JP2683177B2 - 集積型一体化磁気ヘッドの製造方法及びアームへの取付方法 - Google Patents

集積型一体化磁気ヘッドの製造方法及びアームへの取付方法

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JP2683177B2
JP2683177B2 JP4008955A JP895592A JP2683177B2 JP 2683177 B2 JP2683177 B2 JP 2683177B2 JP 4008955 A JP4008955 A JP 4008955A JP 895592 A JP895592 A JP 895592A JP 2683177 B2 JP2683177 B2 JP 2683177B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積型一体化磁気ヘッ
ドの製造方法及びアームに対する取付方法に関する。
【０００２】近年、磁気ディスク装置の小型化,薄型化,
大容量化,低価格,低消費電力化を満たす装置の要望が高
まっており、この為には、ヘッドや媒体特性向上による
面密度のアップをできるだけ抑え、小スペースに数多く
の媒体を実装すること、又は、従来と同一枚数の媒体を
実装しつつ、装置高さを極力抑えることが要望されてい
る。
【０００３】この様な要望を満たすために、薄板状の集
積型一体化磁気ヘッド（例えば、Data Strage 90 An In
ternational Forum ; September 10-12,1990 Fiarmont
Hotel San Jose,CalifoniaにてCenstor Corporation
が発表した）が実用化されつつある。
【０００４】
【従来の技術】図１０は米国特許No.5,041,932に開示さ
れている集積型一体化磁気ヘッドの側面図、図１１は図
１０におけるヘッド部の拡大断面構成図、図１２は図１
１における底面図、図１３は図１０に示す集積型一体化
磁気ヘッドのウェハー上の配列パターンを説明する摸式
図である。
【０００５】図１０乃至図１２に示すように、集積型一
体化磁気ヘッド１は、弾性を有する薄板状のベース部２
と、ベース部２の先端部に設けられ、一方の面にギャッ
プ３が形成されたヘッド部４とより構成されている。
【０００６】又、ヘッド部４には、コイル５が巻回され
るコア６と、このコア６より媒体方向に向かって形成さ
れた第１のリターンヨーク７と、この第１のリターンヨ
ーク７よりコア６と略平行にベース部２の先端方向に延
出するように形成された第２のリターンヨーク８と、コ
ア６の先端部より媒体方向に延出する主ヨーク９とより
なる磁気回路が設けられている。そして、主ヨーク９と
第２のリターンヨーク８との間に、ギャップ３が形成さ
れている。
【０００７】コイル５の一方の端部にはリード線１０
が、他方の端部にはリード線１１が接続され、これらリ
ード線１０,１１はベース部２の基端部に形成されたボ
ンディングパッド１２,１３に接続されている。
【０００８】このような、薄板状の集積型一体化磁気ヘ
ッド１は、ウェハー上に、磁性材料やコイル材料等をス
パッタリング法やメッキ法を用いて膜を形成したのち、
フォトリソグラフィ技術を用いてパターン化することに
より、図１３に示すように複数の集積型一体化磁気ヘッ
ド１がウェハー１４上に形成される。尚、各集積型一体
化磁気ヘッド１間には、銅層が形成され、エッチングに
より各集積型一体化磁気ヘッド１はウェハー１４より分
離されるようになっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の集
積型一体化磁気ヘッドの製造法によれば、ウェハー１４
よりエッチングで分離される集積型一体化磁気ヘッド１
は、薄く且つ長さも短いので、１本づつばらばらになる
と、回収する時に取扱が難しいという問題点がある。
【００１０】又、次工程でこの集積型一体化磁気ヘッド
をヘッドアームに取り付ける際にも、作業が難しいとい
う問題点がある。本発明は、上記問題点に鑑みてなされ
たもので、その目的は、取扱が容易となり、作業性の向
上が図れる集積型一体化磁気ヘッドの製造方法及びその
アームへの取り付け方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の発明は、先端部にヘッド部が形成された薄板
状の集積型一体化磁気ヘッドをウェハー上に複数形成す
る磁気ヘッドの製造方法において、前記ウェハー上に、
同間隔でもって複数の前記集積型一体化磁気ヘッドが同
方向に配設された第１の集積型一体化磁気ヘッド群,前
