JP2664454B2 - 三状態光デバイス - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F3/00—Optical logic elements; Optical bistable devices
- G02F3/02—Optical bistable devices
- G02F3/028—Optical bistable devices based on self electro-optic effect devices [SEED]
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/1443—Devices controlled by radiation with at least one potential jump or surface barrier
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- H01L31/02016—Circuit arrangements of general character for the devices
- H01L31/02019—Circuit arrangements of general character for the devices for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
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- H01L31/0352—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は非線形光デバイス、より具体的には高利得又
は帰還を用いて、多安定光状態又は他の非線形光応答を
生じるデバイスに係る。
は帰還を用いて、多安定光状態又は他の非線形光応答を
生じるデバイスに係る。
本発明の背景 双安定光デバイスについては、エイチ・エス・ヒント
ン(H.S.Hinton)、エイ・エル・レンチン(A.L.Lentin
e)及びディー・エイ・ビー・ミラー(D.A.B.Miller)
の米国特許第4,754,132号に述べられており、それは真
性領域中に量子井戸を有する一対のp−i−nフォトダ
イオードを含む。このデバイスは双安定メモリ要素とし
て動作し、相補的及び対称的光出力を有し、それによっ
て周知のセット及びリセット状態を有する光S−Rラッ
チとして機能する。このデバイスはデバイスの状態が低
パワーレベルビームを有するセット又はリセットになれ
るか、デバイスの状態が高いパワーレベルビームで順次
決められる時間とともに順次変化する利得を示す。この
デバイスのもう一つの特徴は、スイッチング点が2つの
入力光ビームの比で決り、そのため2つの入力ビームが
同じ源から導かれた時、デバイスか光パワー源の変動に
敏感になることである。相補的な出力ビームによりいわ
ゆる“デュアル・レイル”論理用途に使用することが容
易になる。
ン(H.S.Hinton)、エイ・エル・レンチン(A.L.Lentin
e)及びディー・エイ・ビー・ミラー(D.A.B.Miller)
の米国特許第4,754,132号に述べられており、それは真
性領域中に量子井戸を有する一対のp−i−nフォトダ
イオードを含む。このデバイスは双安定メモリ要素とし
て動作し、相補的及び対称的光出力を有し、それによっ
て周知のセット及びリセット状態を有する光S−Rラッ
チとして機能する。このデバイスはデバイスの状態が低
パワーレベルビームを有するセット又はリセットになれ
るか、デバイスの状態が高いパワーレベルビームで順次
決められる時間とともに順次変化する利得を示す。この
デバイスのもう一つの特徴は、スイッチング点が2つの
入力光ビームの比で決り、そのため2つの入力ビームが
同じ源から導かれた時、デバイスか光パワー源の変動に
敏感になることである。相補的な出力ビームによりいわ
ゆる“デュアル・レイル”論理用途に使用することが容
易になる。
しかし、三状態光デバイスを有することが望ましい場
合に、用途が生じる。
合に、用途が生じる。
本発明の要約 例えば真性領域中に量子井戸を有する第1及び第2の
p−i−nフォトダイオードを有し、バイポーラスイッ
チ及び電源と直列に接続された三状態光デバイスのよう
な対称光デバイスに改善することにより、先の問題は解
決され、技術的進歩が達成される。一状態において、二
つの出力光ビームは第1の出力ビームが論理値“1"を表
わす強度をもち、第2のビームの強度が論理値“0"を表
わすように、相補的である。第2の状態においても、二
つの出力ビームは相補的であるが、それらは第1の状態
とは反対の論理値を表わす。たとえば、第1の出力ビー
ムは論理値“0"を表わし、第2の出力ビームは論理値
“1"を表わす。第3の状態において、第2の出力ビーム
