JP2638502B2 - アナログ集積回路の故障診断装置 - Google Patents
アナログ集積回路の故障診断装置Info
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- JP2638502B2 JP2638502B2 JP6226314A JP22631494A JP2638502B2 JP 2638502 B2 JP2638502 B2 JP 2638502B2 JP 6226314 A JP6226314 A JP 6226314A JP 22631494 A JP22631494 A JP 22631494A JP 2638502 B2 JP2638502 B2 JP 2638502B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アナログ集積回路の故
障診断装置に関し、特に配線に流れる電流を観測するこ
とによりアナログ集積回路の故障箇所を調べる故障診断
装置に関する。
障診断装置に関し、特に配線に流れる電流を観測するこ
とによりアナログ集積回路の故障箇所を調べる故障診断
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のアナログ集積回路の故障診断装置
は、作製されたアナログ集積回路が設計通りに動作しな
いとき、その原因を追求し、改善を計る目的のために使
用されている。図５は、従来のアナログ集積回路の故障
診断装置の一例を示す図である。被測定アナログ集積回
路デバイス１０５の集積回路チップ１０３の適当な箇所
に物理的に探針１０４を接触させる。測定器１０１は探
針１０４に接続され、探針１０４が接触している部分の
電圧が測定可能である。デバイス駆動システム１０２は
集積回路デバイス１０５を動作させテストするための電
圧、電流、信号を発生する。
は、作製されたアナログ集積回路が設計通りに動作しな
いとき、その原因を追求し、改善を計る目的のために使
用されている。図５は、従来のアナログ集積回路の故障
診断装置の一例を示す図である。被測定アナログ集積回
路デバイス１０５の集積回路チップ１０３の適当な箇所
に物理的に探針１０４を接触させる。測定器１０１は探
針１０４に接続され、探針１０４が接触している部分の
電圧が測定可能である。デバイス駆動システム１０２は
集積回路デバイス１０５を動作させテストするための電
圧、電流、信号を発生する。
【０００３】次に動作を説明する。デバイス駆動システ
ム１０２を集積回路デバイス１０５の機能をテストする
条件で動作させる。このとき探針１０４を接触させた部
分の電圧を測定器１０１により観測する。このデータを
もとに回路内部の各配線の配線に流れる電流の状態を知
る。この状態と、設計データとの比較、あるいは正常に
動作している同等の集積回路との比較により故障診断を
行う。
ム１０２を集積回路デバイス１０５の機能をテストする
条件で動作させる。このとき探針１０４を接触させた部
分の電圧を測定器１０１により観測する。このデータを
もとに回路内部の各配線の配線に流れる電流の状態を知
る。この状態と、設計データとの比較、あるいは正常に
動作している同等の集積回路との比較により故障診断を
行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のアナログ集
積回路の故障診断装置では探針を物理的に被測定回路に
接触させる必要があり、集積回路の高集積化に伴い、希
望する箇所へ探針を立てることが難しくなっている。ま
た、探針自身が被測定回路に対して負荷となり回路の動
作に影響を与えるきらいがある。さらに探針を立てるこ
とで被測定回路自身を破壊してしまう問題がある。
積回路の故障診断装置では探針を物理的に被測定回路に
接触させる必要があり、集積回路の高集積化に伴い、希
望する箇所へ探針を立てることが難しくなっている。ま
た、探針自身が被測定回路に対して負荷となり回路の動
作に影響を与えるきらいがある。さらに探針を立てるこ
とで被測定回路自身を破壊してしまう問題がある。
【０００５】本発明の目的は、上記問題点を解決するた
め、物理的に被測定回路に接触することなく、被測定回
路の各部電流を測定することにより故障診断を行うこと
にある。