記第１の集積型一体化磁気ヘッド群の各集積型一体化磁
気ヘッドの基端部を連絡する第１の連絡部よりなる第１
のブロックと、先端部が前記第１の連絡部に当接するよ
うに前記第１の集積型一体化磁気ヘッド群の各集積型一
体化磁気ヘッド間に配設された第２の集積型一体化磁気
ヘッド群,前記第２の集積型一体化磁気ヘッド群の各集
積型一体化磁気ヘッドの基端部を連絡する第２の連絡部
よりなる第２のブロックとを形成したものである。
【００１２】 次に、請求項２記載の発明は、請求項１
記載の前記第１及び第２のブロックはエッチングで前記
ウェハーより切出されるものである。次に、請求項３記
載の発明は、同間隔でもって複数の集積型一体化磁気ヘ
ッドが同方向に配設された集積型一体化磁気ヘッド群と
前記集積型一体化磁気ヘッド群の各集積型一体化磁気ヘ
ッドの基端部を連絡する連絡部とからなるブロック内
の、１つの集積型一体化磁気ヘッドをアームに仮止め
し、仮止めされた集積型一体化磁気ヘッドと前記ブロッ
クとを分離し、仮止めされた集積型一体化磁気ヘッドを
アームに接着するものである。
【００１３】最後に、請求項４記載の発明は、請求項３
における前記仮止めは、クリップを用いるものである。
【００１４】
【作用】請求項１記載の集積型一体化磁気ヘッドの製造
方法において、複数の集積型一体化磁気ヘッドが第１の
ブロック又は第２のブロックとしてウェハーより分離さ
れる。よって、回収する時に取扱が容易となる。
【００１５】 請求項２記載の集積型一体化磁気ヘッド
の製造方法において、第１のブロック及び第２のブロッ
クはエッチングでウェハーより分離される。請求項３記
載の集積型一体化磁気ヘッドのアームへの取り付け方法
では、第１又は第２のブロックの複数の集積型一体化磁
気ヘッドのうちの１つの集積型一体化磁気ヘッドをヘッ
ドアームに仮止めし、仮止めしたのち集積型一体化磁気
ヘッドを分離し、仮止めされた集積型一体化磁気ヘッド
をヘッドアームに接着する。これにより、集積型一体化
磁気ヘッドのヘッドアームへの取り付けが容易となる。
【００１６】 請求項４記載の集積型一体化磁気ヘッド
のヘッドアームへの取り付け方法では、請求項３記載の
仮止めをクリップで行う。これにより、集積型一体化磁
気ヘッドのヘッドアームへの取り付けが容易となる。
【００１７】
【実施例】次に図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図１は本発明の一実施例を説明する構成図、図２は
図１に示す集積型一体化磁気ヘッドのアームへの取り付
けを説明する図、図３は本実施例の集積型一体化磁気ヘ
ッドが取り付けられたアクチュエータの側面構成図、図
４は図３における平面構成図、図５は本実施例の集積型
一体化磁気ヘッドの設けられた別の磁気ディスク装置の
平面図、図６は図５における正面図、図７は図５におけ
るアーム部分の拡大図、図８は図７における正面図、図
９は図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【００１８】本実施例の集積型一体化磁気ヘッドの説明
を行う。尚、本実施例の集積型一体化磁気ヘッド２１の
構成は、従来例で説明を行った集積型一体化磁気ヘッド
１と同じであるので、同一部分には、同一符合を付し、
それらの説明は、省略する。更に、製造方法も従来例と
同様に、ウェハー上に、磁性材料やコイル材料等をスパ
ッタリング法やメッキ法を用いて膜を形成したのち、フ
ォトリソグラフィ技術を用いてパターン化することによ
り製造される。
【００１９】そして、従来例と異なる点は、ウェハー２
２上の集積型一体化磁気ヘッド２１の配設パターンであ
る。本実施例の配設パターンは、図１に示すように、複
数の第１のブロック２３とこれと対をなす複数の第２の
ブロック２４に大別される。
【００２０】第１のブロック２３は、同間隔でもって複
数の集積型一体化磁気ヘッド２１が同方向に配設された
第１の集積型一体化磁気ヘッド群２５と、第１の集積型
一体化磁気ヘッド群２５の各集積型一体化磁気ヘッド２
１の基端部を連絡する第１の連絡部とより構成されてい
る。
【００２１】又、第２のブロック２４は、先端部が第１
の連絡部２６に当接するように第１の集積型一体化磁気
ヘッド群２５の各集積型一体化磁気ヘッド２１間に配設
された第２の集積型一体化磁気ヘッド群２７と、第２の
集積型一体化磁気ヘッド群２７の各集積型一体化磁気ヘ
ッド２１の基端部を連絡する第２の連絡部２８とより構
成されている。
【００２２】そして、第１のブロック２３と第２のブロ
ック２４との間には、図９に示すように、銅層（図にお
いて、斜線部分）２９が形成されている。この銅層２９
をエッチングし、ウェハー２２より切出す。
【００２３】この様にして、ウェハー２２より切出され
た第１のブロック２３及び第２のブロック２４は、図３
及び図４に示すキャリッジ３０に取り付けられる。先
ず、キャリッジ３０の説明を行う。キャリッジ３０は、
図３に示すように、図示しない記録媒体方向に延出する
プレート３１が複数枚積層配置され、図示しない駆動装
置によって回転駆動されるアクチュエータシャフト３２
に取り付けられ、記録媒体のトラックを横切る方向に回
転駆動される。
【００２４】プレート３１の先端部は、記録媒体の記録
面に向かって傾斜する斜面３１ａが形成され、この斜面
３１ａ上にアーム３３が固着されている。そして、この
アーム３３の先端部に、前述の集積型一体化磁気ヘッド
２１の基端部が固着されている。
【００２５】次に、上記構成の作動を説明する。図示し
ない制御部が駆動装置を駆動させ、アクチュエータシャ
フト３２を回転させる。このアクチュエータ３２の回転
により、プレート３１,アーム３３,集積型一体化磁気ヘ
ッド２１は、記録媒体のトラックを横切る方向に移動
し、所定のトラック迄移動する。集積型一体化磁気ヘッ
ド２１が所定のトラック上に移動すると、集積型一体化
磁気ヘッド２１のコイル５に電流が流れ、記録媒体に対
してデータの書込が行われる。又、集積型一体化磁気ヘ
ッド２１が所定のトラック上を移動することにより、記
録媒体上に記録されたデータに応じて誘導起電力がコイ
ル５に発生し、記録媒体上のデータの読取が行われる。
【００２６】次に、図５乃至図１２を用いて本実施例の
本実施例の集積型一体化磁気ヘッド２１の設けられた別
の磁気ディスク装置の説明を行う。最初に、図５及び図
６を用いて、本実施例の磁気ディスク装置の全体構成を
説明する。これらの図において、１２１は磁気ディスク
装置のベースである。このベース１２１上には、スペー
サ１２２を介して複数枚のディスク１２３（本実施例で
は３枚）が回転可能に積層配置されている。これら複数
枚のディスク１２３は図示しない駆動部としてのスピン
ドルモータによって高速回転駆動（たとえば、3600rp
m）されるようになっている。
【００２７】１２４は一方の端部がディスク１２３のト
ラックを横切るようにベース１２１上に回転可能に設け
られたポジショナーである。このポジショナー１２４の
他方の回転端部には、コイル１２５が設けられている。
このコイル１２５は、ベース１２１上に設けられた磁気
回路１２６の磁気ギャップ内に配設されている。そし
て、このコイル１２５に電流を流すことにより、コイル
１２５には推進力が発生し、ポジショナー１２４を回転
駆動するＶＣＭ（ボイスコイルモータ）が形成されてい
る。
【００２８】ポジショナー１２４には、ディスク１２３
の各記録面上に延出するアーム１２７が複数本（本実施
例においては、４本）取り付けられている。具体的に
は、ポジショナーの回転軸にアーム１２７がヘッド支持
部材１２９を介して積層配置されている。
【００２９】そして、アーム１２７の先端部には、ディ
スク１２３に対してデータのリード／ライトを行なう集
積型一体化磁気ヘッド２１が設けられている。このよう
な構成において、集積型一体化磁気ヘッド２１を組み付
けるには、先ず、集積型一体化磁気ヘッド２１をヘッド
支持部材１２９のテーパ面２９ａに接着，溶接等の手法
で取り付けた後、ヘッド支持部材１２９のスライダ部１
２９ｂをアーム１２７のガイド溝１２７ａにセットし、
ディスク１２３との平行度等を調整した後に、接着，溶
接等の手法（本実施例では、熱硬化性の接着剤を用い
た）で固定を行う。
【００３０】次に、上記構成の作動を説明する。ディス
ク１２３は図示しない駆動部としてのスピンドルモータ
によって回転駆動されている。そして、コイル１２５に
電流を流すと、磁気回路１２６の磁気ギャップ内に配設
されているコイル１２５に推進力が発生し、ポジショナ
ー１２４はベース１２１に対して回転駆動される。ポジ
ショナー１２４が回転することにより、アーム１２７の
先端部に取り付けられた集積型一体化磁気ヘッド２９が
ディスク２３の所望のトラックにアクセスし、ディスク
２３に対してデータのリード／ライトを行なう。
【００３１】次に、集積型一体化磁気ヘッド２１のキャ
リッジ３０ (ヘッド支持部材１２９) に対する取り付け
方法を図２を用いて説明する。ウェハー２２よりエッチ
ングにより切出された第１のブロック２１（第２のブロ
ック２４）の第１の集積型一体化磁気ヘッド群２６（第
２の集積型一体化磁気ヘッド群２７）のうちの取り付け
ようとする集積型一体化磁気ヘッド２１をアーム３３上
にセットし、集積型一体化磁気ヘッド２１の基端部近傍
をクリップ４０を用いて仮止めする。
【００３２】次に、仮止めされた集積型一体化磁気ヘッ
ド２１と第１のブロック２１（第２のブロック２４）と
を分離し（図において、破線部分）する。上記構成によ
れば、ウェハー２２より切出されるのは、複数の集積型
一体化磁気ヘッド２１が第１の連絡部２６（第２連絡部
２８）を介して一体化された第１のブロック２３（第２
のブロック２４）であるので、切出した後の回収が容易
となる。
【００３３】又、アーム３３（ヘッド支持部材１２９）
への集積型一体化磁気ヘッドの取り付けも、第１のブロ
ック２３（第２のブロック２４）を用いて行うので、作
業性が容易となる。
【００３４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、取扱
が容易となり、作業性の向上が図れる集積型一体化磁気
ヘッドの製造方法及びそのアームへの取り付け方法を実
現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を説明する構成図である。
【図２】図１に示す集積型一体化磁気ヘッドのアームへ
の取り付けを説明する図である。
【図３】本実施例の集積型一体化磁気ヘッドが取り付け
られたアクチュエータの側面構成図である。
【図４】図３における平面構成図である。
【図５】本実施例の集積型一体化磁気ヘッドの設けられ
た別の磁気ディスク装置の平面図である。
【図６】図５における正面図である。
【図７】図５におけるアーム部分の拡大図である。
【図８】図７における正面図である。
【図９】図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図１０】米国特許No.5,041,932に開示されている集積
型一体化磁気ヘッドの側面図である。
【図１１】図１０におけるヘッド部の拡大断面構成図で
ある。
【図１２】図１１における底面図である。
【図１３】図１０に示す集積型一体化磁気ヘッドのウェ
ハー上の配列パターンを説明する摸式図である。
【符号の説明】
２１ 集積型一体化磁気ヘッド ２２ ウェハー ２３ 第１のブロック ２４ 第２のブロック ２５ 第１の集積型一体化磁気ヘッド群 ２６ 第１の連絡部 ２７ 第２の集積型一体化磁気ヘッド群 ２８ 第２の連絡部 ３３ アーム ４０ クリップ

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 先端部にヘッド部が形成された薄板状の
    集積型一体化磁気ヘッドをウェハー上に複数形成する磁
    気ヘッドの製造方法において、 前記ウェハー上に、 同間隔でもって複数の前記集積型一体化磁気ヘッドが同
    方向に配設された第１の集積型一体化磁気ヘッド群，前
    記第１の集積型一体化磁気ヘッド群の各集積型一体化磁
    気ヘッドの基端部を連絡する第１の連絡部よりなる第１
    のブロックと、 先端部が前記第１の連絡部に当接するように前記第１の
    集積型一体化磁気ヘッド群の各集積型一体化磁気ヘッド
    間に配設された第２の集積型一体化磁気ヘッド群，前記
    第２の集積型一体化磁気ヘッド群の各集積型一体化磁気
    ヘッドの基端部を連絡する第２の連絡部よりなる第２の
    ブロックと、 を形成したことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項２】 前記第１及び第２のブロックはエッチン
    グで前記ウェハーより切出されることを特徴とする請求
    項１記載の磁気ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項３】 同間隔でもって複数の集積型一体化磁気
    ヘッドが同方向に配設された集積型一体化磁気ヘッド群
    と前記集積型一体化磁気ヘッド群の各集積型一体化磁気
    ヘッドの基端部を連絡する連絡部とからなるブロック内
    の、１つの集積型一体化磁気ヘッドをアームに仮止め
    し、 仮止めされた集積型一体化磁気ヘッドを前記ブロックと
    を分離し、 仮止めされた集積型一体化磁気ヘッドを前記アームに接
    着することを特徴とする集積型一体化磁気ヘッドのアー
    ムへの取り付け方法。
  4. 【請求項４】 前記仮止めは、クリップを用いることを
    特徴とする請求項３記載の集積型一体化磁気ヘッドのア
    ームへの取り付け方法。
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