は理論値“1"を表わす。第3の状態において、出力ビー
ムはともに理論値“0"を表わす。
p−i−nフォトダイオードを有し、バイポーラスイッ
チ及び電源と直列に接続された三状態光デバイスのよう
な対称光デバイスに改善することにより、先の問題は解
決され、技術的進歩が達成される。一状態において、二
つの出力光ビームは第1の出力ビームが論理値“1"を表
わす強度をもち、第2のビームの強度が論理値“0"を表
わすように、相補的である。第2の状態においても、二
つの出力ビームは相補的であるが、それらは第1の状態
とは反対の論理値を表わす。たとえば、第1の出力ビー
ムは論理値“0"を表わし、第2の出力ビームは論理値
“1"を表わす。第3の状態において、第2の出力ビーム
は理論値“1"を表わす。第3の状態において、出力ビー
ムはともに理論値“0"を表わす。
バイポーラスイッチがトランジスタである一実施例に
おいて、トランジスタのベース中の制御電流の、直列接
続された量子井戸p−i−nフォトダイオードのそれぞ
れに対して入射する光ビームの光出力に対する比が、閾
値より大きい時、トランジスタは短絡回路のように動作
する。しかし、フォトダイオードのそれぞれに入射する
光ビームのパワーに対するベース制御電流の比が第2の
閾値より小さい時、トランジスタは開放回路のように動
作する。この場合、電源電圧のすべてが、トランジスタ
のコレクタ及びエミッタ間にかかる。その結果、量子井
戸p−i−nフォトダイオードのそれぞれにかかる電圧
はゼロで、両方の光出力ビームのレベルは、理論値“0"
を表わす。重要な利点は、三状態光デバイスが所望の三
値を示すだけでなく、電気的に制御可能であり、光学的
にも制御可能であるということである。その結果、三状
態デバイスは電気的な制御とともに、光学的な制御も用
いられる光システムで、きわめて有用である。
おいて、トランジスタのベース中の制御電流の、直列接
続された量子井戸p−i−nフォトダイオードのそれぞ
れに対して入射する光ビームの光出力に対する比が、閾
値より大きい時、トランジスタは短絡回路のように動作
する。しかし、フォトダイオードのそれぞれに入射する
光ビームのパワーに対するベース制御電流の比が第2の
閾値より小さい時、トランジスタは開放回路のように動
作する。この場合、電源電圧のすべてが、トランジスタ
のコレクタ及びエミッタ間にかかる。その結果、量子井
戸p−i−nフォトダイオードのそれぞれにかかる電圧
はゼロで、両方の光出力ビームのレベルは、理論値“0"
を表わす。重要な利点は、三状態光デバイスが所望の三
値を示すだけでなく、電気的に制御可能であり、光学的
にも制御可能であるということである。その結果、三状
態デバイスは電気的な制御とともに、光学的な制御も用
いられる光システムで、きわめて有用である。
あるいは、電界効果トランジスタはバイポラトランジ
スタのベースに対する電流の刺激の代りに、ゲートに対
する電圧の刺激により、効果的にターンオン及びオフで
き、バイポーラトランジスタの代りに用いると有利であ
る。
スタのベースに対する電流の刺激の代りに、ゲートに対
する電圧の刺激により、効果的にターンオン及びオフで
き、バイポーラトランジスタの代りに用いると有利であ
る。
第3の実施例において、p−i−nフォトダイオード
のような光学的に制御可能なスイッチ要素は、量子井戸
フォトダイオード上への制御光ビームに加えて、三状態
光デバイスを光学的に制御するバイポーラスイッチと置
きかえると有利である。
のような光学的に制御可能なスイッチ要素は、量子井戸
フォトダイオード上への制御光ビームに加えて、三状態
光デバイスを光学的に制御するバイポーラスイッチと置
きかえると有利である。
これまで述べた三つの実施例のそれぞれは、これらデ
バイスの大きなアレイを形成するために、モノリシック
集積構造に製作できる。
バイスの大きなアレイを形成するために、モノリシック
集積構造に製作できる。
詳細な記述 第1図に描かれているのは、三状態光デバイス(40
0)の例で、双安定光デバイス(410)及びバイポーラス
イッチn−p−nトランジスタ(406)を含み、それら
は電源(405)に直列に接続されている。双安定光デバ
イス(410)は直列に接続されたp−i−nフォトダイ
オード(401)及び(402)から成り、それぞれ複数の量
子井戸領域(403)及び(404)を含む。光電流(174)
は、p−i−nフォトダイオード(401)に入射した第
1の組合された光パワーを有する光信号(153)及び(4
52)と、p−i−nフォトダイオード(402)に入射し
た第2の組合された光パワーを有する光信号(153)及
び(453)により生じた電流である。第1及び第2の組
合された光パワーのそれぞれに対するベース電流(17
3)の比が、第1のあらかじめ決められた量より大きい
時、バイポーラトランジスタ(406)は周知の“飽和”
状態にあり、そのコレクタ−エミッタ間に低電圧(0.
