JP2652983B2 - ペレット突上げ機構 - Google Patents
ペレット突上げ機構Info
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- JP2652983B2 JP2652983B2 JP28609890A JP28609890A JP2652983B2 JP 2652983 B2 JP2652983 B2 JP 2652983B2 JP 28609890 A JP28609890 A JP 28609890A JP 28609890 A JP28609890 A JP 28609890A JP 2652983 B2 JP2652983 B2 JP 2652983B2
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68318—Auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H01L2221/68322—Auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の組立工程において、ウェハーシ
ート上に貼付けられたペレットを下方より突上げるダイ
ボンダーのペレット突上げ機構に関する。
ート上に貼付けられたペレットを下方より突上げるダイ
ボンダーのペレット突上げ機構に関する。
一般に、回路パターン形成が終わったウェハーは、検
査終了後、ウェハーシート及びウェハーシート保持リン
グ（以下リングと呼ぶ）に貼付けられ、ダイシング工程
で個々のペレットに分割される。その後、ダイボンダー
において、リング及びウェハーシートを保持した状態
で、良品のペレットを１個ずつ突上げ、コレットで吸着
してウェハーシートからピックアップし、リードフレー
ムのアイランド上に個々に取付けられる。
査終了後、ウェハーシート及びウェハーシート保持リン
グ（以下リングと呼ぶ）に貼付けられ、ダイシング工程
で個々のペレットに分割される。その後、ダイボンダー
において、リング及びウェハーシートを保持した状態
で、良品のペレットを１個ずつ突上げ、コレットで吸着
してウェハーシートからピックアップし、リードフレー
ムのアイランド上に個々に取付けられる。
ここで、従来のダイボンダーのペレット突上げ機構
は、コレットの上昇と同期して上昇する一本又は複数本
の突上げ針と、該突上げ針を上下させる駆動手段を有し
ており、コレットを上昇と同期して、全ての突上げ針を
一度に動作させて、ペレットをウェハーシートからピッ
クアップしていた。
は、コレットの上昇と同期して上昇する一本又は複数本
の突上げ針と、該突上げ針を上下させる駆動手段を有し
ており、コレットを上昇と同期して、全ての突上げ針を
一度に動作させて、ペレットをウェハーシートからピッ
クアップしていた。
ところがペレット突上げの際、突上げ針でウェハーシ
ートを突破る方法を用いると、突上げ針先端が尖ってい
る場合、ペレット裏面に傷がつきやすく、組立完了後そ
こからクラックが入って不良になりやすい傾向があり、
逆に先端が尖ってない場合、ペレット裏面に突破ったウ
ェハーシートの一部が付着したまま残ってしまい、そこ
からぺレットが割れてしまったり、組立工程中の加熱に
より変質して耐温性が悪くなりやすい傾向があるなど、
先端形状の選択が難しく、また、最適の形状だとして
も、摩耗が激しいため、１日〜２日で交換する必要があ
り、交換の時期の見極めが難しいほか、価格が１本5000
〜6000円程度と高価なため、コストがかさんでしまうと
いう問題点がある。
ートを突破る方法を用いると、突上げ針先端が尖ってい
る場合、ペレット裏面に傷がつきやすく、組立完了後そ
こからクラックが入って不良になりやすい傾向があり、
逆に先端が尖ってない場合、ペレット裏面に突破ったウ
ェハーシートの一部が付着したまま残ってしまい、そこ
からぺレットが割れてしまったり、組立工程中の加熱に
より変質して耐温性が悪くなりやすい傾向があるなど、
先端形状の選択が難しく、また、最適の形状だとして
も、摩耗が激しいため、１日〜２日で交換する必要があ
り、交換の時期の見極めが難しいほか、価格が１本5000
〜6000円程度と高価なため、コストがかさんでしまうと
いう問題点がある。
そのため、ウェハーシートを突破らない方法を用いる
と、サイズの大きいペレット（１辺の長さが10mm以上）
においては、ウェハーシートとペレットの接着力が強い
ため、ウェハーシートを真空吸着で固定し、ペレットを
均一に突上げるために４本又は５本の突上げ針で突上げ
てペレットをピックアップする方法などが用いられてい
る。しかしながら、15mm×15mm程度のペレットにおいて
は、前述の方法を用いても、突上げピンで囲まれたエリ
アのウェハーシートのはがれが悪いため、ピックアップ
率が20％程度と非常に悪く、突上げ動作中に、コレット
上昇及び突上げ針上昇を一時停止し、シートがはがれる
のを待つシートはがれ待ち動作を追加するなどの方法が
さらに必要となってしまう。
と、サイズの大きいペレット（１辺の長さが10mm以上）
