JP2004055119A

JP2004055119A - 光ディスクスタンパ検査機、光ディスクスタンパ検査方法及び光ディスクスタンパ

Info

Publication number: JP2004055119A
Application number: JP2003157088A
Authority: JP
Inventors: Kimio Hirono; 廣野　公夫; Hirofumi Kurosawa; 黒沢　弘文; Noboru Furuya; 古谷　昇
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1997-10-28
Filing date: 2003-06-02
Publication date: 2004-02-19

Abstract

【課題】従来のスタンパ検査機では再生原理がディスクと異なることから、再生特性検査結果がディスクの検査結果と異なる。これではスタンパを用いてディスクを製造しないと、スタンパの厳密な良否判定が出来ないためスタンパが不良の場合は大きな損失となる。そこでディスクを製造せずに容易にスタンパ独自の検査を可能とする。
【解決手段】スタンパ１００の信号面に紫外線硬化樹脂１１０を介してガラス基板１０７を貼り付けたものを、ディスク検査機と同等の光学定数をもつ光学的ピックアップで検査をすることにより、このスタンパを用いて製造したディスクと同等の再生特性検査結果を得ることが出来るので、容易にスタンパの良否判定が可能となる。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は光ディスクスタンパを検査するための光ディスクスタンパ検査機と、光ディスクスタンパの検査方法及び光ディスクスタンパに関する。
【０００２】
【従来の技術】通常の光ディスクの工程は、スタンパを造るマスタリングという工程と、このスタンパを用いて成形、成膜する事によってディスクを造る工程に大別される。マスタリング工程に何らかの不具合があった場合、このスタンパを用いてディスクを製造し完成品を検査することは、ディスクの工程が大規模なだけに大きな損失である。従って、ディスクを製造する前にスタンパ検査機でスタンパを検査し規格を満たすのを確認してディスク製造工程に回すことが望まれる。この意味からスタンパ検査は重要な役割を果たす。従来の光ディスクスタンパ検査機を用いて光ディスクスタンパに形成されたピットのＨＦ信号やグルーブのトラッキングエラー信号等の再生特性を検査する方法を図６を用いて説明する。
【０００３】
測定対象の光ディスクスタンパ６００を回転テーブル６０１に取り付けておき、スピンドルモータ６０２で回転させながら、光学式ヘッド６１０で光ディスクスタンパ６００にレーザを照射し、その反射光量を検出する。光学式ヘッド６１０では、半導体レーザ６０３から拡散光が放出され、コリメートレンズ６０４で平行光に変換され、ビームスプリッタ６０５を透過後、対物レンズ６０６で集光され平行平面板６０７を透過し光ディスクスタンパ６００の信号面に至る。光ディスクスタンパ６００信号面に照射されたレーザスポットは、ピットまたはグルーブの形状による変調を受けながら反射し、再び平行平面板６０７、対物レンズ６０６を透過後、ビームスプリッタ６０５で反射し、フォトダイオード６０８で光量の検出を行う。フォトダイオード６０８の入射面は２つの領域に分割されており、それぞれ独立に電流電圧変換及び増幅を行い２つのチャンネルを形成する。ＨＦ信号はぞれぞれのチャンネルの出力信号を高帯域を保存しながら加算することによって得られる。トラッキングエラー信号はこれらの２つのチャンネルの出力信号を減算することによって得られる。
【０００４】