2V)を示す。この“飽和”状態において、トランジスタ
は短絡回路として動作し、光デバイス(410)はエイチ
・エス・ヒントン(H.S.Hinton)、エイ・エル・レンチ
ン(A.L.Lention)及びディー・エイ・ビー・ミラー
(D.A.B.Miller)の米国特許第4,754,132号に述べられ
ているように動作する。簡単にいうと、トランジスタ
(406)が飽和している時、双安定光デバイス(410)は
三状態光デバイス(400)と同様、光学的に双安定なS
−Rラッチとして動作する。フォトダイオード(402)
に印加された時、制御ビーム(453)はデバイスの状態
を周知の“リセット”状態にリセットする。刻時バイア
スビーム(153)がフォトダイオード(401)及び(40
2)に同時に印加された時、デバイスはフォトダイオー
ド(401)及び(402)から一対の相補的でかつ対称的な
出力ビーム(450)及び(451)を放出し、それぞれデバ
イスの相補状態及び実状態Qを表わす。
0)の例で、双安定光デバイス(410)及びバイポーラス
イッチn−p−nトランジスタ(406)を含み、それら
は電源(405)に直列に接続されている。双安定光デバ
イス(410)は直列に接続されたp−i−nフォトダイ
オード(401)及び(402)から成り、それぞれ複数の量
子井戸領域(403)及び(404)を含む。光電流(174)
は、p−i−nフォトダイオード(401)に入射した第
1の組合された光パワーを有する光信号(153)及び(4
52)と、p−i−nフォトダイオード(402)に入射し
た第2の組合された光パワーを有する光信号(153)及
び(453)により生じた電流である。第1及び第2の組
合された光パワーのそれぞれに対するベース電流(17
3)の比が、第1のあらかじめ決められた量より大きい
時、バイポーラトランジスタ(406)は周知の“飽和”
状態にあり、そのコレクタ−エミッタ間に低電圧(0.
2V)を示す。この“飽和”状態において、トランジスタ
は短絡回路として動作し、光デバイス(410)はエイチ
・エス・ヒントン(H.S.Hinton)、エイ・エル・レンチ
ン(A.L.Lention)及びディー・エイ・ビー・ミラー
(D.A.B.Miller)の米国特許第4,754,132号に述べられ
ているように動作する。簡単にいうと、トランジスタ
(406)が飽和している時、双安定光デバイス(410)は
三状態光デバイス(400)と同様、光学的に双安定なS
−Rラッチとして動作する。フォトダイオード(402)
に印加された時、制御ビーム(453)はデバイスの状態
を周知の“リセット”状態にリセットする。刻時バイア
スビーム(153)がフォトダイオード(401)及び(40
2)に同時に印加された時、デバイスはフォトダイオー
ド(401)及び(402)から一対の相補的でかつ対称的な
出力ビーム(450)及び(451)を放出し、それぞれデバ
イスの相補状態及び実状態Qを表わす。
第1及び第2の組合された光パワーのそれぞれに対す
るベース電流(173)の比が、第2のあらかじめ決めら
れた量より小さい時、n−p−nトランジスタは開放回
路として働き、トランジスタのコレクタ−エミッタ電圧
は電源電圧(405)にほぼ等しい。この場合、p−i−
nフォトダイオード(401)及び(402)のそれぞれ従っ
て量子井戸領域(403)及び(404)のそれぞれにかかる
電圧は、ほぼゼロに等しく、各量子井戸領域の光吸収は
最大になる。その結果、出力光ビーム(450)及び(45
1)はもはや相補的ではない。その代り、出力光ビーム
のそれぞれは論理値“0"を表わす光パワーレベルを有す
る。従って、光デバイス(400)は三状態デバイスと言
える。対応する極性をもつp−n−pトランジスタを、
n−p−nトランジスタ(406)の代りに用いてもよ
い。
るベース電流(173)の比が、第2のあらかじめ決めら
れた量より小さい時、n−p−nトランジスタは開放回
路として働き、トランジスタのコレクタ−エミッタ電圧
は電源電圧(405)にほぼ等しい。この場合、p−i−
nフォトダイオード(401)及び(402)のそれぞれ従っ
て量子井戸領域(403)及び(404)のそれぞれにかかる
電圧は、ほぼゼロに等しく、各量子井戸領域の光吸収は
