JP2671707B2 - 光ディスク製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ディスク基板成形工
程，反射膜膜付け工程，保護膜膜付け工程の主要工程を
へて光ディスクを製造する光ディスク製造方法におい
て、保護膜面検査，レーベル面検査，刻印番号検査，鏡
面検査などの検査を行うよう構成した光ディスク製造方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、コンパクトディスク（ＣＤ），Ｃ
Ｄ−ＲＯＭ（Ｒｅａｄ ０ｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ），ビ
デオディスク（ＶＤ）などの円盤状の光ディスクは、音
声情報，画像情報，文字情報などの情報信号を複数のピ
ット列に変換して多量に収録している。この光ディスク
のうち、情報信号を複数のピット列に変換して予め収録
しておき再生専用として使用するものと、トラッキング
信号のみを複数のピット列に変換して予め収録しておき
情報信号を後から随時記録する記録可能なものとがあ
る。上記光ディスクを一部断面して図示すると、図１１
に示した如くである。 図１１に示した如く、上記光デ
ィスク１は、複数のピット列が螺旋状に刻まれた円盤状
のスタンパを用い、複数のピットを転写した円盤状の信
号面２ａ及び信号面と対向側に平坦に形成した円盤状の
再生面２ｂを有し、ほぼ透明な樹脂Ｊで射出成形したデ
ィスク基板２と、信号面２ａ上に反射膜３を極薄く膜付
けした反射膜面３ａと、反射膜面３ａ上に保護膜４を膜
付けした保護膜面４ａと、必要に応じて印刷されるレー
ベル５を保護膜面４ａ上に印刷したレーベル面５ａとで
一体に円盤状に形成されていることは周知である。尚、
ここで、必要に応じて印刷されるレーベル５とは、文
字，絵柄，図形，色塗りなど光ディスク１のディスク識
別機能を備えているものならいかなる印刷内容でも良い
ものである。

【０００３】そして、使用者が光ディスク１を図示しな
いディスクプレーヤに装着し、再生面２ｂ側から光ピッ
クアップにより信号面２ａ（反射膜面３ａ）を再生する
と、音声情報，画像情報，文字情報などの情報信号を再
生（又は記録）できると共に、迅速に所望の位置にラン
ダムアクセスできるので使用者に大変喜ばれている。

【０００４】従来、光ディスク製造方法の一例として、
ディスク基板成形工程，反射膜膜付け工程，保護膜膜付
け工程の主要工程をへて光ディスク１を製造しており、
このうち反射膜膜付け工程では、ディスク基板２の信号
面２ａ上に反射膜３を膜付けして反射膜面３ａを形成す
る際、１ロットごとに多量のディスク基板２を大容量の
スパッタマシン内に入れて長時間真空状態を保ちながら
アルミニユウムなどの反射膜３を膜付けして反射膜面３
ａを形成していたが、真空技術の進歩に伴ってスパッタ
マシンの改良が進み、ディスク基板２の成形時間に対応
しながら小型のスパッタマシン内で１枚づづディスク基
板２の信号面２ａ上に反射膜３を膜付けすることが可能
となり、これに伴って最近、図１２に示した光ディスク
製造方法が開発されている。

【０００５】即ち、図１１及び図１２を併用して従来の
光ディスク製造方法を説明すると、円盤状のスタンパを
取り付けたディスク用成形機１１（以下、ディスク用射
出成形機１１と記す）により信号面２ａ及び再生面２ｂ
を有した円盤状のディスク基板２が成形され、このディ
スク基板２は直ちに小型のスパッタマシン３１内に入れ
られて、ディスク基板２の成形時間に対応させながら信
号面２ａ上にアルミニユウムなどの反射膜３を膜付けし
た反射膜面３ａが形成される。反射膜３を膜付けしたデ
ィスク基板２は直ちスピンコータ４１により反射膜面３
ａ上に紫外線硬化樹脂などのほぼ透明な保護膜４を膜付
けした保護膜面４ａが形成される。更に、保護膜面４ａ
上にレーベル印刷機６１によりレーベル５を印刷したレ
ーベル面５ａが形成される。レーベル５は必要に応じて
印刷されるものであり、コンパクトディスク（ＣＤ）な
どはレーベル５を印刷した後、反射膜３を膜付けした反
射膜面３ａ及び下地となる信号面２ａを鏡面検査機９１
により検査して良品，不良品を選別し、良品のみを梱包
している。尚、レーベル５を印刷しない場合には、保護
膜面４ａを形成後、直ちに鏡面検査機９１により検査し
ている。

【０００６】上記した従来の光ディスク１を製造する方
法では、ディスク基板２の成形後の工程において、ディ
スク基板２の成形時間に対応させながら、各工程ごとに
所定の処理を施し、且つ、所定の処理を施したディスク
基板２を次の工程に１枚づつ順送するするよう構成され
ているので、工程の途中でディスク基板２が滞ることが
なく、光ディスク１の製造時間が短縮でき、しかも各工
程は自動化が進んでいるため製造に携わる人員も大巾に
削減できる利点がある。また、少量ロットの光ディスク
１の製造に直ちに対応でき、小回りのきく光ディスク製
造方法であるなどの利点もある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来の光ディスク１を製造する方法では、ディスク基板２
の成形時間に対応して所定の処理をしながら光ディスク
１を製造するため、上述したような利点を有するもの
の、光ディスク１を製造中に自動的に検査する工程は鏡
面検査機９１により反射膜３を膜付けした反射膜面３ａ
及び下地となる信号面２ａのみを検査しているにすぎ
ず、保護膜面４ａの膜付け状態の良否とか、レーベル面
５ａの印刷状態の良否とかを検査することなく、出荷さ
れてしまうので、品質及び信頼性の良好な光ディスク１
を使用者に提供するこができない場合もあり、問題とな
っている。また、保護膜面４ａの膜付け状態の良否と
か、レーベル面５ａの印刷状態の良否とかを目視で検査
する方法もあるものの、この場合に検査する工数がかか
ると共に、人手にたよるため検査のバラッキが発生し易
いなどの問題もある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
てなされたものであり、第１の発明は、複数のピットが
刻まれたピット面を有するスタンパをディスク用成形機
に取り付け、ほぼ透明な樹脂を用いて前記ピット面を円
盤状の信号面として転写すると共に、円盤状のディスク
基板を所定の成形時間で成形し、且つ、前記信号面上に
反射膜を膜付けして反射膜面を形成し、且つ、前記反射
膜面上に保護膜を膜付けして保護膜面を形成した光ディ
スクを製造する光ディスク製造方法において、前記保護
膜面を形成後、前記保護膜面の良否を検査し、前記反射
膜面を形成後で、且つ、前記反射膜面形成中及び前記保
護膜面形成中を除いて適宜に挿入され、前記反射膜面及
び下地となる前記信号面の良否を検査すると共に、前記
ディスク基板を成形後は、前記ディスク基板の成形時間
に対応して各工程ごとに所定の処理を施し、且つ、所定
の処理を施したディスク基板を次工程に順送するよう構
成したことを特徴とする光ディスク製造方法である。

【０００９】また、第２の発明は、複数のピットが刻ま
れたピット面を有するスタンパをディスク用成形機に取
り付け、ほぼ透明な樹脂を用いて前記ピット面を円盤状
の信号面として転写すると共に、円盤状のディスク基板
を所定の成形時間で成形し、且つ、前記信号面上に反射
膜を膜付けして反射膜面を形成し、且つ、前記反射膜面
上に保護膜を膜付けして保護膜面を形成した光ディスク
を製造する光ディスク製造方法において、前記保護膜面
を形成後、前記保護膜面の良否を検査し、前記保護膜面
の検査時に良品と判定された後、前記保護膜面上にレー
ベルを印刷してレーベル面を形成し、前記反射膜面を形
成後で、且つ、前記反射膜面形成中及び前記保護膜面形
成中並びに前記レーベル面形成中を除いて適宜に挿入さ
れ、前記反射膜面及び下地となる前記信号面の良否を検
査すると共に、前記ディスク基板を成形後は、前記ディ
スク基板の成形時間に対応して各工程ごとに所定の処理
を施し、且つ、所定の処理を施したディスク基板を次工
程に順送するよう構成したことを特徴とする光ディスク
製造方法である。

【００１０】また、第３の発明は、複数のピットが刻ま
れたピット面を有するスタンパをディスク用成形機に取
り付け、ほぼ透明な樹脂を用いて前記ピット面を円盤状
の信号面として転写すると共に、円盤状のディスク基板
を所定の成形時間で成形し、且つ、前記信号面上に反射
膜を膜付けして反射膜面を形成し、且つ、前記反射膜面
上に保護膜を膜付けして保護膜面を形成した光ディスク
を製造する光ディスク製造方法において、前記保護膜面
を形成後、前記保護膜面上にレーベルを印刷してレーベ
ル面を形成し、前記レーベル面を形成後、前記レーベル
面の良否を検査し、前記反射膜面を形成後で、且つ、前
記反射膜面形成中及び前記保護膜面形成中並びに前記レ
ーベル面形成中を除いて適宜に挿入され、前記反射膜面
及び下地となる前記信号面の良否を検査すると共に、前
記ディスク基板を成形後は、前記ディスク基板の成形時
間に対応して各工程ごとに所定の処理を施し、且つ、所
定の処理を施したディスク基板を次工程に順送するよう
構成したことを特徴とする光ディスク製造方法である。