め、物理的に被測定回路に接触することなく、被測定回
路の各部電流を測定することにより故障診断を行うこと
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明は、
エネルギービームを発生するエネルギービーム発生器
と、前記エネルギービーム発生器からのエネルギービー
ムを受け、ビームを走査するエネルギービーム走査器
と、被測定デバイスを安定に積載する資料台と、定電圧
を発生させる定電圧源と、前記定電圧を受け被測定デバ
イスに定電圧を供給し、このときの供給電流を観測し、
その変動値を増幅する変動電流検出／増幅器と、前記エ
ネルギービーム発生器からのエネルギービーム発生情報
と、エネルギービーム走査器からのエネルギービーム照
射位置情報を受け、変動電流検出／増幅器からの被測定
デバイスへの供給電流の変動値をエネルギービーム照射
位置毎に輝度情報とするシステム制御／信号処理ユニッ
トと、前記システム制御／信号処理ユニットからのエネ
ルギービーム照射位置情報と輝度情報により像を表示す
るＣＲＴと、被測定デバイスに、テスト信号を印加する
信号発生器とから構成されることを特徴としている。
エネルギービームを発生するエネルギービーム発生器
と、前記エネルギービーム発生器からのエネルギービー
ムを受け、ビームを走査するエネルギービーム走査器
と、被測定デバイスを安定に積載する資料台と、定電圧
を発生させる定電圧源と、前記定電圧を受け被測定デバ
イスに定電圧を供給し、このときの供給電流を観測し、
その変動値を増幅する変動電流検出／増幅器と、前記エ
ネルギービーム発生器からのエネルギービーム発生情報
と、エネルギービーム走査器からのエネルギービーム照
射位置情報を受け、変動電流検出／増幅器からの被測定
デバイスへの供給電流の変動値をエネルギービーム照射
位置毎に輝度情報とするシステム制御／信号処理ユニッ
トと、前記システム制御／信号処理ユニットからのエネ
ルギービーム照射位置情報と輝度情報により像を表示す
るＣＲＴと、被測定デバイスに、テスト信号を印加する
信号発生器とから構成されることを特徴としている。
【０００７】本発明の第２の発明は、第１の発明におい
て、被測定デバイスの温度を一定とする温度制御ユニッ
トを有することを特徴とする。
て、被測定デバイスの温度を一定とする温度制御ユニッ
トを有することを特徴とする。
【０００８】本発明の第３の発明は、第１の発明におい
て、被測定デバイスのチップのレイアウト情報を格納し
たレイアウト情報記憶手段と、前記レイアウト情報から
エネルギービームを制御するゲート信号を発生するゲー
ト信号発生器と、前記ゲート信号を受けエネルギービー
ムの発生を制御するエネルギービーム発生器と、エネル
ギービーム走査器を有することを特徴とする。
て、被測定デバイスのチップのレイアウト情報を格納し
たレイアウト情報記憶手段と、前記レイアウト情報から
エネルギービームを制御するゲート信号を発生するゲー
ト信号発生器と、前記ゲート信号を受けエネルギービー
ムの発生を制御するエネルギービーム発生器と、エネル
ギービーム走査器を有することを特徴とする。
【０００９】本発明の第４の発明は、第１の発明におい
て、被測定デバイスのチップのレイアウト情報を格納し
たレイアウト情報記憶手段と、前記レイアウト情報と、
エネルギービーム走査器からのビーム照射位置情報とか
ら、被測定デバイスのチップ上でビーム照射位置が配線
領域にあることを知らせるゲート信号を発生するゲート
信号発生器と、前記ゲート信号を受け、エネルギービー
ムが前記配線領域を照射しているときのみ変動電流検出
／増幅器からの信号を処理するシステム制御／信号処理
ユニットを有することを特徴とする。また本発明の第１
〜第４の発明のエネルギービーム発生器として、レーザ
ビーム発生器、電子ビーム発生器、粒子ビーム発生器、
イオンビーム発生器のいずれかを用いることができる。
て、被測定デバイスのチップのレイアウト情報を格納し
たレイアウト情報記憶手段と、前記レイアウト情報と、
エネルギービーム走査器からのビーム照射位置情報とか
ら、被測定デバイスのチップ上でビーム照射位置が配線
領域にあることを知らせるゲート信号を発生するゲート
信号発生器と、前記ゲート信号を受け、エネルギービー
ムが前記配線領域を照射しているときのみ変動電流検出