最大になる。その結果、出力光ビーム(450)及び(45
1)はもはや相補的ではない。その代り、出力光ビーム
のそれぞれは論理値“0"を表わす光パワーレベルを有す
る。従って、光デバイス(400)は三状態デバイスと言
える。対応する極性をもつp−n−pトランジスタを、
n−p−nトランジスタ(406)の代りに用いてもよ
い。
第2図に描かれるように、周知の電界効果トランジス
タ(407)及び電源(412)がそれぞれ、第1図のn−p
−nトランジスタ(406)及び電流源(411)に置きかえ
られる。FET(407)のゲート−ソース電圧が十分負の
時、デバイスは開放回路として動作し、それぞれが論理
値“0"を表わす低パワーレベルを有する一対の出力光ビ
ームを放出する。FET(407)のゲート−ソース電圧が閾
値電圧より十分上にある時、FET(407)は短絡回路とし
て動作し、相補的な低論理値及び高論理値“0"及び“1"
を表わす相補的な出力光ビームを放出する。
タ(407)及び電源(412)がそれぞれ、第1図のn−p
−nトランジスタ(406)及び電流源(411)に置きかえ
られる。FET(407)のゲート−ソース電圧が十分負の
時、デバイスは開放回路として動作し、それぞれが論理
値“0"を表わす低パワーレベルを有する一対の出力光ビ
ームを放出する。FET(407)のゲート−ソース電圧が閾
値電圧より十分上にある時、FET(407)は短絡回路とし
て動作し、相補的な低論理値及び高論理値“0"及び“1"
を表わす相補的な出力光ビームを放出する。
出力光ビームのパワーレベルの状態を示す直理値表
が、表Aに示されている。
が、表Aに示されている。
第3図に描かれるように、量子井戸領域(409)を有
する第3のp−i−nフォトダイオード(408)が、第
1図に示されるn−p−nバイポーラトランジスタ(40
6)に置き代っている。このフォトダイオードはp−i
−nフォトダイオード(401)及び(402)と同一でもよ
く、あるいはそれは量子井戸領域(409)を含まなくて
もよい。動作中入力制御光ビーム(175)が、第1のp
−i−nフォトダイオード(401)に入射する光入力ビ
ーム(153)及び(452)及び第2のp−i−nフォトダ
イオード(402)に入射する光入力ビーム(153)及び
(453)の組合されたパワーレベルより本質的に大きい
時、p−i−nフォトダイオード(409)は約ゼロボル
トの電圧降下を示し、デバイスは短絡回路として動作す
る。その結果、三状態デバイス(400)は先に述べたよ
うに、光S−Rラッチとして動作する。あるいは、入力
制御ビーム(175)のパワーレベルが、第1のp−i−
nフォトダイオード(401)に入射する光入力信号(15
3)及び(452)及び第2のp−i−nフォトダイオード
(402)に入射する光信号(153)(453)の組合された
パワーレベルより本質的に小さい時、p−i−nフォト
ダイオード(408)にかかる電圧は、電源(405)の電圧
にほぼ等しく、フォトダイオード(401)及び(402)上
の電圧は、ほぼゼロボルトになる。出力光ビーム(45
0)及び(451)はともに開放回路として動作するn−p
−nトランジスタ(406)について述べたように、低論
理値“0"を表わすパワーレベルとなる。
する第3のp−i−nフォトダイオード(408)が、第
1図に示されるn−p−nバイポーラトランジスタ(40
6)に置き代っている。このフォトダイオードはp−i
−nフォトダイオード(401)及び(402)と同一でもよ
く、あるいはそれは量子井戸領域(409)を含まなくて
もよい。動作中入力制御光ビーム(175)が、第1のp
−i−nフォトダイオード(401)に入射する光入力ビ
ーム(153)及び(452)及び第2のp−i−nフォトダ
イオード(402)に入射する光入力ビーム(153)及び
(453)の組合されたパワーレベルより本質的に大きい
時、p−i−nフォトダイオード(409)は約ゼロボル
トの電圧降下を示し、デバイスは短絡回路として動作す
る。その結果、三状態デバイス(400)は先に述べたよ
うに、光S−Rラッチとして動作する。あるいは、入力
制御ビーム(175)のパワーレベルが、第1のp−i−