【００１１】また、第４の発明は、複数のピットが刻ま
れたピット面を有するスタンパをディスク用成形機に取
り付け、ほぼ透明な樹脂を用いて前記ピット面を円盤状
の信号面として転写すると共に、円盤状のディスク基板
を所定の成形時間で成形し、且つ、前記信号面上に反射
膜を膜付けして反射膜面を形成し、且つ、前記反射膜面
上に保護膜を膜付けして保護膜面を形成した光ディスク
を製造する光ディスク製造方法において、前記保護膜面
を形成後、前記保護膜面の良否を検査し、前記保護膜面
の検査時に良品と判定された後、前記保護膜面上にレー
ベルを印刷してレーベル面を形成し、前記レーベル面を
形成後、前記レーベル面の良否を検査し、前記反射膜面
を形成後で、且つ、前記反射膜面形成中及び前記保護膜
面形成中並びに前記レーベル面形成中を除いて適宜に挿
入され、前記反射膜面及び下地となる前記信号面の良否
を検査すると共に、前記ディスク基板を成形後は、前記
ディスク基板の成形時間に対応して各工程ごとに所定の
処理を施し、且つ、所定の処理を施したディスク基板を
次工程に順送するよう構成したことを特徴とする光ディ
スク製造方法である。

【００１２】更に、第５の発明は、請求項３及び請求項
４において、前記ディスク基板の成形時に、前記スタン
パのスタンパ番号を前記ディスク基板の刻印番号として
転写し、且つ、前記レーベル面検査工程時に、前記刻印
番号と前記レーベル面との合否を検査するよう構成した
ことを特徴とする光ディスク製造方法である。

【００１３】

【実施例】以下に本発明に係わる光ディスク製造方法の
一実施例を図１乃至図１１を参照して＜光ディスク製造
システム及び工程＞，＜ディスク基板成形手段＞，＜反
射膜膜付け手段＞，＜保護膜膜付け手段＞，＜保護膜面
検査手段＞，＜レーベル印刷手段＞，＜レーベル面検査
手段及び刻印番号検査手段＞，＜鏡面検査手段＞につい
て項目順に詳細に説明する。尚、説明の便宜上、先に示
した構成部材と同一構成部材に対しては同一の符号を符
して説明する。

【００１４】＜光ディスク製造システム及び工程＞ここ
では、光ディスク製造方法における光ディスク製造シス
テム及び工程について、図１乃至図３，図１１を併用し
て全体を説明する。図１は本発明に係わる光ディスク製
造方法に用いられる光ディスク製造システムを全体的に
示した斜視図、図２は図１に示した光ディスク製造シス
テムを平面的に示した平面図、図３は本発明に係わる光
ディスク製造工程を順に示したフローである。

【００１５】図１乃至図３，図１１において、本発明に
係わる光ディスク製造方法では、先に図１１を用いて説
明した光ディスク１を製造する工程順、即ち、ディスク
基板２を成形するディスク用成形機（以下、ディスク用
射出成形機と記す）１１を備えたディスク基板成形手段
１０と、ディスク基板２の信号面２ａ上にアルミニユウ
ムなどの反射膜３を極薄く膜付けして反射膜面３ａを形
成するスパッタマシン３１を備えた反射膜膜付け手段３
０と、反射膜面３ａ上に紫外線硬化樹脂などのほぼ透明
な保護膜４を膜付けして保護膜面４ａを形成するスピン
コータ４１（図６）及び保護膜面硬化機４７（図６）を
備えた保護膜膜付け手段４０と、保護膜面４ａの膜付け
状態の良否を全て自動的に検査する保護膜面検査機５１
（図７）を備えた保護膜面検査手段５０と、保護膜面４
ａ上にレーベル５を印刷してレーベル面５ａを形成する
レーベル印刷機６１及びレーベル面硬化機６８（図８）
を備えたレーベル印刷手段６０と、レーベル面５ａの印
刷状態の良否を全て自動的に検査するレーベル面検査機
７１（図９）を備えたレーベル面検査手段７０及びディ
スク基板２の刻印番号２ｄ_１とレーベル面５ａとの合否
を全て自動的に検査する刻印番号検査機８１（図９）を
備えた刻印番号検査手段８０と、反射膜面３ａの下地と
なる信号面２ａの面形状及び反射膜面３ａの膜付け状
態，信号特性などの良否を自動的に検査する鏡面検査機
９１（図１０）を備えた鏡面検査手段９０とが、工程の
上流から下流に向かって上記順序で設置され、更に、各
手段により所定の処理を施したディスク基板２を各手段
間に搬送するロボット，コンベアなどのディスク搬送手
段１１０が設けられ、且つ、各検査手段で不良となった
ディスク基板２を排出するディスク排出手段１２０が設
けられている。

【００１６】また、実施例では上記各手段を全て備えて
いるが、これに限定されることなく、ディスク基板成形
手段１０，反射膜膜付け手段３０，保護膜膜付け手段４
０，鏡面検査手段９０からなる主要手段を常設し、その
他の各手段を適宜組み合わせて光ディスク製造システム
を構成することも可能である。また、上記各手段のうち
で鏡面検査手段９０は、実施例ではレーベル面検査手段
７０及び刻印番号検査手段８０の後に設置されている
が、これに限定されることなく、反射膜膜付け手段３０
により反射膜面３ａを形成した後、後述する工程中、又
は工程後に挿入設置することが可能である。

【００１７】また、上記各手段は光ディスク製造システ
ムとして一区画の室内にユニット化されて一つのユニッ
トとして設置されており、この光ディスク製造システム
をユニット単位で構成することにより、複数のユニット
を設置する場合に効率良くレイアウトすることも可能と
なるものである。

【００１８】次に、図３に示した光ディスク製造方法の
工程では、上記各手段により全ての下記工程が自動的に
処理され、ディスク基板を成形後はディスク基板の成形
時間に対応して各工程ごとに所定の処理を施し、且つ、
所定の処理を施したディスク基板を次工程に順送してい
る。

【００１９】まず、工程において、ディスク基板成形
手段１０により信号面２ａ及び再生面２ｂを有したディ
スク基板２を成形する。

【００２０】次に、工程において、反射膜膜付け手段
３０により信号面２ａ上にアルミニユウムなどの反射膜
３を極薄く膜付して反射膜面３ａを形成する。

【００２１】次に、工程において、保護膜膜付け手段
４０により反射膜面３ａ上に紫外線硬化樹脂などのほぼ
透明な保護膜４を膜付して保護膜面４ａを形成すると共
に、保護膜面４ａをＵＶ硬化する。

【００２２】次に、工程において、保護膜面検査手段
５０により保護膜面４ａの膜付け状態の良否を検査し、
良品のディスク基板２を工程へ搬送し、不良品のディ
スク基板２を排出する。

【００２３】次に、工程において、レーベル印刷手段
６０により保護膜面４ａ上にディスク基板２の刻印番号
２ｄ_１に対応したレーベル５を印刷してレーベル面５ａ
を形成すると共に、レーベル面５ａをＵＶ硬化する。
尚、レーベル５の印刷は、必要に応じて行われており、
レーベル５の印刷をしないディスク基板２は、保護膜面
４ａ形成後、例えば工程工程に送れば良い。

【００２４】次に、工程において、レーベル面検査手
段７０によりレーベル面５ａの印刷状態の良否を検査
し、同時に、刻印番号検査手段８０により刻印番号２ｄ
_１とレーベル面５ａとの合否を検査し、良品のディスク
基板２を工程へ搬送し、不良品のディスク基板２を排
出する。尚、通常の作業では工程において、ディスク
基板２の刻印番号２ｄ_１に対応したレーベル５が印刷さ
れているものの、万一の場合、刻印番号２ｄ_１とレーベ
ル面５ａとの不一致を考慮して刻印番号２ｄ_１の検査が
行われている。尚、刻印番号検査工程を、ディスク基板
２を成形した後で、且つ、工程中及び工程中並びに
工程中を除いて、工程後，工程後，工程後，工
程後，又は工程中，工程中などのいずれかに適宜
挿入することも可能であり、この場合には刻印番号検査
で良品のディスク基板２をそれぞれの次工程へ搬送すれ
ば良い。

【００２５】次に、工程において、鏡面検査手段９０
により反射膜面３ａの下地となる信号面２ａの面形状及
び反射膜面３ａの膜付け状態，信号特性などの良否を検
査する。この後、実施例のように、工程後の鏡面検査
（工程）を終了したディスク基板２は、光ディスク１
として完成され、次の梱包工程へと搬送されている。
尚、鏡面検査工程を、反射膜面３ａを形成した後で、且
つ、工程中及び工程中を除いて、工程後，工程
後，工程後，工程後，又は工程中，工程中など
のいずれかに適宜挿入することも可能であり、この場合
には鏡面検査で良品のディスク基板２をそれぞれの次工
程へ搬送すれば良い。

