JP2648626B2 - 音響式流体温度測定装置および測定方法 - Google Patents
音響式流体温度測定装置および測定方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本装置は音響式温度測定装置および測定方法に係り、
特にボイラなどの内部流体の温度を検出するに好適な音
響式流体温度測定装置および測定方法に関する。
特にボイラなどの内部流体の温度を検出するに好適な音
響式流体温度測定装置および測定方法に関する。
高温の流体温度を測定する方法の１つに音波を用いた
ものがある。この方法をボイラ内部の温度計測に適用し
た例を第５図に示す。第５図において、音波は送信器５
から送信され、ボイラ煙道24内の流体中を伝わって受信
器６で受信される。そして、制御装置１が送信から受信
までの伝播時間ｔ（ｓ）を算出する。ここで、伝播時間
ｔと流体温度Ｔ（ｋ）には次の関係がある。
ものがある。この方法をボイラ内部の温度計測に適用し
た例を第５図に示す。第５図において、音波は送信器５
から送信され、ボイラ煙道24内の流体中を伝わって受信
器６で受信される。そして、制御装置１が送信から受信
までの伝播時間ｔ（ｓ）を算出する。ここで、伝播時間
ｔと流体温度Ｔ（ｋ）には次の関係がある。
γ：ガス性状で決まる定数 L:送信器、受信器間の距離（ｍ） この関係式を用いて、伝播時間から高温流体の平均温
度が算出できる。さらに、第６図に示すように音波送信
器５、受信器６をボイラ煙道などの側壁に複数配置し、
煙道内の多数の経路の伝播時間を測定することで、煙道
断面の温度分布が算出できる。
度が算出できる。さらに、第６図に示すように音波送信
器５、受信器６をボイラ煙道などの側壁に複数配置し、
煙道内の多数の経路の伝播時間を測定することで、煙道
断面の温度分布が算出できる。
以上のような音波を用いた高温流体の温度計測装置の
機器構成を第２図に示す。第２図において、制御装置１
から送信器用リレー制御信号16および受信器用リレー制
御信号17を送出し、送信器５、受信器６の組合わせを決
める。次に制御装置１からスタート信号を波形発生器２
に送出する。スタート信号を受けた波形発生器は数周期
の波形信号を送出し、波形信号は送信用アンプ３で増幅
され、送信器５で音波信号に変換される。送信器で変換
された音波は流体中を伝わり、受信器６で伝播信号に変
換され、受信用アンプ８で増幅され、バンドパスフィル
タ９を通過し、A/D変換器10でデジタル信号（波形デー
タ）に変換される。ここで、A/D変換器10は、波形発生
器２が波形信号を送出すると同時に送り出すパルス信号
を受信して、このパルス信号が所定のしきい値を超えた
ときA/D変換を開始する。これより、波形データの始ま
りは、送信器から音波を送出する時刻:t1と考えること
ができる。送信器から送出された音波が受信器に到着す
る時刻:t2は、波形データ用メモリ11に取り込まれた波
形データと、あらかじめ参照波形用メモリ12にセットし
ておいた参照波形との相関値を求めることで知ることが
できる。この演算は相関演算器13で行われる。そして、
温度演算器14で、t2−t1で求まる流体中の音波の伝播時
間より（１）式を用いて温度を算出する。その結果は温
度表示装置15に表示される。
機器構成を第２図に示す。第２図において、制御装置１
から送信器用リレー制御信号16および受信器用リレー制
御信号17を送出し、送信器５、受信器６の組合わせを決
める。次に制御装置１からスタート信号を波形発生器２
に送出する。スタート信号を受けた波形発生器は数周期
の波形信号を送出し、波形信号は送信用アンプ３で増幅
され、送信器５で音波信号に変換される。送信器で変換
された音波は流体中を伝わり、受信器６で伝播信号に変
換され、受信用アンプ８で増幅され、バンドパスフィル
タ９を通過し、A/D変換器10でデジタル信号（波形デー
タ）に変換される。ここで、A/D変換器10は、波形発生
器２が波形信号を送出すると同時に送り出すパルス信号
を受信して、このパルス信号が所定のしきい値を超えた
ときA/D変換を開始する。これより、波形データの始ま
りは、送信器から音波を送出する時刻:t1と考えること
ができる。送信器から送出された音波が受信器に到着す
る時刻:t2は、波形データ用メモリ11に取り込まれた波
形データと、あらかじめ参照波形用メモリ12にセットし
