JP2640744B2 - 真空管の排気管の先端の封止方法およびそのための装置 - Google Patents
真空管の排気管の先端の封止方法およびそのための装置Info
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- JP2640744B2 JP2640744B2 JP62150081A JP15008187A JP2640744B2 JP 2640744 B2 JP2640744 B2 JP 2640744B2 JP 62150081 A JP62150081 A JP 62150081A JP 15008187 A JP15008187 A JP 15008187A JP 2640744 B2 JP2640744 B2 JP 2640744B2
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- processing station
- exhaust pipe
- sealing
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/46—Machines having sequentially arranged operating stations
- H01J9/48—Machines having sequentially arranged operating stations with automatic transfer of workpieces between operating stations
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/40—Closing vessels
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、真空管、特に陰極線管の排気管の先端の封
止方法およびそのための装置に関するものである。
止方法およびそのための装置に関するものである。
従来の技術 真空管内を十分に真空にした後に排気管の先端を封止
するためには、排気管の先端からわずかに離れた位置で
この排気管の先端を取り囲んでいる加熱用抵抗を用いて
この排気管の先端を融点まで加熱する。この加熱用抵抗
は、排気管の先端の周囲に一種の炉を形成する耐火容器
内に収められている。一般に、加熱操作は、大きく3工
程に分けられる。すなわち、予熱、融解、アニールの3
工程である。各操作は、製造ラインに沿って連続的に配
置された複数の処理ステーションで実施される。真空管
と、排気管の先端の加熱装置は、運搬車により各処理ス
テーション間を移動する。各処理ステーションで運搬車
が停止して、所定の電力量が、電力発生装置からすべり
接触装置を介して、運搬車に載せられている加熱装置に
供給される。供給される電力の値は、排気管の先端の達
する温度により決まる。ところで、排気管の先端の加熱
温度は、石英製の標準的排気管の先端を使用する確立さ
れた方法に従って前もって決めておく。
するためには、排気管の先端からわずかに離れた位置で
この排気管の先端を取り囲んでいる加熱用抵抗を用いて
この排気管の先端を融点まで加熱する。この加熱用抵抗
は、排気管の先端の周囲に一種の炉を形成する耐火容器
内に収められている。一般に、加熱操作は、大きく3工
程に分けられる。すなわち、予熱、融解、アニールの3
工程である。各操作は、製造ラインに沿って連続的に配
置された複数の処理ステーションで実施される。真空管
と、排気管の先端の加熱装置は、運搬車により各処理ス
テーション間を移動する。各処理ステーションで運搬車
が停止して、所定の電力量が、電力発生装置からすべり
接触装置を介して、運搬車に載せられている加熱装置に
供給される。供給される電力の値は、排気管の先端の達
する温度により決まる。ところで、排気管の先端の加熱
温度は、石英製の標準的排気管の先端を使用する確立さ
れた方法に従って前もって決めておく。
発明が解決しようとする問題点 上記の従来の方法には2つの大きな欠点がある。各処
理ステーションにおいて、すべり接触装置の抵抗値と導
線の抵抗値がまちまちであるだけでなく、加熱用抵抗自
体も老化のために値がそれぞれ異なるため、処理ステー
ションごとに所望の加熱温度を保証することは不可能で
ある。従って、各処理ステーションにおける温度調節が
うまく行えないので、封止後に排気管の先端が破損した
り脆化したりする危険性がある。さらに、何らかの理由
で運搬車がそれぞれの処理ステーションに予定よりも長
い時間とどまる場合には、運搬車の実際の位置と熱処理
操作との間の同期性が失われる可能性がある。この場
合、あらかじめ決めらてている操作手順通りに事が運ば
なくなってしまう。
理ステーションにおいて、すべり接触装置の抵抗値と導
線の抵抗値がまちまちであるだけでなく、加熱用抵抗自
体も老化のために値がそれぞれ異なるため、処理ステー