【００２６】また、本発明の光ディスク製造方法では、
上記工程〜中に、実施例では保護膜面検査工程と、
レーベル面検査工程と、ディスク基板２の刻印番号検査
工程と、鏡面検査工程とを全て実施しているので、品質
及び信頼性の良好な光ディスク１を使用者に提供でき
る。尚、上記各検査工程のうちで一部の検査工程を削除
し、上記各検査工程を適宜組み合わせる方法（例えば、
保護膜面検査工程と鏡面検査工程との組み合わせ，レー
ベル面検査工程と鏡面検査工程との組み合わせ，保護膜
面検査工程とレーベル面検査工程と鏡面検査工程との組
み合わせ，更に、レーベル面検査工程を組み合わせた際
に刻印番号検査工程を組み合わせなど）も可能である。
また、上記各検査工程の詳細な手段及び効果は、以下項
目ごとに説明する。

【００２７】＜ディスク基板成形手段＞ここでは、光デ
ィスク１の基板となる円盤状のディスク基板２を成形す
るディスク基板成形手段１０について図４及び図１１を
併用して説明する。図４はディスク基板成形手段のディ
スク成形用金型を示した縦断面図である。

【００２８】図４に示したディスク基板成形手段１０で
は、周知のディスク用射出成形機（ディスク用成形機）
１１を採用しており、このディスク用射出成形機１１内
にはディスク成形用金型１２が取り付けられ、ディスク
基板２の所定の成形時間は例えば例えば４〜５秒程度と
設定され、成形されたディスク基板２は所定の成形時間
に対応して１枚づつ、次の工程となる反射膜膜付け工程
へ順送している。

【００２９】上記ディスク成形用金型１２において、図
中左方の固定コア取り付け台１３の中央部には、ポリカ
ーボネート又はアクリルなどのほぼ透明な樹脂Ｊ（以
下、ディスク用樹脂材料Ｊと記す）を流し込むための流
入口１４ａを備えたスプールブッシュ１４が嵌合してい
る。また、固定コア取り付け台１３に取り付けられた第
１コア１５（以下、固定コア１５と記す）には円盤状の
スタンパ１６が固定されており、スタンパ１６の中央部
を鍔部付きリテーナ１７のリング状鍔部１７ａを介して
支持され、円盤状の最外周部を鍔部付きフランジ１８の
リング状鍔部１８を介して支持されている。また、スタ
ンパ１６のピット面１６ａには音声情報，画像情報，文
字情報などの情報信号が複数の凹凸状のピット列に変換
されて刻まれており、且つ、これらの複数の凹凸状のピ
ット列が内周部から外周部に亘って螺旋状に多数本刻ま
れている。また、上記鍔部付きリテーナ１７は、中心部
にスプールブッシュ１４を嵌合させている。

【００３０】一方、図中右方の可動コア取り付け台１９
の中央部には、スプールブッシュ１４と対向して、セン
ター孔明け用ポンチ２０が矢印Ａ_１，Ａ_２方向に進退自
在に嵌合している。また、可動コア取り付け台１９に取
り付けられた第２コア２１（以下、可動コア２１と記
す）には、中央部にセンター孔明け用ポンチ２０を貫通
した内周リテーナ２２が嵌合し、外周部に外周リテーナ
２３が嵌合している。また、可動コア２１の平坦面２１
ａと内周リテーナ２２の平坦面２２ａとは同一の平坦面
に研磨加工されており、外周リテーナ２３の左面は可動
コア２１の平坦面２１ａより突出して鍔部付きフランジ
１８に当接している。尚、内周リテーナ２２及び外周リ
テーナ２３は、可動コア２１の平坦面２１ａを研磨し易
いように分離可能に設けられているものである。

【００３１】従って、スタンパ１６と、可動コア２１の
平坦面２１ａとの間の空間部がディスク基板２のキャビ
ティ２４となっている。そして、スプールブッシュ１４
の流入口１４ａからキャビティ２４に溶融したほぼ透明
なディスク用樹脂材料Ｊを流し込んで、円盤状のディス
ク基板２を成形している。この時、スタンパ１６の複数
のピット列が刻まれたピット面１６ａがディスク基板２
の信号面２ａとして凹凸状に転写され、一方、可動コア
２１の平坦面２１ａと内周リテーナ２２の平坦面２２ａ
とがディスク基板２の再生面２ｂとして平坦に転写され
ている。

【００３２】また、図１１に示したように、ディスク基
板２の信号面２ａと同一面側で信号面２ａの最内周内側
に鍔部付きリテーナ１７のリング状鍔部１７ａがディス
ク基板２のリング状溝部２ｃとして凹状に転写され、更
にこのリング状溝部２ｃの内側にスプールブッシュ１４
の先端面がディスク基板２のクランプエリア２ｄとして
平坦に転写されている。更に、ディスク基板２のクラン
プエリア２ｄには、スタンパ１６に予め刻まれたスタン
パ原盤番号がディスク基板２の刻印番号２ｄ_１として転
写されており、この刻印番号２ｄ_１は例えば英文字，数
字を組み合わせて刻印したと同様な状態に転写されてお
り、且つ、刻印番号２ｄ_１は信号面２ａの情報と対応す
ることは当然のことの他、後述するレーベル５の印刷内
容と合致させる役目を備えている。

【００３３】転写後、ディスク成形用金型１１内のセン
ター孔明け用ポンチ２０を矢印Ａ_１方向に移動して、デ
ィスク基板２のクランプエリア２ｄの中央部を貫通して
センター孔２ｅを穿設し、ディスク基板２が成形されて
いる。

【００３４】尚、ディスク基板成形手段となるディスク
用成形機１１は、実施例では周知のディスク用射出成形
機を用いて説明したが、これに限ることなく、ディスク
基板２を成形するディスク用成形機１１として、周知の
ディスク用圧縮成形機，ディスク用ホトポリーマ成形機
（２Ｐ法による成形機）などを用いることも可能であ
る。

【００３５】＜反射膜膜付け手段＞ここでは、射出成形
したディスク基板２の信号面２ａ上に反射膜３を膜付け
して反射膜面３ａを形成する反射膜膜付け手段３０につ
いて図５を用いて説明する。図５は反射膜膜付け手段の
スパッタマシンを説明するための図であり、（Ａ）はス
パッタマシンの平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示した
高真空室内を示した縱断面図である。

【００３６】ディスク用射出成形機１１で射出成形され
たディスク基板２は、図示しないディスク搬送手段とな
るロボットを介して直ちに反射膜膜付け手段３０に送ら
れ、且つ、ディスク基板２の成形時間に対応してディス
ク用射出成形機１１から１枚づつ順送されている。上記
反射膜膜付け手段３０は、真空技術を利用した小型のス
パッタマシン３１によってディスク基板２の信号面２ａ
上にアルミニユウムなどの反射膜３を膜付けして反射膜
面３ａを形成している。

【００３７】即ち、図５（Ａ）に示したように、小型の
スパッタマシン３１内は３室に分離されていて、第１，
第２低真空室３１ａ，３１ｂは予備室の機能を備えて低
い真空状態に管理され、高真空室３１ｃは反射膜３を膜
付けする機能を備えて高い真空状態に管理されている。
また、各室３１ａ〜３１ｃ間にはバルブ３２（３２ａ，
３２ｂ），３３（３３ａ，３３ｂ）が開閉自在に設けら
れ、所定のタイミングでそれぞれ別々に開閉されてい
る。

【００３８】また、第１，第２低真空室３１ａ，３１ｂ
内には、ディスク基板２を載置する第１，第２アーム部
材３４，３５が回動軸３４ａ，３５ａを中心に交互に所
定の方向に回動自在に支持されている。即ち、上記第１
アーム部材３４は、第１低真空室３１ａの室外でディス
ク基板２を載置後、第１低真空室３１ａ内に入ってバル
ブ３２ａを閉じられて低真空状態となり、その後バルブ
３２ｂを開いて高真空室３１ｃ内に入り、バルブ３２ｂ
を閉じて高真空室３１ｃ内を高真空状態にしてディスク
基板２の信号面２ａに反射膜３を極薄く膜付けして反射
膜面３ａを形成し、再び元の経路をたどってディスク基
板２を室外に排出している。一方、上記第２アーム部材
３５は、第２低真空室３１ｂ，高真空室３１ｃの経路を
たどる以外は第１アーム部材３４と同様にディスク基板
２の信号面２ａに反射膜３を極薄く膜付けしている。

【００３９】そして、第１アーム部材３４と第２アーム
部材３５とは、図示の如く、交互に高真空室３１ｃ内に
入れ替わって膜付け処理できるようになっており、この
理由は、スパッタマシン３１内を真空状態に要する時間
がかかり、反射膜膜付け終了までの時間がディスク基板
２の成形時間より長いため、第１，第２アーム部材３
４，３５の２連構成により交互に膜付けすれば、反射膜
膜付け終了したディスク基板２をディスク基板２の成形
時間に対応させながら次の工程に１枚づつ、順送するこ
とが可能となる。