nフォトダイオード(401)に入射する光入力信号(15
3)及び(452)及び第2のp−i−nフォトダイオード
(402)に入射する光信号(153)(453)の組合された
パワーレベルより本質的に小さい時、p−i−nフォト
ダイオード(408)にかかる電圧は、電源(405)の電圧
にほぼ等しく、フォトダイオード(401)及び(402)上
の電圧は、ほぼゼロボルトになる。出力光ビーム(45
0)及び(451)はともに開放回路として動作するn−p
−nトランジスタ(406)について述べたように、低論
理値“0"を表わすパワーレベルとなる。
集積回路デバイスは、エイチ・エス・ヒントン(H.S.
Hinton)、エイ・エル・レンチン(A.L.Lentine)及び
ディー・エイ・ビー・ミラー(D.A.B.Miller)の米国特
許第4,754,132号の第8図及び第9図に描かれた構造を
用いて作られ、その明細書の第7図に描かれた2つのメ
サの代りに3つのメサがある。第3図の三状態光デバイ
スのモノリシックに集積されたものが、第6図に描かれ
ている。
Hinton)、エイ・エル・レンチン(A.L.Lentine)及び
ディー・エイ・ビー・ミラー(D.A.B.Miller)の米国特
許第4,754,132号の第8図及び第9図に描かれた構造を
用いて作られ、その明細書の第7図に描かれた2つのメ
サの代りに3つのメサがある。第3図の三状態光デバイ
スのモノリシックに集積されたものが、第6図に描かれ
ている。
第4図に描かれるように、第1図に描かれたデバイス
のモノリシックに集積化されたものは各真性領域中に、
量子井戸を有する2つのp−i−nフォトダイオード
(602)と(603)とともに、n−p−nヘテロ接合バイ
ポーラトランジスタ(604)を含む。一般的な構造は米
国特許第4,546,244号の続編である米国特許第785,546号
の続編である“非線形及び双安定光デバイス”と題する
ディー・エイ・ビー・ミラー(D.A.B.Miller)が1987年
1月14日に申請し、1987年12月29日に承認された米国特
許題4,716,449号に述べられている。材料は分子線エピ
タキシーにより成長でき、標準的な技術を用いて加工で
きる。基板(601)はp−i−nフォトダイオード(60
2)及び(603)の下がエッチされ、光が通過するように
する。光入力ビーム(605)及び(606)がデバイスの最
上部に入射し、各光出力ビーム(607)及び(608)が、
デバイスの底部から放出される。トランジスタ(604)
のベースに標準的な周知の技術を用いて、制御リード
(609)が固着される。電力供給端子(610)及び(61
1)を経て、電力源への接続が作られる。
のモノリシックに集積化されたものは各真性領域中に、
量子井戸を有する2つのp−i−nフォトダイオード
(602)と(603)とともに、n−p−nヘテロ接合バイ
ポーラトランジスタ(604)を含む。一般的な構造は米
国特許第4,546,244号の続編である米国特許第785,546号
の続編である“非線形及び双安定光デバイス”と題する
ディー・エイ・ビー・ミラー(D.A.B.Miller)が1987年
1月14日に申請し、1987年12月29日に承認された米国特
許題4,716,449号に述べられている。材料は分子線エピ
タキシーにより成長でき、標準的な技術を用いて加工で
きる。基板(601)はp−i−nフォトダイオード(60
2)及び(603)の下がエッチされ、光が通過するように
する。光入力ビーム(605)及び(606)がデバイスの最
上部に入射し、各光出力ビーム(607)及び(608)が、
デバイスの底部から放出される。トランジスタ(604)
のベースに標準的な周知の技術を用いて、制御リード
(609)が固着される。電力供給端子(610)及び(61
1)を経て、電力源への接続が作られる。
第5図に描かれるように、第2図に描かれたデバイス
のモノリシックに集積化されたものは、真性領域中に量
子井戸を有する2つのp−i−nフォトダイオード(70
2)及び(703)を有するGaAs金属−半導体電界効果トラ
ンジスタ、MESFET(704)を集積化したものである。入
力光ビーム(706)及び(707)がデバイスの最上部に入