においては、ウェハーシートとペレットの接着力が強い
ため、ウェハーシートを真空吸着で固定し、ペレットを
均一に突上げるために４本又は５本の突上げ針で突上げ
てペレットをピックアップする方法などが用いられてい
る。しかしながら、15mm×15mm程度のペレットにおいて
は、前述の方法を用いても、突上げピンで囲まれたエリ
アのウェハーシートのはがれが悪いため、ピックアップ
率が20％程度と非常に悪く、突上げ動作中に、コレット
上昇及び突上げ針上昇を一時停止し、シートがはがれる
のを待つシートはがれ待ち動作を追加するなどの方法が
さらに必要となってしまう。
そのため、インデックスは、シートはがれ待ちの時間
（２〜４秒程度）だけ遅くなってしまうため３〜５秒／
個となり、通常のインデックス（約１秒／個）の３〜５
倍、生産量だと1/5〜1/3と能力ダウンになってしまうと
いう問題点がある。
（２〜４秒程度）だけ遅くなってしまうため３〜５秒／
個となり、通常のインデックス（約１秒／個）の３〜５
倍、生産量だと1/5〜1/3と能力ダウンになってしまうと
いう問題点がある。
本発明のペレット突上げ機構は、ペレット中心を突上
げる中心突上げ針と、その駆動手段と、ペレット外周近
くに位置する複数の周辺突上げ針と、その駆動手段とを
有しており、ペレット中心の突上げとペレット外周近く
の突上げとのタイミング及び周辺突上げ針の突上げ位置
を変えることができる機構を備えている。
げる中心突上げ針と、その駆動手段と、ペレット外周近
くに位置する複数の周辺突上げ針と、その駆動手段とを
有しており、ペレット中心の突上げとペレット外周近く
の突上げとのタイミング及び周辺突上げ針の突上げ位置
を変えることができる機構を備えている。
次に本発明について図面を参照して説明する。第１図
（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の実施例１のペレット
突上げ機構の動作を説明する断面図で、図（ａ）は突上
げ開始の状態、図（ｂ）は突上げ中の状態、図（ｃ）は
突上げ完了時の状態である。
（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の実施例１のペレット
突上げ機構の動作を説明する断面図で、図（ａ）は突上
げ開始の状態、図（ｂ）は突上げ中の状態、図（ｃ）は
突上げ完了時の状態である。
ペレット（15mm×15mmサイズ）はウェハーシート２に
貼り付けられており、ウェハーシート２が貼り付けられ
ているリングを保持しているペレット位置決め装置によ
って位置決めされている。ペレットの中心を突上げるた
めの中心突上げ針３は、中心突上げ針ホルダー４に固定
されており、図示しない案内ガイドにより上下動自由に
保持されている。上下レバー5aは、図示しない上下駆動
手段（例えばモーター）に接続されており、中心突上げ
針３を上下に動作させる。同様にペレットの周辺を突上
げる周辺突上げ針６は、周辺突上げ針ホルダー７に固定
され、案内ガイドにより上下動自由に保持されており、
上下レバー5bは上下駆動手段（中心突上げ用とは別）に
接続され、周辺突上げ針６を上下に動作させる。コレッ
ト８は、吸着用穴９を通して真空で引くことでペレット
１を真空吸着し、アイランドに移送する。
貼り付けられており、ウェハーシート２が貼り付けられ
ているリングを保持しているペレット位置決め装置によ
って位置決めされている。ペレットの中心を突上げるた
めの中心突上げ針３は、中心突上げ針ホルダー４に固定
されており、図示しない案内ガイドにより上下動自由に
保持されている。上下レバー5aは、図示しない上下駆動
手段（例えばモーター）に接続されており、中心突上げ
針３を上下に動作させる。同様にペレットの周辺を突上
げる周辺突上げ針６は、周辺突上げ針ホルダー７に固定
され、案内ガイドにより上下動自由に保持されており、
上下レバー5bは上下駆動手段（中心突上げ用とは別）に
接続され、周辺突上げ針６を上下に動作させる。コレッ
ト８は、吸着用穴９を通して真空で引くことでペレット
１を真空吸着し、アイランドに移送する。
まず、突上げ開始の時は、コレット８の上昇と同期し
て、中心突上げ針３と周辺突上げ針６が均一に突上げ
る。突上げ高さが2mm程度になり、ペレット周辺のウェ
ハーシートがはがれ始めるところで、周辺突上げ針６を
下降させ、中心突上げ針１はコレット８と同期させて上
昇させ、ペレット１の突上げを中心突上げ針１本だけで
行なうことで、ウェハーシートのはがれを良くし、ペレ
ットピックアップが容易に行なえるようになる。
て、中心突上げ針３と周辺突上げ針６が均一に突上げ
る。突上げ高さが2mm程度になり、ペレット周辺のウェ
ハーシートがはがれ始めるところで、周辺突上げ針６を
下降させ、中心突上げ針１はコレット８と同期させて上
昇させ、ペレット１の突上げを中心突上げ針１本だけで
行なうことで、ウェハーシートのはがれを良くし、ペレ
ットピックアップが容易に行なえるようになる。
もし、ここで周辺突上げ針６もコレット８と同期させ