ションごとに所望の加熱温度を保証することは不可能で
ある。従って、各処理ステーションにおける温度調節が
うまく行えないので、封止後に排気管の先端が破損した
り脆化したりする危険性がある。さらに、何らかの理由
で運搬車がそれぞれの処理ステーションに予定よりも長
い時間とどまる場合には、運搬車の実際の位置と熱処理
操作との間の同期性が失われる可能性がある。この場
合、あらかじめ決めらてている操作手順通りに事が運ば
なくなってしまう。
本発明は、運搬車が処理ステーションに必要以上の時
間とどまっている場合でも各処理ステーションにおいて
所望の温度を保証することのできる排気管の先端の封止
方法およびそのための装置を提供することを目的とす
る。
間とどまっている場合でも各処理ステーションにおいて
所望の温度を保証することのできる排気管の先端の封止
方法およびそのための装置を提供することを目的とす
る。
問題点を解決するための手段 本発明の排気管の先端の封止方法によれば、各加熱段
階ごとに、排気管の先端の加熱装置に供給する電力を一
定値に調節する。
階ごとに、排気管の先端の加熱装置に供給する電力を一
定値に調節する。
本発明の装置は、真空管特に陰極線管の製造ラインに
おいて陰極線管を排気および処理する機械の下流に配置
されており、複数の処理ステーションにおいて、例えば
電流供給レールを介して、適当な排気管の先端加熱装置
が取り付けられた真空管運搬車と協働する電力供給装置
を備える。この電力供給装置は、各処理ステーションに
所定の電力値を実現する中央制御装置により制御される
電力発生装置を備える。
おいて陰極線管を排気および処理する機械の下流に配置
されており、複数の処理ステーションにおいて、例えば
電流供給レールを介して、適当な排気管の先端加熱装置
が取り付けられた真空管運搬車と協働する電力供給装置
を備える。この電力供給装置は、各処理ステーションに
所定の電力値を実現する中央制御装置により制御される
電力発生装置を備える。
本発明の有利な特徴によれば、上記中央制御装置は、
処理ステーションに所定時間以上真空管が停止している
ことを検出する手段と、停止時間が所定値を超える処理
ステーションにおける設定電力値を次の設定値に変更す
る手段と協働する。
処理ステーションに所定時間以上真空管が停止している
ことを検出する手段と、停止時間が所定値を超える処理
ステーションにおける設定電力値を次の設定値に変更す
る手段と協働する。
本発明は、添付の図面に示した実施例に関する以下の
詳細な説明により、よりよく理解できよう。なお、本発
明が実施例に限定されることはない。
詳細な説明により、よりよく理解できよう。なお、本発
明が実施例に限定されることはない。
実施例 テレビ受像機の陰極線管の製造に関連して、特に排気
管の先端の封止段階に関連して本発明を以下に説明する
が、適当な電気炉を用いて排気管の先端を封止する必要
のある他のあらゆるタイプの真空管を製造する際にも本
発明を応用することができる。
管の先端の封止段階に関連して本発明を以下に説明する
が、適当な電気炉を用いて排気管の先端を封止する必要
のある他のあらゆるタイプの真空管を製造する際にも本
発明を応用することができる。
一般に、排気管の先端封止工程は、同一の進路に沿っ
て移動する複数の陰極線管運搬車により行われる。この
進路の始点において陰極線管が運搬車に載せられる。続
いて陰極線管は、連続的な種々の処理ステーションに運
ばれ熱処理を施された後、ポンプで内部排気がなされ
る。陰極線管内の真空度が十分よくなった時点で、運搬
車が他のいくつかの処理ステーションに移動し、ここで
先端を封止する種々の処理が行われる。
て移動する複数の陰極線管運搬車により行われる。この
進路の始点において陰極線管が運搬車に載せられる。続
いて陰極線管は、連続的な種々の処理ステーションに運
ばれ熱処理を施された後、ポンプで内部排気がなされ
る。陰極線管内の真空度が十分よくなった時点で、運搬
車が他のいくつかの処理ステーションに移動し、ここで
先端を封止する種々の処理が行われる。
これらの処理は、一般に8〜12段階に分けられる。封
止は、排気管の先端を取り囲むように前もって設置して
ある環状の小さな電気炉を用いて行う。この電気炉に
は、すべり接触装置を介して電力が供給される。このす
べり接触装置は運搬車上に取り付けられており、固定さ
れたレールとこすれ合う。
止は、排気管の先端を取り囲むように前もって設置して
ある環状の小さな電気炉を用いて行う。この電気炉に
は、すべり接触装置を介して電力が供給される。このす
べり接触装置は運搬車上に取り付けられており、固定さ
れたレールとこすれ合う。
電気供給レールには、第1図に関連して以下に説明す
る装置から電力が供給される。
る装置から電力が供給される。
電力供給装置1は、すべり接触装置2を介して排気管
の先端封止用炉(図示せず)の加熱用抵抗3に電力を供