／増幅器からの信号を処理するシステム制御／信号処理
ユニットを有することを特徴とする。また本発明の第１
〜第４の発明のエネルギービーム発生器として、レーザ
ビーム発生器、電子ビーム発生器、粒子ビーム発生器、
イオンビーム発生器のいずれかを用いることができる。
【００１０】
【作用】本発明によるアナログ集積回路の故障診断装置
は、被測定回路中の各部配線を流れる静的な電流値を物
理的に被接触な手法で観測することにより故障箇所を検
出、特定することを可能とする。通常、回路を変更せず
に回路各部分の電流を観測することは困難であるが、本
発明ではエネルギービームを照射することにより生じる
照射部の温度上昇を利用することにより、集積回路中の
配線の電気抵抗値を局所的に微小にに変化させている、
このことにより生じる供給電流の変動を検出することに
より回路中の配線に流れる電流を観測する。さらに配線
の電気抵抗値を局所的に変化させる部分を走査していく
ことで回路中を流れる電流の様子を像として得ることを
可能とする。こうして得た電流像を正常な回路における
電流像と比較、あるいは、設計値を参照することで故障
箇所の特定を行う。
は、被測定回路中の各部配線を流れる静的な電流値を物
理的に被接触な手法で観測することにより故障箇所を検
出、特定することを可能とする。通常、回路を変更せず
に回路各部分の電流を観測することは困難であるが、本
発明ではエネルギービームを照射することにより生じる
照射部の温度上昇を利用することにより、集積回路中の
配線の電気抵抗値を局所的に微小にに変化させている、
このことにより生じる供給電流の変動を検出することに
より回路中の配線に流れる電流を観測する。さらに配線
の電気抵抗値を局所的に変化させる部分を走査していく
ことで回路中を流れる電流の様子を像として得ることを
可能とする。こうして得た電流像を正常な回路における
電流像と比較、あるいは、設計値を参照することで故障
箇所の特定を行う。
【００１１】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１２】図１は第１の発明の一実施例を示す装置構
成図である。
成図である。
【００１３】図１においてエネルギービーム走査器２は
エネルギービーム発生器１よりエネルギービームを受け
て被測定デバイス７に照射する。システム制御／信号処
理ユニット４はエネルギービーム走査器２からビーム照
射位置情報を受け、またエネルギービーム発生器１から
のエネルギービーム発生情報を受け、また変動電流検出
／増幅器６からのデータも受ける。そして、信号処理の
結果をＣＲＴ３に表示する。被測定デバイス７は資料台
８に載せられ安定に保持される。変動電流検出／増幅器
６は定電圧源５から定電圧を受け被測定デバイス７に供
給する。また被測定デバイス７への供給電流の変動情報
を受け取り、システム制御／信号処理ユニット４に送
る。信号発生器１０はテスト信号を発生し被測定デバイ
スに印加する。
エネルギービーム発生器１よりエネルギービームを受け
て被測定デバイス７に照射する。システム制御／信号処
理ユニット４はエネルギービーム走査器２からビーム照
射位置情報を受け、またエネルギービーム発生器１から
のエネルギービーム発生情報を受け、また変動電流検出
／増幅器６からのデータも受ける。そして、信号処理の
結果をＣＲＴ３に表示する。被測定デバイス７は資料台
８に載せられ安定に保持される。変動電流検出／増幅器
６は定電圧源５から定電圧を受け被測定デバイス７に供
給する。また被測定デバイス７への供給電流の変動情報
を受け取り、システム制御／信号処理ユニット４に送
る。信号発生器１０はテスト信号を発生し被測定デバイ
スに印加する。
【００１４】次に図１の回路の動作について説明する。
エネルギービーム発生器１で発生されたエネルギービー
ムは、エネルギービーム走査器２に導入される。エネル
ギービーム走査器２はこのビームを細く絞り込み（例え
ば直径１μm 以下）被測定デバイス７の被測定チップ上
に走査しながら照射する。定電圧源５で作成された定電
圧は変動電流検出／増幅器６を通して被測定デバイス７
に供給される。信号発生器１０は被測定デバイス７に対
するテスト信号を発生し被測定デバイス７に印加する。
エネルギービームが被測定チップ上に照射されると照射
部の温度が上昇するが、照射部が配線領域であった場
合、照射部の電気抵抗は局所的な温度上昇に伴い増加す
る。この配線の電気抵抗の増加は、当該配線に電流が流
れていた場合、定電圧源５からの供給電流に変動を与え
る。この変動電流を、変動電流検出／増幅器６によって
観測し、その情報をシステム制御／信号処理ユニット４
に送る。さらにシステム制御／信号処理ユニット４はエ
ネルギービーム発生器１及びエネルギービーム走査器２
からエネルギービームの照射情報を受け変動電流の大き
さを輝度としてビームの照射位置毎にＣＲＴ３上に表示
する。電流が流れている配線領域にエネルギービームが
照射されたときには被測定デバイス７への供給電流が変
動し、電流が流れていない配線領域にエネルギービーム
が照射されたときには被測定デバイス７への供給電流は
変化しないため電流が流れている配線がＣＲＴ３上に像
として表示される。
エネルギービーム発生器１で発生されたエネルギービー
ムは、エネルギービーム走査器２に導入される。エネル
ギービーム走査器２はこのビームを細く絞り込み（例え
ば直径１μm 以下）被測定デバイス７の被測定チップ上
に走査しながら照射する。定電圧源５で作成された定電
圧は変動電流検出／増幅器６を通して被測定デバイス７
に供給される。信号発生器１０は被測定デバイス７に対
するテスト信号を発生し被測定デバイス７に印加する。
エネルギービームが被測定チップ上に照射されると照射
部の温度が上昇するが、照射部が配線領域であった場
合、照射部の電気抵抗は局所的な温度上昇に伴い増加す
る。この配線の電気抵抗の増加は、当該配線に電流が流
れていた場合、定電圧源５からの供給電流に変動を与え
る。この変動電流を、変動電流検出／増幅器６によって
観測し、その情報をシステム制御／信号処理ユニット４
に送る。さらにシステム制御／信号処理ユニット４はエ
ネルギービーム発生器１及びエネルギービーム走査器２
からエネルギービームの照射情報を受け変動電流の大き
さを輝度としてビームの照射位置毎にＣＲＴ３上に表示
する。電流が流れている配線領域にエネルギービームが
照射されたときには被測定デバイス７への供給電流が変
動し、電流が流れていない配線領域にエネルギービーム
が照射されたときには被測定デバイス７への供給電流は
変化しないため電流が流れている配線がＣＲＴ３上に像
として表示される。
【００１５】本発明のアナログ集積回路の故障診断装置
を用いて、被測定デバイスの故障診断をする方法として
は、設計情報から回路が正常に動作している時の回路各
部の各電流値と、本発明を使用することで、被測定デバ
イスにおいてどの配線に電流が流れているかどうかを観
測することが可能なため、両者を比較することで、被測
定デバイスにおける故障箇所を診断することが可能とな
る。あるいは、正常動作している同等のデバイスに対
し、同一条件で観測を行い故障デバイスの観測結果と比
較することで故障箇所を診断することが可能となる。こ
の診断は設計値と観測値、あるいは正常なデバイスの電
流値と異常なデバイスの電流値との単純な比較なので短
時間での故障の診断が可能である。また、故障箇所が直
接異常な電流が流れる配線に結び付くことが多く、これ
ら電流値の比較により正確な診断が可能となる。さらに
エネルギービームを照射、走査しながら電流値を観測す
るという単純な構成のため、簡易な故障診断装置が実現
可能である。
を用いて、被測定デバイスの故障診断をする方法として
は、設計情報から回路が正常に動作している時の回路各
部の各電流値と、本発明を使用することで、被測定デバ
イスにおいてどの配線に電流が流れているかどうかを観
測することが可能なため、両者を比較することで、被測
定デバイスにおける故障箇所を診断することが可能とな
る。あるいは、正常動作している同等のデバイスに対
し、同一条件で観測を行い故障デバイスの観測結果と比
較することで故障箇所を診断することが可能となる。こ
の診断は設計値と観測値、あるいは正常なデバイスの電
流値と異常なデバイスの電流値との単純な比較なので短
時間での故障の診断が可能である。また、故障箇所が直
接異常な電流が流れる配線に結び付くことが多く、これ
ら電流値の比較により正確な診断が可能となる。さらに
エネルギービームを照射、走査しながら電流値を観測す
るという単純な構成のため、簡易な故障診断装置が実現
可能である。
【００１６】図２は第２の発明の一実施例を示す。
【００１７】図２では資料台８に温度制御ユニット９が
接続されている。温度制御ユニット９により被測定デバ
イス７のチップの温度が一定に保たれる。本発明ではエ
ネルギービームの照射による照射部の温度変化を供給電
流の変動に反映させてその変動値を測定し利用してい
る。このためチップ表面温度が一定に維持されること
で、ノイズの少ない高精度な測定が可能となる。
接続されている。温度制御ユニット９により被測定デバ
イス７のチップの温度が一定に保たれる。本発明ではエ
ネルギービームの照射による照射部の温度変化を供給電
流の変動に反映させてその変動値を測定し利用してい
る。このためチップ表面温度が一定に維持されること
で、ノイズの少ない高精度な測定が可能となる。
【００１８】図３は第３の発明の一実施例を示す。
【００１９】図３では被測定デバイス７のレイアウト情
報記憶手段１３はゲート信号発生器１４に接続され、さ
らにゲート信号発生器１４はエネルギービーム発生器１
に接続されている。またエネルギービーム走査器２にも
接続されている。ゲート信号発生器１４は、レイアウト
情報記憶手段１３から被測定デバイス７のチップ上の配
線領域に関する情報を抜き出し、エネルギービーム走査
器２からエネルギービームの照射部の位置情報を得る。
そして被測定デバイスのチップ上で配線部のみにエネル
ギービームが照射されるようにエネルギービームをｏｎ
−ｏｆｆ、またはビームパワーの強弱を制御するための
ゲート信号を発生しエネルギービーム発生器１に送る。
被測定デバイス７のチップ上で配線領域のみにエネルギ
ービームを照射することで、供給電流の変動値の測定に
おいて、エネルギービームが配線領域以外を照射するこ
とに起因するノイズの混入が防げるため、Ｓ／Ｎ比の高
い変動電流の測定が実現できる。
報記憶手段１３はゲート信号発生器１４に接続され、さ
らにゲート信号発生器１４はエネルギービーム発生器１
に接続されている。またエネルギービーム走査器２にも
接続されている。ゲート信号発生器１４は、レイアウト
情報記憶手段１３から被測定デバイス７のチップ上の配
線領域に関する情報を抜き出し、エネルギービーム走査
器２からエネルギービームの照射部の位置情報を得る。
そして被測定デバイスのチップ上で配線部のみにエネル
ギービームが照射されるようにエネルギービームをｏｎ
−ｏｆｆ、またはビームパワーの強弱を制御するための
ゲート信号を発生しエネルギービーム発生器１に送る。
被測定デバイス７のチップ上で配線領域のみにエネルギ
ービームを照射することで、供給電流の変動値の測定に
おいて、エネルギービームが配線領域以外を照射するこ
とに起因するノイズの混入が防げるため、Ｓ／Ｎ比の高
い変動電流の測定が実現できる。
【００２０】図４は第４の発明の一実施例を示す。図４
ではゲート信号発生器１４はエネルギービーム走査器
２、システム制御／信号処理ユニット４に接続されてい
る。レイアウト情報記憶手段１３から被測定デバイス７
のチップ上での配線領域の情報を得、エネルギービーム
走査器２からエネルギービームの照射位置情報を得る。
そして、ゲート信号発生器１４はエネルギービームが被
測定デバイス７のチップ上の配線領域を照射したときの
みの供給電流の変動値をシステム制御／信号処理ユニッ
ト４で信号処理し、配線領域以外をエネルギービームが
照射したときの供給電流の変動値は信号処理しないゲー
ト信号を発生する。この構成により供給電流の変動値の
測定において、配線領域以外にエネルギービームが照射
されたとき供給電流の変動に起因するノイズが除去され
るのでノイズの少ない観測が実現できる。
ではゲート信号発生器１４はエネルギービーム走査器
２、システム制御／信号処理ユニット４に接続されてい
る。レイアウト情報記憶手段１３から被測定デバイス７
のチップ上での配線領域の情報を得、エネルギービーム
走査器２からエネルギービームの照射位置情報を得る。
そして、ゲート信号発生器１４はエネルギービームが被
測定デバイス７のチップ上の配線領域を照射したときの
みの供給電流の変動値をシステム制御／信号処理ユニッ
ト４で信号処理し、配線領域以外をエネルギービームが
照射したときの供給電流の変動値は信号処理しないゲー
ト信号を発生する。この構成により供給電流の変動値の
測定において、配線領域以外にエネルギービームが照射
されたとき供給電流の変動に起因するノイズが除去され
るのでノイズの少ない観測が実現できる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるアナ
ログ集積回路の故障診断装置は、エネルギービームの被
測定デバイスのチップ上への照射による照射部の局所的
温度変化による配線の電気抵抗の変化を供給電流の変化
として捉えているため、物理的に被測定デバイスに対し
ては非接触である。このため、探針の物理的接触による
被測定デバイスの回路内部の電圧、電流等の測定と比較
して、回路に悪影響を与えることはなく、回路を物理的
に破壊する危険も無い。さらにエネルギービームの走査
により被測定デバイスのチップの配線の電流を観測する
ため、一回の測定時間が極めて短くて済み、測定の高速
化が図れる等の効果を有する。
ログ集積回路の故障診断装置は、エネルギービームの被
測定デバイスのチップ上への照射による照射部の局所的
温度変化による配線の電気抵抗の変化を供給電流の変化
として捉えているため、物理的に被測定デバイスに対し
ては非接触である。このため、探針の物理的接触による
被測定デバイスの回路内部の電圧、電流等の測定と比較
して、回路に悪影響を与えることはなく、回路を物理的
に破壊する危険も無い。さらにエネルギービームの走査
により被測定デバイスのチップの配線の電流を観測する
ため、一回の測定時間が極めて短くて済み、測定の高速
化が図れる等の効果を有する。
【図１】第１の発明の一実施例を示す装置構成図
【図２】第２の発明の一実施例を示す装置構成図
【図３】第３の発明の一実施例を示す装置構成図
【図４】第４の発明の一実施例を示す装置構成図
【図５】従来の故障診断装置の実施例を示す装置構成図
１ エネルギービーム発生器 ２ エネルギービーム走査器 ３ ＣＲＴ ４ システム制御／信号処理ユニット ５ 定電圧源 ６ 変動電流検出／増幅器 ７ 被測定デバイス ８ 資料台 ９ 温度制御ユニット １０ 信号発生器 １３ レイアウト情報記憶手段 １４ ゲート信号発生器 １０１ 測定器 １０２ デバイス駆動システム １０３ 被測定チップ １０４ 探針 １０５ 被測定アナログ集積回路デバイス
Claims (8)
- 【請求項１】アナログ集積回路の配線電流の観測による
集積回路の故障診断装置において、 エネルギービームを発生するエネルギービーム発生器
と、前記エネルギービーム発生器からのエネルギービー
ムを受け、ビームを走査するエネルギービーム走査器
と、被測定デバイスを安定に積載する資料台と、定電圧
を発生させる定電圧源と、前記定電圧を受け被測定デバ
イスに定電圧を供給し、このときの供給電流を観測し、
その変動値を増幅する変動電流検出／増幅器と、前記エ
ネルギービーム発生器からのエネルギービーム発生情報
と、前記エネルギービーム走査器からのエネルギービー
ム照射位置情報を受け、前記変動電流検出／増幅器から
の被測定デバイスへの供給電流の変動値をエネルギービ
ーム照射位置毎に輝度情報とするシステム制御／信号処
理ユニットと、前記システム制御／信号処理ユニットか
らのエネルギービーム照射位置情報と輝度情報により像
を表示するＣＲＴと、被測定デバイスに、テスト信号を
印加する信号発生器とから構成されることを特徴とする
アナログ集積回路の故障診断装置。 - 【請求項２】被測定デバイスの温度を一定とする温度制
御ユニットを有することを特徴とする請求項１記載のア
ナログ集積回路の故障診断装置。 - 【請求項３】被測定デバイスのチップのレイアウト情報
を格納したレイアウト情報記憶手段と、前記レイアウト
情報を受けエネルギービームをｏｎ−ｏｆｆ、又はその
パワーの強弱を制御するエネルギービーム発生器とエネ
ルギービーム走査器を有することを特徴とする請求項１
記載のアナログ集積回路の故障診断装置。 - 【請求項４】被測定デバイスのチップのレイアウト情報
を格納したレイアウト情報記憶手段と、前記レイアウト
情報とエネルギービーム走査器からのビーム照射位置情
報とから、被測定デバイスのチップ上でビーム照射位置
が配線領域にあることを知らせるゲート信号を発生する
ゲート信号発生器と、前記ゲート信号を受けエネルギー
ビームが前記配線領域を照射しているときのみ変動電流
検出／増幅器からの信号を処理するシステム制御／信号
処理ユニットを有することを特徴とする請求項１記載の
アナログ集積回路の故障診断装置。 - 【請求項５】前記エネルギービーム発生器としてレーザ
ビーム発生器を用いることを特徴とする請求項１、２、
３又は４記載のアナログ集積回路の故障診断装置。 - 【請求項６】前記エネルギービーム発生器として電子ビ
ーム発生器を用いることを特徴とする請求項１、２、３
又は４記載のアナログ集積回路の故障診断装置。 - 【請求項７】前記エネルギービーム発生器として粒子ビ
ーム発生器を用いることを特徴とする請求項１、２、３
又は４記載のアナログ集積回路の故障診断装置。 - 【請求項８】前記粒子ビーム発生器としてイオンビーム
発生器を用いることを特徴とする請求項７記載のアナロ
グ集積回路の故障診断装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6226314A JP2638502B2 (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | アナログ集積回路の故障診断装置 |
| US08/524,433 US5659244A (en) | 1994-09-21 | 1995-09-06 | Electronic circuit tester and method of testing electronic circuit |
| KR1019950030900A KR100187746B1 (ko) | 1994-09-21 | 1995-09-20 | 전자회로의 고장 진단 장치 및 고장 진단 방법 |
| DE19535137A DE19535137A1 (de) | 1994-09-21 | 1995-09-21 | Fehleranalyse-Vorrichtung für eine elektronische Schaltung und Verfahren zum Durchführen der Fehleranalyse |
| US08/840,701 US5801540A (en) | 1994-09-21 | 1997-04-25 | Electronic circuit tester and method of testing electronic circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6226314A JP2638502B2 (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | アナログ集積回路の故障診断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0894719A JPH0894719A (ja) | 1996-04-12 |
| JP2638502B2 true JP2638502B2 (ja) | 1997-08-06 |
Family
ID=16843264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6226314A Expired - Lifetime JP2638502B2 (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | アナログ集積回路の故障診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2638502B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116754901B (zh) * | 2023-08-21 | 2023-11-03 | 安徽博诺思信息科技有限公司 | 一种基于快速定位的配电网故障分析管理平台 |
-
1994
- 1994-09-21 JP JP6226314A patent/JP2638502B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0894719A (ja) | 1996-04-12 |
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