てさらに上昇させた場合、突上げ針間のエリアのウェハ
ーシート２はペレット１に貼り付いたままになるためウ
ェハーシートはがれ待ちが必要になる。また、最初から
中心突上げ針３でペレット１を突上げた場合、ペレット
１とウェハーシート２とのはがれ方が均一でないために
ペレット１が一方に引っぱられて傾いてしまうなどの問
題がある。同様に、周辺突上げ針６のピッチを小さくし
て、中心突上げ針３に近づけ、突上げ針間のエリアを小
さくし、ウェハーシート２のペレット１への貼り付きを
少なくさせた場合もウェハーシートのはがれが均一にな
らず、安定してペレット１が突上げられないということ
になる。
てさらに上昇させた場合、突上げ針間のエリアのウェハ
ーシート２はペレット１に貼り付いたままになるためウ
ェハーシートはがれ待ちが必要になる。また、最初から
中心突上げ針３でペレット１を突上げた場合、ペレット
１とウェハーシート２とのはがれ方が均一でないために
ペレット１が一方に引っぱられて傾いてしまうなどの問
題がある。同様に、周辺突上げ針６のピッチを小さくし
て、中心突上げ針３に近づけ、突上げ針間のエリアを小
さくし、ウェハーシート２のペレット１への貼り付きを
少なくさせた場合もウェハーシートのはがれが均一にな
らず、安定してペレット１が突上げられないということ
になる。
この実施例を用いると、ウェハーシートはがれ待ちの
時間が短かくて済むため（０〜１秒程度）インデックス
が１〜２秒程度と現状インデックスの３〜５秒よりもか
なり改善が計られることになる。
時間が短かくて済むため（０〜１秒程度）インデックス
が１〜２秒程度と現状インデックスの３〜５秒よりもか
なり改善が計られることになる。
第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の実施例２の
ペレット突上げ機構の動作を説明する断面図で図（ａ）
は突上げ開始の状態、図（ｂ）は突上げ中の状態、図
（ｃ）は突上げの完了時の状態である。
ペレット突上げ機構の動作を説明する断面図で図（ａ）
は突上げ開始の状態、図（ｂ）は突上げ中の状態、図
（ｃ）は突上げの完了時の状態である。
周辺突上げ針６を固定している周辺突上げ針ホルダー
7aは、突上げ針ホルダー10上に固定されている周辺突上
げ針移動用シリンダー12により、中心に向けて移動可能
に保持されている。突上げ針ホルダー20は、コレットの
上昇と同期して、突上げ針上下用シリンダー11により上
昇する。まず、突上げ開始の時は、周辺突上げ針６をで
きるだけペレット１の周辺近くに配置しておき、2mmの
程度突上げてウェハーシート２がペレットからはがれ始
めた時に、周辺突上げ針６を中心に向けて移動させるこ
とで、突上げ針間のエリアが小さくなるため、ペレット
がシートからはがれやすくなり、安定しペレットピック
アップを行なうことができる。
7aは、突上げ針ホルダー10上に固定されている周辺突上
げ針移動用シリンダー12により、中心に向けて移動可能
に保持されている。突上げ針ホルダー20は、コレットの
上昇と同期して、突上げ針上下用シリンダー11により上
昇する。まず、突上げ開始の時は、周辺突上げ針６をで
きるだけペレット１の周辺近くに配置しておき、2mmの
程度突上げてウェハーシート２がペレットからはがれ始
めた時に、周辺突上げ針６を中心に向けて移動させるこ
とで、突上げ針間のエリアが小さくなるため、ペレット
がシートからはがれやすくなり、安定しペレットピック
アップを行なうことができる。
この場合でも、実施例１と同様にウェハーシートはが
れ待ちが短くて済むため、インデックスが遅くならずに
済む。また、この実施例の場合、ペレットサイズが変わ
った場合でも、周辺突上げ針のピッチが容易に変えられ
るため、切替コストが不要という利点がある。
れ待ちが短くて済むため、インデックスが遅くならずに
済む。また、この実施例の場合、ペレットサイズが変わ
った場合でも、周辺突上げ針のピッチが容易に変えられ
るため、切替コストが不要という利点がある。
以上説明したように本発明は、中心突上げ針の駆動
と、周辺突上げ針の駆動を別にしたので、突上げ開始時
には安定して突上げ、途中で針を１本化又は突上げエリ
アを小さくするなどして、ウェハーシートとペレットの
はがれを良くでき、インデックスが遅くならずに済むと
いう効果がある。
と、周辺突上げ針の駆動を別にしたので、突上げ開始時
には安定して突上げ、途中で針を１本化又は突上げエリ
アを小さくするなどして、ウェハーシートとペレットの
はがれを良くでき、インデックスが遅くならずに済むと
いう効果がある。
第１図（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の実施例１の動
作を説明する断面図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）は
本発明の実施例２の動作を説明する断面図で、各図とも
図（ａ）は突上げ開始の状態、図（ｂ）は突上げ中の状
態、図（ｃ）は突上げ完了時の状態を示す。 １……ペレット、２……ウェハーシート、３……中心突