ここで用いられる対物レンズ６０６は、光ディスクドライブに搭載されるものと同等の設計仕様をもつ対物レンズが通常多く使われる。この光ディスクドライブ用の対物レンズは、光ディスク基板を透して反射層に回折限界の焦点を結ぶように設計されているため、光ディスク検査機においてもこの基板と同様に波面収差を補正する効果を持つ平行平面板６０７を対物レンズ６０６と光ディスクスタンパ６００の間に設ける事が通例である。これによって、光ディスクスタンパ６００信号面に、ディスク検査時と同サイズの回折限界の焦点を形成することが出来る。
【０００５】
また、前述の例の様に平行平面板６０７の様に光学ヘッドに固定する方法以外に、平行平面板６０７の代わりにスタンパに透明な基板を単に重ね合わせ、スタンパと共に回転テーブルに固定し検査する方法が考案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述の方法で光ディスクスタンパを検査した場合の再生特性は、実際にこの光ディスクスタンパから造られた光ディスクをディスク検査機で測定した再生特性とかなり異なる。この原理を再生専用光ディスクの検査項目の一つであるＨＦ信号変調度を例にとり図４、５を用いて説明する。ここで述べる再生専用光ディスクは、長さの異なる凹形状または凸形状のマークがスパイラル状に連続的に刻みこまれている種類のものである。
【０００７】
まず、光ディスクをディスク検査機で検査した場合について述べる。ディスク検査機の光学式ヘッドから放出されたレーザビームは光ディスクの基板表面４０５ａに入射後基板内を透過し、ヘッダ部のマーク４０６ａに至る。検査を行うに際には、入射したビームが反射層４００ａで焦点を結ぶようにフォーカスサーボをかけて測定するので、反射層４００ａにおいてビームウエストが形成され、この部分を微視的にみれば、模試的に平行ビームと考えることができる。ここでマーク４０６ａに到達する前のビーム成分４０１ａとその他の部分であるスペースに到達する前のビーム成分４０２ａの位相は揃っている。その後それぞれのビーム成分は反射した際に、マーク４０６ａの高さの往復分の光路差が生じ位相の変調を受ける。ビーム成分４０１ａ、４０２ａは反射によって位相の異なるビーム成分４０３ａ、４０４ａにそれぞれ変換される。
【０００８】
実際に記録されたマークの再生する場合は、反射層４００ａにフォーカスサーボをかけた状態で連続したマークにトラッキングをかける。ＨＦ信号波形の一例を図５の５０１（ａ）に示す。マーク４０６ａにビームが通過する瞬間は２つのビーム成分４０３ａ、４０４ａの位相のずれにより、互いの成分が打ち消す様な作用が働きフォトダイオードに入射する光量が減少し波形５０１ａにおいて極小部５０３ａを形成する。それに対し、スぺース部では波形５０１ａにおいて極大部を形成する。
【０００９】
通常、マーク４０６ａの高さは波形５０１ａのＨＦ信号変調度を大きくするため、なるべくビーム成分４０３ａ、４０４ａの位相差がπに近くなるように設定されるが望ましい。ここでのＨＦ信号変調度とは１４Ｔ（Ｔはチャンネルビット周期）のマークの変調度とし、
Ｉ_１４／Ｉ_１４Ｈ
と定義する。この位相差は基板内でのビームの波長に依存するため、マーク４０６ａの高さを設定する際には基板内での波長を考慮する必要がある。真空中でのビームの波長をλ_０、基板の屈折率をｎ_ｓとすると基板内での波長λ_ｓは、　λ_ｓ＝λ_０／ｎ_ｓ
と表される。例えば位相差がπとなるときのマーク４０６ａの高さｈは、
ｈ＝λ_０／４ｎ_ｓ
である。
【００１０】
続いて、直接スタンパをスタンパ検査機で検査した場合について述べる。スタンパ検査機の光学式ヘッドから放出されたレーザビームは波面収差を補正するための平行平面板４０５ｂを透過後、スタンパ４００ｂに到達する。検査を行うに際には、ビームをスタンパ４００ｂの信号面にフォーカスサーボをかける。ここでマーク４０４ｂに到達する前のビーム成分４０１ｂとその他の部分であるスペースの到達する前のビームの成分４０２ｂの位相は揃っている。その後それぞれのビーム成分は反射した際に、マーク４０６ｂの高さの往復分の光路差が生じ、等価的に位相の変調を受ける。ビーム成分４０１ｂ、４０２ｂは反射によって位相の異なるビーム成分４０３ｂ、４０４ｂにそれぞれ変換されることになる。