ておいた参照波形との相関値を求めることで知ることが
できる。この演算は相関演算器13で行われる。そして、
温度演算器14で、t2−t1で求まる流体中の音波の伝播時
間より（１）式を用いて温度を算出する。その結果は温
度表示装置15に表示される。
波形データから伝播信号の受信時刻を算出する相関信
号処理の様子を第３図に示す。ここで、相関信号処理は
次式に基づいている。
号処理の様子を第３図に示す。ここで、相関信号処理は
次式に基づいている。
ここに、 Ｓ（ｔ）：相関値 ｆ（ｔ）：波形データ ｇ（ｔ）：参照波形 △t:A/D変換の時間間隔 m:参照波形のデータ数 つまり、相関処理は波形データと参照波形の一致具合
を調べている。第３図において（ａ）は波形データを示
している。波形データは騒音信号22と伝播信号23が足し
合わされたものである。（ｂ）のように参照波形Ａをず
らしながら、相関値を求めたものが（ｃ）である。
（ｃ）において、相関値のピーク位置は波形データと参
照波形が最も一致する位置であるので、この位置を伝播
信号の受信時刻とすることができるわけである。
を調べている。第３図において（ａ）は波形データを示
している。波形データは騒音信号22と伝播信号23が足し
合わされたものである。（ｂ）のように参照波形Ａをず
らしながら、相関値を求めたものが（ｃ）である。
（ｃ）において、相関値のピーク位置は波形データと参
照波形が最も一致する位置であるので、この位置を伝播
信号の受信時刻とすることができるわけである。
相関値の求め方につき、さらに詳細に説明する。第3A
図において、受信波形（伝播信号）ｆ（ｔ）と参照波形
ｇ（ｔ）との相関関数式（２）は、波の一致具合を見る
ことができる。すなわち、時刻t2では受信波形ｆ（ｔ）
と参照波形（T2）とは２山（２周期）分の波が重なって
いる。このときの相関値はτ２点である。時刻t2′で
は、参照波形（T2′）と受信波形ｆ（ｆ）とは波が４山
重なっており、このときの相関値はτ２′である。τ２
点よりτ２′点のほうが大きな値となっているのは重な
っている部分が多いためである。τ２″点は受信波形と
参照波形が５山とも重なっている位置であり、このため
相関値はピークを示しており、受信波形の到達時刻を
t2″と判定することができる。
図において、受信波形（伝播信号）ｆ（ｔ）と参照波形
ｇ（ｔ）との相関関数式（２）は、波の一致具合を見る
ことができる。すなわち、時刻t2では受信波形ｆ（ｔ）
と参照波形（T2）とは２山（２周期）分の波が重なって
いる。このときの相関値はτ２点である。時刻t2′で
は、参照波形（T2′）と受信波形ｆ（ｆ）とは波が４山
重なっており、このときの相関値はτ２′である。τ２
点よりτ２′点のほうが大きな値となっているのは重な
っている部分が多いためである。τ２″点は受信波形と
参照波形が５山とも重なっている位置であり、このため
相関値はピークを示しており、受信波形の到達時刻を
t2″と判定することができる。
ところが、上記従来技術を実缶のボイラに適用するに
は信号処理時間がかかりすぎるという問題がある。実缶
のボイラの幅は10〜20mであり、その間を伝わる音波の
伝播時間は約30msである。ここで、A/D変換の時間間隔
を５μｓとすれば、波形データのデータ数は6000個とな
る。3kで５周期の音波を送信したとき、3kHzは１周期が
約333μｓであり、５周期では参照波形の幅は約1665μ
ｓ必要であり、A/D変換器の時間間隔を５μｓとすれ
ば、データ数は333個となる。すなわち、相関信号処理
の演算器では6000×335（＝200万）回の乗算を行うこと
になる。そのため、高速の計算機を使用してもこの信号
処理に10秒かかる。さらに、第６図のように炉壁に音波
送信器、受信器を複数配置して、断面の温度分布を測定
するためには、多数の経路での伝播時間の測定が必要と
なる。第６図のように音波送信器、受信器を10個配置し
た場合、経路数は82通りとなる。そのため、１回の測定
に82回の信号処理が必要となる。つまり、82×10秒（＝
820秒≒14分）信号処理にかかってしまう。このことは
被測定部に異常があったときに、14分以上後まではその
異常を検出することができないことを意味しており、ボ
イラ内部の温度監視には向いていないことがわかる。
は信号処理時間がかかりすぎるという問題がある。実缶
のボイラの幅は10〜20mであり、その間を伝わる音波の
伝播時間は約30msである。ここで、A/D変換の時間間隔
