JP2692124B2 - レジスト処理方法 - Google Patents
レジスト処理方法Info
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- JP2692124B2 JP2692124B2 JP63089851A JP8985188A JP2692124B2 JP 2692124 B2 JP2692124 B2 JP 2692124B2 JP 63089851 A JP63089851 A JP 63089851A JP 8985188 A JP8985188 A JP 8985188A JP 2692124 B2 JP2692124 B2 JP 2692124B2
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- resist
- etching
- etched
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体製造プロセスの、レジストパターン
形成工程での、レジスト処理方法に関するものである。
形成工程での、レジスト処理方法に関するものである。
従来の技術 近年、半導体デバイスは集積化が進み、暗室工程にお
いて、より微細なパターン形成が要求されている。以下
に図面を参照しながら、従来のレジストパターン形成方
法の一例について説明する。第3図においてaの1は被
エッチング物である。同図cで所望のマスク3のパター
ンにレジスト2を露光,現像する。ここでマスク3のパ
ターン寸法が小さくなるにしたがい露光での解像度の問
題により現像の際、未現像の部分4が生じる。そこで同
図dでこの未現像部分4を一般に使用されているドライ
エッチング装置でO2プラズマを用いて異方性エッチング
を行って除去していた。このようなO2プラズマによる露
光現像後のレジストのエッチング処理を以降デスカム処
理と呼ぶ。前記デスカム処理後、ホットプレート,べー
ク炉,紫外線照射等の後処理によりレジストの硬化を行
っている。
いて、より微細なパターン形成が要求されている。以下
に図面を参照しながら、従来のレジストパターン形成方
法の一例について説明する。第3図においてaの1は被
エッチング物である。同図cで所望のマスク3のパター
ンにレジスト2を露光,現像する。ここでマスク3のパ
ターン寸法が小さくなるにしたがい露光での解像度の問
題により現像の際、未現像の部分4が生じる。そこで同
図dでこの未現像部分4を一般に使用されているドライ
エッチング装置でO2プラズマを用いて異方性エッチング
を行って除去していた。このようなO2プラズマによる露
光現像後のレジストのエッチング処理を以降デスカム処
理と呼ぶ。前記デスカム処理後、ホットプレート,べー
ク炉,紫外線照射等の後処理によりレジストの硬化を行
っている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような方法では、デスカム処理後
数時間から数日放置すると、熱処理の有無に関係なく第
3図fに示すようにレジスト2のぬけた部分の被エッチ
ング物上1に、円盤状の微粒子6(以降パーティクルと
記す)が成長する問題があった。このパーティクル6は
デスカム処理直後は発生せず、時間が経つとともに増加
する傾向をしめす。さらにこのパーティクル6は被エッ
チング物1の加工の際、エッチングマスクとなってしま
いエッチング残りを生じるために問題となっている。
数時間から数日放置すると、熱処理の有無に関係なく第
3図fに示すようにレジスト2のぬけた部分の被エッチ
ング物上1に、円盤状の微粒子6(以降パーティクルと
記す)が成長する問題があった。このパーティクル6は
デスカム処理直後は発生せず、時間が経つとともに増加
する傾向をしめす。さらにこのパーティクル6は被エッ
チング物1の加工の際、エッチングマスクとなってしま
いエッチング残りを生じるために問題となっている。
課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明のレジスト処理方
法は、被エッチング物上に塗布したフォトレジストを所
望のマスクパターンに露光現像した後、未現像の一部の
みをO2プラズマでエッチングする際に真空チャンバーの
チャンバー側壁を、好ましくは60℃以上に加熱して行う
ことを特徴とする。
法は、被エッチング物上に塗布したフォトレジストを所
望のマスクパターンに露光現像した後、未現像の一部の
みをO2プラズマでエッチングする際に真空チャンバーの
チャンバー側壁を、好ましくは60℃以上に加熱して行う
ことを特徴とする。
作用 本発明は上記した方法を用いることにより被エッチン
グ物上にパーティクルが成長するのを防止できる。その
詳細なメカニズムはよくわからないが、フォトレジスト
のデスカム処理の際、チャンバー側壁を加熱することに
よりレジストの未分解物のチャンバー側壁への付着を極
めて少なくし、チャンバー側壁から被エッチング物上へ
再付着するのを防止し、パーティクルの極となる物質の
付着を防止するものと考えられる。
グ物上にパーティクルが成長するのを防止できる。その
詳細なメカニズムはよくわからないが、フォトレジスト