【００１１】
この時の再生信号波形を図５の５０１（ｂ）に示す。ディスク検査と同様に、マーク４０６ａにビームが通過する瞬間は２つのビーム成分４０３ｂ、４０４ｂの位相のずれにより、ディテクタに入射する光量が減少し波形５０１ｂにおいて極小部５０３ｂを形成する。但し、この場合ビームは空気中を通ってスタンパに至るので波長はほとんど真空中の波長λ_０に等しい。基板にはポリカーボネートまたはガラスが一般的に使用されため屈折率ｎ_ｓは１．５程度である。従ってスタンパ検査の場合はディスク検査と比較して１．５倍の波長のビームで再生させていることになり、再生特性に大きく影響を与えることになる。前述のディスクと同様にマーク高さがλ_０／４ｎ_ｓの場合は、反射ビーム成分４０３ｂ、４０４ｂの位相差はπとならなず、お互いの打ち消しの作用が中途半端に働く。これによりＨＦ信号変調度は、波形５０１ｂのようにディスクの検査結果と比較して小さい値となり同値とはならない。
【００１２】
この様にディスクとスタンパの検査機の再生原理の違いによってもたらされるＨＦ信号変調度の測定値の違いは、ディスクとスタンパの測定値の完全な一対一の相関関係が見出せられればスタンパ検査の結果からディスクのＨＦ信号変調度を推測でき何ら問題はない。しかし、実際はそうはならずマークの斜面部の角度、マークの先鋭さ等の形状的なパラメータによって相関関係は異なる。よってスタンパ検査機では厳密なディスクでの変調度を推測することは困難である。この問題はＨＦ信号変調度に限らず、全ての再生信号の検査項目に当てはまる。
【００１３】
本発明における課題は、スタンパ検査において簡易的にディスクと同等の検査結果を得、スタンパの良否判定を可能とすることである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の光ディスクスタンパ検査機は、光ディスクスタンパに形成された透明な物質と、
前記透明な物質を透してレーザ光を前記光ディスクスタンパに照射し、その反射光を検出する光学式ヘッドと、を有することを特徴とする。
【００１５】
本発明の光ディスクスタンパ検査機は、前記光ディスクスタンパ検査機において、前記透明な物質は、揮発性硬化樹脂であることを特徴とする。
【００１６】
本発明の光ディスクスタンパは、前記光ディスクスタンパ検査機を用いて検査されたことを特徴とする。
【００１７】
本発明の光ディスクスタンパ検査方法は、光ディスクスタンパに透明な物質を形成する過程と、前記透明な物質を透してレーザ光を前記光ディスクスタンパに照射し、その反射光を検出し、該光ディスクスタンパを検査する過程と、を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明の光ディスクスタンパ検査方法は、前記光ディスクスタンパの検査方法において、前記透明な物質が、揮発性硬化樹脂であることを特徴とする。
【００１９】
本発明の光ディスクスタンパは、前記光ディスクスタンパ検査方法を用いて検査されたことを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
【実施例】
（実施例１）請求項３の光ディスクスタンパ検査機を、本発明の第一の実施例として図１を用いて説明する。
【００２１】
本発明の光ディスクスタンパ検査機は主に光学ヘッド１１０と回転テーブル１０１が主軸に取り付けてあるスピンドルモータ１０２で構成される。ガラス基板１０７は、予め紫外線硬化樹脂１１０を介して測定対象である光ディスクスタンパ１００に貼り付けておく。
光学式ヘッド１１０の機能を以下に述べる。半導体レーザ１０３から拡散光が放出され、コリメートレンズ１０４で平行光に変換され、ビームスプリッタ１０５を透過後、対物レンズ１０６で集光される。基板１０７を透過し光ディスクスタンパ１００の信号面で反射したビームは基板１０７を透過後、対物レンズ１０６に入射する。対物レンズ１０６を透過後、ビームスプリッタ１０５で反射し、フォトダイオード１０８で光量の検出を行う。以下、従来の技術で述べたのと同様にＨＦ信号やトラッキングエラー信号等の検出を行う。