【００４０】また、図５（Ｂ）に示したように、高真空
室３１ｃ内の上方には回転マグネトロン３６が回転自在
に設置され、この回転マグネトロン３６の下方に反射膜
３の素材となるアルミニユウムなどの円板状ターゲット
部材３７が設置され、下方のディスク基板２が図示しな
い持ち上げ手段により上方に持ち上げられ、ディスク基
板２の内周部及び外周部を覆うマスキング板３８を介し
て円板状ターゲット部材３７の下方に支持される。そし
て、回転マグネトロン３６を動作させると、円板状ター
ゲット部材３７のアルミニユウムがマスキング板３８の
開口部３８を通り抜け、ディスク基板２の信号面２ａ上
に円板状ターゲット部材３７が反射膜３として例えばほ
ぼ５５０オングストローム程度に極薄く膜付けされ、反
射膜面３ａを形成できる。

【００４１】また、信号面２ａ上に反射膜３を膜付けし
て形成した反射膜面３ａは、極薄く膜付けされているた
め、顕微鏡を介して観察すると信号面２ａと同一の凹凸
状のピット列になっているが、再生面２ｂ側及び反射膜
面３ａ側から全体的に見ると鏡面状態に見える。

【００４２】＜保護膜膜付け手段＞ここでは、ディスク
基板２の反射膜面３ａ上に保護膜４を膜付けする保護膜
膜付け手段４０について図６を用いて説明する。図６は
ディスク基板の反射膜面上に保護膜を膜付する保護膜膜
付け手段を説明するための縦断面図である。

【００４３】信号面２ａに反射膜３を膜付けして反射膜
面３ａを形成したディスク基板２は、ディスク基板２の
成形時間に対応して１枚づつ、保護膜膜付け手段４０に
順送されている。上記保護膜膜付け手段４０は、反射膜
面３ａ上に紫外線硬化樹脂などのほぼ透明な保護膜４を
膜付けし、反射膜面３ａを保護した保護膜面４ａを形成
する２台のスピンコータ４１（４１Ａ，４１Ｂ）と、膜
付けした保護膜面４ａに紫外線を照射して保護膜面４ａ
を硬化させる保護膜面硬化機４７とを備えて構成されて
いる。

【００４４】即ち、図６に示した保護膜膜付け手段４０
では、２台のスピンコータ４１（４１Ａ，４１Ｂ）が周
囲を遮蔽した遮蔽板４２に回転自在に設けられている。
２台のスピンコータ４１（４１Ａ，４１Ｂ）のうちで、
先工程となる第１スピンコータ４１Ａでは反射膜３を膜
付けしたディスク基板２を低速，中速に回転しながら反
射膜面３ａ上に保護膜４をほぼ均一に膜付けし、その
後、保護膜４をほぼ均一に膜付けしたディスク基板２を
後工程となる第２スピンコータ４１Ｂに搬送し、第２ス
ピンコータ４１Ｂでは第１スピンコータ４２より高速に
回転して、保護膜４を完全に均一に膜付けして保護膜面
４ａを形成している。

【００４５】また、紫外線硬化樹脂などのほぼ透明なコ
ート液４３を収納したタンク４４からパイプ４５ａを通
してコート液４３が塗布ノズル４６に供給されている。
この塗布ノズル４６はディスク基板２の上方で、且つ、
リング状溝部２ｃの近傍外周側に設置され、塗布ノズル
４６から所定量のコート液４３が反射膜面３ａの内周部
に滴化され、第１スピンコータ４１Ａが低速から中速に
回転することにより、紫外線硬化樹脂などのほぼ透明な
コート液４３が反射膜３の外周方向に拡散して保護膜４
としてほぼ均一に膜付けされ、ここで第１段階の保護膜
４の膜付け工程が終了する。尚、第１段階の保護膜４の
膜付け工程では、ディスク基板２のリング状溝部２ｃよ
り内周側にはコート液４３（保護膜４）が飛散しないよ
う塗布ノズル４６の設置位置を上述した位置に設定して
いる。

【００４６】第１スピンコータ４１Ａによって第１段階
の保護膜４をほぼ均一に膜付けされたディスク基板２
は、図示しないディスク搬送手段により搬送されて、第
２スピンコータ４１Ｂに装着され、ここで更に第１段階
の保護膜４をほぼ均一に膜付けしたディスク基板２が高
速に回転し、保護膜４はより薄く外周方向に拡散して完
全に均一に例えば５〜６μｍ程度に膜付けされ、第２段
階の保護膜４の膜付け工程が終了すると、ここで均一な
保護膜面４ａが形成される。

【００４７】上記したように、第１，第２段階の保護膜
４の膜付けに要する時間は、それぞれディスク基板２の
成形時間内に処理され、両第１，第２段階の工程を終了
して完全に均一な保護膜面４ａを形成するまでにはディ
スク基板２の成形時間のほぼ２倍かかっているものの、
次工程となる保護膜４の硬化工程にはディスク基板２の
成形時間に対応して１枚づつ、順送されている。尚、２
台のスピンコータ４１Ａ，４１Ｂを用意し、それぞれの
スピンコータ４１Ａ，４１Ｂを低速，中速，高速に回転
し、それぞれのスピンコータ４１Ａ，４１Ｂで１枚づつ
完全に均一な保護膜面４ａを形成し、交互に次工程とな
る保護膜４の硬化工程にディスク基板２の成形時間に対
応して１枚づつ順送する方法も可能である。

【００４８】また、コート液４３の一部は保護膜４とし
て膜付けされることなく、遮蔽板４２内に飛散するもの
の、飛散したコート液４３は遮蔽板４２内からパイプ４
５ｂを通してタンク４４に戻し、その後コート液４３は
図示しないフイルタを介しながら常に循環させて使用し
ている。

【００４９】第２段階の保護膜４の膜付けを終了したデ
ィスク基板２は、図示しないディスク搬送手段により搬
送されて、保護膜面硬化機４７に挿入される。この保護
膜硬化機４７内部には紫外線を照射するＵＶランプ４８
が設置され、ＵＶランプ４８の下方に搬送されたディス
ク基板２の保護膜面４ａを照射し、保護膜面４ａを硬化
している。その後、硬化処理したディスク基板２は、デ
ィスク基板２の成形時間と対応して１枚づつ、次工程へ
順送されている。

【００５０】＜保護膜面検査手段＞ここでは、本発明の
要部の一部となり、ディスク基板２の保護膜面４ａの膜
付け状態の良否を検査する保護膜面検査手段５０につい
て、図７を用いて説明する。図７はディスク基板の保護
膜面の良否を検査する保護膜面検査手段を示した一部断
面斜視図である。

【００５１】保護膜４を膜付けしたディスク基板２は、
ディスク基板２の成形時間に対応して１枚づつ、保護膜
面検査手段５０に順送されている。上記保護膜面検査手
段５０となる保護膜面検査機５１は、保護膜面４ａの膜
付け状態の良否を全て自動的に検査するよう構成され、
即ち、保護膜４を膜付けしたディスク基板２を載置する
回転自在なターンテーブル５２と、保護膜面４ａの凹部
４ａ_１を検出する紫外線光源５３及び高感度カメラ内の
ＣＣＤラインセンサ５４並びに凹部選別判定機５５と、
保護膜面４の凸部４ａ_２を検出する可視光源５６及び高
感度カメラ内のＣＣＤラインセンサ５７並びに凸部選別
判定機５８とを備えて構成されており、反射膜面３ａを
確実に保護し、且つ、後述するレーベル５が品位良好に
印刷できるよう予め保護膜面４ａの膜付け状態の良否を
検査している。

【００５２】ここで、ディスク基板２に保護膜４を膜付
けして保護膜面４ａを形成する際には、ピンホール状の
凹部４ａ_１が発生したり、あるいは突出した凸部４ａ_２
が発生することがある。上記凹部４ａ_１は通常、ハジ
ケ，塗余しと呼称され、保護膜面４ａの下のアルミニユ
ウムなどの反射膜３が露出している不良である。一方、
上記凸部４ａ_２は、ブツと呼ばれる樹脂や塵埃などの異
物が核となってできる突起不良である。

【００５３】即ち、図７に示した保護膜面検査機５１で
は、保護膜４を膜付けして保護膜面４ａを形成したディ
スク基板２をターンテーブル５２上に載置し、少なくと
も１回転以上ディスク基板２を回転をさせている。