射し、各出力ビーム(708)及び(709)がデバイスの底
部から放出される。基板及びN−GaAs層はこれらの層が
原因となる放出ビームの減衰を除去するため、p−i−
nフォトダイオード(702)及び(703)の底部の一部の
下から除去しなければならない。MESFET(704)は標準
的な周知のプロセスを用いて作られる。電力源接続は導
電体(710)及び(711)により示され、制御リードは
(705)により示されている。
のモノリシックに集積化されたものは、真性領域中に量
子井戸を有する2つのp−i−nフォトダイオード(70
2)及び(703)を有するGaAs金属−半導体電界効果トラ
ンジスタ、MESFET(704)を集積化したものである。入
力光ビーム(706)及び(707)がデバイスの最上部に入
射し、各出力ビーム(708)及び(709)がデバイスの底
部から放出される。基板及びN−GaAs層はこれらの層が
原因となる放出ビームの減衰を除去するため、p−i−
nフォトダイオード(702)及び(703)の底部の一部の
下から除去しなければならない。MESFET(704)は標準
的な周知のプロセスを用いて作られる。電力源接続は導
電体(710)及び(711)により示され、制御リードは
(705)により示されている。
加えて、FETは選択ドープヘテロ構造電界効果トラン
ジスタ(SDHT)あるいは高電子移動度トランジスタ(HE
MT)でよく、あるいはデバイス全体をインジウムリン及
びガリウムインジウムヒ素リンのような異なる材料を用
いて構成してもよい。
ジスタ(SDHT)あるいは高電子移動度トランジスタ(HE
MT)でよく、あるいはデバイス全体をインジウムリン及
びガリウムインジウムヒ素リンのような異なる材料を用
いて構成してもよい。
第1図は双安定光デバイス及びバイポーラスイッチを含
む三状態デバイスの例を示す図; 第2図は第1図の三状態光デバイスの第2の実施例を示
す図; 第3図は第1図の三状態光デバイスの第3の実施例を示
す図; 第4図は第1図の光デバイスをモノリシックに集積化し
たものを示す図; 第5図は第2図の三状態光デバイスをモノリシックに集
積化したものを示す図; 第6図は第3図の三状態光デバイスをモノリシックに集
積化したものを示す図である。 (主要部分の符号の説明) p−i−nフォトダイオード……401、402、602、603、
702、703 量子井戸領域……403、404 双安定光デバイス……410 基板……601 n−p−nヘテロ結合バイポーラトランジスタ……604 導電体……710、711
む三状態デバイスの例を示す図; 第2図は第1図の三状態光デバイスの第2の実施例を示
す図; 第3図は第1図の三状態光デバイスの第3の実施例を示
す図; 第4図は第1図の光デバイスをモノリシックに集積化し
たものを示す図; 第5図は第2図の三状態光デバイスをモノリシックに集
積化したものを示す図; 第6図は第3図の三状態光デバイスをモノリシックに集
積化したものを示す図である。 (主要部分の符号の説明) p−i−nフォトダイオード……401、402、602、603、
702、703 量子井戸領域……403、404 双安定光デバイス……410 基板……601 n−p−nヘテロ結合バイポーラトランジスタ……604 導電体……710、711
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 米国特許4716449(US,A) 米国特許4546244(US,A)
Claims (16)
- 【請求項1】それぞれが第1および第2の量子井戸領域
含む第1および第2の手段であって、それぞれが第1お
よび第2の光パワーを有する第1および第2の光ビーム
にそれぞれ応答する第1および第2の手段と、 電流に応答して該第1および第2の量子井戸領域の各々
の光吸収を電気的に制御する第3の手段であって、該第
1の光パワーに対する該電流の第1の比および第2の光
パワーに対する該電流の第2の比の少なくとも1つが第
1の予め定められた量を上回るときに、該第1の量子井
戸領域の光吸収を第1および第2の予め定められたレベ
ルのうちの一方のレベルになるようにし、かつ該第2の
量子井戸領域の光吸収を該第1および第2の予め定めら