を５μｓとすれば、波形データのデータ数は6000個とな
る。3kで５周期の音波を送信したとき、3kHzは１周期が
約333μｓであり、５周期では参照波形の幅は約1665μ
ｓ必要であり、A/D変換器の時間間隔を５μｓとすれ
ば、データ数は333個となる。すなわち、相関信号処理
の演算器では6000×335（＝200万）回の乗算を行うこと
になる。そのため、高速の計算機を使用してもこの信号
処理に10秒かかる。さらに、第６図のように炉壁に音波
送信器、受信器を複数配置して、断面の温度分布を測定
するためには、多数の経路での伝播時間の測定が必要と
なる。第６図のように音波送信器、受信器を10個配置し
た場合、経路数は82通りとなる。そのため、１回の測定
に82回の信号処理が必要となる。つまり、82×10秒（＝
820秒≒14分）信号処理にかかってしまう。このことは
被測定部に異常があったときに、14分以上後まではその
異常を検出することができないことを意味しており、ボ
イラ内部の温度監視には向いていないことがわかる。
上記した従来技術の問題点は、音波受信器が前回に受
信した受信波形と新しく受信した受信波形とをそれぞれ
記憶するメモリをA/D変換器と相関演算器の間に配置
し、参照波形として前回に受信した受信波形を採用する
ことにより解決される。すなわち、本発明の目的は、流
体通路の一方の側壁に配置した音波送信器と、他方の側
壁に配置した音波受信器と、音波受信器からの受信デー
タをデイジタル化するA/D変換器と、A/D変換器の出力信
号に基づき音波の流体中の伝播時間を検出する相関演算
器と、相関演算法で検出された伝播時間に基づき流体の
温度を算出する温度演算器とを備えた音響式流体温度測
定装置において、音波受信器が前回に受信した受信波形
と新しく受信した受信波形との両方をそれぞれ記憶する
メモリ装置と、メモリ装置に記憶された両方の受信信号
の相互相関値を求めることにより音波の流体中の伝播時
間を算出する相関演算器とを設けたことを特徴とする音
響式流体温度測定装置、および流体通路の一方の側壁に
音波送信器を、他方の側壁に音波受信器をそれぞれ配置
し、前記音波受信器からの受信データをA/D変換器によ
りデイジタル信号に、該デイジタル信号に基づいて相関
演算器により音波の流体中の伝播時間を検出し、該相関
演算法により検出した伝播時間に基づき、温度演算器に
より流体の温度を算出する音響式流体温度の測定方法に
おいて、前記A/D変換器でデイジタル化した信号を、メ
モリ切り換え器により順次選択した複数のメモリ装置に
波形データとして順次記憶し、前回検出した波形データ
の伝播時間に基づいて、前記メモリ装置に新たに記憶し
た波形データと前回記憶した波形データとの相関値から
音波の流体中の伝播時間を相関演算器により検出し、さ
らに前記伝播時間に基づき流体の温度を温度演算器によ
り算出することを特徴とする音響式流体温度の測定方法
により達成される。
信した受信波形と新しく受信した受信波形とをそれぞれ
記憶するメモリをA/D変換器と相関演算器の間に配置
し、参照波形として前回に受信した受信波形を採用する
ことにより解決される。すなわち、本発明の目的は、流
体通路の一方の側壁に配置した音波送信器と、他方の側
壁に配置した音波受信器と、音波受信器からの受信デー
タをデイジタル化するA/D変換器と、A/D変換器の出力信
号に基づき音波の流体中の伝播時間を検出する相関演算
器と、相関演算法で検出された伝播時間に基づき流体の
温度を算出する温度演算器とを備えた音響式流体温度測
定装置において、音波受信器が前回に受信した受信波形
と新しく受信した受信波形との両方をそれぞれ記憶する
メモリ装置と、メモリ装置に記憶された両方の受信信号
の相互相関値を求めることにより音波の流体中の伝播時
間を算出する相関演算器とを設けたことを特徴とする音
響式流体温度測定装置、および流体通路の一方の側壁に
音波送信器を、他方の側壁に音波受信器をそれぞれ配置
し、前記音波受信器からの受信データをA/D変換器によ
りデイジタル信号に、該デイジタル信号に基づいて相関
演算器により音波の流体中の伝播時間を検出し、該相関
演算法により検出した伝播時間に基づき、温度演算器に
より流体の温度を算出する音響式流体温度の測定方法に
おいて、前記A/D変換器でデイジタル化した信号を、メ
モリ切り換え器により順次選択した複数のメモリ装置に
