JP2714473B2 - 真空用仕切弁 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空排気系等を構成する流体流路の途中に介
挿して使用されあるいは半導体製造装置等の真空室内を
真空状態に維持するために使用される真空用仕切弁に係
り、特にシールを達成させる力の発生機構として板バネ
を用い、その変形を利用して閉，開弁を行う真空用仕切
弁に関する。

〔従来技術とその課題〕

従来この種の真空用仕切弁においては種々の機構が提
案されているが潤滑油を用いることができないため、リ
ンク機構を用いたもの（特開昭59-26674号公報や特開昭
59-26675号公報に記載された弁）は、摩耗、かじり、焼
付きなどの好ましくない現象が発生し、かつころを使用
する場合には表面圧力が大きく、ころおよび転動面にお
いて摩耗が著しいなどの課題がある。また、特開昭59-2
3175号公報あるいは特公昭63-46310号公報に記載されて
いる機構においても支持体あるいは柱体との接触部にお
いて微小ではあるが面圧の高い摺動があり、摩耗粉の発
生が懸念されるという課題がある。

このような摩耗により発生する粉塵、ちり（以下塵埃
と記す）は、半導体製造などの産業分野での使用に際し
て、大きな問題となることは良く知られている。

本発明の目的は、機構部からの発塵のない清浄な雰囲
気を保持できる真空仕切弁を提供しようとするものであ
る。

〔課題を解決するための手段〕

本発明真空用仕切弁は上記の課題を解決し、上記の目
的を達成するため、図示のように弁箱１の弁座面10及び
台座面６にそれぞれ対向し互いに平行に配置された弁板
２及び対向板３と、この弁板２と対向板３との間に設け
られた支持板４とにより弁軸に対して垂直な方向にスラ
イド可能な弁体部７を構成し、弁板２と対向板３の向か
う合うそれぞれの面に、可撓性を有する板バネ５を弁体
部７のスライド方向と鋭角θをなして固定し、弁板２及
び対向板３に対して支持板４を相対移動させて閉弁する
際、支持板４によって板バネ５を屈曲させて鋭角θを拡
大させ閉弁するように構成したものである。

〔作用〕

弁板２及び対向板３に対して支持板４が相対的に移動
して閉弁するとき、板バネ５が変形して弁体部７のスラ
イド方向に対する板バネ５の鋭角θが拡大し、弁板２と
支持板４間の距離及び対向板３と支持板４間の距離がそ
れぞれ拡大して弁板２の弁座面10への押付けと対向板３
の台座面６への押付けが可能となり、閉弁することがで
きることになる。

〔実施例〕

以下図面により本発明の実施例を説明する。

第１図は本発明真空用仕切弁の一実施例の開弁状態を
示す要部の縦断面図、第２図はその閉弁状態を示す縦断
面図である。

まず、本実施例の構成を説明する。

弁箱１内に、昇降棒40に連結された支持板４を挟ん
で、それぞれが平行となるように弁板２と対向板３が配
置されている。弁板２と対向板３には、それぞれ帯状の
板バネ30が固定され、それぞれの板バネ30の両端部は連
結部材32に固定されており、弁板２と対向板３が近づく
方向に付勢されている。

弁板２と対向板３の向かい合うそれぞれの面に、板バ
ネ５の両端部が固定され、板バネ５は、弁板２と対向板
３の中間付近にて第１図において上方に屈曲した断面形
状を有し、弁板２と対向板３との取付け面とそれぞれ鋭
角θをなして板バネ５の中央部が固定されている。弁板
２にはシール材11が設けてあり、シール材11と対面する
弁箱１の内壁には弁座面10が形成されている。

また、対向板３の周囲部に対面する弁箱１の内壁には
台座面６が形成されている。

次にこのような構成の本実施例の作用を説明する。

第１図示の状態から昇降棒40を第１図において下降さ
せると、連結部材32が弁底20に当たり、更に昇降棒40に
より支持板４を下方に押圧すると、弁板２及び対向板３
と支持板４が相対移動して、第２図に示すように板バネ
５の屈曲部が鋭角θを拡大して、弁板２と支持板４間の
距離及び対向板３と支持板４間の距離を拡大し、弁板２
のシール材11を弁座面10に押し付けると共に、対向板３
を台座面６に押し付けてシールを達成し閉弁することに
なる。開弁状態とするには、昇降棒40を上昇させること
により、板バネ５及び板バネ30の復元力によって、第１
図示の状態に復帰させ、更に弁体部７を上昇させて、完
全な開弁状態とする。

第３図〜第８図は本発明における板バネの他例を示す
断面図である。

第３図及び第４図の場合は、板バネ５と弁板２及び対
向板３は固定せず、板バネ５の端部を弁板２及び対向板
３に設けた溝８にはめ込んだ例である。

また、第５図及び第６図の場合は、板バネ５を弁板２
と支持板４を連結する板バネと、対向板３と支持板４を
連結する板バネとに分割して構成した例である。

第７図及び第８図は、板バネ５の固定部と固定部の中
間部における座屈を防止するため、補強部材50を設けた
場合の例である。第８図は片側のみを示している。いず
れの場合も、板バネ５の長さは任意でよい。

〔発明の効果〕

上述のように本発明によれば、シールを達成するため
の力を発生させる機構として、リンク機構やカム、また
従来の摺動要素を含むいずれの手段をも用いず、板バネ
５の変形のみを利用しているため、摩耗粉等の塵埃の発
生が全くないシール機構を構成することができ、従っ
て、無発塵の真空仕切弁を提供できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明真空用仕切弁の一実施例の開弁状態を示
す要部の縦断面図、第２図はその閉弁状態を示す縦断面
図、第３図〜第８図は本発明における板バネの他例を示
す断面図である。 １……弁箱、２……弁板、３……対向板、４……支持
板、５……板バネ、６……台座面、７……弁体部、８…
…溝、10……弁座面、11……シール材、20……弁底、30
……板バネ、32……連結部材、40……昇降棒、50……補
強部材。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弁箱（１）の弁座面（10）及び台座面
   （６）にそれぞれ対向し互いに平行に配置された弁板
   （２）及び対向板（３）と、この弁板（２）と対向板
   （３）との間に設けられた支持板（４）とにより弁軸に
   対して垂直な方向にスライド可能な弁体部（７）を構成
   し、弁板（２）と対向板（３）の向かい合うそれぞれの
   面に、可撓性を有する板バネ（５）を弁体部（７）のス
   ライド方向と鋭角θをなして固定し、弁板（２）及び対
   向板（３）に対して支持板（４）を相対移動させて閉弁
   する際、支持板（４）によって板バネ（５）を屈曲させ
   て鋭角θを拡大させ閉弁するように構成した真空用仕切
   弁。