【００５４】また、ディスク基板２の保護膜面４ａの上
方には、凹部４ａ_１を検出するハロゲンランプなどを利
用した紫外線光源５３及び高感度カメラ内のＣＣＤライ
ンセンサ５４が設置されており、紫外線光源５３から例
えば３６５ｎｍを中心とした分布のある光束が保護膜面
４ａに照射されると、凹部４ａ_１が発生している部分で
主として３６５ｎｍの光束が露出した反射膜面３ａによ
り反射されて例えば４４０ｎｍを中心とした２次光束と
してラインセンサ５４に検出され、凹部４ａ_１が発生し
てない部分では２次光束が検出されないので、２次光束
の有無により凹部４ａ_１の有無を検査している。また、
ＣＣＤラインセンサ５４は、保護膜面４ａの径方向，即
ち、内周部から外周部に亘って複数の検出素子が一直線
上に連ねて配設され、一度に保護膜面４ａの径方向一直
線上を検出でき、ディスク基板２の１回転により保護膜
面４ａの全ての凹部４ａ_１の有無を検出でき、且つ、一
の検出素子の分解能は例えば１００μｍ程度に設定され
ているので、ＣＣＤラインセンサ５４から出力された信
号を凹部選別判定機５５を介して、保護膜面４ａの凹部
４ａ_１の有無を例えばほぼ１００μｍ単位で判定し、所
定の設定値より大きい凹部４ａ_１がある時には保護膜面
不良として排出している。

【００５５】また、ディスク基板２の保護膜面４ａの上
方には、凸部４ａ_２を検出する可視光源５６及びＣＣＤ
ラインセンサ５７が設置されており、可視光源５６から
の光束が保護膜面４ａに照射されると、凸部４ａ_２が発
生している部分ではラインセンサ５７に影が検出され、
ＣＣＤラインセンサ５７から出力された信号を凸部選別
判定機５８を介して、凸部４ａ_２の有無を例えばほぼ１
００μｍ単位で判定し、所定の設定値より大きい凸部４
ａ_２がある時には保護膜面不良として排出している。

【００５６】尚、上記実施例では２本のＣＣＤラインセ
ンサ５４，５７を用いているが、紫外線光源５３，可視
光源５６をそれぞれ適宜に設置して１本のＣＣＤライン
センサ（５４）を凹部選別判定機５５及び凸部選別判定
機５８に接続し、例えばディスク基板２を２回転させ、
凹部４ａ_１，凸部４ａ_２を検出することも可能である。
上記した保護膜面検査工程は、ディスク基板２の成形
時間内に処理されており、良品のディスク基板２は、デ
ィスク基板２の成形時間と対応して１枚づつ、次工程へ
順送されている。

【００５７】この保護膜面検査工程により良品と判定さ
れたディスク基板２は、反射膜面３ａを確実に保護する
ことができるので、人手は勿論のこと、使用環境に十分
耐え、光ディスク１の品質及び信頼性の向上に寄与で
き、且つ、次工程となるレーベル印刷工程においてもレ
ーベル５を高品位に印刷することができる。

【００５８】＜レーベル印刷手段＞ここでは、保護膜面
４ａの検査を終了した良品のディスク基板２の保護膜面
４ａ上にレーベル５を印刷するレーベル印刷手段６０に
ついて、図８を用いて説明する。図８はディスク基板の
保護膜面上にレーベルを印刷するレーベル印刷手段を説
明するための図であり、（Ａ）はレーベル印刷機を示し
た一部断面斜視図、（Ｂ）はレーベル面硬化機を示した
縦断面図である。

【００５９】保護膜面４ａの検査を終了し、良品と判定
され且つレーベル５を印刷する必要があるディスク基板
２は、ディスク成形２の時間に対応して１枚づつ、レー
ベル印刷手段６０に順送されている。上記レーベル印刷
手段６０は、ディスク基板２の保護膜面４ａ上にレーベ
ル５を印刷してレーベル面５ａを形成するレーベル印刷
機６１と、レーベル面５ａを硬化するレーベル面硬化機
６８とを備えて構成されている。

【００６０】即ち、図８（Ａ）に示したレーベル印刷機
６１に、保護膜４の検査を終了し、良品と判定されたデ
ィスク基板２が図示しない搬送手段により送られ、レー
ベル印刷機６１内の載置台６２上に載置される。この載
置台６２はディスク基板２全体を挿入してディスク基板
２の再生面２ｂ側を載置する凹状の載置部６２ａが形成
され、載置部６２ａの中央部から上方に突出形成した突
出部６２ｂにディスク基板２のセンター孔２ｅが嵌合し
てディスク基板２が載置部６２ａに位置決め載置され、
更に、載置部６２ａに穿設された複数の孔６２ａ_１を介
してディスク基板２の周囲の空気が下方に引き抜かれ、
ディスク基板２が真空状態で載置部６２ａにしっかりと
位置決め固定されている。

【００６１】また、ディスク基板２の保護膜面４ａの上
方には、周囲を矩形状に枠組みした枠体６３の底面側に
レーベル５の版下となるスクリーン印刷版６４が固定さ
れている。この際、スクリーン印刷版６４は、先に説明
したディスク基板２のクランプエリア２ｄに転写した刻
印番号（スタンパ原盤番号）２ｄ_１と対応したものが取
り付けられているので、当然信号面２ａの情報信号と合
致している。また、枠体６３内部でスクリーン印刷版６
４の上面６４ａには、紫外線硬化樹脂などを用いたイン
ク６５が適時供給されている。また、枠体６３内部には
インク６５をスクリーン印刷版６４の上面６４ａに均一
に塗る塗布板６６と、スクリーン印刷版６４の上面６４
ａを押圧するゴム製スキージ６７との両者６６，６７が
一体となって矢印Ｘ_１，Ｘ_２方向に往復直線移動自在に
設けられている。

【００６２】そして、枠体６３を下降（矢印Ｙ方向）し
てスクリーン印刷版６４の下面６４ｂをディスク基板２
の保護膜面４ａに当接し、ゴム製スキージ６７に所定の
印圧をかけながら所定のストロークスピードでスクリー
ン印刷版６４の上面６４ａを矢印Ｘ_１方向に移動させる
と、図示のようにスクリーン印刷版６４の内容がレーベ
ル５として印刷され、レーベル面５ａが形成される。

【００６３】尚、上記レーベル印刷機６１に用いられる
インク６５は通常単色であるので、レーベル５を複数の
色を用いて印刷したい場合には、複数台のレーベル印刷
機６１を図１に示したように設置し、各機ごとにインク
６５の色を設定すれば良く、この際、印刷ずれをなくす
ため、１色目の印刷時に載置台６２にしっかりと位置決
め固定された状態のままディスク基板２を回転型ディス
ク搬送手段などにより移動して２色目以降の印刷を行え
ば良い。

【００６４】また、保護膜面４ａ上にはレーベル５を印
刷しない部分もあり、この部分ではほぼ透明な保護膜面
４ａがそのまま表面となって下方の反射膜面３ａの鏡面
状態が見えている。

【００６５】次に、図８（Ｂ）に示した如く、レーベル
５を印刷したディスク基板２は、図示しないディスク搬
送手段により搬送されて、レーベル面硬化機６８に挿入
される。このレーベル面硬化機６８内部には紫外線を照
射するＵＶランプ６９が設置され、ＵＶランプ４９の下
方に搬送されたディスク基板２のレーベル面５ａを硬化
している。尚、次工程で説明するようにレーベル面５ａ
の検査時にディスク基板２の位置決めが必要であるの
で、レーベル面５ａを硬化する時にも１色目の印刷をし
た載置台６２にしっかりと位置決め固定された状態のま
まディスク基板２をレーベル面硬化機６８内に移動して
いる。

【００６６】上記したディスク基板２のレーベル５の印
刷工程と、レーベル面５ａの硬化工程とは、それぞれデ
ィスク基板２の成形時間内に処理されており、その後硬
化処理したディスク基板２は、ディスク基板２の成形時
間と対応して１枚づつ、次工程へ順送されている。

【００６７】＜レーベル面検査手段及び刻印番号検査手
段＞ここでは、本発明の要部の一部となり、ディスク基
板２のレーベル面５ａの印刷状態の良否を検査するレー
ベル面検査手段７０と、ディスク基板２の刻印番号２ｄ
_１とレーベル面５ａとの合否を検査する刻印番号検査手
段８０について、図９を用いて説明する。図９はディス
ク基板のレーベル面の良否を検査するレーベル面検査手
段及び刻印番号とレーベル面との合否を検査する刻印番
号検査手段を示した一部断面斜視図である。

【００６８】図９において、レーベル５を印刷したディ
スク基板２は、上述したよう１色目の印刷状態のまま載
置台６２にしっかりと位置決め固定され、ディスク基板
２の成形時間に対応して１枚づつ、レーベル面検査手段
７０及び刻印番号検査手段８０に順送されている。そし
て、レーベル面検査手段７０及び刻印番号検査手段８０
により検査する際、載置台６２に位置決めされたディス
ク基板２は、載置部６２ａに穿設された複数の孔６２ａ
_１を介してディスク基板２の周囲の空気が下方に引き抜
かれながら、載置台６２と一体になって少なくとも１回
転以上回転できるようになっている。