上げ針、４……中心突上げ針ホルダー、5a,5b……上下
レバー、６……周辺突上げ針、7,7a……周辺突上げ針ホ
ルダー、８……コレット、９……吸着用穴、10……突上
げ針ホルダー、11……突上げ針上下用シリンダー、12…
…周辺突上げ針移動用シリンダー。
作を説明する断面図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）は
本発明の実施例２の動作を説明する断面図で、各図とも
図（ａ）は突上げ開始の状態、図（ｂ）は突上げ中の状
態、図（ｃ）は突上げ完了時の状態を示す。 １……ペレット、２……ウェハーシート、３……中心突
上げ針、４……中心突上げ針ホルダー、5a,5b……上下
レバー、６……周辺突上げ針、7,7a……周辺突上げ針ホ
ルダー、８……コレット、９……吸着用穴、10……突上
げ針ホルダー、11……突上げ針上下用シリンダー、12…
…周辺突上げ針移動用シリンダー。
Claims (2)
- 【請求項１】ウェハーシート上に貼付けられたダイシン
グ済のペレットを下方により突上げ針で突上げ、前記ペ
レットをコレットで吸着してピックアップするダイボン
ディング装置のペレット突上げ機構において、ペレット
中心に位置し、コレットの上昇と同期して上昇する中心
突上げ針と、前記中心突上げ針を上下させる駆動手段
と、ペレットの外周近くに位置し、コレットの上昇と同
期して動作する複数の周辺突上げ針と、前記周辺突上げ
針を動作させる前記中心突上げ針の駆動手段とは別の駆
動手段とを有することを特徴とするペレット突上げ機
構。 - 【請求項２】周辺突上げ針の駆動手段が、周辺突上げ針
を上下方向またはペレット中心方向に動作させる駆動手
段である請求項１記載のペレット突上げ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28609890A JP2652983B2 (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | ペレット突上げ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28609890A JP2652983B2 (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | ペレット突上げ機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04162445A JPH04162445A (ja) | 1992-06-05 |
| JP2652983B2 true JP2652983B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=17699917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28609890A Expired - Fee Related JP2652983B2 (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | ペレット突上げ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2652983B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007115934A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品突き上げ装置及び電子部品の供給方法 |
| JP4860274B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2012-01-25 | Ｊｕｋｉ株式会社 | ウェハ供給装置の突上げピン速度計測装置及び表面実装装置 |
| JP5572241B2 (ja) * | 2013-04-04 | 2014-08-13 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
| JP6941513B2 (ja) * | 2017-09-07 | 2021-09-29 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63191633U (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-09 |
-
1990
- 1990-10-24 JP JP28609890A patent/JP2652983B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04162445A (ja) | 1992-06-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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