波形データとして順次記憶し、前回検出した波形データ
の伝播時間に基づいて、前記メモリ装置に新たに記憶し
た波形データと前回記憶した波形データとの相関値から
音波の流体中の伝播時間を相関演算器により検出し、さ
らに前記伝播時間に基づき流体の温度を温度演算器によ
り算出することを特徴とする音響式流体温度の測定方法
により達成される。
２つのメモリをそれぞれＡ、Ｂとする。そして、Ｂに
は前回の波形データが取り込まれているとする。まず、
メモリ切替え器がA/D変換器とメモリＡをつなぐように
セットする。そのため、今回受信した波形データはメモ
リＡに取り込まれる。ここで、メモリＢに取り込まれて
いる波形データは、前回の信号処理により伝播信号の到
着時刻がわかっている。そのため、今回の信号処理はメ
モリＢの伝播信号データと、メモリＡの波形データとの
相関値を前回の伝播時間到着時刻の−数百データから＋
数百データの間で行えばいい。これによって、信号処理
時間は大幅に短縮できる。
は前回の波形データが取り込まれているとする。まず、
メモリ切替え器がA/D変換器とメモリＡをつなぐように
セットする。そのため、今回受信した波形データはメモ
リＡに取り込まれる。ここで、メモリＢに取り込まれて
いる波形データは、前回の信号処理により伝播信号の到
着時刻がわかっている。そのため、今回の信号処理はメ
モリＢの伝播信号データと、メモリＡの波形データとの
相関値を前回の伝播時間到着時刻の−数百データから＋
数百データの間で行えばいい。これによって、信号処理
時間は大幅に短縮できる。
第１図に本発明による音響式温度監視装置の構成を示
す。本装置は、実缶ボイラの煙道部（煙道内部の流体温
度300〜600℃、煙道の幅15m）の温度監視のためつけら
れたものである。音波送信器、受信器は第６図に示すよ
うに、10個取付けてある。使用した音波の周波数は3kH
z、送信器から送出する音波は５周期である。A/D変換器
10と相関演算器13との間に２つのメモリA19、B20を配置
し、上記メモリとA/D変換器との間にメモリ切替え器18
が配置してある。そして、制御装置１はメモリ切替え制
御信号21によってメモリ切替え器18を制御している。
す。本装置は、実缶ボイラの煙道部（煙道内部の流体温
度300〜600℃、煙道の幅15m）の温度監視のためつけら
れたものである。音波送信器、受信器は第６図に示すよ
うに、10個取付けてある。使用した音波の周波数は3kH
z、送信器から送出する音波は５周期である。A/D変換器
10と相関演算器13との間に２つのメモリA19、B20を配置
し、上記メモリとA/D変換器との間にメモリ切替え器18
が配置してある。そして、制御装置１はメモリ切替え制
御信号21によってメモリ切替え器18を制御している。
メモリ切替え器18は、前回測定した波形データをメモ
リＡに取り込んだのならば、次の測定の波形データはメ
モリＢに、前回測定して波形データをメモリＢに取り込
んだのならば、次の測定の波形データはメモリＡに取り
込むように制御してある。
リＡに取り込んだのならば、次の測定の波形データはメ
モリＢに、前回測定して波形データをメモリＢに取り込
んだのならば、次の測定の波形データはメモリＡに取り
込むように制御してある。
第４図に本発明で用いている伝播信号の到着時刻を検
出する方法を示す。第４図（ａ）は波形データであり、
メモリＢに取り込んである。この波形データは、前回の
相関信号処理により伝播信号の到着時刻がわかっている
ものである。例として、到着時刻が31.33msであったと
する。これは煙道内の流体の温度300℃に相当する。
出する方法を示す。第４図（ａ）は波形データであり、
メモリＢに取り込んである。この波形データは、前回の
相関信号処理により伝播信号の到着時刻がわかっている
ものである。例として、到着時刻が31.33msであったと
する。これは煙道内の流体の温度300℃に相当する。
第４図（ｂ）は、今回取り込んだ波形データであり、
メモリＡに取り込まれる。ボイラの煙道部は、温度異常
が起こったとしても３分で50℃以上の急激な温度変化は
しない。そのため、今回取り込んだ波形データ中の伝播
信号の到着時刻は、前回の到着時刻の近傍にある。50℃
の温度変化は本装置において、1.35msの伝播時間の変化
に相当する。つまり、今回取り込んだ波形データの伝播
信号の到着時刻は、前回の伝播信号の到着時刻である3