【００６９】また、レーベル面検査手段７０となるレー
ベル面検査機７１は、レーベル面５ａの印刷状態の良否
を全て自動的に検査するよう構成され、即ち、ディスク
基板２のレーベル面５ａの上方に設置した高感度カメラ
内のＣＣＤラインセンサ７２と、比較見本レーベル面画
像記憶回路７３，検査レーベル面画像形成回路７４，レ
ーベル面選別判定回路７５とが主要構成部材となってい
る。上記構成部材のうちで、ＣＣＤラインセンサ７２
は、ディスク基板２のレーベル面５ａの径方向，即ち、
内周部から外周部に亘って複数の検出素子が一直線上に
連ねて配設され、一度にレーベル面５ａの径方向一直線
上を検出でき、ディスク基板２の１回転により全てのレ
ーベル面５ａを検査できるものである。

【００７０】一方、刻印番号検査手段８０となる刻印番
号検査機８１は、刻印番号（スタンパ原盤番号）２ｄ_１
とレーベル面５ａとの合否を全て自動的に検査するよう
構成され、即ち、ディスク基板２のクランプエリア２ｄ
に転写した刻印番号２ｄ_１の上方に対応設置した高感度
カメラ８２と、比較見本刻印番号画像記憶回路８３，検
査刻印番号画像形成回路８４，刻印番号判定回路８５と
が主要構成部材となっている。上記構成部材のうちで、
高感度カメラ８２は内部にＣＣＤセンサを内臓している
ものである。

【００７１】更に、ディスク基板２のレーベル面５ａの
上方には、レーベル面５ａの全面を照射し、且つ、クラ
ンプエリア２ｄを照射する光源８８が設置されている。

【００７２】ここでまず、ディスク基板２のレーベル面
５ａ及び刻印番号２ｄ_１を検査する前に、比較見本用デ
ィスク基板（２）を用意する。この比較見本用ディスク
基板（２）には、刻印番号（２ｄ_１）と対応したレーベ
ル（５）を印刷したレーベル面（５ａ）が予め形成され
ている。そして、比較見本用ディスク基板（２）として
は、レーベル面（５ａ）及び刻印番号（２ｄ_１）が例え
ば最良状態を維持しているもの用意し、この比較見本用
ディスク基板（２）を最良基準とし、各種の検査項目に
ついて許容値を設定し、検査対象となるディスク基板２
が許容値を越えたら不良品とみなしている。尚、比較見
本用ディスク基板（２）として、レーベル面（５ａ）及
び刻印番号（２ｄ_１）が不良限界値にあるものを設定す
る方法もあり、この場合には、検査対象となるディスク
基板２が不良限界値外ならば全て不良品とみなせば良い
ものである。尚、（ ）内符号は検査対象となるディス
ク基板２と対応する符号を付している。

【００７３】上記比較見本用ディスク基板（２）を用意
し、この比較見本用ディスク基板（２）をレーベル面
（５ａ）のレーベル面基準位置から１回転させて、レー
ベル面（５ａ）をＣＣＤラインセンサ７２で読み込んで
比較見本レーベル面画像記憶回路７３にレーベル面（５
ａ）の画像パターンを予め記憶させ、且つ、同時に刻印
番号（２ｄ_１）を高感度カメラ８２で読み込んで比較見
本刻印番号画像記憶回路８３に刻印番号（２ｄ_１）の画
像パターンを予め記憶させておく。

【００７４】次に、検査対象となる生産途中のレーベル
５を印刷したディスク基板２が載置台６２と一体となっ
てＣＣＤラインセンサ７２の下方に到達すると、レーベ
ル面５ａのレーベル面基準位置からディスク基板２を１
回転させ、レーベル面５ａをＣＣＤラインセンサ７２で
読み込んで検査レーベル面画像形成回路７４にレーベル
面５ａの画像パターンを電気的に形成し、且つ、同時に
刻印番号２ｄ_１を高感度カメラ８２で読み込んで検査刻
印番号画像形成回路８４に刻印番号２ｄ_１の画像パター
ンを電気的に形成する。

【００７５】そして、予め記憶した比較見本レーベル面
画像記憶回路７３の出力信号と、検査レーベル面画像形
成回路７４の出力信号とをレーベル面選別判定回路７５
に入力し、レーベル面選別判定回路７５内で両出力信号
を画像パターン認識手法により比較して判定している。
上記レーベル面選別判定回路７５内で比較，照合する項
目は、レーベル面５ａの色抜け，色欠け，色ズレなどを
比較見本用ディスク基板（２）と比較して例えば分解能
としてほぼ１００μｍ単位で判定し、検査項目別の所定
の設定値より大きい場合はレーベル面不良として排出し
ている。

【００７６】一方、予め記憶した比較見本刻印番号画像
記憶回路８３の出力信号と、検査刻印番号画像形成回路
８４の出力信号とを刻印番号判定回路８５に入力し、刻
印番号判定回路８５内で両出力信号を上記と同様に画像
パターン認識手法により比較，照合して刻印番号の合否
を判定している。ここで、刻印番号不一致と判定される
と、比較見本用ディスク基板（２）の刻印番号（２
ｄ_１）はレーベル（５）を印刷したレーベル面（５ａ）
と予め対応しているので、検査刻印番号画像形成回路８
４の出力信号はレーベル面５ａと対応していないと判定
できる。上記刻印番号判定回路８５により、ディスク基
板２の刻印番号（スタンパ原盤番号）２ｄ_１と対応した
レーベル５が印刷されている否かを検査し、万一、誤っ
たレーベル５が印刷されている時には刻印番号不一致と
して排出している。

【００７７】また、比較見本レーベル面画像記憶回路７
３の出力信号と、検査レーベル面画像形成回路７４の出
力信号とは、切り換えスッチ７６を介してモニタＴＶ７
７でも随時観察できるように構成されている。同様に、
比較見本刻印番号画像記憶回路８３の出力信号と、検査
刻印番号画像形成回路８４の出力信号とは、切り換えス
ッチ７６を介してモニタＴＶ７７でも随時観察できるよ
うに構成されている。

【００７８】上記したレーベル面検査工程と、刻印番号
検査工程とは、同時にディスク基板２の成形時間内に処
理されており、良品のディスク基板２は、ディスク基板
２の成形時間と対応して１枚づつ、次工程へ順送されて
いる。

【００７９】このレーベル面検査工程により良品と判定
されたディスク基板２は、品位の良いレーベル５を使用
者に提供でき、且つ、刻印番号検査工程により良品と判
定されたディスク基板２は、信号面２ａと対応したレー
ベル５が印刷されたことを確認できるので、誤ったレー
ベル５を印刷した光ディスク１が出荷されることなく、
工場出荷時の光ディスク１の品質及び信頼性向上に寄与
できる。また、レーベル面検査工程と、刻印番号検査工
程とを同時に行っているので、一部の検査構成部材が共
用でき、例えば載置台６２とか、載置台６２を回転する
機構とか、光源８８などを共用できる利点がある。尚、
刻印番号検査工程をレーベル面検査工程と同時に実施す
ることにより上記した利点が生じるが、これに限ること
なく、刻印番号検査工程はディスク基板２を成形した後
で、且つ、反射膜膜付け工程中及び保護膜膜付け工程中
並びにレーベル印刷工程中を除いて、独自に適宜行うこ
とも可能である。

【００８０】＜鏡面検査手段＞ここでは、本発明の要部
の一部となり、反射膜面３ａの下地となる信号面２ａ及
び反射膜面３ａの良否を検査する鏡面検査手段９０につ
いて、図１０（Ａ），（Ｂ）を用いて説明する。図１０
は反射膜面の下地となる信号面及び反射膜面を検査する
鏡面検査手段を説明するための図であり、（Ａ）は鏡面
検査状態を示した一部断面斜視図であり、（Ｂ）は
（Ａ）に示したレーザ光照射構成部材を説明するための
縦断面図である。

【００８１】鏡面検査手段９０は、先に説明したように
ディスク基板２の再生面２ｂ側及び反射膜面３ａ側から
見ると鏡面状態に見え、この鏡面状態を検査するもので
あり、即ち、ディスク基板２の成形時に信号面２ａが良
好に転写されているか否かの面形状を極薄く膜付けした
反射膜面３ａを代用して検査し、且つ、反射膜面３ａが
良好に膜付けされているか否かの膜付け状態を検査し、
更に信号特性などを検査する手段である。また、鏡面検
査工程は、実施例ではレーベル面検査工程及び刻印番号
検査工程が終了した後に実施しており、上記工程からデ
ィスク基板２がディスク基板２の成形時間に対応して１
枚づつ、鏡面検査手段９０に順送されている。尚、鏡面
検査手段９０による鏡面検査工程は、前述したようにデ
ィスク基板２の信号面２ａに反射膜３を膜付した後で、
且つ、反射膜面形成中及び保護膜面形成中並びに印刷面
形成中を除いて、適宜に挿入可能となるものである。

