着剤 28 樹脂
フロントページの続き (72)発明者 伊黒 元貴 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−191826(JP,A) 特開 平6−313881(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/1335 G02F 1/1333 500

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射側透明基板と、反対側透明基板と、
    前記入射側透明基板と反対側透明基板間に封入された液
    晶とからなる透過型液晶パネルと、前記入射側透明基板
    表面に貼り合わせられ、透過型液晶パネルが形成するマ
    トリクス状の各絵素領域に対応して配置されたマイクロ
    レンズを有するマイクロレンズアレイ基板と、前記マイ
    クロレンズアレイ基板方向より表示用の照明光を照射す
    る光源手段とを有する液晶表示装置において、前記透過
    型液晶パネルに発生した輝点欠陥絵素を照射する照明光
    の照射経路上に位置する入射側透明基板の表面付近に表
    面側に外形が大きく、液晶側に外形が小さい2段凹陥加
    工部を形成した液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 入射側透明基板と、反対側透明基板と、
    前記入射側透明基板と反対側透明基板間に封入された液
    晶とからなる透過型液晶パネルと、前記透過型液晶パネ
    ルに貼り合わせられ、透過型液晶パネルが形成するマト
    リクス状の各絵素領域に対応して配置されたマイクロレ
    ンズを有するマイクロレンズアレイ基板と、前記マイク
    ロレンズアレイ基板方向より表示用の照明光を照射する
    光源手段とを有する液晶表示装置の欠陥修正方法におい
    て、前記マイクロレンズアレイ基板を入射側透明基板に
    貼り合わせする工程前に、輝点欠陥を検出する工程と、
    該輝点欠陥が発生している絵素を照射する照明光の照射
    経路上に位置する入射側透明基板の表面付近に、外形の
    大きい凹陥加工部と、その中心部に形成した外形の小さ
    い凹陥加工部とからなる2段凹陥加工部を形成する工程
    とを備える液晶表示装置の欠陥修正方法。
  3. 【請求項3】 上記2段凹陥加工部は、最初に外形の大
    きい凹陥加工部を形成した後、外形の小さい凹陥加工部
    を形成する請求項2記載の液晶表示装置の欠陥修正方
    法。
  4. 【請求項4】 上記2段凹陥加工部は、外形の小さい凹
    陥加工部を深く形成した後、外形の大きい凹陥加工部を
    形成する請求項2記載の液晶表示装置の欠陥修正方法。
  5. 【請求項5】 入射側透明基板と、反対側透明基板と、
    前記入射側透明基板と反対側透明基板間に封入された液
    晶とからなる透過型液晶パネルと、前記入射側透明基板
    表面に貼り合わせられ、透過型液晶パネルが形成するマ
    トリクス状の各絵素領域に対応して配置されたマイクロ
    レンズを有するマイクロレンズアレイ基板と、前記マイ
    クロレンズアレイ基板方向より表示用の照明光を照射す
    る光源手段とを有する液晶表示装置において、前記透過
    型液晶パネルに発生した輝点欠陥絵素を照射する照明光
    の照射経路上に位置する入射側透明基板の表面付近に凹
    陥加工部を形成し、該凹陥加工部に前記入射側透明基板
    と透過率の異なる樹脂を充填したことを特徴とする液晶
    表示装置。
  6. 【請求項6】 入射側透明基板と、反対側透明基板と、
    前記入射側透明基板と反対側透明基板間に封入された液
    晶とからなる透過型液晶パネルと、前記透過型液晶パネ
    ルに貼り合わされ、透過型液晶パネルが形成するマトリ
    クス状の各絵素領域に対応して配置されたマイクロレン
    ズを有するマイクロレンズアレイ基板と、前記マイクロ
    レンズアレイ基板方向より表示用の照明光を照射する光
    源手段とを有する液晶表示装置の欠陥修正方法におい
    て、前記マイクロレンズアレイ基板を入射側透明基板に
    貼り合わせする工程前に、輝点欠陥を検出する工程と、
    該輝点欠陥が発生している絵素を照射する照明光の照射
    経路上に位置する入射側透明基板の表面付近に凹陥加工
    部を形成する工程と、該凹陥加工部に入射側透明基板よ
    り透過率の異なる樹脂を充填する工程とを行うことを特
    徴とする液晶表示装置の欠陥修正方法。
  7. 【請求項7】 前記凹陥加工部に前記入射側透明基板よ
    り透過率が高い樹脂を充填する工程、前記マイクロレン
    ズアレイを入射側透明基板に貼り合わせた後、前記樹脂
    にレーザ照射して変色または黒色化し、透過率を低下さ
    せる工程を備える請求項6記載の液晶表示装置の欠陥修
    正方法。
  8. 【請求項8】 前記透過率の異なる樹脂は前記マイクロ
    レンズアレイと前記入射側透明基板を貼り合わせる接着
    剤と同一材料であることを特徴とする請求項7記載の液
    晶表示装置の欠陥修正方法。
  9. 【請求項9】 エキシマレーザビームを用いたレーザエ
    ッチングにより前記凹陥加工部を形成することを特徴と
    する請求項2,3,4,6,7記載の液晶表示装置の欠
    陥修正方法。
  10. 【請求項10】 前記凹陥加工部の内表面を粗面化処理
    を行うことを特徴とする請求項2,3,4,6,7,8
    記載の液晶表示装置の欠陥修正方法。
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