1.33msの前後1.35msの範囲内にある。つまり、第４図
（ｃ）に示すように、前回の波形データ中の伝播信号部
を参照波形として、今回の波形データの31.33ms＋／−
1.35msの間のデータとの相関をとり、その結果として得
られた第４図（ｄ）の相関値のピーク位置から、今回の
伝播信号の到着位置を検出すればよい。31.33ms＋／−
1.35ms間のデータ数は540個なので（31.33±1.35msの時
間幅は1.35×２＝2.7ms＝2700μｓ、A/D変換器の時間間
隔を５μｓと考えているので、2700/5＝540となる）、
相関信号処理に必要な乗算の回数は540×333（≒18万）
回で済む。この演算に必要な時間破約１分であり、従来
の方法に較べて1/10に短縮できる。
メモリＡに取り込まれる。ボイラの煙道部は、温度異常
が起こったとしても３分で50℃以上の急激な温度変化は
しない。そのため、今回取り込んだ波形データ中の伝播
信号の到着時刻は、前回の到着時刻の近傍にある。50℃
の温度変化は本装置において、1.35msの伝播時間の変化
に相当する。つまり、今回取り込んだ波形データの伝播
信号の到着時刻は、前回の伝播信号の到着時刻である3
1.33msの前後1.35msの範囲内にある。つまり、第４図
（ｃ）に示すように、前回の波形データ中の伝播信号部
を参照波形として、今回の波形データの31.33ms＋／−
1.35msの間のデータとの相関をとり、その結果として得
られた第４図（ｄ）の相関値のピーク位置から、今回の
伝播信号の到着位置を検出すればよい。31.33ms＋／−
1.35ms間のデータ数は540個なので（31.33±1.35msの時
間幅は1.35×２＝2.7ms＝2700μｓ、A/D変換器の時間間
隔を５μｓと考えているので、2700/5＝540となる）、
相関信号処理に必要な乗算の回数は540×333（≒18万）
回で済む。この演算に必要な時間破約１分であり、従来
の方法に較べて1/10に短縮できる。
次回の測定は、メモリＢに波形データを新たに取り込
み、今回の波形データの伝播信号部を参照波形として、
今回検出した到着時刻の＋／−1.35ms間のデータとの相
関処理を行っていけばよい。
み、今回の波形データの伝播信号部を参照波形として、
今回検出した到着時刻の＋／−1.35ms間のデータとの相
関処理を行っていけばよい。
波形データを取り込むメモリをｎ個（３個以上）用い
た例を第７図に示す。第７図に示す構成にすることで、
ｎ−ｍ（ｍは１〜ｎ−１）回前の測定温度との比較によ
る温度測定ができ、それらの測定値を平均することで測
定精度を上げることができる。また、常にｎ−１回前ま
での測定温度を蓄積しているので、被測定部分が温度上
昇過程にあるのか、下降過程にあるのか、または平行状
態なのかを類推することができる。
た例を第７図に示す。第７図に示す構成にすることで、
ｎ−ｍ（ｍは１〜ｎ−１）回前の測定温度との比較によ
る温度測定ができ、それらの測定値を平均することで測
定精度を上げることができる。また、常にｎ−１回前ま
での測定温度を蓄積しているので、被測定部分が温度上
昇過程にあるのか、下降過程にあるのか、または平行状
態なのかを類推することができる。
本発明によれば、音波を用いた流路内流体の温度計測
をより高速に行うことができるようになり、ボイラなど
の内部流体の温度監視装置および監視方法として本測定
装置および測定方法を適用できる。
をより高速に行うことができるようになり、ボイラなど
の内部流体の温度監視装置および監視方法として本測定
装置および測定方法を適用できる。
第１図は、本発明になる音響式流体温度測定装置の実施
例図、第２図は、従来の音響式温度計測装置の構成図、
第３図および第3A図は、それぞれ従来の音響式温度計測
装置で用いられてきた信号処理方法の説明図、第４図
は、本発明の音響式流体温度測定装置における信号処理
方法の説明図、第５図および第６図は、音響式温度測定
装置の一般的使用例図、第７図は、本発明の他の実施例
図である。 １……制御装置、２……波形発生器、４……送信用リレ
ー、５……送信器、６……受信器、７……受信用リレ
ー、９……バンドパスフィルタ、10……A/D変換器、13
……相関演算器、14……温度演算器、15……温度表示装
置、16……送信器用リレー制御信号、17……受信器用リ
レー制御信号、18……メモリ切替え器、19……メモリ
Ａ、20……メモリＢ、21……メモリ切替え制御信号。