れたレベルのうちの他方のレベルになるようにし、また
該第1および第2の比の両方が第2の予め定められた量
を下回るときには該第1および第2の量子井戸領域の両
方の光吸収を該第1および第2の予め定められたレベル
より大きいレベルになるように制御する第3の手段とを
含む光デバイス。 - 【請求項2】請求項1に記載の光デバイスにおいて、 該光デバイスは、該第1および第2の比の両方が該第1
の予め定められた量よりも大きく、該第2の光パワーに
対する該第1の比が第3の予め定められた量よりも大き
いとき該第1および第2の量子井戸領域の光吸収がそれ
ぞれ該第1および第2の予め定められたレベルにある第
1の相補状態を有しており、また該デバイスは、該第1
および第2の比の両方が該第1の予め定められた量より
も大きく該第2の光パワーに対する該第1の該比が第4
の予め定められた量よりも小さいとき、該第1および第
2の量子井戸領域の光吸収が該第2および第1の予め定
められたレベルにある第2の相補状態を有するものであ
る光デバイス。 - 【請求項3】請求項1に記載の光デバイスにおいて、該
第3の手段はp−n−pバイポーラトランジスタを含む
光デバイス。 - 【請求項4】請求項1に記載の光デバイスにおいて、該
第3の手段はn−p−nバイポーラトランジスタを含む
光デバイス。 - 【請求項5】請求項4に記載の光デバイスにおいて、該
第1および第2の手段は、それぞれ第1および第2の真
性領域を有する第1および第2のp−i−nフォトダイ
オードを含み、該第1および第2の量子井戸領域はそれ
ぞれ該第1および第2の真性領域中に含まれる光デバイ
ス。 - 【請求項6】請求項5に記載の光デバイスにおいて、該
n−p−nバイポーラトランジスタは、ベース、エミッ
タおよびコレクタ領域を有し、該ベース領域中にGaAs、
該エミッタ領域中にAlGaAsおよび該コレクタ領域中にGa
AsまたはAlGaAsを有するヘテロ接合バイポーラトランジ
スタを含む光デバイス。 - 【請求項7】それぞれが第1および第2の量子井戸領域
を含み第1および第2の光ビームに応答する第1および
第2の手段と、 電圧に応答して該第1および第2の量子井戸領域の各々
の光吸収を電気的に制御するための第3の手段であっ
て、該電圧が第1の予め定められた量を上回るときに、
該第1の量子井戸領域の光吸収が第1および第2の予め
定められたレベルのうちの一方のレベルになるように
し、かつ該第2の量子井戸領域の光吸収が該第1および
第2の予め定められたレベルのうちの他方のレベルにな
るようにし、また該電圧が第2の予め定められた量を下
回るときに、該第1および第2の量子井戸領域の両方の
光吸収が該第1および第2の予め定められたレベルの最
大のものになるように制御する第3の手段とを含むもの
である光デバイス。 - 【請求項8】請求項7に記載の光デバイスにおいて、該
手段は電界効果型トランジスタ(FET)を含む光デバイ
ス。 - 【請求項9】請求項8に記載の光デバイスにおいて、該
第1および第2の手段は、それぞれ第1および第2の真
性領域を有する第1および第2のp−i−nフォトダイ
オードを含み、該第1および第2の量子井戸領域はそれ
ぞれ該第1および第2の真性領域中に含まれる光デバイ
ス。 - 【請求項10】それぞれが第1および第2の量子井戸領
域を含み各々強度を有する第1および第2の光ビームに
応答する第1および第2の手段と、強度を有する第3の
光ビームに応答して該第1および第2の量子井戸領域の
各々の光吸収を電気的に制御するための第3の手段であ
って、該第1の光ビームに対する該第3の光ビームの強
度の第1の比および該第2の光ビームに対する該第3の
光ビームの強度の第2の比のうちの少なくとも一方が第
1の予め定められた量を上回るときに、第1の量子井戸
領域の光吸収が第1および第2の予め定められたレベル
のうちの一方のレベルになるようにし、かつ該第1およ
び第2の量子井戸領域の他方の光吸収が該第1および第
2の予め定められたレベルの他方のレベルになるように
し、該第1および第2の比の両方が第2の予め定められ
た量を下回るときに、該第1および第2の量子井戸領域
の両方の光吸収が該第1および第2の予め定められたレ
ベルのうちの最大のものとなるように制御する第3の手