【００８２】図１０（Ａ）に示した鏡面検査手段９０と
なる鏡面検査機９１は、信号面２ａの面形状及び反射膜
面３ａの膜付け状態，信号特性などを全て自動的に検査
するよう構成され、即ち、ディスク基板２を装着するタ
ーンテーブル９２ａを備えたモータ９２と、ディスク基
板２の再生面２ｂの下方に設置され、再生面２ｂ側から
入射して反射膜面３ａ（信号面２ａ）にレーザ光を照射
するレーザ光照射構成部材９３と、ディスク基板２の再
生面２ｂの下方に設置され、反射膜面３ａから直接反射
された直接反射レーザ光を検出する第１ホトマルチプラ
イヤ１０５と、ディスク基板２の再生面２ｂの下方に設
置され、反射膜面３ａから乱反射された乱反射レーザ光
を検出する第２ホトマルチプライヤ１０６と、ディスク
基板２の反射膜面３ａの上方に設置され、反射膜面３ａ
の反射膜抜け孔３ａ_１を通り抜けた透過レーザ光を検出
する第３ホトマルチプライヤ１０７と、第１〜第３ホト
マルチプライヤ１０５〜１０７からの出力信号をディフ
エクトマトリック回路１０８を経由して信号面２ａ及び
反射膜面３ａの良否を判定するディフエクト判定回路１
０９とから構成されている。

【００８３】また、上記構成部材のうちで、レーザ光照
射構成部材９３は、図１０（Ｂ）に示した如く、Ｈｅ−
Ｎｅレーザ光源９４からのレーザ光が、対物レンズ９
５，レーザシャッタ９６，シリンドリカルレンズ９７，
色消しレンズ（アクロマティックレンズ）９８を直進
し、第１，第２平板レンズ９９，１００により方向転換
され、ハーフミラー機能を備えた第３平板レンズ１０１
及び球状凹面レンズ１０２を透過して複数の反射面１０
３ａ〜１０３ｎを形成した回転自在なポリゴンミラー１
０３で反射され、反射されたレーザ光は球状凹面レンズ
１０２を透過して平板レンズ１０１で球状凹面レンズ１
０２に方向反射され、更に、このレーザ光は球状凹面レ
ンズ１０２からディスク基板２の再生面２ｂに径方向に
走査しながら再生面２ｂから入射している。そして、複
数の反射面１０３ａ〜１０３ｎを形成したポリゴンミラ
ー１０３を回転することにより、レーザ光がディスク基
板２の反射膜面３ａの径方向一直線上を走査し、ディス
ク基板２の１回転により全ての反射膜面３ａを照射でき
るものである。

【００８４】また、上記構成部材のうちで、第１〜第３
ホトマルチプライヤ１０５〜１０７は、光を電気信号に
変換する機能を備えており、ディスク基板２の反射膜面
３ａの径方向、即ち、内周部から外周部に亘って複数の
検出素子が一直線上に連ねて配設され、一度に反射膜面
３ａの径方向一直線上を検出でき、ディスク基板２の１
回転で全ての反射膜面３ａを検査できるものである。更
に、ここで使用する第１〜第３ホトマルチプライヤ１０
５〜１０７は分解能の性能が良く、例えば分解能５０μ
ｍ程度を採用している。

【００８５】ここで、上記構成による鏡面検査機９１を
用いて、ディスク基板２の反射膜面３ａ及び下地となる
信号面２ａを検査する方法について説明する。

【００８６】まず、レーベル面検査工程及びディスク基
板の刻印番号検査工程を終了したディスク基板２の再生
面２ｂ側は、ターンテーブル９２ａ上に装着される。ま
た、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源９３からレーザ光は、ポリゴ
ンミラー１０３の複数の反射面１０３ａ〜１０３ｎを介
して、再生面２ｂ側から径方向に走査しながら入射して
反射膜面３ａを照射し、照射したレーザ光の一部は、そ
のまま反射膜面３ａを直接反射して直接反射レーザ光と
なって第１ホトマルチプライヤ１０５で検出される。こ
の第１ホトマルチプライヤ１０５では、信号面２ａ及び
反射膜面３ａのキズ，スジ，反射膜ヌケ孔３ａ_１などの
面形状検査と、ＥＦＭ，Ｃ１エラーなどの信号特性とを
検査している。

【００８７】また、照射したレーザ光の一部は、反射膜
面３ａから乱反射して乱反射レーザ光となって第２ホト
マルチプライヤ１０６で検出される。この第２ホトマル
チプライヤ１０６では、工程中なんらかの要因で信号面
２ａ及び反射膜面３ａに付着した異物，グリスなどの有
無を検査している。

【００８８】また、照射したレーザ光の一部は、反射膜
面３ａの反射膜抜け孔３ａ_１がある場合に透過して透過
レーザ光となって第３ホトマルチプライヤ１０７で検出
される。この第３ホトマルチプライヤ１０７では、レー
ベル５を印刷する前の工程で検査した場合、反射膜面３
ａの反射膜ヌケ孔３ａ_１が全て検出でき、一方、実施例
のようにレーベル５を印刷した後では、レーベル５を印
刷していない部分の反射膜面３ａの反射膜ヌケ孔３ａ_１
は検出でき、レーベル５によって透過しない反射膜面３
ａの反射膜ヌケ孔３ａ_１に対しては第１ホトマルチプラ
イヤ１０５で検査している。

【００８９】この後、第１〜第３ホトマルチプライヤ１
０５〜１０７からの出力信号は、ディフエクトマトリッ
ク回路１０８を経由してディフエクト判定回路１０９に
より例えば分解能５０μｍ単位で判定し、検査項目別に
所定の設定値より大きい場合に信号面不良として排出し
ている。

【００９０】上記した鏡面検査工程は、ディスク基板２
の成形時間内に処理されており、鏡面検査工程をレーベ
ル面検査工程及びディスク基板の刻印番号検査工程後に
行った場合には、鏡面検査工程で良品と判定されたディ
スク基板２が梱包工程へと搬送されている。尚、鏡面検
査工程を反射膜膜付け工程後で、且つレーベル面検査工
程及び刻印番号検査工程前の間で行う場合には、鏡面検
査工程で良品と判定されたディスク基板２がディスク基
板２の成形時間と対応して１枚づつ、次工程へ順送され
ている。 この鏡面検査工程により良品と判定されたデ
ィスク基板２は、工場出荷時に光ディスク１の主要特性
を品質及び信頼性良く保証できるので、例えば使用者が
ディスクプレーヤ（図示せず）を用いて光ディスク１を
再生した際に良好な再生性能を得ることができる。

【００９１】

【発明の効果】以上詳述した本発明に係わる光ディスク
製造方法によると、請求項１記載においては、ディスク
基板に反射膜，保護膜を膜付けした光ディスクを製造す
る工程中に、保護膜面の良否を自動的に検査する保護膜
面検査工程と、反射膜面及び下地となる信号面の良否を
自動的に検査する鏡面検査工程とを実施しているので、
保護膜面検査工程により良品と判定されたディスク基
板は、反射膜面を確実に保護することができ、且つ、人
手は勿論のこと、使用環境に十分耐え、光ディスクの品
質及び信頼性の向上に寄与でき、鏡面検査工程により
良品と判定されたディスク基板は、工場出荷時に光ディ
スクの主要特性を品質及び信頼性良く保証でき、且つ、
例えば使用者がディスクプレーヤを用いて光ディスクを
再生した際に良好な再生性能を得ることができる利点を
有する。

【００９２】また、請求項２記載においては、ディスク
基板に反射膜，保護膜を膜付けし、且つ、レーベルを印
刷した光ディスクを製造する工程中に、上記保護膜面検
査工程と、上記鏡面検査工程とを実施しているので、請
求項１記載と同様な効果を得ると共に、レーベル印刷工
程においてレーベルを高品位に印刷することができる利
点を有する。

【００９３】また、請求項３記載においては、ディスク
基板に反射膜，保護膜を膜付けし、且つ、レーベルを印
刷した光ディスクを製造する工程中に、レーベル面の良
否を自動的に検査するレーベル面検査工程と、上記鏡面
検査工程とを実施しているので、レーベル面検査工程
により良品と判定されたディスク基板は、品位の良いレ
ーベルを使用者に提供でき、鏡面検査工程により良品
と判定されたディスク基板は、工場出荷時に光ディスク
の主要特性を品質及び信頼性良く保証でき、且つ、例え
ば使用者がディスクプレーヤを用いて光ディスクを再生
した際に良好な再生性能を得ることができる利点を有す
る。

【００９４】また、請求項４記載においては、ディスク
基板に反射膜，保護膜を膜付けし、且つ、レーベルを印
刷した光ディスクを製造する工程中に、上記保護膜面検
査工程と、上記レーベル面検査工程と、上記鏡面検査工
程とを実施しているので、保護膜面検査工程により良
品と判定されたディスク基板は、反射膜面を確実に保護
することができ、且つ、人手は勿論のこと、使用環境に
十分耐え、光ディスクの品質及び信頼性の向上に寄与で
き、且つ、レーベル印刷工程においてもレーベルを高品
位に印刷することができ、レーベル面検査工程により
良品と判定されたディスク基板は、品位の良いレーベル
を使用者に提供でき、鏡面検査工程により良品と判定
されたディスク基板は、工場出荷時に光ディスクの主要
特性を品質及び信頼性良く保証でき、且つ、例えば使用
者がディスクプレーヤを用いて光ディスクを再生した際
に良好な再生性能を得ることができる利点を有する。

