JP2668165B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2668165B2
JP2668165B2 JP2400688A JP40068890A JP2668165B2 JP 2668165 B2 JP2668165 B2 JP 2668165B2 JP 2400688 A JP2400688 A JP 2400688A JP 40068890 A JP40068890 A JP 40068890A JP 2668165 B2 JP2668165 B2 JP 2668165B2
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隆宏 小松
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体記憶装置に関
し、より特定的には、高速読出が可能な半導体記憶装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、たとえばダイナミック型MOSR
AM(MOSトランジスタを用いたランダム・アクセス
・メモリ)等の高集積半導体記憶装置に対しては、その
記憶容量を増大させるための高集積化とともに、アクセ
ス時間(データ読出に要する時間)を大幅に短縮するこ
とによる読出動作の高速化が望まれている。
【0003】図4は、従来から用いられている半導体記
憶装置の全体構成を概略的に示す図である。
【0004】図4において、メモリセルアレイ101
は、折返しビット線構成を有するように行列状に配列さ
れる複数個のメモリセルを含む。アドレスバッファ10
2は、外部から与えられるアドレス信号ADDを受けて
内部行アドレス信号および内部列アドレス信号を発生す
る。ロウデコーダ103は、アドレスバッファ102か
らの内部行アドレス信号に応答してメモリセルアレイ1
01から1行(1本のワード線)を選択する。コラムデ
コーダ104は、アドレスバッファ102からの内部列
アドレス信号に応答してメモリセルアレイ101から1
列(1組のビット線対)を選択する。(センスアンプ+
I/O)ブロック105は、ビット線対上の信号電位差
を増幅するとともに、コラムデコーダ104からのコラ
ムデコード信号に応答して、選択されたビット線対をデ
ータ入出力線へ接続する。書込バッファ106は、外部
から与えられる書込データDINを受け、たとえば互いに
相補なデータの組(DIN,DINバー)に変換してブロッ
ク105のI/O部へ伝達する。なお、データDINバー
は、データDINの反転データである。読出バッファ10
7は、ブロック105のI/O部分からのデータを受け
て出力信号DOUT として外部へ出力する。クロックジェ
ネレータ108は、メモリサイクルの開始、アドレス信
号の取込みタイミングなどを与えるためのロウアドレス
ストローブ信号RASバー(RASバーは、図面上で
は、RASの上に横線を引いたものに対応する)および
コラムアドレスストローブ信号CASバー(CASバー
は、図面上ではCASの上に横線を引いたものに対応す
る)等を発生する。
【0005】クロックジェネレータ108からのロウア
ドレスストローブ信号RASバーはアドレスバッファ1
02,ロウデコーダ103などへ与えられ、コラムアド
レスストローブ信号CASバーはアドレスバッファ10
2,コラムデコーダ104などへ与えられる。
【0006】図5に示すように、ロウアドレスストロー
ブ信号RASバーは、アドレスバッファ102における
行アドレス信号を取込むタイミングを与え、コラムアド
レスストローブ信号CASバーはアドレスバッファ10
2における列アドレス信号を取込むタイミングを与え
る。この構成においては、アドレスバッファ102には
行アドレスと列アドレスとが時系列に与えられる。ま
た、ロウデコーダ103およびコラムデコーダ104に
おけるアドレス信号のデコードのタイミングは、それぞ
れ、ロウアドレスストローブ信号RASバー,コラムア
ドレスストローブ信号CASバーにより与えられる。
【0007】図6は、図4に示されるメモリセルアレイ
の要部の構成を示す図であり、点線で示されるブロック
150の構成の一例を具体的に示す図である。
【0008】図6において、折返しビット線を構成する
1組のビット線BLa,BLbが代表的に示される。ビ
ット線BLa,BLbは対をなし、折返しビット線対を
構成する。すなわち、ビット線BLa,BLb上には互
いに相補な信号が現れることになる。ビット線BLa,
BLbと直交する方向に複数のワード線が設けられる。
ただし、図6においては、1本のワード線WLのみが代
表的に示される。ワード線とビット線との交点にはメモ
リセルが設けられる。したがって、メモリセルは行列状
に配列される。図6においては、ビット線BLaとワー
ド線WLとの交点に設けられる1個のメモリセル1のみ
が代表的に示される。メモリセル1は1トランジスタ・
1キャパシタ型の構成を有し、情報を記憶するメモリ容
量C0と、NチャンネルNIS(金属−絶縁膜−半導
体)トランジスタQ0とを備える。
【0009】ビット線対BLa,BLb上の信号電位差
を差動増幅するために、フリップフロップ型のセンスア
ンプ2,3が設けられる。センスアンプ2はNチャネル
NISトランジスタQ1,Q2から構成される。センス
アンプ2は、センスアンプ活性化手段4からの信号に応
答して活性化され、低電位側のビット線電位を接地電位
に放電する。センスアンプ活性化手段4は、センスアン
プ活性化信号S0に応答してON状態となりノードN1
を接地電位に接続するNチャネルNISトランジスタQ
5から構成される。センスアンプ3は、PチャネルNI
SトランジスタQ3,Q4から構成される。センスアン
プ3は、センスアンプ活性化手段5からの信号に応答し
て活性化され、高電位側のビット線電位を電源電位Vc
cに充電する。センスアンプ活性化手段5は、センスア
ンプ活性化信号S0バー(S0バーは、図面上ではS0
の記号の上に横線を引いたものに対応する)に応答して
ON状態となりノードN2を電源電位Vccに接続する
PチャネルNISトランジスタQ6から構成される。
【0010】イコライズ/プリチャージ手段6は、メモ
リサイクルの開始前および終了後(すなわちスタンバイ
時)に、各ビット線BLa,BLbを所定のプリチャー
ジ電位VBLにプリチャージし、かつ各ビット線電位をイ
コライズする。通常、プリチャージ電位VBLは内部電圧
発生回路により発生され、所定の電位(たとえば電源電
位Vccの半分、すなわちVcc/2の電位)に設定さ
れている。
【0011】さらに、各ビット線対BLa,BLbとデ
ータ入出力線対I/Oa,I/Obとの間には、コラム
デコーダ(図4参照)からのコラムデコード信号Yに応
答してON状態となるNチャネルNISトランジスタQ
10,Q11がそれぞれ接続される。データ入出力線対
I/Oa,I/Obは、通常、クロック信号CLKに応
答してON状態となるNチャネルNISトランジスタQ
22,Q23により所定の電位V′BLにプリチャージさ
れる。データ入出力線対I/Oa,I/Obは入出力バ
ッファを介してデータのやり取りを行なう。
【0012】図7は、図4および図6に示す従来の半導
体記憶装置の読出時の動作を示す信号波形図である。図
7において、図6に示される符号と同一の符号は対応部
の電位変化を示す。以下、図7を参照して図6に示す従
来の半導体記憶装置の読出動作を説明する。
【0013】時刻T1以前においてはイコライズ信号E
Qがハイレベルにあり、イコライズ用トランジスタQ
7,プリチャージ用トランジスタQ8,Q9はすべてO
N状態にあり、ビット線BLa,BLbは所定の電位V
BLにプリチャージされている。
【0014】時刻T1においてイコライズ信号EQがハ
イレベルからロウレベルに低下すると、トランジスタQ
7,Q8,Q9がすべてOFF状態となり、ビット線B
La,BLbは電気的にフローティング状態となる。こ
れにより、プリチャージ/イコライズ動作が終了する。
【0015】時刻T2において、ロウデコーダからの行
デコード信号に応答して1本のワード線WLが選択され
ると、ワード線WLの電位がロウレベルからハイレベル
へ移行する。これにより、ワード線WLに接続されるメ
モリセル1のトランジスタQ0がON状態となり、メモ
リキャパシタC0がビット線BLa,BLbに接続され
る。その結果、メモリセル1が有する情報に応じた電位
変化がビット線BLa,BLbに生じる。今、メモリセ
ルが情報“1”を記憶している場合には、図7に実線で
示すように、ビット線BLaの電位がプリチャージ電位
よりわずかに上昇し、ビット線BLbの電位はプリチャ
ージ電位を保持する。
【0016】ビット線対BLa,BLb上の読出信号電
位が確定すると、時刻T3においてセンスアンプ活性化
信号S0,S0バーがそれぞれ上昇,下降し始める。こ
れにより、トランジスタQ5,Q6がON状態となり、
ノードN1は接地電位、ノードN2は電源4電位Vcc
にそれぞれ充放電される。この結果、フリップフロップ
型センスアンプ2,3がともに活性化され、ビット線B
La,BLbのうち高電位側のビット線BLaの電位が
センスアンプ3を介して電源電位Vccまで充放電さ
れ、低電位側のビット線BLbの電位がセンスアンプ2
を介して接地電位まで放電される。すなわち、ビット線
対BLa,BLb上に生じていた微小な信号電位差が増
幅される。
【0017】センスアンプ2,3の増幅動作の後、時刻
T4において、コラムデコーダからのコラムデコード信
号Yがハイレベルになると、トランジスタQ10,Q1
1がON状態となり、ビット線対BLa,BLb上の電
位がデータ入出力線対I/Oa,I/Ob上に伝達され
る。このデータ入出力線対I/Oa,I/Ob上に伝達
された電位は、図示しないプリアンプ等の増幅手段によ
り増幅された後、データ出力バッファ、外部出力端子
(図示せず)を介して外部に伝達される。
【0018】データの外部出力端子への伝達が終了する
と、時刻T5においてワード線WLの電位がハイレベル
からローレベルに低下し、コラムデコード信号Yのレベ
ルもハイレベルからローレベルに低下する。これによ
り、データ入出力線対I/Oa,I/Ob上の電位はプ
リチャージ電位に戻る。
【0019】次に、時刻T6において、センスアンプ活
性化信号S0,S0バーがローレベルおよびハイレベル
へとそれぞれ移行し、センスアンプ2,3がともに不活
性状態とされる。このときまた、イコライズ信号EQが
ハイレベルとなり、プリチャージ/イコライズ手段6が
活性化され、ビット線対BLa,BLbが所定の電位V
BLにプリチャージされ、かつ各ビット線対BLa,BL
bの電位がイコライズされる。上述の動作がデータ読出
時における動作の概略である。
【0020】一方、データ書込時においては、信号波形
のタイミングは図7に示されるものと同様であり、デー
タの流れが読出時と逆方向になり、読出バッファ→デー
タ入出力線対→選択されたメモリセルとなる。すなわ
ち、書込バッファ(図示せず)により外部から与えられ
る書込データが相補の形(たとえばDIN,DINバー)で
データ入出力線対I/Oa,I/Ob上に伝達される。
時刻T1からT3までの動作のシーケンスを経た後に、
時刻T4においてコラムデコード信号Yがローレベルか
らハイレベルになると、トランジスタQ10,Q11が
ON状態となり、データ入出力線対I/Oa,I/Ob
上の信号電位が選択されたメモリセルへ伝達されること
になる。このようにして書込が行なわれる。
【0021】このとき、センスアンプ2,3も時刻T3
において活性化されており、ワード線WLの電位のハイ
レベルへの移行によりビット線BLa,BLb上へ表わ
れた信号電位差を増幅している。しかし、外部から書込
バッファによりデータ入出力線対I/Oa,I/Ob上
に書込データが伝達されているため、たとえセンスアン
プ2,3により増幅された信号レベルと書込データの信
号電位レベルとが逆であっても、書込データに応じて信
号電位がビット線対BLa,BLb上に現れることにな
る。これにより、書込データの選択メモリセルへの書込
がON状態のトランジスタQ0を介して行われることに
なる。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
半導体記憶装置の構成においては、データの読出時にお
いて、ビット線対BLa,BLbとデータ入出力線対I
/Oa,I/ObがトランジスタQ10,Q11を介し
て接続される。メモリセルに記憶されたデータを高速に
読出すためには、このビット線対をデータ入出力線対と
の接続をできるだけ速く行なうことが好ましい。
【0023】しかしながら、図7において、たとえばワ
ード線WLの電位の立上り時刻T2からセンスアンプ
2,3が活性化されるセンス開始時刻T3との間に、ビ
ット線対とデータ入出力線対との接続を行なった場合、
データ入出力線の有する負荷容量がビット線に加わるの
で、ビット線上の読出信号レベルは低下し、センスアン
プが確実なセンス動作を行なうことができなくなり、場
合によっては誤動作が生じる恐れもある。したがって、
ビット線対とデータ入出力線対との接続は、センスアン
プ2,3が活性化され、ビット線対BLa,BLb上の
信号電位が確定した後に行なう必要がある。
【0024】このため、従来の半導体記憶装置では、読
出動作の高速化を図る上で限界があり、アクセス時間を
より短縮することが困難であるという問題があった。
【0025】それゆえに、この発明の目的は、従来の半
導体記憶装置に比べて読出動作のアクセス時間がより短
縮化された半導体記憶装置を提供することである。
【0026】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る半
導体記憶装置は、複数のワード線と、ワード線と交差し
て配置される複数組のビット線対と、ワード線とビット
線対との各交点に配置された複数のメモリセルと、ワー
ド線の1本を選択するためのワード線選択手段と、ビッ
ト線対の1組を選択するためのビット線対選択手段と、
ビット線対毎に設けられ、それぞれ対応するビット線対
の電位差を増幅するための複数のビット線対電位差増幅
手段と、データ入出力線対と、ビット線対とデータ入出
力線対との間に設けられ、ビット線対選択手段の出力に
応答して選択されたビット線対とデータ入出力線対とを
結合するための複数のゲート手段と、ゲート電極が一方
のデータ入出力線に接続され、ドレイン電極にデータ入
出力線対イコライズレベルに対してしきい値電圧だけ高
い電位レベルが与えられ、ソース電極が他方のデータ入
出力線に接続される第1のトランジスタと、ゲート電極
が他方のデータ入出力線に接続され、ドレイン電極にデ
ータ入出力線対イコライズレベルに対してしきい値電圧
だけ高い電位レベルが与えられ、ソース電極が一方のデ
ータ入出力線に接続される第2のトランジスタとを備え
て構成される。
【0027】
【作用】この発明においては、第1および第2のトラン
ジスタによって、データ入出力線対の電位差を増幅す
る。そのため、読出時において、選択されたビット線対
とデータ入出力線対との結合のタイミングを早めても、
ビット線対にわずかな電位差すなわち読出データがあれ
ば、第1および第2のトランジスタはそれを増幅し、正
確な読出が行なわれ、読出時における高速アクセスが可
能となる。
【0028】
【実施例】図1は、この発明の一実施例に係る半導体記
憶装置の主要部分の構成を示した回路図であり、従来例
の図6に対応している。なお、この発明の一実施例に係
る半導体記憶装置の全体の構成は、図4に示す従来例と
同様であるので、その図示を省略する。
【0029】図1において、データ入出力線対I/O
a,I/Obには、フリップフロップ型の電位差増幅回
路7が設けられている。この電位差増幅回路7は、トラ
ンジスタQ31,Q32を含む。トランジスタQ31,
Q32の各ソースには、高レベルの電圧V′BL+ΔVが
与えられている。トランジスタQ31のゲートはトラン
ジスタQ32のドレインに接続されている。トランジス
タQ32のゲートはトランジスタQ31のドレインに接
続されている。トランジスタ31のドレンインには、デ
ータ入出力線I/Oaが接続されている。トランジスタ
Q32のドレインには、データ入出力I/Obが接続さ
れている。図1に示す実施例のその他の構成は、図6に
示す従来の半導体記憶装置と同様であり、相当する部分
には同一の参照番号を付し、その説明を省略する。
【0030】次に、図1に示す電位差増幅回路7の作用
を説明する。トランジスタQ31,Q32の各ソースに
は、前述したように、電圧V′BL+ΔVが与えられる。
ここで、ΔVは適当な値、たとえば、トランジスタQ3
1,Q32の閾値電圧|VTP|に選ばれている。そのた
め、データ入出力線対I/Oa,I/Obにわずかな電
位差が生じると、各データ入出力線対I/Oa,I/O
bの電位に応じて、トランジスタQ31,Q32が相補
的にONまたはOFF状態となる。たとえば、データ入
出力線I/Oaの電位がデータ入出力線I/Obの電位
よりも高い場合は、トランジスタQ31がON状態とな
り、トランジスタQ32がOFF状態となる。その結
果、データ入出力線I/Oaの電位が電圧V′BL+ΔV
−|VTP|まで高められる。逆に、データ入出力線I/
Obの電位がデータ入出力線I/Oaの電位よりも高い
場合は、トランジスタQ31がOFF状態となり、トラ
ンジスタQ32がON状態となる。その結果、データ入
出力線I/Obの電位が電圧V′BL+ΔV−|VTP|ま
で高められる。このように、電位差増幅回路7は、デー
タ入出力線対I/Oa,I/Obに生じた微小電位差
を、ただちに増幅する。
【0031】図2は、図1に示す実施例の読出動作にお
ける信号波形図である。以下、この図2を参照して、図
1に示す実施例の利点を説明する。
【0032】図2を図7と対比して分かるように、図1
に示す実施例の読出時の動作は、図6に示す従来の半導
体記憶装置とほぼ同様である。ただし、図1に示す実施
例では、選択されたビット線対BLa,BLbとデータ
入出力線対I/Oa,I/Obとを接続するタイミング
T4が、図6に示す従来の半導体記憶装置に比べて早め
られている。なぜならば、ビット線対BLa,BLbか
らデータ入出力線対I/Oa,I/Obに伝達される電
位差がたとえ微小であっても、その微小電位差は電位差
増幅回路7によって正確に増幅されるからである。すな
わち、ビット線対BLa,BLbの電位差がセンスアン
プ2,3により増幅されて所定の値に確定するまで、ビ
ット線対BLa,BLbとデータ入出力線対I/Oa,
I/Obとの接続を待機する必要がない。したがって、
図2に示すように、センスアンプ2,3が活性化された
時刻T3の直後にビット線対BLa,BLbとデータ入
出力線対I/Oa,I/Obとを接続することができ
る。さらにいえば、図1の実施例では、原理的には、セ
ンスアンプ2,3が活性化される時刻T3の前に、ビッ
ト線対BLa,BLbとデータ入出力線対I/Oa,I
/Obとを接続することも可能である。
【0033】上記のごとく、図1に示す実施例では、選
択されたビット線対とデータ入出力線対との接続タイミ
ングを、従来の半導体記憶装置に比べて速くすることが
できるので、読出動作時におけるアクセスの高速化を図
ることができる。
【0034】図1に示す実施例では、電位差増幅回路7
として、Pチャネル型MOSトランジスタQ31,Q3
2で構成されたものを用いたが、電位差増幅回路7の構
成は、種々の変形が可能である。たとえば、図3に示す
ように、2つのPチャネルMOSトランジスタQ31,
Q32と、2つのNチャネルMOSトランジスタQ3
3,Q34とで、電位差増幅回路を構成するようにして
もよい。図3において、トランジスタQ31,Q32の
各ソースには、電圧V′BL+ΔVが与えられている。ト
ランジスタQ31のゲートはトランジスタQ32のドレ
インおよびトランジスタQ33のゲートに接続されてい
る。トランジスタQ32のゲートは、トランジスタQ3
1のドレインおよびトランジスタQ34のゲートに接続
されている。トランジスタQ31のドレインは、トラン
ジスタQ33のドレインおよびデータ入出力線I/Oa
に接続されている。トランジスタQ32のドレインは、
トランジスタQ34のドレインおよびデータ入出力線I
/Obに接続されている。トランジスタQ33,Q34
の各ソースは、接地されている。
【0035】次に、図3に示す他の実施例の電位差増幅
回路の動作を説明する。まず、データ入出力線I/Oa
の電位がデータ入出力線I/Obの電位よりも高い場合
は、トランジスタQ31,Q34がON状態となり、ト
ランジスタQ32,Q33がOFF状態となる。その結
果、データ入出力線I/Oaの電位が電圧V′BL+ΔV
−|VTP|まで高められ、データ入出力線I/Obの電
位が接地電位まで下げられる。逆に、データ入出力線I
/Obの電位がデータ入出力線I/Oaの電位よりも高
い場合は、トランジスタQ32,Q33がON状態とな
り、トランジスタQ31,Q34がOFF状態となる。
その結果、データ入出力線I/Obの電位が電圧V′BL
+ΔV−|VTP|まで高められ、データ入出力線I/O
aの電位が接地電位まで下げられる。このように、図3
に示す電位差増幅回路は、データ入出力線I/Oa,I
/Obの一方の電位を上昇させ、他方の電位を下降させ
るため、図1に示す電位差増幅回路7のように高電位側
のデータ入出力線の電位のみを上昇させるものに比べ
て、データ入出力線対I/Oa,I/Obの電位差をよ
り大きく増幅することができる。
【0036】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、デー
タ入出力線対に第1および第2のトランジスタを接続
し、第1および第2のトランジスタのドレイン電極に入
出力線対イコライズレベルに対してしきい値電圧だけ高
い電位レベルを与え、第1および第2のトランジスタに
よってデータ入出力線対の電位差を増幅するようにした
ので、選択されたビット線対とデータ入出力線対との結
合のタイミングを早めてもビット線対にわずかな電位差
があれば、それを増幅し、正確な読出を行なうことがで
き、読出時における高速アクセスが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例の主要部分の構成を示した
回路図である。
【図2】図1に示す実施例の読出時における信号波形図
である。
【図3】データ入出力線対の電位差を増幅するための電
位差増幅回路の他の構成例を示す回路図である。
【図4】従来の半導体記憶装置の全体構成を示すブロッ
ク図である。
【図5】図4に示す従来の半導体記憶装置におけるアド
レス取込みタイミングを示すタイミングチャートであ
る。
【図6】図4に示す従来の半導体記憶装置の主要部分の
構成を示す回路図である。
【図7】図4および図6に示す従来の半導体記憶装置の
読出動作時における信号波形図である。
【符号の説明】
1 メモリセル 2,3 センスアンプ WL ワード線 BLa,BLb ビット線対 I/Oa,I/Ob データ入出力線対 Q10,Q11 ビット線対とデータ入出力線対との接
続用トランジスタ 7 データ入出力線対の電位差増幅回路 101 メモリセルアレイ 102 アドレスバッファ 103 ロウデコーダ 104 コラムデコーダ 105 (センスアンプ+I/O)ブロック
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−216394(JP,A) 特開 平1−169798(JP,A) 特開 平1−185896(JP,A) 特開 平1−199393(JP,A) 特開 平2−9081(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のワード線と、 前記ワード線と交差して配置される複数組のビット線対
    と、 前記ワード線と前記ビット線対との各交点に配置された
    複数のメモリセルと、 前記ワード線の1本を選択するためのワード線選択手段
    と、 前記ビット線対の1組を選択するためのビット線対選択
    手段と、 前記ビット線対ごとに設けられ、それぞれ対応するビッ
    ト線対の電位差を増幅するための複数のビット線対電位
    差増幅手段と、 データ入出力線対と、 各前記ビット線対と前記データ入出力線対との間に設け
    られ、前記ビット線対選択手段の出力に応答して、選択
    されたビット線対と前記データ入出力線対とを結合する
    ための複数のゲート手段と、 そのゲート電極が一方のデータ入出力線に接続され、そ
    のドレイン電極にデータ入出力線対イコライズレベルに
    対してしきい値電圧だけ高い電位レベルが与えられ、そ
    のソース電極が他方のデータ入出力線に接続される第1
    のトランジスタと、 そのゲート電極が他方のデータ入出力線に接続され、そ
    のドレイン電極にデータ入出力線対イコライズレベルに
    対してしきい値電圧だけ高い電位レベルが与えられ、そ
    のソース電極が一方のデータ入出力線に接続される第2
    のトランジスタとを備えた、半導体記憶装置。
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