給する。図面を見やすくするため、すべり接触装置と加
熱用抵抗はそれぞれ1つしか描いていない。
の先端封止用炉(図示せず)の加熱用抵抗3に電力を供
給する。図面を見やすくするため、すべり接触装置と加
熱用抵抗はそれぞれ1つしか描いていない。
電力供給装置1は中央処理装置4を備えている。この
中央制御装置4の出力バス5は、封止処理ステーション
と同数のインターフェース6に接続されている。図面上
にはインターフェースのうちの1つのみが示されてい
る。
中央制御装置4の出力バス5は、封止処理ステーション
と同数のインターフェース6に接続されている。図面上
にはインターフェースのうちの1つのみが示されてい
る。
インターフェースは、電力発生装置7への制御電流供
給用のD/A変換器6である。制御電流は、例えば0〜20m
Aの間の値をとる。D/A変換器6から供給される制御電流
が0〜20mAの間で変化すると、電力発生装置7は例えば
0〜700Wの電力を発生する。この電力発生装置7は、す
べり接触装置2を介して対応する加熱用抵抗3に電力を
供給する。
給用のD/A変換器6である。制御電流は、例えば0〜20m
Aの間の値をとる。D/A変換器6から供給される制御電流
が0〜20mAの間で変化すると、電力発生装置7は例えば
0〜700Wの電力を発生する。この電力発生装置7は、す
べり接触装置2を介して対応する加熱用抵抗3に電力を
供給する。
条件設定装置8が封止処理ステーションと同数設けら
れている。各条件設定装置8は1本のバス9に結合され
ている。このバス9は、適当な入出力インターフェース
10を介して中央制御装置4に接続されている。条件設定
装置8は、例えば手動選択方式の符号化されたホイール
である。このホイールを用いて、対応する電極発生装置
7から加熱用抵抗に供給する電力設定値を調節する。条
件設定装置8を用いて予め選択される設定値は、対応す
る電力発生装置7(各電力発生装置7はすべて同じもの
である)から供給される最大電力の百分率とすることが
望ましい。本実施例においては、排気管の先端は12段階
の操作で封止される。各段階での時間はすべて等しい。
これら12段階のそれぞれは、対応する処理ステーション
で実施される。各段階での時間はすべて等しく、各段階
において対応する加熱抵抗3に供給される電力は、中央
制御装置4によって、対応する条件設定装置8で選択さ
れた設定値に調節されるため、各処理ステーションごと
に、温度の代わりに、適当な加熱用電力を決定すること
ができる。
れている。各条件設定装置8は1本のバス9に結合され
ている。このバス9は、適当な入出力インターフェース
10を介して中央制御装置4に接続されている。条件設定
装置8は、例えば手動選択方式の符号化されたホイール
である。このホイールを用いて、対応する電極発生装置
7から加熱用抵抗に供給する電力設定値を調節する。条
件設定装置8を用いて予め選択される設定値は、対応す
る電力発生装置7(各電力発生装置7はすべて同じもの
である)から供給される最大電力の百分率とすることが
望ましい。本実施例においては、排気管の先端は12段階
の操作で封止される。各段階での時間はすべて等しい。
これら12段階のそれぞれは、対応する処理ステーション
で実施される。各段階での時間はすべて等しく、各段階
において対応する加熱抵抗3に供給される電力は、中央
制御装置4によって、対応する条件設定装置8で選択さ
れた設定値に調節されるため、各処理ステーションごと
に、温度の代わりに、適当な加熱用電力を決定すること
ができる。
第2図に示したグラフからわかるように、本発明の封
止方法は連続した3つの工程からなる。すなわち、予
熱、融解、アニールの3工程である。各工程は、さらに
4段階からなる。封止の直前に陰極線管は熱処理を受け
るので、第1の加熱ステーションの温度は、陰極線管、
特にその先端がこの処理ステーションに到着した時の温
度と同じかそれよりもわずかに高い温度に設定される。
第2図に示した実施例においては、この温度は電力発生
装置7から得られる最大電力の約22%に相当する。次い
で、加熱用抵抗3に供給する電力を少しずつ増加させて
いき、処理ステーション6と7において最大電力の約60
%に相当する最大値となるようにする。次いでこの電力
を減少させていき、処理ステーション12では、処理ステ
ーション1に設定された値よりもわずかに少ない値に達
するようにする。各処理ステーションについて定められ
る電力値の包絡線である連続曲線12は、この封止工程中
の排気管の先端の温度変化にほぼ対応している。しか
し、各処理ステーションにおいて、電力は不変の設定値
に調節されている。もちろん、各処理ステーションにお
ける温度は、知られている値である。これらの値は、先
に説明したように、従来の機械では制御するのが難しい
が、本発明の方法を用いると容易に、しかも確実に得ら
れる。これらの温度を得るのに必要とされる電力は、当
業者には明らかな方法で、連続的試行により決定され