【００９５】更に、請求項５記載では、レーベル面検査
工程を実施する請求項３及び請求項４おける光ディスク
製造工程中、刻印番号とレーベル面との合否を自動的に
検査する刻印番号検査工程を実施しているので、刻印番
号検査工程により良品と判定されたディスク基板は、信
号面と対応したレーベルが印刷されたことを確認でき、
且つ、誤ったレーベルを印刷した光ディスクが出荷され
ることなく、工場出荷時の光ディスクの品質及び信頼性
向上に寄与できる。また、レーベル面検査工程と、刻印
番号検査工程とを同時に行っているので、一部の検査構
成部材が共用できる利点を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる光ディスク製造方法に用いられ
る光ディスク製造システムを全体的に示した斜視図であ
る。

【図２】図１に示した光ディスク製造システムを平面的
に示した平面図である。

【図３】本発明に係わる光ディスク製造工程を順に示し
たフローである。

【図４】ディスク基板成形手段のディスク成形用金型を
示した縦断面図である。

【図５】反射膜膜付け手段のスパッタマシンを説明する
ための図であり、（Ａ）はスパッタマシンの平面図であ
り、（Ｂ）は（Ａ）に示した高真空室内を示した縱断面
図である。

【図６】ディスク基板の反射膜面上に保護膜を膜付する
保護膜膜付け手段を説明するための縱断面図である。

【図７】ディスク基板の保護膜面の良否を検査する保護
膜面検査手段を示した一部断面斜視図である。

【図８】ディスク基板の保護膜面上にレーベルを印刷す
るレーベル印刷手段を説明するための図であり、（Ａ）
はレーベル印刷機を示した一部断面斜視図、（Ｂ）はレ
ーベル面硬化機を示した縦断面図である。

【図９】ディスク基板のレーベル面の良否を検査するレ
ーベル面検査手段及び刻印番号とレーベル面との合否を
検査する刻印番号検査手段を示した一部断面斜視図であ
る。

【図１０】反射膜面の下地となる信号面及び反射膜面を
検査する鏡面検査手段を説明するための図であり、
（Ａ）は鏡面検査状態を示した一部断面斜視図であり、
（Ｂ）は（Ａ）に示したレーザ光照射構成部材を説明す
るための縦断面図である。

【図１１】光ディスクを説明するための一部断面斜視図
である。

【図１２】従来の光ディスク製造方法に用いられる光デ
ィスク製造システムを全体的に示した構成図である。

【符号の説明】

１…光ディスク、２…ディスク基板、２ａ…信号面、２
ｄ_１…刻印番号、３…反射膜、３ａ…反射膜面、４…保
護膜、４ａ…保護膜面、５…レーベル、５ａ…レーベル
面、１０…ディスク基板成形手段、１１…ディスク用成
形機（ディスク用射出成形機）、１６…スタンパ、１６
ａ…ピット面、３０…反射膜膜付け手段、３１…スパッ
タマシン、４０…保護膜膜付け手段、４１…スピンコー
タ、４７…保護膜面硬化機、５０…保護膜面検査手段、
５１…保護膜面検査機、６０…レーベル印刷手段、６１
…レーベル印刷機、６８…レーベル面硬化機、７０…レ
ーベル面検査手段、７１…レーベル面検査機、８０…刻
印番号検査手段、８１…刻印番号検査機、９０…鏡面検
査手段、９１…鏡面検査機、１１０…ディスク搬送手
段、１２０…ディスク排出手段、Ｊ…ほぼ透明な樹脂
（ディスク用樹脂材料）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下村 優昭 神奈川県横浜市神奈川区守屋町３丁目12 番地 日本ビクター株式会社内 (72)発明者 中島 宏 神奈川県横浜市神奈川区守屋町３丁目12 番地 日本ビクター株式会社内 審査官 小林 秀美 (56)参考文献 特開 昭62−129960（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−74851（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−75546（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−153930（ＪＰ，Ａ)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数のピットが刻まれたピット面を有する
   スタンパをディスク用成形機に取り付け、ほぼ透明な樹
   脂を用いて前記ピット面を円盤状の信号面として転写す
   ると共に、円盤状のディスク基板を所定の成形時間で成
   形し、且つ、前記信号面上に反射膜を膜付けして反射膜
   面を形成し、且つ、前記反射膜面上に保護膜を膜付けし
   て保護膜面を形成した光ディスクを製造する光ディスク
   製造方法において、 前記保護膜面を形成後、前記保護膜面の良否を検査し、 前記反射膜面を形成後で、且つ、前記反射膜面形成中及
   び前記保護膜面形成中を除いて適宜に挿入され、前記反
   射膜面及び下地となる前記信号面の良否を検査すると共
   に、 前記ディスク基板を成形後は、前記ディスク基板の成形
   時間に対応して各工程ごとに所定の処理を施し、且つ、
   所定の処理を施したディスク基板を次工程に順送するよ
   う構成したことを特徴とする光ディスク製造方法。
2. 【請求項２】複数のピットが刻まれたピット面を有する
   スタンパをディスク用成形機に取り付け、ほぼ透明な樹
   脂を用いて前記ピット面を円盤状の信号面として転写す
   ると共に、円盤状のディスク基板を所定の成形時間で成
   形し、且つ、前記信号面上に反射膜を膜付けして反射膜
   面を形成し、且つ、前記反射膜面上に保護膜を膜付けし
   て保護膜面を形成した光ディスクを製造する光ディスク
   製造方法において、 前記保護膜面を形成後、前記保護膜面の良否を検査し、 前記保護膜面の検査時に良品と判定された後、前記保護
   膜面上にレーベルを印刷してレーベル面を形成し、 前記反射膜面を形成後で、且つ、前記反射膜面形成中及
   び前記保護膜面形成中並びに前記レーベル面形成中を除
   いて適宜に挿入され、前記反射膜面及び下地となる前記
   信号面の良否を検査すると共に、 前記ディスク基板を成形後は、前記ディスク基板の成形
   時間に対応して各工程ごとに所定の処理を施し、且つ、
   所定の処理を施したディスク基板を次工程に順送するよ
   う構成したことを特徴とする光ディスク製造方法。
3. 【請求項３】複数のピットが刻まれたピット面を有する
   スタンパをディスク用成形機に取り付け、ほぼ透明な樹
   脂を用いて前記ピット面を円盤状の信号面として転写す
   ると共に、円盤状のディスク基板を所定の成形時間で成
   形し、且つ、前記信号面上に反射膜を膜付けして反射膜
   面を形成し、且つ、前記反射膜面上に保護膜を膜付けし
   て保護膜面を形成した光ディスクを製造する光ディスク
   製造方法において、 前記保護膜面を形成後、前記保護膜面上にレーベルを印
   刷してレーベル面を形成し、 前記レーベル面を形成後、前記レーベル面の良否を検査
   し、 前記反射膜面を形成後で、且つ、前記反射膜面形成中及
   び前記保護膜面形成中並びに前記レーベル面形成中を除
   いて適宜に挿入され、前記反射膜面及び下地となる前記
   信号面の良否を検査すると共に、 前記ディスク基板を成形後は、前記ディスク基板の成形
   時間に対応して各工程ごとに所定の処理を施し、且つ、
   所定の処理を施したディスク基板を次工程に順送するよ
   う構成したことを特徴とする光ディスク製造方法。
4. 【請求項４】複数のピットが刻まれたピット面を有する
   スタンパをディスク用成形機に取り付け、ほぼ透明な樹
   脂を用いて前記ピット面を円盤状の信号面として転写す
   ると共に、円盤状のディスク基板を所定の成形時間で成
   形し、且つ、前記信号面上に反射膜を膜付けして反射膜
   面を形成し、且つ、前記反射膜面上に保護膜を膜付けし
   て保護膜面を形成した光ディスクを製造する光ディスク
   製造方法において、 前記保護膜面を形成後、前記保護膜面の良否を検査し、 前記保護膜面の検査時に良品と判定された後、前記保護
   膜面上にレーベルを印刷してレーベル面を形成し、 前記レーベル面を形成後、前記レーベル面の良否を検査
   し、 前記反射膜面を形成後で、且つ、前記反射膜面形成中及
   び前記保護膜面形成中並びに前記レーベル面形成中を除
   いて適宜に挿入され、前記反射膜面及び下地となる前記
   信号面の良否を検査すると共に、 前記ディスク基板を成形後は、前記ディスク基板の成形
   時間に対応して各工程ごとに所定の処理を施し、且つ、
   所定の処理を施したディスク基板を次工程に順送するよ
   う構成したことを特徴とする光ディスク製造方法。
5. 【請求項５】請求項３及び請求項４において、前記ディ
   スク基板の成形時に、前記スタンパのスタンパ番号を前
   記ディスク基板の刻印番号として転写し、且つ、前記レ
   ーベル面検査工程時に、前記刻印番号と前記レーベル面
   との合否を検査するよう構成したことを特徴とする光デ
   ィスク製造方法。