【００２２】
回転テーブル１０１は、中心をスピンドルモータ１０２の主軸に固定されている。また回転テーブル１０１には、エアー吸着または磁石等のスタンパを取り付けるための機能を有する。スピンドルモータ１０２は測定時に回転駆動力を発生する。
【００２３】
この検査機でスタンパを再生させた場合、ガラス基板１０７の屈折率が約１．５であるのでこの値に近い屈折率を持つ紫外線硬化樹脂１１０を用いれば、波長λ_０／ｎ_ｓでの再生が可能となりディスク検査の場合と光学的なパラメータが一致する。また、スタンパの材質はニッケルが一般的に用いられるので高い反射率が得られ、ディスクの反射層と同様の働きをする。
【００２４】
この実施例ではスタンパ１００とガラス基板１０７の間に挟み込む媒体を紫外線硬化樹脂１１０としたが、この限りではなくガラス基板１０７と同等の屈折率をもつ物質であれば材質は問わない。またガラス基板１０７もディスクと同等の屈折率が得られれば材質を問わない。
【００２５】
また、測定対象となるスタンパは再生専用光ディスクスタンパに限らず、追記型、書換え型等の全ての光ディスクスタンパに有効である。
【００２６】
この様に、本発明のスタンパ検査機でスタンパを検査することにより、実際に
ディスクを製造せずにディスク同様の検査結果を容易に得ることができる。
【００２７】
（実施例２）請求項３の光ディスクスタンパ検査機を、本発明の第二の実施例として図２を用いて説明する。
【００２８】
本発明の光ディスクスタンパ検査機は主に光学ヘッド２１０と、スピンドルモータ２０２、主軸２１２および受け部２０１からなる回転部で構成される。ガラス基板２０７は、予め紫外線硬化樹脂２１０を介して測定対象である光ディスクスタンパ２００に貼り付けておく。
光学式ヘッド２１０の機能を以下に述べる。半導体レーザ２０３から拡散光が放出され、コリメートレンズ２０４で平行光に変換され、ビームスプリッタ２０５を透過後、対物レンズ２０６で集光される。ガラス基板２０７を透過し光ディスクスタンパ２００の信号面で反射したビームはガラス基板２０７を透過後、対物レンズ２０６に入射する。対物レンズ２０６を透過後、ビームスプリッタ２０５で反射し、フォトダイオード２０８で光量の検出を行う。以下、従来の技術で述べたと同様にＨＦ信号やトラッキングエラー信号の検出を行う。
【００２９】
受け部２０１は、主軸２１２に固定されており、スタンパの中心部付近と接触し光ディスクスタンパ２００の信号面をスピンドルモータの主軸と垂直になるように保つ。光ディスクスタンパ２００及びガラス基板２０７は、中心孔を有し、これに主軸２１２を通し、取り外し可能な押え２１１によって固定される。スピンドルモータ２０２は測定時に回転駆動力を発生する。
【００３０】
この検査機でスタンパを再生させた場合、ガラス基板２０７の屈折率が約１．５であるのでこの値に近い屈折率を持つ紫外線硬化樹脂２１０を用いれば、波長λ_０／ｎ_ｓでの再生が可能となりディスク検査の場合と光学的なパラメータが一致する。また、スタンパの材質はニッケルが一般的に用いられるので高い反射率が得られ、ディスクの反射層と同様の働きをする。
【００３１】
この実施例ではスタンパ２００とガラス基板２０７の間に挟み込む媒体を紫外線硬化樹脂２１０としたが、この限りではなくガラス基板２０７と同等の屈折率をもつ物質であれば材質は問わない。またガラス基板２０７もディスクと同等の屈折率が得られれば材質を問わない。
【００３２】
また、測定対象となるスタンパは再生専用光ディスクスタンパに限らず、追記型、書換え型等の全ての光ディスクスタンパに有効である。
【００３３】