例図、第２図は、従来の音響式温度計測装置の構成図、
第３図および第3A図は、それぞれ従来の音響式温度計測
装置で用いられてきた信号処理方法の説明図、第４図
は、本発明の音響式流体温度測定装置における信号処理
方法の説明図、第５図および第６図は、音響式温度測定
装置の一般的使用例図、第７図は、本発明の他の実施例
図である。 １……制御装置、２……波形発生器、４……送信用リレ
ー、５……送信器、６……受信器、７……受信用リレ
ー、９……バンドパスフィルタ、10……A/D変換器、13
……相関演算器、14……温度演算器、15……温度表示装
置、16……送信器用リレー制御信号、17……受信器用リ
レー制御信号、18……メモリ切替え器、19……メモリ
Ａ、20……メモリＢ、21……メモリ切替え制御信号。
Claims (2)
- 【請求項１】流体通路の一方の側壁に配置した音波送信
器と、他方の側壁に配置した音波受信器と、音波受信器
からの受信データをデイジタル化するA/D変換器と、A/D
変換器の出力信号に基づき音波の流体中の伝播時間を検
出する相関演算器と、相関演算法で検出された伝播時間
に基づき流体の温度を算出する温度演算器とを備えた音
響式流体温度測定装置において、音波受信器が前回に受
信した受信波形と新しく受信した受信波形との両方をそ
れぞれ記憶するメモリ装置と、メモリ装置に記憶された
両方の受信信号の相互相関値を求めることにより音波の
流体中の伝播時間を算出する相関演算器とを設けたこと
を特徴とする音響式流体温度測定装置。 - 【請求項２】流体通路の一方の側壁に音波送信器を、他
方の側壁に音波受信器をそれぞれ配置し、前記音波受信
器からの受信データをA/D変換器によりデイジタル信号
に変換し、該デイジタル信号に基づいて相関演算器によ
り音波の流体中の伝播時間を検出し、該相関演算法によ
り検出した伝播時間に基づき、温度演算器により流体の
温度を算出する音響式流体温度の測定方法において、前
記A/D変換器でデイジタル化した信号を、メモリ切り換
え器により順次選択した複数のメモリ装置に波形データ
として順次記憶し、前回検出した波形データの伝播時間
に基いて、前記メモリ装置に新たに記憶した波形データ
と前回記憶した波形データとの相関値から音波の流体中
の伝播時間を相関演算器により検出し、さらに前記伝播
時間に基づき流体の温度を温度演算器により算出するこ
とを特徴とする音響式流体温度の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1826889A JP2648626B2 (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 音響式流体温度測定装置および測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1826889A JP2648626B2 (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 音響式流体温度測定装置および測定方法 |
Publications (2)
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| JP2648626B2 true JP2648626B2 (ja) | 1997-09-03 |
Family
ID=11966909
Family Applications (1)
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| JP1826889A Expired - Lifetime JP2648626B2 (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 音響式流体温度測定装置および測定方法 |
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- 1989-01-27 JP JP1826889A patent/JP2648626B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH02198328A (ja) | 1990-08-06 |
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