JP2702179B2 - 基板整列装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、角形の基板を整列させる基板整列装置の改
良に係る。

［従来の技術］ 一般に、角形の基板を一方向に搬送させて、現像や水
洗などの加工処理を行う基板の加工装置が知られている
が、このような加工装置から搬出された基板は、一枚ず
つ、段状に設置されたカセットなどに収納される。この
際、遅滞なく基板を収納部材に収納させるために、搬送
されている基板を整列させることが必要である。そのた
め、従来より基板の縁部に近接して、基板を押圧して一
定方向、一定位置に整列させる基板整列装置が提案され
ている。

このような基板整列装置の従来例を図面に基づいて説
明する。

第３図及び第４図に示すように、基板整列装置１は、
移動する基板ａの縁部に近接している固定板２上にカバ
ー３に覆われて設けられている。カバー３は、基板ａ側
の側板3cに開口部3aを形成しており、内部に仕切りとな
る中間底板3bを備えている。この中間底板3bの下方に
は、モータ４が備えられており、このモータ４は固定板
２に嵌着されている。そして、回動自在な駆動軸4aが中
間底板3bから上方に突出するよう備えられており、この
駆動軸4aの上端部にはピニオン５が挿着されている。こ
のピニオン５には、このピニオン５と咬み合う板状のラ
ック６が、カバー３の側板3cと直交方向に装着されてい
る。このラッチ６の背面には、押圧部材７及びスライド
板８が付設されており、ラック６と同方向に移動するよ
うになっている。押圧部材７はＬ字形をしており、短辺
部が開口部3aから直角に突き出している。この短辺部に
は基板ａの縁部を押圧する押圧部7aが設置されており、
長辺部の端部にラック６が係合している。一方、スライ
ド板８は、ほぼ正方形をしており、押圧部材７の長辺部
の端部下面に設置され、スライド板８の下面中央には移
動方向に凹部8aを形成している。ガイド９は、スライド
板８を直線運動させるよう、スライド板８の凹部8aに嵌
合しており、ラック６と平行に中間底板3b上に配置さ
れ、一端が開口部3a付近までくる直方体からなってい
る。さらに、押圧部材７の長辺部の端部上面には、クラ
ンク状のスライド片10が設置されており、このスライド
片10の先端部は、中間底板3b上に配設される二つのセン
サ11a,11bの各々内側の開口部に係合するようになって
いる。センサ11aは押圧部材７が後退した時点でスライ
ド片10を係合するようになっており、センサ11bは、押
圧部材７が前進した時点でスライド片10を係合するよう
になっている。そして、このセンサ11a,11bはモータ４
と電気的に接続されており、センサ11aにスライド片10
が係合して時点で押圧部材７が前進するようピニオン５
が右回転するようになっており、逆に、センサ11bにス
ライド片10が係合した時点で、押圧部材７が後退するよ
うピニオン５が左回転に切換わるようになっている。ま
た、スライド片10に隣接されて押圧部材７上にはダンパ
ー当接部12が設置されている。このダンパー当接部は側
板3cの設置されたダンパー13に当接し、押圧部材７が基
板ａを押圧する際の衝撃を吸収するようになっている。

なお、以上のような基板整列装置１は、搬送される基
板ａの両側に設置され、基板ａを両側から均一に押圧部
材７によって押圧し一定方向、一定位置に整列させる。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、以上のような従来技術には、次のよう
な課題があった。

すなわち、押圧部材７に付設されたラック６が前後動
をするため、ピニオン５が正逆転の上方向に回転しなけ
ればならず、ピニオン５が嵌着しているモータ４の制御
が困難だった。さらに押圧部材７の前進を検知するセン
サ11aと後退を検知するセンサ11bが必要であるため、生
産コストが上がってしまっていた。しかも、押圧部材７
は直線移動を行うので、基板ａへの衝撃を少なくするた
めゆっくり基板ａを押さなければならない場合は、最初
からゆっくり押圧部材７を前進させなければならず、基
板ａの整列に時間がかかっていた。

本発明の基板整列装置は、このような従来技術が持つ
課題を解決するために提案されたものであり、その目的
は、整列時間が速く、押圧部材の前後動の制御が容易で
あり、部材数が少なく低コストな、基板整列装置を提供
することである。

［課題を解決するための手段］ 以上のような課題を解決するために本発明の基板整列
装置は、一方向に移動する角形の基板を整列させるため
に、基板の縁部に近接して設けられる基板整列装置にお
いて、移動する基板の縁部を押圧するよう縁部に近接し
て設けられる、前後動自在な押圧部材と、前記押圧部材
に設けられ、幅方向に凹部を形成するスライド板と、前
記スライド板の凹部に嵌合して移動自在な駆動シャフト
を備える回動自在な偏心駆動板と、前記偏心駆動板と共
に回転する半円状の検知部材と、前記検知部材の近傍に
設けられて、該検知部材の回転に伴って検知部材の有無
を検知するセンサと、前記偏心駆動板に回転力を伝達す
る駆動軸を備える駆動モータとを備えたことを特徴とす
る。

［作 用］ 以上のような構成を有する本発明の作用は次のとおり
である。

すなわち、駆動モータの回転力が駆動軸によって偏心
駆動板に伝達され、偏心駆動板が回転する。そして、偏
心駆動板上の突起片がスライド板の凹部を移動しつつ、
スライド板及び押圧部材を前後動させ、押圧部材が前進
することによって基板を押圧し整列させる。

この時、突起片の円運動における横方向の動きはスラ
イド板の凹部に吸収されるため、スライド板及び押圧部
材はほぼ直線運動を繰り返すことができる。しかも、こ
の押圧部材の移動量と、偏心駆動板の回転速度を上げて
も押圧部材が基板を押圧する付近での押圧部材の移動量
は少ない。従って、基板に対する衝撃が少なく、同時
に、移動中の押圧部材は移動速度が速いため、基板の整
列時間が短くできる。

このように、本発明の基板整列装置は、モータの回転
動を押圧部材の前後動に変えることにより、モータの回
転が一方向で済み、制御が容易である。

また、検知部材が偏心駆動板と共に回転するためにこ
の半円状の検知部材は押圧部材の移動に伴って回動され
る。よって、この半円状の検知部材の回動位置によって
検出の有無を行うセンサが検出部材を検出しない状態
（つまり、半円状の検知部材の円弧端部がセンサ側に到
達した状態）で駆動モータを停止させ、押圧部材を往復
動作の起端となる位置にて停止させ得る。

［実 施 例］ 以上説明したような本発明の一実施例を図面を参照し
て具体的に説明する。

なお、従来例と同部材に関しては同符号を付し説明は
省略する。

＊実施例の構成＊ 第１図（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、基板整列装置
14は、その両縁部に固定板２に設置された支持板15及び
センサ16を備えている。この支持板15及びセンサ16の上
部には、固定板２に水平に上板17が支持されており、こ
の上板17は中央部に平行な２つの縦長の開口部17aを形
成している。

なお、このような基板整列装置14は、搬送する基板ａ
の両縁部に近接して設けられることは、従来例と同様で
ある。

スライド部材18は、切欠が上方にくるようなコの字形
の枠体となっており、両側板が開口部17aに摺動自在に
装着している。また、スライド部材18の下面中央には、
スライド部材18の移動方向と直交方向に長溝18aが形成
されている。この長溝18aには、回動自在な円形なカム
ホロワ19が係合しており、長溝18a内を移動自在となっ
ている。このカムホロワ19は、偏心駆動盤20の円周付近
に突出して設けられる駆動シャフト21の先端部に嵌着さ
れている。偏心駆動盤20は、スライド部材18の幅と同じ
直径を有し、中心に、モータ22の駆動軸22aが挿着され
る孔20aが設けられている。このモータ22は固定板２の
下部に設置されており、駆動軸22aのみが固定板２より
上方に突出して設けられている。すなわち、スライド部
材18は、カムホロワ19、駆動シャフト21、偏心駆動盤20
を介して駆動軸22aに支持されているようになってお
り、モータ22の駆動力が直接伝達されるようになってい
る。つまり、モータ22が作動すると、駆動軸22a、偏心
駆動盤20が回転し、駆動シャフト21が円運動を行うが、
幅方向の移動量はカムホロワ19がスライド部材18の長溝
18a内を移動してしまうため、スライド部材18には伝達
されず、開口部17aに沿ってスライド部材18が前後動の
みするようになっている。ところで、カムホロワ19は、
スライド部材18が最も前進するか或いは最も後退してい
る時、長溝18aの中央に位置するように設定されてい
る。

一方、スライド部材18の上部の切欠には、スライド部
材18の移動方向を長手方向とする長方形の起圧部材23が
設置されており、先端部には基板ａに当接する押圧部23
aが設けられている。この押圧部材23の下面には、凹部2
4aを中央に有する嵌合部材24が、設置されている。この
嵌合部材24の凹部24aは、上板17の開口部17aの中間に設
置される略直方体状のガイド25に嵌合するようになって
おり、スライド部材また、偏心駆動盤20の下面には半円
状の検知盤26が駆動シャフト21の反対側に設けられてい
る。この検知盤26はその半径は偏心駆動盤20より大きく
設定されており、偏心駆動盤24と共に回転するようにな
っている。この時、検知盤26はセンサ16の内側に形成さ
れた切欠16aを通過するようになっており、ここを通過
している間はモータ22が作動を続けるよう、センサ16と
モータ22は電気的に接続されている。そして、検知盤26
が180度回転した時、すなわち、検知盤26がセンサ16の
切欠ａを通過する時点モータ22が一定時間停止するよう
になっている。

＊実施例の作用＊ 以上のような構成を有する本実施例の作用は次のとお
りである。

すなわち、第２図に示すように、モータ22が作動し始
め、駆動軸22aが回転すると、偏心駆動盤20が同方向に
回転し始め、駆動シャフト21が円運動を行う。そして、
駆動シャフト21の先端部に設けられたカムホロワ19が、
スライド部材18の長溝18aを移動しつつ、スライド部材1
8が開口部17aに沿って前進し、同時に、押圧部材23が前
進する。この時、押圧部材23に付設された嵌合部材24が
ガイド25上を移動するため押圧部材23の直進運動は確実
に行われる。

駆動シャフト21の始動時には、カムホロワ19はスライ
ド部材18の長溝18aの中央に位置しているが、駆動シャ
フト21の移動と共に端部へ寄っていき、駆動シャフト21
が90度回転した時点で端部に達し、さらに回転するにつ
れてそこから折り返してくる。そして180度回転した時
点で再び長溝18aの中央に戻る。このように駆動シャフ
ト21及び偏心駆動盤20が回転する時、検知盤26も同様に
回転して行き、半円が反対側に移動する。この状態にな
った時、センサ16は作動し、所定時間モータ22を停止さ
せる。これは、基板ａを搬送させつつ整列させるため一
定時間基板ａの縁部を両側から押圧しなければならない
からである。そして、所定の時間が過ぎると、再び、モ
ータ22が作動し、次の基板を整列させるべく押圧部材23
がガイド25に沿って後退していく。この時、長溝18a内
において、カムホロワ19は先程と反対の端部に近づいて
いき、駆動シャフト21が270度を過ぎた時点で折り返
し、一周して再び中央に戻る。

しかし、この時にモータ22が止まる必要はなく、さら
に再び駆動シャフト21が180度回転するまで作動し続け
る。すなわち、基板ａが搬送される間隔を駆動シャフト
21が一回転する時間に設定しておけば、無駄のない整列
処理が可能となる。しかも、駆動シャフト21の前後動と
偏心駆動盤20の回転数の関係がCOSカーブなので、回転
数を上げても、押圧部材23が基板ａに当接する付近では
移動量が少なく、従って衝撃が低く、そのため整列時間
が大幅に短縮できる。

また、センサが１つで足りるため部材数も少なく経済
的に有利であり、しかも、モータ22の回転方向が一方向
であるため、モータ22の制御が容易である。

［発明の効果］ 以上述べたとおり、本発明の基板整列装置によれば、
押圧部材が装着されているスライド板に、偏心駆動板の
駆動シャフトを連結させるという簡単な構成で、偏心駆
動板を一方向にのみ回転させるだけで押圧部材を前後動
させることができ、従って、モータの切換が不必要であ
り、センサを設ける場合も１ケ所で済み、しかも、円運
動を直線運動に変換させることにより押圧部材が、基板
に当接する布巾ではゆっくり移動し、押圧部材の移動中
は速いため、基板への衝撃が少なく、基板の整列時間が
短縮できる、優れた基板整列装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ），（Ｂ）は本実施例の側面図、正面図であ
り、第２図は、本実施例の使用状態を示す平面図、第３
図は、従来例の使用状態を示す平面図、第４図は従来例
のＡ−Ａの断面図である。 １……基板整列装置、２……固定板、３……カバー、４
……モータ、５……ピニオン、６……ラック、７……押
圧部材、８……スライド板、９……ガイド、10……スラ
イド片、11……センサ、12……ダンパー当接部、13……
ダンパー、14……基板整列装置、15……支持板、16……
センサ、17……上板、18……スライド部材、19……カム
ホロワ、20……偏心駆動盤、21……駆動シャフト、22…
…モータ、23……押圧部材、24……嵌合部材、25……ガ
イド、26……検知盤。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一方向に移動する角形の基板を整列させる
   ために、基板の縁部に近接して設けられる基板整列装置
   において、 移動する基板の縁部を押圧するよう縁部に近接して設け
   られる、前後動自在な押圧部材と、 前記押圧部材に設けられ、幅方向に凹部を形成するスラ
   イド板と、 前記スライド板の凹部に嵌合して移動自在な駆動シャフ
   トを備える回動自在な偏心駆動板と、 前記偏心駆動板と共に回転する半円状の検知部材と、 前記検知部材の近傍に設けられて、該検知部材の回転に
   伴って検知部材の有無を検知するセンサと、 前記偏心駆動板に回転力を伝達する駆動軸を備える駆動
   モータと、 を備えたことを特徴とする基板整列装置。