のデスカム処理の際、チャンバー側壁を加熱することに
よりレジストの未分解物のチャンバー側壁への付着を極
めて少なくし、チャンバー側壁から被エッチング物上へ
再付着するのを防止し、パーティクルの極となる物質の
付着を防止するものと考えられる。
実 施 例 以下本発明の一実施例のレジスト処理方法について図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
第1図において、工程aで被エッチング物を用意し、
工程bでレジスト膜を塗布形成し、工程cで露光現像
し、工程dでデスカム処理し、工程eでレジスト硬化処
理を行うという各工程を経てレジスト処理を行う。
工程bでレジスト膜を塗布形成し、工程cで露光現像
し、工程dでデスカム処理し、工程eでレジスト硬化処
理を行うという各工程を経てレジスト処理を行う。
詳細に説明すると、第1図の工程aにおいて、被エッ
チング物7は、例えば6インチのシリコン基板である。
このシリコン基板7の上に工程bでフォトレジスト8
(シプレ社MPS)を1μm塗布し、工程cで所望のマス
ク9のパターンに露光,現像する。この工程cにおいて
発生した未露光部10を除去するため、工程dでO2プラズ
マ11を用いてレジスト全体を約1000Åエッチングする。
チング物7は、例えば6インチのシリコン基板である。
このシリコン基板7の上に工程bでフォトレジスト8
(シプレ社MPS)を1μm塗布し、工程cで所望のマス
ク9のパターンに露光,現像する。この工程cにおいて
発生した未露光部10を除去するため、工程dでO2プラズ
マ11を用いてレジスト全体を約1000Åエッチングする。
第2図により、使用したエッチング装置を説明する
と、13は真空チャンバー、14はガス導入口、15は排気
口、16は上部電極、17は下部電極、18は第1図の工程c
の露光,現像後のシリコン基板、19は13.56MHzのRF電
源、20はヒーターを内蔵したインナーチャンバー、21は
ヒーター温調器である。このエッチング装置を用い、ヒ
ーター温調器21でインナーチャンバー20の表面を120℃
に保ち、ガス導入口14よりO2ガスを30sccm真空チャンバ
ー13内に導入し、真空チャンバー13内圧力を350mTorrと
して、高周波電源19より高周波出力100Wでレジストパタ
ーンのついているシリコン基板18をデスカム処理する。
このとき、上下電極16,17はともに40℃の一定となるよ
うに調整する。エッチング中の反応生成物は排気口15よ
り除去される。
と、13は真空チャンバー、14はガス導入口、15は排気
口、16は上部電極、17は下部電極、18は第1図の工程c
の露光,現像後のシリコン基板、19は13.56MHzのRF電
源、20はヒーターを内蔵したインナーチャンバー、21は
ヒーター温調器である。このエッチング装置を用い、ヒ
ーター温調器21でインナーチャンバー20の表面を120℃
に保ち、ガス導入口14よりO2ガスを30sccm真空チャンバ
ー13内に導入し、真空チャンバー13内圧力を350mTorrと
して、高周波電源19より高周波出力100Wでレジストパタ
ーンのついているシリコン基板18をデスカム処理する。
このとき、上下電極16,17はともに40℃の一定となるよ
うに調整する。エッチング中の反応生成物は排気口15よ
り除去される。
このディスカム処理後、工程eでシリコン基板7をホ
ットプレートで160℃に上昇させながら遠紫外線12を全
面に照射してレジストを硬化させる。
ットプレートで160℃に上昇させながら遠紫外線12を全
面に照射してレジストを硬化させる。
以上の一連のレジスト処理工程ののち上記処理を施し
たシリコン基板7を約120時間大気にさらした状態で放
置し、放置後のシリコン基板7表面を、光学顕微鏡を用
いて調べたところパーティクルの成長は無かった。
たシリコン基板7を約120時間大気にさらした状態で放
置し、放置後のシリコン基板7表面を、光学顕微鏡を用
いて調べたところパーティクルの成長は無かった。
次に、比較のために第2図のインナーチャンバー20の
表面温度を約20℃でディスカム処理を行ない。レジスト
を約1000Åエッチングした後、工程eのレジスト硬化処
理を施したシリコン基板7を約24時間大気にさらして放
置し、光学顕微鏡を用いてシリコン基板7の表面に調べ
たところパーティクルがシリコン基板7の表面に無数に
発生していた。
表面温度を約20℃でディスカム処理を行ない。レジスト
を約1000Åエッチングした後、工程eのレジスト硬化処
理を施したシリコン基板7を約24時間大気にさらして放
置し、光学顕微鏡を用いてシリコン基板7の表面に調べ
たところパーティクルがシリコン基板7の表面に無数に
発生していた。
次に下表にデスカム処理の際のインナーチャンバー20
表面温度とレジスト硬化処理後のパーティクルの発生状
況を示す。結果はデスカム処理後約120時間後のもので
ある。
表面温度とレジスト硬化処理後のパーティクルの発生状
況を示す。結果はデスカム処理後約120時間後のもので
ある。
以上のように、インナーチャンバー20の側壁温度が60
℃以上ではパーティクルの発生は無いが、40℃以下のも
のではパーティクルが発生する。
℃以上ではパーティクルの発生は無いが、40℃以下のも
のではパーティクルが発生する。
なお本実施例ではデスカム処理に使用するドライエッ
チング装置のチャンバー13,インナーチャンバー20およ
び上下電極16,17はアルミニウム製であり、表面は酸化
処理を行なったものを用いたが、ステンレス製及びアル
ミニウムやステンレスの表面を石英等でコーティングし
たものを使用しても同様の結果が得られた。
チング装置のチャンバー13,インナーチャンバー20およ
び上下電極16,17はアルミニウム製であり、表面は酸化
処理を行なったものを用いたが、ステンレス製及びアル
ミニウムやステンレスの表面を石英等でコーティングし
たものを使用しても同様の結果が得られた。
発明の効果 以上のように本発明は、被エッチング物上に塗布した
フォトレジストを所望のマスクパターンに露光現像した
後、未現像の一部のみをエッチングする際、真空チャン
バーのチャンバー側壁を、好ましくは60℃以上に加熱し
て行なうことにより、エッチング後に発生してくるパー
ティクルをおさえることができ、後工程でのパーティク
ルによるトラブルを防止できる。
フォトレジストを所望のマスクパターンに露光現像した
後、未現像の一部のみをエッチングする際、真空チャン
バーのチャンバー側壁を、好ましくは60℃以上に加熱し
て行なうことにより、エッチング後に発生してくるパー
ティクルをおさえることができ、後工程でのパーティク
ルによるトラブルを防止できる。
第1図は本発明の一実施例のレジスト処理方法の工程
図、第2図は同デスカム処理に用いるエッチング装置の
断面図、第3図は従来のレジスト処理方法の工程図であ
る。 7……シリコン基板、8……フォトレジスト、9……マ
スク、10……未露光部、11……O2プラズマ。
図、第2図は同デスカム処理に用いるエッチング装置の
断面図、第3図は従来のレジスト処理方法の工程図であ
る。 7……シリコン基板、8……フォトレジスト、9……マ
スク、10……未露光部、11……O2プラズマ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 厚 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 野村 登 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−64327(JP,A)
Claims (1)
- 【請求項1】被エッチング物上にフォトレジストを塗布
する工程、上記塗布したフォトレジストを所望のマスク
パターンに露光現像する工程、上記所望のパターンに現
像したフォトレジストの未現像の一部のみをチャンバー
側壁を60℃以上に加熱した真空チャンバー内においてO2
ガスプラズマでエッチングする工程を有するレジスト処
理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63089851A JP2692124B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | レジスト処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63089851A JP2692124B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | レジスト処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01261824A JPH01261824A (ja) | 1989-10-18 |
JP2692124B2 true JP2692124B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=13982282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63089851A Expired - Fee Related JP2692124B2 (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | レジスト処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2692124B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6364327A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-22 | Chlorine Eng Corp Ltd | 有機物被膜の除去装置の洗浄方法 |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP63089851A patent/JP2692124B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01261824A (ja) | 1989-10-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |