JP2667920B2 - Ａ１ｆ▲下３▼中の金属不純物の分折方法 - Google Patents
Ａ１ｆ▲下３▼中の金属不純物の分折方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、AlF3中の金属不純物の分析方法に関し、詳
しくは光ファイバー等の原料に用いることのできる極微
量の金属不純物を含むAlF3に応用することのできる金属
不純物の分析方法に関する。
しくは光ファイバー等の原料に用いることのできる極微
量の金属不純物を含むAlF3に応用することのできる金属
不純物の分析方法に関する。
［従来の技術およびその解決すべき課題］ 近年、光通信用石英ファイバーに替わる超低損失光フ
ァイバー用材料の一つとして主成分がZr,Ba,La,Al,Na,L
i等から成るフッ化物ガラスが注目されている。
ァイバー用材料の一つとして主成分がZr,Ba,La,Al,Na,L
i等から成るフッ化物ガラスが注目されている。
この種のファイバーは伝送帯域の電磁波の波長が２〜
３μｍにあり、従ってこの領域に吸収バンドを持つFe,N
i,Cu,Co等の微量金属不純物の含有量が問題となる。超
低損失のフッ化物光ファイバーを実現するためには、原
料の段階においてppbオーダーの金属不純物を分析でき
る定量法が必要である。
３μｍにあり、従ってこの領域に吸収バンドを持つFe,N
i,Cu,Co等の微量金属不純物の含有量が問題となる。超
低損失のフッ化物光ファイバーを実現するためには、原
料の段階においてppbオーダーの金属不純物を分析でき
る定量法が必要である。
AlF3は、例えば高圧湿式分解法を用いても鉱酸によっ
て酸分解することができず、従来は硼酸と炭酸ソーダに
より分解するアルカリ溶融法が行われていたが、分解さ
せるためには試料に対して多量の上記試薬が必要であ
り、またこの目的のために使用できるような高純度の試
薬がないため分析下限値が高くなり、高純度のAlF3中の
金属不純物の定量には適当な方法ではなかった。
て酸分解することができず、従来は硼酸と炭酸ソーダに
より分解するアルカリ溶融法が行われていたが、分解さ
せるためには試料に対して多量の上記試薬が必要であ
り、またこの目的のために使用できるような高純度の試
薬がないため分析下限値が高くなり、高純度のAlF3中の
金属不純物の定量には適当な方法ではなかった。
このように、AlF3中の金属不純物の分析については、
ppbオーダーの分析を行う適当な方法が殆ど開発されて
いないというのが現状であった。
ppbオーダーの分析を行う適当な方法が殆ど開発されて
いないというのが現状であった。
［課題を解決するための手段］ 本発明者らはこのような現状において、分解しにくい
AlF3を一旦酸化物に変換して溶解させる方法について検
討を行ったところ、高温加水分解によって生じたアルミ
ナを湿式高圧分解することにより試料を汚染なく溶解で
きることを見いだし、本発明に到達したものである。
AlF3を一旦酸化物に変換して溶解させる方法について検
討を行ったところ、高温加水分解によって生じたアルミ
ナを湿式高圧分解することにより試料を汚染なく溶解で
きることを見いだし、本発明に到達したものである。
すなわち本発明は、AlF3を900〜1000℃で高温加水分
解し、生成したアルミナを鉱酸により湿式高圧分解する
ことを特徴とするAlF3中の金属不純物の分析方法を提供
するものである。
解し、生成したアルミナを鉱酸により湿式高圧分解する
ことを特徴とするAlF3中の金属不純物の分析方法を提供
するものである。
本発明において、ppbオーダーより濃度の高い金属不
純物の分析についてはより簡単に実施することができる
のは言うまでもないので、本発明においては、ppbオー
ダーの金属不純物の分析について詳述する。
純物の分析についてはより簡単に実施することができる
のは言うまでもないので、本発明においては、ppbオー
ダーの金属不純物の分析について詳述する。
すなわち、本発明を実施するためには、環境からの汚
染、分析容器からの汚染、試薬からの汚染を十分考慮に
いれ、これらを極力防ぐ必要がある。本発明の場合、最
終的には加熱気化装置付の誘導結合プラズマ源質量分析
装置（以後はETV−ICP−MSと略す。）を使用して溶液中
の金属の定量を行うわけであるが、装置自体の能力とし
ては1ppb以下の測定が十分可能であるので、上記の汚染
を定量下限の十分の一以下、すなわち数ppbの分析を行
うためにはその十分の一以下に汚染を抑える必要があ
る。
染、分析容器からの汚染、試薬からの汚染を十分考慮に
いれ、これらを極力防ぐ必要がある。本発明の場合、最
終的には加熱気化装置付の誘導結合プラズマ源質量分析
装置（以後はETV−ICP−MSと略す。）を使用して溶液中
の金属の定量を行うわけであるが、装置自体の能力とし
ては1ppb以下の測定が十分可能であるので、上記の汚染
を定量下限の十分の一以下、すなわち数ppbの分析を行
うためにはその十分の一以下に汚染を抑える必要があ
る。
まず、環境からの汚染を抑えるためには、分析をクリ
ーンルーム内やクリーンベンチを用いることはもちろ
ん、ETV−ICP−MS装置も上記設備内で使用する必要があ
る。
ーンルーム内やクリーンベンチを用いることはもちろ
ん、ETV−ICP−MS装置も上記設備内で使用する必要があ
る。
次に試薬からの汚染については、試薬を精製すること
によって、試薬ブランク値を極力低下させた条件下で分
析する必要があり、そのためには精密分析用の試薬を更
に精製して使用するのがよく、クエン酸ソーダ、ピロリ
ジンジチオカルバミン酸アンモニウム（以後、APDCと略
記する。）等の場合は、メチルイソブチルケトン（以後
MIBKと略記する。）等の有機溶媒による洗浄を行うこと
により、硫酸や硝酸等の鉱酸は非沸騰式蒸留等により試
薬の精製ができる。このような方法で、トータルの各金
属不純物の量を0.1ppb以下程度にまで低下できる。容器
からの混入については、十分な酸洗浄、超純水での洗浄
を長時間、または繰り返し行うことにより分析に影響し
ない程度まで除去できる。
によって、試薬ブランク値を極力低下させた条件下で分
析する必要があり、そのためには精密分析用の試薬を更
に精製して使用するのがよく、クエン酸ソーダ、ピロリ
ジンジチオカルバミン酸アンモニウム（以後、APDCと略
記する。）等の場合は、メチルイソブチルケトン（以後
MIBKと略記する。）等の有機溶媒による洗浄を行うこと
により、硫酸や硝酸等の鉱酸は非沸騰式蒸留等により試
薬の精製ができる。このような方法で、トータルの各金
属不純物の量を0.1ppb以下程度にまで低下できる。容器
からの混入については、十分な酸洗浄、超純水での洗浄
を長時間、または繰り返し行うことにより分析に影響し
ない程度まで除去できる。
このように、様々な汚染を極力抑えることにより、数
ppbの金属不純物の分析は十分行えるものであるが、さ
らに環境からの汚染、試薬からの汚染をより厳密にシャ
ットアウトすれば、ppb以下の分析も可能となる。
ppbの金属不純物の分析は十分行えるものであるが、さ
らに環境からの汚染、試薬からの汚染をより厳密にシャ
ットアウトすれば、ppb以下の分析も可能となる。
本発明に係る分析方法は、試料の高温加水分解、湿式
高圧分解処理による試料の溶解、溶媒抽出、逆抽出、ET
V−ICP−MSによる測定の各項目に分けられるが、以下そ
れぞれの各項目に従って詳細に説明する。
高圧分解処理による試料の溶解、溶媒抽出、逆抽出、ET
V−ICP−MSによる測定の各項目に分けられるが、以下そ
れぞれの各項目に従って詳細に説明する。
まず試料の高温加水分解であるが、この場合第１図に
示すような装置を用いて行う。
示すような装置を用いて行う。
第１図において、１はヒーター、２は水蒸気を発生さ
せるためのボイラー、３は電気炉、４は試料を入れるた
めの白金ボート、５は白金管、６は冷却器である。５の
白金管は図面では省略してあるが、白金管だけでは形を
保持することが難しいので、石英管の中に白金管を入れ
て二重構造とし、異形ジョイントで白金管を固定してい
る。また、白金管と冷却器の連結は、バイトン製の栓を
用いて行っているが、テフロン製異形ジョイントによっ
て連結してもよい。
せるためのボイラー、３は電気炉、４は試料を入れるた
めの白金ボート、５は白金管、６は冷却器である。５の
白金管は図面では省略してあるが、白金管だけでは形を
保持することが難しいので、石英管の中に白金管を入れ
て二重構造とし、異形ジョイントで白金管を固定してい
る。また、白金管と冷却器の連結は、バイトン製の栓を
用いて行っているが、テフロン製異形ジョイントによっ
て連結してもよい。
加水分解は下記の化学式により進行する。
2AlF3＋3H2O→Al2O3＋6HF ここで、試料を入れるボートおよび５の管に白金を用
いたのは、高温で発生するHFに対して金属が溶出しない
ような耐食性を有する材質でなければならないからであ
る。
いたのは、高温で発生するHFに対して金属が溶出しない
ような耐食性を有する材質でなければならないからであ
る。
加水分解を行う温度は900〜1000℃であり、この温度
で５〜６時間加熱を続けることにより約98％の分解でα
−アルミナとなり、前記化合物は後述するように鉱酸に
よる湿式高圧処理で容易に溶解する。加水分解温度が90
0℃より低い場合、一部に未分解のAlF3が存在して酸に
溶解しにくくなるため好ましくない。一方、1000℃より
高い温度では、高温のため白金管が軟化してくるため好
ましくない。発生するHFは、水、またはアルカリ等に吸
収すればよい。
で５〜６時間加熱を続けることにより約98％の分解でα
−アルミナとなり、前記化合物は後述するように鉱酸に
よる湿式高圧処理で容易に溶解する。加水分解温度が90
0℃より低い場合、一部に未分解のAlF3が存在して酸に
溶解しにくくなるため好ましくない。一方、1000℃より
高い温度では、高温のため白金管が軟化してくるため好
ましくない。発生するHFは、水、またはアルカリ等に吸
収すればよい。
反応が終了した後、生成したα−アルミナの一部を分
取して、次の湿式高圧分解用の試料とする。
取して、次の湿式高圧分解用の試料とする。
湿式高圧分解の工程においては、前工程の試料に塩
酸、硝酸、硫酸等の鉱酸を加えた後、湿式高圧分解を行
い、固体の試料を溶液化させる操作を行う。加える鉱酸
としては、硫酸が最も好ましい。
酸、硝酸、硫酸等の鉱酸を加えた後、湿式高圧分解を行
い、固体の試料を溶液化させる操作を行う。加える鉱酸
としては、硫酸が最も好ましい。
分解後のα−アルミナの採取量としては、金属不純物
量がppbオーダーの場合0.6g程度でよく、不純物濃度が
高い場合は、採取量もさらに少なくしてよい。湿式高圧
分解の工程としては、まず試料を正確に秤量し、テフロ
ン製の湿式高圧分解のルツボ（内容積70ml）にとり、硫
酸（１＋３）10mlを加えた後蓋をして密閉し、200〜230
℃で15〜16時間保つ。このような条件により試料の粒径
が大きく、砂状のものでも溶解することができる。ま
た、耐圧容器は金属等の溶出による汚染を避けるため、
少なくとも液に接触する部分はテフロン、その他溶出の
心配のない材質を使用する必要がある。
量がppbオーダーの場合0.6g程度でよく、不純物濃度が
高い場合は、採取量もさらに少なくしてよい。湿式高圧
分解の工程としては、まず試料を正確に秤量し、テフロ
ン製の湿式高圧分解のルツボ（内容積70ml）にとり、硫
酸（１＋３）10mlを加えた後蓋をして密閉し、200〜230
℃で15〜16時間保つ。このような条件により試料の粒径
が大きく、砂状のものでも溶解することができる。ま
た、耐圧容器は金属等の溶出による汚染を避けるため、
少なくとも液に接触する部分はテフロン、その他溶出の
心配のない材質を使用する必要がある。
上記の操作により溶解した液は、水を添加しつつ100m
lのテフロン製分液ロートに移し、0.5Mのクエン酸ソー
ダおよび1w/v％のAPDCの混合溶液を加え、さらにアンモ
ニア等の試薬が必要な場合にはそれらを用いてPHを４〜
５に調節した後全量を50mlとする。その際メチルオレン
ジ等の指示薬によりPHを調節すればPHメーター等の計測
器なしでも簡単にできる。
lのテフロン製分液ロートに移し、0.5Mのクエン酸ソー
ダおよび1w/v％のAPDCの混合溶液を加え、さらにアンモ
ニア等の試薬が必要な場合にはそれらを用いてPHを４〜
５に調節した後全量を50mlとする。その際メチルオレン
ジ等の指示薬によりPHを調節すればPHメーター等の計測
器なしでも簡単にできる。
上記操作で、キレート試薬であるAPDCを添加しその後
PH調節を行ったのは、溶液中の不純物金属を選択的にキ
レート化し、後工程の抽出により選択的にMIBK中に不純
物金属を抽出するためであり、上記条件下で主成分のア
ルミニウムはキレート化されずに水溶液中に残り、Fe,C
o,Ni,Cu等の金属が完全にMIBK層中に移行することを確
認した。
PH調節を行ったのは、溶液中の不純物金属を選択的にキ
レート化し、後工程の抽出により選択的にMIBK中に不純
物金属を抽出するためであり、上記条件下で主成分のア
ルミニウムはキレート化されずに水溶液中に残り、Fe,C
o,Ni,Cu等の金属が完全にMIBK層中に移行することを確
認した。
次に有機溶媒による溶媒抽出においては、使用する溶
媒としては、MIBK、ジイソブチルケトン、クロロホル
ム、その他溶媒抽出に普通使用される溶媒は何でも使用
できるが、使用する溶媒量が少なくても効率よく抽出で
きること、および後で述べる逆抽出操作において蒸発し
やすいこと等の条件を考えると、MIBKが好ましい。
媒としては、MIBK、ジイソブチルケトン、クロロホル
ム、その他溶媒抽出に普通使用される溶媒は何でも使用
できるが、使用する溶媒量が少なくても効率よく抽出で
きること、および後で述べる逆抽出操作において蒸発し
やすいこと等の条件を考えると、MIBKが好ましい。
MIBKを用いた場合、その使用量は3ml程度で十分であ
り、このミクロ抽出により金属不純物をマトリックスか
ら分解すると同時に、金属不純物の濃縮効果もある。こ
の操作によって抽出される金属はFe,Ni,Co,Cu,Mu,Cr,Pb
等である。
り、このミクロ抽出により金属不純物をマトリックスか
ら分解すると同時に、金属不純物の濃縮効果もある。こ
の操作によって抽出される金属はFe,Ni,Co,Cu,Mu,Cr,Pb
等である。
次に、有機溶媒中の金属不純物の逆抽出であるが、ET
V−ICP−MSによる分析時において直接MIBK溶液を用いる
と、原子蒸気化およびプラズマ化の過程で不安定要素が
多く、金属不純物の分析精度が水溶液に比べて悪くな
る。そこで、本発明においては抽出した有機層に鉱酸を
加えて加熱することにより有機層を完全に揮散させ、金
属不純物を鉱酸中に移行させる。MIBKを使用した場合
は、100〜120で℃加熱することにより完全に揮散させる
ことができ、この際キレート剤の分解もみられるので、
この逆抽出液をETV−ICP−MSで測定することにより、金
属不純物を精度よく分析することができる。この際、添
加する0.7Nの希硝酸は2mlでよく、その後水で5mlの定容
とすればよい。これらの操作中に使用する水は、超純水
であることは言うまでもない。
V−ICP−MSによる分析時において直接MIBK溶液を用いる
と、原子蒸気化およびプラズマ化の過程で不安定要素が
多く、金属不純物の分析精度が水溶液に比べて悪くな
る。そこで、本発明においては抽出した有機層に鉱酸を
加えて加熱することにより有機層を完全に揮散させ、金
属不純物を鉱酸中に移行させる。MIBKを使用した場合
は、100〜120で℃加熱することにより完全に揮散させる
ことができ、この際キレート剤の分解もみられるので、
この逆抽出液をETV−ICP−MSで測定することにより、金
属不純物を精度よく分析することができる。この際、添
加する0.7Nの希硝酸は2mlでよく、その後水で5mlの定容
とすればよい。これらの操作中に使用する水は、超純水
であることは言うまでもない。
次にETV−ICP−MSによる測定であるが、加熱気化装置
とは試料中の水分、有機物、Feと同質量のArOを除去し
原子蒸気の状態で試料をプラズマイオン化工程に送り込
む装置であり、これにより水（主として酸素）や有機物
による妨害を著しく低減することができ、ETV−ICP−MS
での高感度の分析が可能となる。ETV−ICP−MSにおいて
は、測定する金額をイオン化した後、質量分析部に導い
て質量分析を行うもので、これによりFe,Ni,Co,Cu等のp
pbオーダーの分析を行うことができる。
とは試料中の水分、有機物、Feと同質量のArOを除去し
原子蒸気の状態で試料をプラズマイオン化工程に送り込
む装置であり、これにより水（主として酸素）や有機物
による妨害を著しく低減することができ、ETV−ICP−MS
での高感度の分析が可能となる。ETV−ICP−MSにおいて
は、測定する金額をイオン化した後、質量分析部に導い
て質量分析を行うもので、これによりFe,Ni,Co,Cu等のp
pbオーダーの分析を行うことができる。
［実施例］ 以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本
発明は係る実施例に限定されるものではない。
発明は係る実施例に限定されるものではない。
実施例 １−1.本発明の実施例で使用する試薬、器具、装置。
金属標準溶液：原子吸光用試薬を希硝酸（約0.1N）で
希釈して用いる。
希釈して用いる。
クエン酸ソーダ（0.5M）−APDC（1wt％）溶液（試薬
Ａとする。）全容1000mlとし、これを精製するためにMI
BK200mlを加えて振盪し、MIBK層を除去する。この操作
を３回繰り返す。
Ａとする。）全容1000mlとし、これを精製するためにMI
BK200mlを加えて振盪し、MIBK層を除去する。この操作
を３回繰り返す。
硫酸、硝酸：非沸騰方式の蒸留法により精製したもの
を使用。
を使用。
湿式高圧分解容器：テフロン製内容積70ml、ステンレ
ス製ジャケット、最高耐圧（350kg/cm2） 超純水：本発明の実施例においては比抵抗値が18MΩ/
cm（25℃）以上の超純水を総て使用。
ス製ジャケット、最高耐圧（350kg/cm2） 超純水：本発明の実施例においては比抵抗値が18MΩ/
cm（25℃）以上の超純水を総て使用。
分液ロート：テフロン製全容100ml、流水口の先端よ
り約1mmφ×50mmのポリエチレン製管を装着したものを
使用。
り約1mmφ×50mmのポリエチレン製管を装着したものを
使用。
溶媒揮散容器：テフロン製全容10mlビーカー メスアップ容器：標線付きポリエチレン製管（10mm
φ）全容10ml 加熱気化装置付ICP−MS装置：セイコー電子工業
（株）製SPQ−6100型 クリーンベンチ、クリーンルーム：クリーンベンチ
（クラス100以下）、クリーンルーム（クラス1000〜100
00）の設備を使用。
φ）全容10ml 加熱気化装置付ICP−MS装置：セイコー電子工業
（株）製SPQ−6100型 クリーンベンチ、クリーンルーム：クリーンベンチ
（クラス100以下）、クリーンルーム（クラス1000〜100
00）の設備を使用。
１−2.操作 （１） AlF3の高温加水分解 第１図に示すような装置を用い、AlF3の高温加水分解
を行った。ここで、１はヒーター、２は水蒸気を導入す
るためのボイラー、３は電気炉、４は試料を入れるため
の白金ボート、５は試料から発生するフッ酸（HF）によ
り不純物金属が溶出するのを防ぐための白金製の管であ
り、６は発生したHFを凝縮させるための冷却器である。
発生したHFは、冷却器で凝縮するが一部蒸気で排出され
る場合もあり、これらを水または低濃度のアルカリで吸
収し、フッ素電極等でその量を測定することにより、Al
F3の分解率を測定することができる。
を行った。ここで、１はヒーター、２は水蒸気を導入す
るためのボイラー、３は電気炉、４は試料を入れるため
の白金ボート、５は試料から発生するフッ酸（HF）によ
り不純物金属が溶出するのを防ぐための白金製の管であ
り、６は発生したHFを凝縮させるための冷却器である。
発生したHFは、冷却器で凝縮するが一部蒸気で排出され
る場合もあり、これらを水または低濃度のアルカリで吸
収し、フッ素電極等でその量を測定することにより、Al
F3の分解率を測定することができる。
まず、白金ボートに試料を約2g秤りとり、第１図のよ
うな位置に置き、バイトン栓で図のように密閉する。次
に、電気炉３を通電して昇温し、所定の温度とした後、
ヒーター１により加熱してボイラー２の水蒸気を試料に
導入することにより、高温加水分解を行う。
うな位置に置き、バイトン栓で図のように密閉する。次
に、電気炉３を通電して昇温し、所定の温度とした後、
ヒーター１により加熱してボイラー２の水蒸気を試料に
導入することにより、高温加水分解を行う。
この操作により試料のAlF3は、フッ酸とアルミナに分
解されるわけであるが、この高温加水分解反応を行う際
の温度によりAlF3の分解率が異なることがわかったの
で、加水分解を行う温度を変化させて発生したHFを低濃
度のアルカリ（KOH）吸収させ、フッ素電極によりフッ
素濃度を測定し、この値より排出されたフッ素量を求
め、さらにAlF3の分解率を計算した。結果を第１表に記
す。
解されるわけであるが、この高温加水分解反応を行う際
の温度によりAlF3の分解率が異なることがわかったの
で、加水分解を行う温度を変化させて発生したHFを低濃
度のアルカリ（KOH）吸収させ、フッ素電極によりフッ
素濃度を測定し、この値より排出されたフッ素量を求
め、さらにAlF3の分解率を計算した。結果を第１表に記
す。
この表より、900〜1000℃で高温加水分解すれば、ほ
とんど分解されα−アルミナとなることがわかる。
とんど分解されα−アルミナとなることがわかる。
（２） 分解後のα−アルミナ約0.6gを秤量して湿式高
圧分解容器にとり、硫酸（１＋３）10mlを加えて蓋をし
て密閉後、恒温槽に入れて230℃で16時間保持する。放
冷後、水を用いて内容液をテフロン製100mlの分液ロー
トに移し入れ、試薬Ａを10ml加え、メチルオレンジ指示
薬（0.1w/v％）２〜３滴を加え、微黄色を呈するまでア
ンモニア水（１＋９）を滴下した後、全容を50mlとす
る。
圧分解容器にとり、硫酸（１＋３）10mlを加えて蓋をし
て密閉後、恒温槽に入れて230℃で16時間保持する。放
冷後、水を用いて内容液をテフロン製100mlの分液ロー
トに移し入れ、試薬Ａを10ml加え、メチルオレンジ指示
薬（0.1w/v％）２〜３滴を加え、微黄色を呈するまでア
ンモニア水（１＋９）を滴下した後、全容を50mlとす
る。
約10分間静置後、この溶液にMIBK3mlを加えて３分間
振盪し、約１時間静置する。水層は除去し、MIBK層を溶
媒揮散容器に移し入れて0.7Nの硝酸2mlを加え、約100〜
120℃に加温してMIBKを揮散させる。残液をメスアップ
容器に移し入れ水で全容5mlに合わす。この溶液20μ
を加熱気化装置に導入し、ETV−ICP−MSにより各イオン
強度を測定する。予め作成した検量線より各金属の量を
求め、下記の（１）式より各金属含有量を算出する。
振盪し、約１時間静置する。水層は除去し、MIBK層を溶
媒揮散容器に移し入れて0.7Nの硝酸2mlを加え、約100〜
120℃に加温してMIBKを揮散させる。残液をメスアップ
容器に移し入れ水で全容5mlに合わす。この溶液20μ
を加熱気化装置に導入し、ETV−ICP−MSにより各イオン
強度を測定する。予め作成した検量線より各金属の量を
求め、下記の（１）式より各金属含有量を算出する。
各金属の含有量（ppb）をＸとすると、 Ｘ（ppb）＝［各金属量（ng/ml）×５］／［（α−アル
ミナ採取量）×２×84（AlF3）/102（Al2O3）］ ……
（１） 式（１）において２×84（AlF3）/102（Al2O3）はAl2
O3を分解前のAlF3に換算したもので、α−アルミナ採取
量はｇである。
ミナ採取量）×２×84（AlF3）/102（Al2O3）］ ……
（１） 式（１）において２×84（AlF3）/102（Al2O3）はAl2
O3を分解前のAlF3に換算したもので、α−アルミナ採取
量はｇである。
上記の操作を試料だけでなく、試料にFe,Ni,Cu,Coの
金属標準溶液をそれぞれ50ng添加したもの、試料にFe,N
i,Cu,Coの金属標準溶液をそれぞれ100ng添加したものに
ついても同様な操作を行い、その時の分析値より回収率
を求めた。
金属標準溶液をそれぞれ50ng添加したもの、試料にFe,N
i,Cu,Coの金属標準溶液をそれぞれ100ng添加したものに
ついても同様な操作を行い、その時の分析値より回収率
を求めた。
その結果、試料の回収率が95％以上であることを確認
し、十分ppbオーダーの分析ができることがわかった。
上記操作はすべてクリーンベンチ内で行い、クリーンル
ーム内でETV−ICP−MSによる測定も行った。
し、十分ppbオーダーの分析ができることがわかった。
上記操作はすべてクリーンベンチ内で行い、クリーンル
ーム内でETV−ICP−MSによる測定も行った。
［発明の効果］ 本発明の分析法によれば、AlF3中の金属不純物につ
き、％、ppmオーダーの分析が簡単にできることは勿
論、ppbオーダーまで正確に分析できるので、超高純度
のAlF3の製造研究を進める上で、極めて有益な分析方法
である。
き、％、ppmオーダーの分析が簡単にできることは勿
論、ppbオーダーまで正確に分析できるので、超高純度
のAlF3の製造研究を進める上で、極めて有益な分析方法
である。
第１図は、本発明の高温加水分解を行うための装置の一
例を示したものである。 １……ヒーター、２……ボイラー、３……電気炉、４…
…白金ボート、５……白金管、６……冷却器
例を示したものである。 １……ヒーター、２……ボイラー、３……電気炉、４…
…白金ボート、５……白金管、６……冷却器
Claims (1)
- 【請求項１】AlF3を900〜1000℃で高温加水分解し、生
成したアルミナを鉱酸により湿式高圧分解することを特
徴とするAlF3中の金属不純物の分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1000390A JP2667920B2 (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Ａ１ｆ▲下３▼中の金属不純物の分折方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1000390A JP2667920B2 (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Ａ１ｆ▲下３▼中の金属不純物の分折方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03215743A JPH03215743A (ja) | 1991-09-20 |
| JP2667920B2 true JP2667920B2 (ja) | 1997-10-27 |
Family
ID=11738244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1000390A Expired - Lifetime JP2667920B2 (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | Ａ１ｆ▲下３▼中の金属不純物の分折方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2667920B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102019109053A1 (de) * | 2019-04-05 | 2020-10-08 | Rwe Power Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von chemischen Elementgehalten und Bindungsformen in einem Material |
-
1990
- 1990-01-19 JP JP1000390A patent/JP2667920B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03215743A (ja) | 1991-09-20 |
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