スタンパ自体では信号面を平坦に保つ強度が足りないため、従来のスタンパ検査機では、平坦でスタンパ径と同サイズのターンテーブルが必要であった。これにスタンパをエアー吸着または磁石等で貼り付けることによってスタンパの信号面を平坦化していた。しかし、本発明の光ディスクスタンパ検査機では、光ディスクスタンパ２００を紫外線硬化樹脂２１０でガラス基板２０７に貼り付けるため、ガラス基板２０７の平坦さにより光ディスクスタンパ２００信号面も平坦さが保たれる。従って、大きな回転テーブルやエアー吸着や磁石等のスタンパを取り付けるための複雑な機構が不要なため、検査機の構造を簡素化できる利点がある。
【００３４】
（実施例３）本発明の第三の実施例として、請求項１０の光ディスクスタンパの検査方法の各工程を図３を用いて順を追って説明する。但し図３は各工程におけるスタンパの中心を通る断面の図で示す。
【００３５】
まず測定対象となる光ディスクスタンパ３００を水平な回転テーブルの上に、信号面を上にして置く。もし光ディスクスタンパが歪むようであれば、外周または内周の押えを用意し平坦にする。
【００３６】
その後図３（ａ）に示すように、回転テーブルを回しながら、ノズル３０２を中周付近に置き、紫外線硬化樹脂３０１を吐出させる。図３（ｂ）に示すように光ディスクスタンパの信号面上に、環状に紫外線硬化樹脂３０１を盛る。この光ディスクスタンパ３００を真空チャンバの中に入れ減圧しておく。
【００３７】
図３（ｃ）に示すように、ガラス基板３０２を水平を保ちながら真上から落とし、紫外線硬化樹脂３０１が光ディスクスタンパ３００全体に馴染んだら真空チャンバから取り出し図３（ｄ）に示す様に紫外線をガラス基板３０２側から照射する。
【００３８】
これらの工程を経て、図３（ｅ）に示す様に、紫外線硬化樹脂３００を介してガラス基板３０２を密着した状態で貼り付いた光ディスクディスクスタンパ３００が完成する。
【００３９】
その後、光ディスク評価機により光ディスクと同様に検査を行い、この光ディスクスタンパ３００から得られる光ディスクと同等の検査結果を得ることができる。
【００４０】
本実施例の検査方法では、スタンパに紫外線硬化樹脂を盛り付け、その後ガラス基板を貼り付けたが、本発明の検査方法はその限りではなく、ガラス基板に紫外線硬化樹脂を盛り付け、その後スタンパを貼り付けることも有り得る。
【００４１】
この様に光ディスクスタンパ３００にガラス基板３０２を貼り付けることにより、光ディスクスタンパを取り扱いする時に発生する信号面の傷や汚れを防止することができる。またこの状態で保管すれば、長期的に信号面の腐食や劣化を抑えることができる。
【００４２】
（実施例４）請求項１６の光ディスクスタンパ検査機を、本発明の第４の実施例として図７を用いて説明する。
【００４３】
本発明の光ディスクスタンパ検査機は主に光学ヘッド７１０と、スピンドルモータ７０２、回転テーブル７０１からなる回転部で構成される。光ディスクスタンパ７００には、予め、溶剤が揮発することにより硬化する揮発性硬化樹脂７１１をスピンコートし、その後揮発させて置く。
光学式ヘッド７１０の機能を以下に述べる。半導体レーザ７０３から拡散光が放出され、コリメートレンズ７０４で平行光に変換され、ビームスプリッタ７０５を透過後、対物レンズ７０６で集光される。波面収差補正板７０７を透過し光ディスクスタンパ７００のピットまたはグルーブが記録されている記録面上に形成された揮発性硬化樹脂７１１を透過後、光ディスクスタンパ７００の記録面に焦点を結ぶ。この時、光ディスクスタンパ７００は回転おり、表面にはピットまたはグルーブが形成されているのでここに入射したビームは光学的な変調を受けながら反射される。その後ビームは揮発性硬化樹脂７１１を透過後、波面収差補正板７０７を透過し対物レンズ７０６に入射する。対物レンズ７０６を透過後、ビームスプリッタ７０５で反射し、フォトダイオード７０８で光量の検出を行う。以下、従来の技術で述べたと同様にＨＦ信号やトラッキングエラー信号の検出を行う。
【００４４】
通常対物レンズ７０６は光ディスクの基板を透過して回折限界の焦点を結ぶ、いわゆる光ディスク用に設計されているため、この様な対物レンズを使用した場合は光ディスク基板と同等の役割を果たす波面収差補正板７０７が必要となる。回転テーブル７０１は、スピンドルモータ７０２の主軸に固定されており、スタンパの中心部付近と接触し光ディスクスタンパ７００の記録面をスピンドルモータ７０２の主軸と垂直になるように保つ。スピンドルモータ７０２は測定時に回転駆動力を発生する。
【００４５】
この検査機でスタンパを再生させた場合、硬化後の屈折率ｎ_ｓが約１．５である揮発性硬化樹脂７１１を用いれば、波長λ_０／ｎ_ｓでの再生が可能となりディスク検査の場合と光学的なパラメータがほぼ一致する。また、スタンパの材質はニッケルが一般的に用いられるので高い反射率が得られ、ディスクの反射層と同様の働きをする。
【００４６】
揮発性硬化樹脂を用いて光ディスクスタンパの溝再生信号特性の検査を行うことにより、このスタンパから造られたディスクと同等の検査結果が得られるだけではなく、揮発性硬化樹脂の膜が付いている状態ではスタンパが欠陥に侵されるのを防ぐ効果がある。
【００４７】
また、この揮発性硬化樹脂７１１には、硬化後剥がすことにより光ディスクスタンパ表面の欠陥を除去する洗浄作用がある。
この実施例では光ディスクスタンパ７００にコートする透明な物質を揮発性硬化樹脂７１０としたが、この限りではなく同等の屈折率をもつ物質であれば材質は問わない。
【００４８】
また、測定対象となるスタンパは再生専用光ディスクスタンパに限らず、追記型、書換え型等の全ての光ディスクスタンパに有効である。
【００４９】
（実施例５）本発明の第５の実施例として、請求項１９の光ディスクスタンパの検査方法の各工程を図８を用いて順を追って説明する。但し図８は各工程におけるスタンパの中心を通る断面の図で示す。
【００５０】
その後光ディスクスタンパの信号面上に揮発性硬化樹脂でスピンコートする。以下、スピンコートの手順の一例を説明する。図８（ａ）に示すように、回転テーブルを低回転で回しながら、ノズル８０２を外周より内周に移動させながら、揮発性硬化樹脂８０１を吐出させる。図８（ｂ）に示すように光ディスクスタンパ８００の信号面上の全面に渡って揮発性硬化樹脂８０１を盛る。その後、高回転で回転テーブルを回転させ、余分な揮発性硬化樹脂８０１を振り落とし、図８（ｃ）に示すような均一な厚みの膜を形成する。
【００５１】
次に、図８（ｄ）に示す様に、放置することにより揮発性硬化樹脂８０１の溶剤が揮発し硬化させる。または時間短縮のため、乾燥炉等の中に入れて硬化させても構わない。溶剤が揮発した後硬化した揮発性硬化樹脂８０３の層が形成される。
【００５２】
その後、図７に示すような光ディスク評価機の回転テーブル７０１の上に、信号面を上にして置く。もし光ディスクスタンパが歪むようであれば、光ディスクスタンパ８００の裏面を真空吸着や磁石により回転テーブル７０１に貼り付ける機構を用意し平坦にする。その後、ディスク検査と同様に溝再生信号特性の検査をすることにより、この光ディスクスタンパ８００から造られる光ディスクと同等の検査結果を得ることができる。
【００５３】
揮発性硬化樹脂８０３の層の厚みは、光ディスクスタンパ８００の記録面上に結ぶ焦点の波面収差の観点では、波面収差補正板７０７と比較して極力薄いことが望まれる。しかし、光ディスクスタンパ８００の記録面と揮発性硬化樹脂８０３の上表面で反射する光線が干渉すると再生信号にも影響を与えるため、この干渉成分を軽減するには揮発性硬化樹脂８０３の層が厚い方が望まれる。これら相反する両者の影響を考慮し、この厚さは数十μｍ程度にするのが妥当である。
【００５４】
この様に光ディスクスタンパの信号面に透明な樹脂で覆うことにより、光ディスクスタンパの取り扱い時に発生する信号面の傷や汚れを防止することができる。またこの状態で保管すれば、長期的に信号面の腐食や劣化を抑えることができる。
【００５５】
本実施例の検査方法では、光ディスクスタンパに揮発性硬化樹脂をスピンコートしたが、本発明の検査方法はその限りではなく紫外線硬化樹脂を用いる場合も有り得る。
【００５６】
【発明の効果】
本発明の光ディスクスタンパ検査機または検査方法で示す様に、光ディスクスタンパを紫外線硬化樹脂等でガラス基板を貼り付けることによって光ディスクと同様に光ディスク検査機で検査をすることができ、またディスクと同様の再生原理から、この光ディスクスタンパから造られた光ディスクと同等の再生特性検査結果を得ることができる。この事により、光ディスク製造工程において光ディスクマスタリング終了時にスタンパを検査することにより、光ディスクの推測ができ、良否判定が可能となる。
【００５７】
またスタンパ信号面をガラス基板でカバーするので取り扱いを誤って傷を付けたり、汚したりすることを防止できる。更にはスタンパ信号面の腐食、劣化等を防止でき長期保管が可能となる。
【００５８】
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の光ディスクスタンパ検査機を説明するための図。
【図２】実施例２の光ディスクスタンパ検査機を説明するための図。
【図３】実施例３の光ディスクスタンパの検査方法を説明するために各工程を示す図。
【図４】従来の光ディスクスタンパ検査機と光ディスク検査機の再生原理を説明するための図。
【図５】従来の光ディスクスタンパ検査機と光ディスク検査機のＨＦ信号再生波形を示す図　。
【図６】従来の光ディスクスタンパ検査機を説明するための図。
【図７】実施例４の光ディスクスタンパ検査機を説明するための図。
【図８】実施例５の光ディスクスタンパの検査方法を説明するために各工程を示す図。
【符号の説明】
１００、２００、３００、４００ｂ、６００、７００、８００　光ディスクスタンパ
１０１、６０１、７０１　回転テーブル
１０２、２０２、６０２、７０２　スピンドルモータ
１０３、２０３、６０３、７０３　半導体レーザ
１０４、２０４、６０４、７０４　コリメータレンズ
１０５、２０５、６０５、７０５　ビームスプリッタ
１０６、２０６、６０６、７０６　対物レンズ
１０７、２０７、３０２、７０７　ガラス基板
１０８、２０８、６０８、７０８　フォトダイオード
１０９、２０９、６０９、７０９　矢印
１１０、２１０、６１０、７１０　光学式ヘッド
２０１　受け部
２１１　押え
２１２　主軸
３０１　紫外線硬化樹脂
３０２、８０２　ノズル
４００ａ　反射層
４０１ａ、４０２ａ、４０３ａ、４０４ａ、４０１ｂ、４０２ｂ、４０３ｂ、４０４ｂ　ビーム成分
４０５ａ　基板表面
４０６ａ、４０６ｂ　マーク
４０５ｂ、６０７　波面収差補正板
５０１ａ、５０１ｂ　波形
５０２ａ、５０２ｂ　グランドレベル
５０３ａ、５０３ｂ　極小部
７１１、８０１、８０２、８０３　揮発性硬化樹脂

Claims

光ディスクスタンパに形成された透明な物質と、
前記透明な物質を透してレーザ光を前記光ディスクスタンパに照射し、その反射光を検出する光学式ヘッドと、を有することを特徴とする光ディスクスタンパ検査機。
請求項１の光ディスクスタンパ検査機において、
前記透明な物質は、揮発性硬化樹脂であることを特徴とする光ディスクスタンパ検査機。
請求項１及び２の光ディスクスタンパ検査機を用いて検査されたことを特徴とする光ディスクススタンパ。
光ディスクスタンパに透明な物質を形成する過程と、
前記透明な物質を透してレーザ光を前記光ディスクスタンパに照射し、その反射光を検出し、該光ディスクスタンパを検査する過程と、を有することを特徴とする光ディスクスタンパ検査方法。
請求項４の光ディスクスタンパの検査方法において、前記透明な物質が、揮発性硬化樹脂であることを特徴とする光ディスクスタンパ検査方法。
請求項４及び５の光ディスクスタンパ検査方法を用いて検査されたことを特徴とする光ディスクスタンパ。