JP2521776Y2 - 高真空機器のシール機構 - Google Patents
高真空機器のシール機構Info
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- JP2521776Y2 JP2521776Y2 JP5949992U JP5949992U JP2521776Y2 JP 2521776 Y2 JP2521776 Y2 JP 2521776Y2 JP 5949992 U JP5949992 U JP 5949992U JP 5949992 U JP5949992 U JP 5949992U JP 2521776 Y2 JP2521776 Y2 JP 2521776Y2
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- Japan
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- spring
- sealing
- seal
- pair
- jacket
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、高真空機器のシール機
構に関するものである。
構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高真空機器のシールには、通常シール材
としてメタルＣリングが使用されており、この公知のメ
タルＣリング１は、図５に示すように、金属線材を螺旋
状に巻いてエンドレスとしたばね２と、このばね２を被
覆する断面Ｃ形の金属薄板製のジャケット３によって構
成されている。このメタルＣリング１は、ばね２が圧縮
によって高真空機器のシール面４に形成した溝４ａに当
接するまでは、ばね２の反力が十分に得られないため、
ばね２を大きな力で圧縮してその圧縮量を大きくする必
要がある。しかしながら、公知のメタルＣリング１はジ
ャケット３の肉厚が薄いために、圧縮力を大きくすると
ばね２がジャケット３に食い込んで、ジャケット３の表
面（シート面）に波状のうねりを生ずることがあり、こ
のうねりがリークの原因となる。また、圧縮を解除した
メタルＣリング１にべーキング処理（真空中での加熱）
を施すと、うねりが増長されるので、繰り返しての使用
ができないという問題がある。
としてメタルＣリングが使用されており、この公知のメ
タルＣリング１は、図５に示すように、金属線材を螺旋
状に巻いてエンドレスとしたばね２と、このばね２を被
覆する断面Ｃ形の金属薄板製のジャケット３によって構
成されている。このメタルＣリング１は、ばね２が圧縮
によって高真空機器のシール面４に形成した溝４ａに当
接するまでは、ばね２の反力が十分に得られないため、
ばね２を大きな力で圧縮してその圧縮量を大きくする必
要がある。しかしながら、公知のメタルＣリング１はジ
ャケット３の肉厚が薄いために、圧縮力を大きくすると
ばね２がジャケット３に食い込んで、ジャケット３の表
面（シート面）に波状のうねりを生ずることがあり、こ
のうねりがリークの原因となる。また、圧縮を解除した
メタルＣリング１にべーキング処理（真空中での加熱）
を施すと、うねりが増長されるので、繰り返しての使用
ができないという問題がある。
【０００３】この問題を解決するために、ジャケット３
の肉厚を厚くすることが考えられるが、ジャケット３
は、絞りによって図６に示す鍔付き筒体３ａとしたもの
を、さらに金型成形またはへら絞りによってばね２に巻
きつけて断面Ｃ形にするものであるから、その厚さには
限界があり、特にばねの線径が細い場合いは、ジャケッ
ト３の肉厚を厚くすることは不可能である。
の肉厚を厚くすることが考えられるが、ジャケット３
は、絞りによって図６に示す鍔付き筒体３ａとしたもの
を、さらに金型成形またはへら絞りによってばね２に巻
きつけて断面Ｃ形にするものであるから、その厚さには
限界があり、特にばねの線径が細い場合いは、ジャケッ
ト３の肉厚を厚くすることは不可能である。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】本考案が解決しようと
する課題は、シート面からのリークがなく、かつ繰り返
して使用できる高真空機器のシール機構を提供すること
にある。
する課題は、シート面からのリークがなく、かつ繰り返
して使用できる高真空機器のシール機構を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本考案における高真空機器のシール機構は、一対の
シール面と、これらのシール面の一方に形成した溝に挿
入された金属線材を螺旋状に巻いてエンドレスとしたば
ねと、それを覆うジャケットとを備えた高真空機器のシ
ール機構であって、上記ジャケットが、上記ばねの圧縮
面及びこれと反対側のシール面の他方が圧接するシート
面を有するシール部と、該シール部の径方向外方に一体
に延設され、先端部分が上記シール面の一方に気密に取
付けられた取付部とを備え、上記シール部が、一対のシ
ール面に作用するばねを圧縮するための圧縮力によって
シート面に波状のうねりができない厚さを、上記取付部