段とを含むものである光デバイス。 - 【請求項11】請求項10に記載の光デバイスにおいて、
該第1、第2および第3の手段はそれぞれ真性領域を有
するp−i−nフォトダイオードを含み、該第1および
第2の手段は真性領域中にそれぞれ該第1および第2の
量子井戸領域を有する光デバイス。 - 【請求項12】請求項11に記載の光デバイスにおいて、
前記第3の手段は真性領域と前記真性領域中に量子井戸
領域を有するp−i−nフォトダイオードを含む光デバ
イス。 - 【請求項13】請求項10に記載の光デバイスにおいて、
該光デバイスは、該第1および第2の比の両方が該予め
定められた量よりも大きく該第2の光ビームに対する該
第1の光ビームの強度の比が第3の予め定められた量よ
りも大きいときに、該第1および第2の量子井戸領域の
光吸収がそれぞれ該第1および第2の予め定められたレ
ベルにある第1の相補状態を有しており、また光デバイ
スは、該第1および第2の比の両方が該第1の予め定め
られた量よりも大きく、該第2の光ビームに対する該第
1のものの強度の該比が第4の予め定められた量よりも
小さいときに、該第1および第2の量子井戸領域の光吸
収が該第2および第1の予め定められたレベルにある第
2の相補状態を有するものである光デバイス。 - 【請求項14】光電流を制御するための第1および第2
の状態を有し光電流を制御するためのスイッチ手段と、 該スイッチ手段に直列に電気接続され各々量子井戸領域
を有する2つのp−i−nダイオードからなる双安定光
デバイスであって、 第1および第2の制御光ビームに応答して該第2の制御
光ビームに対する第1の制御光ビームの比が予め定めら
れた閾値を上回り該スイッチ手段が該第1の状態にある
ときに相補的なパワーレベルを有する第1および第2の
出力光ビームを放出し、また該スイッチ手段が該第2の
状態にあるときにともに定められたパワーレベルを有す
る第1および第2の出力光ビームを放出する双安定光デ
バイスとを含む光デバイス。 - 【請求項15】請求項14に記載の光デバイスにおいて、
該スイッチ手段が電気的に制御可能なスイッチを含む光
デバイス。 - 【請求項16】請求項15に記載の光デバイスにおいて、
該スイッチ手段がフォトダイオードを含む光デバイス。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US140,198 | 1987-12-31 | ||
US07/140,198 US4800262A (en) | 1987-12-31 | 1987-12-31 | Tri-state optical device with quantum well absorption |
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---|---|
JPH0277039A JPH0277039A (ja) | 1990-03-16 |
JP2664454B2 true JP2664454B2 (ja) | 1997-10-15 |
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ID=22490172
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---|---|---|---|
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Country Status (6)
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---|---|
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EP (1) | EP0323074B1 (ja) |
JP (1) | JP2664454B2 (ja) |
CA (1) | CA1299717C (ja) |
DE (1) | DE3881368T2 (ja) |
ES (1) | ES2040360T3 (ja) |
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