る。
止方法は連続した3つの工程からなる。すなわち、予
熱、融解、アニールの3工程である。各工程は、さらに
4段階からなる。封止の直前に陰極線管は熱処理を受け
るので、第1の加熱ステーションの温度は、陰極線管、
特にその先端がこの処理ステーションに到着した時の温
度と同じかそれよりもわずかに高い温度に設定される。
第2図に示した実施例においては、この温度は電力発生
装置7から得られる最大電力の約22%に相当する。次い
で、加熱用抵抗3に供給する電力を少しずつ増加させて
いき、処理ステーション6と7において最大電力の約60
%に相当する最大値となるようにする。次いでこの電力
を減少させていき、処理ステーション12では、処理ステ
ーション1に設定された値よりもわずかに少ない値に達
するようにする。各処理ステーションについて定められ
る電力値の包絡線である連続曲線12は、この封止工程中
の排気管の先端の温度変化にほぼ対応している。しか
し、各処理ステーションにおいて、電力は不変の設定値
に調節されている。もちろん、各処理ステーションにお
ける温度は、知られている値である。これらの値は、先
に説明したように、従来の機械では制御するのが難しい
が、本発明の方法を用いると容易に、しかも確実に得ら
れる。これらの温度を得るのに必要とされる電力は、当
業者には明らかな方法で、連続的試行により決定され
る。
本発明の有利な特徴によれば、封止機械の各処理ステ
ーションは、運搬車がその処理ステーションに到着した
ときにオンになるスイッチ13を備えている。このスイッ
チ13は、ディジタルカウンタで作られるタイマー14の禁
止入力に接続されている。スイッチ13は、対応する処理
ステーションに運搬車がないときにタイマー14を停止さ
せ、運搬車がステーションに到着すると直ちにタイマー
14は作動させる。Tを、運搬車がある1つの処理ステー
ションに留まっていなければならない最大の時間とする
(例えばT=30秒であり、この時間は全ての処理ステー
ションにおいて等しい)。時間Tに対応するタイマー14
の状態出力は、オアゲート15を介して、中央制御装置4
のRAM17にアドレスするカウンタ16のクロック入力と、
タイマー14のゼロリセット入力RSに接続される。スイッ
チ13はまた、インバータ18を介してオアゲート15の別の
入力に接続されており、運搬車がこの処理ステーション
を去ったときにクロックパルスがアドレスカウンタ16に
送られる。RAM17は封止工程における種々の電力設定値
を記憶して、その値をバス5に送る。これらの種々の設
定値は、もちろん、対応するD/A変換器6にも送られ
る。図面を見やすくするため、タイマー14は1つのみ示
した。このタイマー14に対応するオアゲート15とインバ
ータ18も図示されている。正常に動作している場合に
は、運搬車が処理ステーションの1つに到着すると、対
応するスイッチ13がタイマー14(前もってリセットして
ある)を作動させ、タイマー14は計時を始める。所定の
運搬車が到着するとアドレスカウンタ16がRAM17をアド
レス設定し、RAM17からは12個あるD/A変換器6のおのお
のに対応する設定値が出力される。動作がうまくいって
いる場合、すなわち、(Tよりも短い)通常の処理時間
が経過して、運搬車がその処理ステーションを去って次
の処理ステーションに向かう場合には、スイッチ13がオ
フとなって、ゲート18と15を介して、アドレスカウンタ
16にクロックパルスが送られる。このクロックパルス
は、RAM17に関する全アドレスを1単位だけシフトさせ
る。この結果、封止工程は予定通り進行して、タイマー
14はゼロにリセットされる。
ーションは、運搬車がその処理ステーションに到着した
ときにオンになるスイッチ13を備えている。このスイッ
チ13は、ディジタルカウンタで作られるタイマー14の禁
止入力に接続されている。スイッチ13は、対応する処理
ステーションに運搬車がないときにタイマー14を停止さ
せ、運搬車がステーションに到着すると直ちにタイマー
14は作動させる。Tを、運搬車がある1つの処理ステー
ションに留まっていなければならない最大の時間とする
(例えばT=30秒であり、この時間は全ての処理ステー
ションにおいて等しい)。時間Tに対応するタイマー14
の状態出力は、オアゲート15を介して、中央制御装置4
のRAM17にアドレスするカウンタ16のクロック入力と、
タイマー14のゼロリセット入力RSに接続される。スイッ
チ13はまた、インバータ18を介してオアゲート15の別の
入力に接続されており、運搬車がこの処理ステーション
を去ったときにクロックパルスがアドレスカウンタ16に
送られる。RAM17は封止工程における種々の電力設定値
を記憶して、その値をバス5に送る。これらの種々の設
定値は、もちろん、対応するD/A変換器6にも送られ
る。図面を見やすくするため、タイマー14は1つのみ示
した。このタイマー14に対応するオアゲート15とインバ
ータ18も図示されている。正常に動作している場合に
は、運搬車が処理ステーションの1つに到着すると、対
応するスイッチ13がタイマー14(前もってリセットして
ある)を作動させ、タイマー14は計時を始める。所定の
運搬車が到着するとアドレスカウンタ16がRAM17をアド
レス設定し、RAM17からは12個あるD/A変換器6のおのお
のに対応する設定値が出力される。動作がうまくいって
いる場合、すなわち、(Tよりも短い)通常の処理時間
が経過して、運搬車がその処理ステーションを去って次
の処理ステーションに向かう場合には、スイッチ13がオ
フとなって、ゲート18と15を介して、アドレスカウンタ
16にクロックパルスが送られる。このクロックパルス
は、RAM17に関する全アドレスを1単位だけシフトさせ
る。この結果、封止工程は予定通り進行して、タイマー
14はゼロにリセットされる。
運搬車が時間T経過後も上記の処理ステーションを離
れない場合には、タイマー14からアドレスカウンタ16に
クロックパルスを送る。このクロックパルスによりアド
レスカウンタ16のアドレス状態が変わり、タイマー14は
ゼロにリセットされる。すなわち、アドレスカウンタ16
のアドレス状態は運搬車がこの処理ステーションを既に
去ってしまった状態と同じになり、前に説明した状態に
戻る。時間2Tが経過しても運搬車がまだこの処理ステー
ションにとどまっている場合には、アドレスカウンタ16
に新たなクロックパルスが入力されて、このアドレスカ
ウンタ16のアドレスが再びシフトされる。この人為的ア
ドレスシフトは、第1の処理ステーションの運搬車の陰
極線管が予定された12段階の封止処理を終了するまで続
けられる。第12段階の処理終了後も運搬車が停止したま
まになっている場合には、この人為的アドレスシフトは
停止する。もちろん、タイマー14、オアゲート15、イン
バータ18の代わりに、同等な手段、特に、中央制御装置
4の一部を構成している手段を用いることが可能であ
る。
れない場合には、タイマー14からアドレスカウンタ16に
クロックパルスを送る。このクロックパルスによりアド
レスカウンタ16のアドレス状態が変わり、タイマー14は
ゼロにリセットされる。すなわち、アドレスカウンタ16
のアドレス状態は運搬車がこの処理ステーションを既に
去ってしまった状態と同じになり、前に説明した状態に
戻る。時間2Tが経過しても運搬車がまだこの処理ステー
ションにとどまっている場合には、アドレスカウンタ16
に新たなクロックパルスが入力されて、このアドレスカ
ウンタ16のアドレスが再びシフトされる。この人為的ア
ドレスシフトは、第1の処理ステーションの運搬車の陰
極線管が予定された12段階の封止処理を終了するまで続
けられる。第12段階の処理終了後も運搬車が停止したま
まになっている場合には、この人為的アドレスシフトは
停止する。もちろん、タイマー14、オアゲート15、イン
バータ18の代わりに、同等な手段、特に、中央制御装置
4の一部を構成している手段を用いることが可能であ
る。
第1図は、本発明の電力供給装置のブロック図である。 第2図は、第1図の電力供給装置から排気管の先端封止
装置の各処理ステーションに供給される電力のレベルの
典型的グラフである。 1……電力供給装置、2……すべり接触装置、3……加
熱用抵抗、4……中央制御装置、5,9……バス、6……D
/A変換器、7……電力発生装置、8……条件設定装置、
10……入出力インターフェース、13……スイッチ、14…
…タイマー、15……オアゲート、16……アドレスカウン
タ、17……RAM、18……インバータ。
装置の各処理ステーションに供給される電力のレベルの
典型的グラフである。 1……電力供給装置、2……すべり接触装置、3……加
熱用抵抗、4……中央制御装置、5,9……バス、6……D
/A変換器、7……電力発生装置、8……条件設定装置、
10……入出力インターフェース、13……スイッチ、14…
…タイマー、15……オアゲート、16……アドレスカウン
タ、17……RAM、18……インバータ。
Claims (5)
- 【請求項1】製造ラインの進路上に配置された複数個の
処理ステーションでの複数個の連続的加熱段階より成
る、真空管の排気管の先端の封止方法であって、指定さ
れた各加熱時間ごとに、排気管の先端加熱装置に伝えら
れる加熱電力は一定の設定値に調節され、ある1つの処
理ステーションにおいて1つの真空管が指定された時間
を超えて停止した場合、この真空管および前進が妨げら
れているそれぞれの真空管の次の段階の加熱処理は、製
造ラインの障害が取り除かれるまで、それぞれの真空管
が置かれている処理ステーションで施され、また、第1
の処理ステーションに置かれている真空管にすべての段
階の処理がすでに施されている場合、製造ラインが停止
される、前記排気管の先端の封止方法。 - 【請求項2】前記真空管が陰極線管である、特許請求の
範囲第1項に記載の封止方法。 - 【請求項3】製造ラインにおいて封止する前に真空管を
排気および処理する機械の下流に配置されている、真空
管の排気管の先端の封止装置であって、該封止装置は、
複数の処理ステーションにおいて、例えば電流供給レー
ルを介して、適当な排気管の先端加熱用装置を取り付け
た真空管運搬車と協働する電力供給装置を含み、該電極
供給装置は、各処理ステーションごとに所定の電力設定
値を定める中央制御装置により制御され調節される電力
発生装置を備えており、前記中央制御装置は、処理ステ
ーションに真空管が所定の時間を超えて停止しているこ
とを検出する手段と協働し、且つ真空管の停止時間が所
定値を超えた場合に各処理ステーションの電力設定値を
次に続く設定値に変更させる手段と協働する、前記排気
管の先端の封止装置。 - 【請求項4】前記真空管が陰極線管である、特許請求の
範囲第3項に記載の封止装置。 - 【請求項5】前記所定の時間を超えて停止していること
を検出する手段が、設定された所定値に等しい時間が経
過するたびに、または真空管が処理ステーションを離れ
るやいなや、ゼロにリセットされ、真空管が処理ステー
ションに存在していないときには非動作状態となる計数
器を備えている、特許請求の範囲第3項に記載の排気管
の先端の封止装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8608650A FR2600211B1 (fr) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | Procede de scellement de queusots de tubes a vide, en particulier de tubes cathodiques, et machine de mise en oeuvre |
FR8608650 | 1986-06-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS632225A JPS632225A (ja) | 1988-01-07 |
JP2640744B2 true JP2640744B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=9336353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62150081A Expired - Lifetime JP2640744B2 (ja) | 1986-06-16 | 1987-06-16 | 真空管の排気管の先端の封止方法およびそのための装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4795392A (ja) |
EP (1) | EP0250302B1 (ja) |
JP (1) | JP2640744B2 (ja) |
DE (1) | DE3764408D1 (ja) |
FR (1) | FR2600211B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 1986-06-16 FR FR8608650A patent/FR2600211B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-06-12 DE DE8787401325T patent/DE3764408D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-12 EP EP87401325A patent/EP0250302B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1987-06-15 US US07/061,471 patent/US4795392A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-16 JP JP62150081A patent/JP2640744B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0250302A1 (fr) | 1987-12-23 |
FR2600211A1 (fr) | 1987-12-18 |
DE3764408D1 (de) | 1990-09-27 |
US4795392A (en) | 1989-01-03 |
JPS632225A (ja) | 1988-01-07 |
FR2600211B1 (fr) | 1994-05-13 |
EP0250302B1 (fr) | 1990-08-22 |
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