が、上記圧縮力によって弾性変位可能な厚さを、それぞ
れ有していることを特徴としている。また、同様の課題
を解決するため、一対のシール面と、これらのシール面
の一方に形成した溝に挿入された金属線材を螺旋状に巻
いてエンドレスとしたばねと、それを覆う一対のジャケ
ットとを備えた高真空機器のシール機構であって、これ
らのジャケットが、上記ばねの圧縮面及びこれと反対側
のシール面の他方が圧接するシート面を有するシール部
と、該シール部の径方向外方に一体に延設され先端部分
が相互に気密に固着された取付部とを備え、これらのシ
ール部が、一対のシール面に作用するばねを圧縮するた
めの圧縮力によってシート面に波状のうねりができない
厚さを、これらの取付部が、上記圧縮力によって弾性変
位可能な厚さを、それぞれ有していることを特徴として
いる。
め、本考案における高真空機器のシール機構は、一対の
シール面と、これらのシール面の一方に形成した溝に挿
入された金属線材を螺旋状に巻いてエンドレスとしたば
ねと、それを覆うジャケットとを備えた高真空機器のシ
ール機構であって、上記ジャケットが、上記ばねの圧縮
面及びこれと反対側のシール面の他方が圧接するシート
面を有するシール部と、該シール部の径方向外方に一体
に延設され、先端部分が上記シール面の一方に気密に取
付けられた取付部とを備え、上記シール部が、一対のシ
ール面に作用するばねを圧縮するための圧縮力によって
シート面に波状のうねりができない厚さを、上記取付部
が、上記圧縮力によって弾性変位可能な厚さを、それぞ
れ有していることを特徴としている。また、同様の課題
を解決するため、一対のシール面と、これらのシール面
の一方に形成した溝に挿入された金属線材を螺旋状に巻
いてエンドレスとしたばねと、それを覆う一対のジャケ
ットとを備えた高真空機器のシール機構であって、これ
らのジャケットが、上記ばねの圧縮面及びこれと反対側
のシール面の他方が圧接するシート面を有するシール部
と、該シール部の径方向外方に一体に延設され先端部分
が相互に気密に固着された取付部とを備え、これらのシ
ール部が、一対のシール面に作用するばねを圧縮するた
めの圧縮力によってシート面に波状のうねりができない
厚さを、これらの取付部が、上記圧縮力によって弾性変
位可能な厚さを、それぞれ有していることを特徴として
いる。
【０００６】
【作用】一対のシール面を相互に圧接すると、ジャケッ
トに設けたシール部が、先端部分をシール面の一方に固
着した薄肉の取付部の弾性変位によってばねを圧縮し、
または、一対のジャケットに設けたシール部が、先端部
分を相互に固着した薄肉の取付部の弾性変位によってば
ねを圧縮するので、ジャケットによって一対のシール面
が気密にシールされる。この場合、シール部が、ばねを
圧縮するための圧縮力によってシート面に波状のうねり
ができない厚さを有しているために、シート面からのリ
ークがなく、繰り返して使用することができる。
トに設けたシール部が、先端部分をシール面の一方に固
着した薄肉の取付部の弾性変位によってばねを圧縮し、
または、一対のジャケットに設けたシール部が、先端部
分を相互に固着した薄肉の取付部の弾性変位によってば
ねを圧縮するので、ジャケットによって一対のシール面
が気密にシールされる。この場合、シール部が、ばねを
圧縮するための圧縮力によってシート面に波状のうねり
ができない厚さを有しているために、シート面からのリ
ークがなく、繰り返して使用することができる。
【０００７】
【実施例】図１は本考案の第１実施例を示し、この高真
空機器のシール機構１０は、圧接によってシールされる
シール面１１，１２と、シール面１１に形設したエンド
レスの溝１３に挿入された、金属線材を螺旋状に巻いて
エンドレスとしたばね１４と、それを覆うジャケット１
５とを備えている。
空機器のシール機構１０は、圧接によってシールされる
シール面１１，１２と、シール面１１に形設したエンド
レスの溝１３に挿入された、金属線材を螺旋状に巻いて
エンドレスとしたばね１４と、それを覆うジャケット１
５とを備えている。
【０００８】上記ジャケット１５は、ばね１４の上面を
覆うシール部１６と、シール部１６の径方向外方に一体
に延設された取付部１７とを備え、シール部１６に、ば
ね１４を圧縮する圧縮面１６ａと、これと反対側のシー
ル面１２が圧接するシート面１６ｂが形成されている。
そして、上記シール部１６は、ばね１４を圧縮するため
の圧縮力によって、シート面１６ｂにばね１４による波
状のうねりが生じない厚さを有し、また取付部１７は、
上記圧縮力によって弾性変位する厚さを有し、先端部分
がシール面１１の外周に溶接されている。そして、シー
ト面１６ｂは径の大きな円弧面に形成され、圧縮面１６
ａはばね１４の径よりも大きな径を有する円弧面に形成
されている。しかしながら、シート面１６ｂは、図２に
示すように平面としてもよい。
覆うシール部１６と、シール部１６の径方向外方に一体
に延設された取付部１７とを備え、シール部１６に、ば
ね１４を圧縮する圧縮面１６ａと、これと反対側のシー
ル面１２が圧接するシート面１６ｂが形成されている。
そして、上記シール部１６は、ばね１４を圧縮するため
の圧縮力によって、シート面１６ｂにばね１４による波
状のうねりが生じない厚さを有し、また取付部１７は、
上記圧縮力によって弾性変位する厚さを有し、先端部分
がシール面１１の外周に溶接されている。そして、シー
ト面１６ｂは径の大きな円弧面に形成され、圧縮面１６
ａはばね１４の径よりも大きな径を有する円弧面に形成
されている。しかしながら、シート面１６ｂは、図２に
示すように平面としてもよい。
【０００９】上記シール機構１０は、溝１３にばね１４
を挿入してジャケット１５のシール部１６により該ばね
１４を被覆し、取付部１７の先端部分をシール面１１の
外周に溶接してこれらを一体化する。次いで、シート面
１６ｂにシールに必要な機械加工を施す。このシール機
構１０は、ジャケット１５をシール面１１に取付けた後
に、シート面１６ｂにシールに必要な機械加工を施すこ
とができるので、シート面１６ｂの加工が容易で、しか
も小さい圧縮力によって高真空のシールをすることがで
きる。実験によると、公知のメタルＣリング１は、シー
ルのために２００Kgf/cm2 程度の面圧力を必要とする
が、上記シール機構１０は、面圧力を４分の１以下にす
ることができる。また、シート面１６ｂに鏡面加工（Rm
ax 0.8μｍ以下）を施すことによって、さらに小さい面
圧力で高度の気密性を得ることができる。
を挿入してジャケット１５のシール部１６により該ばね
１４を被覆し、取付部１７の先端部分をシール面１１の
外周に溶接してこれらを一体化する。次いで、シート面
１６ｂにシールに必要な機械加工を施す。このシール機
構１０は、ジャケット１５をシール面１１に取付けた後
に、シート面１６ｂにシールに必要な機械加工を施すこ
とができるので、シート面１６ｂの加工が容易で、しか
も小さい圧縮力によって高真空のシールをすることがで
きる。実験によると、公知のメタルＣリング１は、シー
ルのために２００Kgf/cm2 程度の面圧力を必要とする
が、上記シール機構１０は、面圧力を４分の１以下にす
ることができる。また、シート面１６ｂに鏡面加工（Rm
ax 0.8μｍ以下）を施すことによって、さらに小さい面
圧力で高度の気密性を得ることができる。
【００１０】図３は本考案の第２実施例を示し、このシ
ール機構２０は、上記ばね１４の両面をジャケット２
１，２１で挟持したものとして構成されている。これら
のジャケット２１のシール部２２、圧縮面２２ａ、シー
ト面２２ｂ及び取付部２３は、第１実施例のジャケット
１５のシール部１６、圧縮面１６ａ、シート面１６ｂ及
び取付部１７と同一の構成を有し、取付部２３，２３
は、先端部分において溶接によって相互に固着されてい
る。第２実施例のシール機構２０は、各シール部のシー
ト面２２ｂ，２２ｂがシール面１１，１２に圧接するシ
ールする以外は、第１実施例と同じである。
ール機構２０は、上記ばね１４の両面をジャケット２
１，２１で挟持したものとして構成されている。これら
のジャケット２１のシール部２２、圧縮面２２ａ、シー
ト面２２ｂ及び取付部２３は、第１実施例のジャケット
１５のシール部１６、圧縮面１６ａ、シート面１６ｂ及
び取付部１７と同一の構成を有し、取付部２３，２３
は、先端部分において溶接によって相互に固着されてい
る。第２実施例のシール機構２０は、各シール部のシー
ト面２２ｂ，２２ｂがシール面１１，１２に圧接するシ
ールする以外は、第１実施例と同じである。
【００１１】図４は、上記シール機構を施した高真空バ
ルブ３０の一例を示し、このバルブの弁本体３１はポー
ト３２を、該弁本体３１に気密に取付けられたフランジ
部材３３はポート３４をそれぞれ有し、これらのポート
３２と３４を連通させる流路中に弁座３５が形成されて
おり、弁本体３１のポートと反対側に取付けられたボン
ネット３６と弁本体３１との間に、メタルベローズ板３
７の周縁が挟持されている。中間部分をボンネット３６
に螺着させた弁棒３９は、一端に弁台４０と弁体４１が
相対回動可能に取付けられており、該弁台４０とメタル
ベローズ板３７との間は、メタルベローズ４２によって
気密にシールされており、弁本体３１とメタルベローズ
板３７の間、及び弁体４１の弁座側に、それぞれ上記シ
ール機構１０または２０が取付けられている。上記バル
ブ３０は、弁棒３９を回転させると、弁体４１に取付け
られたシール機構１０または２０が、弁座３５に圧接し
て流路をシールする。
ルブ３０の一例を示し、このバルブの弁本体３１はポー
ト３２を、該弁本体３１に気密に取付けられたフランジ
部材３３はポート３４をそれぞれ有し、これらのポート
３２と３４を連通させる流路中に弁座３５が形成されて
おり、弁本体３１のポートと反対側に取付けられたボン
ネット３６と弁本体３１との間に、メタルベローズ板３
７の周縁が挟持されている。中間部分をボンネット３６
に螺着させた弁棒３９は、一端に弁台４０と弁体４１が
相対回動可能に取付けられており、該弁台４０とメタル
ベローズ板３７との間は、メタルベローズ４２によって
気密にシールされており、弁本体３１とメタルベローズ
板３７の間、及び弁体４１の弁座側に、それぞれ上記シ
ール機構１０または２０が取付けられている。上記バル
ブ３０は、弁棒３９を回転させると、弁体４１に取付け
られたシール機構１０または２０が、弁座３５に圧接し
て流路をシールする。
【００１２】
【考案の効果】本考案における高真空機器のシール機構
は、ジャケットのシール部を、ばねを圧縮するための圧
縮力によってシート面に波状のうねりを生じない厚さと
したことにより、シールによってシート面に波状のうね
りができないので、シート面からのリークを確実に防止
することができるとともに、圧縮力を解除した後におい
ても繰り返して使用することができる。また、ジャケッ
トを機器のシール面に固着した後でシート面の加工がで
きるので、シート面の加工が容易である。
は、ジャケットのシール部を、ばねを圧縮するための圧
縮力によってシート面に波状のうねりを生じない厚さと
したことにより、シールによってシート面に波状のうね
りができないので、シート面からのリークを確実に防止
することができるとともに、圧縮力を解除した後におい
ても繰り返して使用することができる。また、ジャケッ
トを機器のシール面に固着した後でシート面の加工がで
きるので、シート面の加工が容易である。
【図１】第１実施例の要部を示す断面図である。
【図２】同じく変形例の要部を示す断面図である。
【図３】第２実施例の半部縦断面図である。
【図４】高真空バルブに施した状態を示す断面図であ
る。
る。
【図５】公知のメタルＣリングの使用状態の要部を示す
断面図である。
断面図である。
【図６】公知のジャケットの中間加工状態の断面図であ
る。
る。
１０，２０ シール機構 １１，１２ シール面 １４ ばね １５，２１ ジャケット １６，２２ シール部 １７，２３ 取付部 １６ａ，２２ａ 圧縮面 １６ｂ，２２ｂ シート面
Claims (2)
- 【請求項１】 一対のシール面と、これらのシール面の
一方に形成した溝に挿入された金属線材を螺旋状に巻い
てエンドレスとしたばねと、それを覆うジャケットとを
備えた高真空機器のシール機構であって、 上記ジャケットが、上記ばねの圧縮面及びこれと反対側
のシール面の他方が圧接するシート面を有するシール部
と、該シール部の径方向外方に一体に延設され、先端部
分が上記シール面の一方に気密に取付けられた取付部と
を備え、 上記シール部が、一対のシール面に作用するばねを圧縮
するための圧縮力によってシート面に波状のうねりがで
きない厚さを、上記取付部が、上記圧縮力によって弾性
変位可能な厚さを、それぞれ有している、 ことを特徴とする高真空機器のシール機構。 - 【請求項２】 一対のシール面と、これらのシール面の
一方に形成した溝に挿入された金属線材を螺旋状に巻い
てエンドレスとしたばねと、それを覆う一対のジャケッ
トとを備えた高真空機器のシール機構であって、 これらのジャケットが、上記ばねの圧縮面及びこれと反
対側のシール面の他方が圧接するシート面を有するシー
ル部と、該シール部の径方向外方に一体に延設され先端
部分が相互に気密に固着された取付部とを備え、 これらのシール部が、一対のシール面に作用するばねを
圧縮するための圧縮力によってシート面に波状のうねり
ができない厚さを、これらの取付部が、上記圧縮力によ
って弾性変位可能な厚さを、それぞれ有している、 ことを特徴とする高真空機器のシール機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5949992U JP2521776Y2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 高真空機器のシール機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5949992U JP2521776Y2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 高真空機器のシール機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0614623U JPH0614623U (ja) | 1994-02-25 |
| JP2521776Y2 true JP2521776Y2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=13115045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5949992U Expired - Fee Related JP2521776Y2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 高真空機器のシール機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2521776Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-07-31 JP JP5949992U patent/JP2521776Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0614623U (ja) | 1994-02-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |