JP2635362B2 - ターゲットユニット - Google Patents
ターゲットユニットInfo
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- JP2635362B2 JP2635362B2 JP63093053A JP9305388A JP2635362B2 JP 2635362 B2 JP2635362 B2 JP 2635362B2 JP 63093053 A JP63093053 A JP 63093053A JP 9305388 A JP9305388 A JP 9305388A JP 2635362 B2 JP2635362 B2 JP 2635362B2
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- JP
- Japan
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- erosion
- members
- backing plate
- target unit
- target
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、マグネトロンスパッタリング法等に使用さ
れるターゲットユニットに係わり、特にスパッタ物質か
らなるエロージョン部材の交換・回収が容易なターゲッ
トユニットに関する。
れるターゲットユニットに係わり、特にスパッタ物質か
らなるエロージョン部材の交換・回収が容易なターゲッ
トユニットに関する。
「従来の技術」 第25図および第25図は、従来の一般的な角形ターゲッ
トユニット１を示す平面図および縦断面図である。
トユニット１を示す平面図および縦断面図である。
このターゲットユニット１は、銅またはステンレス製
のバッキングプレート２と、このバッキングプレート２
上に固定されたスパッタ物質からなるターゲット３とか
らなり、これらは通常、ハンダやインジウム等のロウ材
により接続されている。
のバッキングプレート２と、このバッキングプレート２
上に固定されたスパッタ物質からなるターゲット３とか
らなり、これらは通常、ハンダやインジウム等のロウ材
により接続されている。
このターゲットユニット１は、例えば第26図のように
して使用される。この図はマグネトロンスパッタリング
装置の概略構成を示し、図中符号４は真空チャンバー、
５は真空ポンプ、６は蒸着する基板Ｐを固定する基板ホ
ルダー、７はスパッタ電極を示している。このスパッタ
電極７は、第27図に示すように、箱状のケーシング7A、
角筒上に配置された磁石7B、ヨーク7Cとから構成され、
前記ケーシング7Aの端面にターゲットユニット１のバッ
キングプレート２が気密的にボルト等で固定されるとと
もに、ケーシング7A内に冷却水が供給され、ターゲット
ユニット１を裏面から冷却するようになっている。
して使用される。この図はマグネトロンスパッタリング
装置の概略構成を示し、図中符号４は真空チャンバー、
５は真空ポンプ、６は蒸着する基板Ｐを固定する基板ホ
ルダー、７はスパッタ電極を示している。このスパッタ
電極７は、第27図に示すように、箱状のケーシング7A、
角筒上に配置された磁石7B、ヨーク7Cとから構成され、
前記ケーシング7Aの端面にターゲットユニット１のバッ
キングプレート２が気密的にボルト等で固定されるとと
もに、ケーシング7A内に冷却水が供給され、ターゲット
ユニット１を裏面から冷却するようになっている。
そして、スパッタリング時には、ターゲット３の表面
上に長方形に生じる磁界により、プラズマをターゲット
３の表面に集中させてスパッタ効率を高める構成となっ
ている。
上に長方形に生じる磁界により、プラズマをターゲット
３の表面に集中させてスパッタ効率を高める構成となっ
ている。
「発明が解決しようとする課題」 ところが、上記ターゲットユニット１においては、タ
ーゲット３の磁界の集中している部分のみが第27図Ａの
ように集中的に消耗し、他の部分はスパッタに殆ど寄与
しないまま寿命が尽きてしまうという問題があった。
ーゲット３の磁界の集中している部分のみが第27図Ａの
ように集中的に消耗し、他の部分はスパッタに殆ど寄与
しないまま寿命が尽きてしまうという問題があった。
これは特に、近年研究が盛んである光磁気記録体用の
ターゲットユニットにおいて顕著である。すなわち、こ
の種のターゲットユニット１は、そのターゲット３がT
b,Gd,Dy等の希土類金属およびFe,Co等の遷移金属で形成
され、強磁性を有している。このため、ターゲット３に
前記のような凹部Ａが形成されると、この凹部Ａ内にプ
ラズマを集中させる磁界が生じ、凹部Ａの底面の消耗が
一層促進されるのである。
ターゲットユニットにおいて顕著である。すなわち、こ
の種のターゲットユニット１は、そのターゲット３がT
b,Gd,Dy等の希土類金属およびFe,Co等の遷移金属で形成
され、強磁性を有している。このため、ターゲット３に
前記のような凹部Ａが形成されると、この凹部Ａ内にプ
ラズマを集中させる磁界が生じ、凹部Ａの底面の消耗が
一層促進されるのである。
このように寿命の尽きたターゲット３は、安価な材質
であれば破棄もできるが、前記光磁気記録体用のものは
希土類金属が極めて高価なので、ターゲットユニットか
ら消耗したターゲットのみを取り外して精製し、再び新
たなターゲットの製造に使用しなければならない。
であれば破棄もできるが、前記光磁気記録体用のものは
希土類金属が極めて高価なので、ターゲットユニットか
ら消耗したターゲットのみを取り外して精製し、再び新
たなターゲットの製造に使用しなければならない。
しかし従来のターゲットユニット１では、ターゲット
ユニット１全体を電極から外したうえ、全体を加熱して
ロウ材を溶かしてターゲット３を取り外さねばならず、
手間と時間がかかってコストが高いという問題があっ
た。
ユニット１全体を電極から外したうえ、全体を加熱して
ロウ材を溶かしてターゲット３を取り外さねばならず、
手間と時間がかかってコストが高いという問題があっ
た。
「課題を解決するための手段」 本発明は上記課題を解決するためになされたもので、
ターゲットとバッキングプレートとからなるターゲット
ユニットにおいて、前記ターゲットはスパッタ物質から
なるエロージョン部材と、これとは別体の保持部材とか
ら構成され、この保持部材によって前記エロージョン部
材をバッキングプレートに着脱可能に、かつ、前記エロ
ージョン部材の中央部付近が弾性的に前記バッキングプ
レートに押圧されるように圧着固定したことを特徴とす
る。
ターゲットとバッキングプレートとからなるターゲット
ユニットにおいて、前記ターゲットはスパッタ物質から
なるエロージョン部材と、これとは別体の保持部材とか
ら構成され、この保持部材によって前記エロージョン部
材をバッキングプレートに着脱可能に、かつ、前記エロ
ージョン部材の中央部付近が弾性的に前記バッキングプ
レートに押圧されるように圧着固定したことを特徴とす
る。
「実施例」 以下、図面を参照しつつ、体用のターゲットユニット
に適用した実施例および参考技術について詳細に説明す
る。
に適用した実施例および参考技術について詳細に説明す
る。
第１図および第２図は本発明の第１参考技術を示し、
このターゲットユニットは、銅またはステンレス等から
なる長方形のバッキングプレート10の中央部に、長方形
の内周側保持部材11を配置し、次いでその外周全周に沿
って板状のエロージョン部材12,13を配置し、さらにこ
れらの外周に枠状に外周側保持部材14,15を配置して複
数のボルト16でバッキングプレート10に対し着脱可能に
固定したことを特徴としたもので、この状態において、
各エロージョン部材12,13がプラズマ集中部（図中−点
鎖線Ｂ）に沿って位置するように設定されている。な
お、前記エロージョン部材12,13の裏面とバッキングプ
レート10との間には、In,Sn,Al等の比較的柔軟な金属の
厚さ0.1mm程度の薄板が介装され、使用時の熱伝導性を
高めるようになっている。これは以下全ての実施例およ
び参考技術にも共通する。
このターゲットユニットは、銅またはステンレス等から
なる長方形のバッキングプレート10の中央部に、長方形
の内周側保持部材11を配置し、次いでその外周全周に沿
って板状のエロージョン部材12,13を配置し、さらにこ
れらの外周に枠状に外周側保持部材14,15を配置して複
数のボルト16でバッキングプレート10に対し着脱可能に
固定したことを特徴としたもので、この状態において、
各エロージョン部材12,13がプラズマ集中部（図中−点
鎖線Ｂ）に沿って位置するように設定されている。な
お、前記エロージョン部材12,13の裏面とバッキングプ
レート10との間には、In,Sn,Al等の比較的柔軟な金属の
厚さ0.1mm程度の薄板が介装され、使用時の熱伝導性を
高めるようになっている。これは以下全ての実施例およ
び参考技術にも共通する。
前記の内周側保持部材11、および外周側保持部材14,1
5としては、Tb,Gd,Dy等の希土類金属およびFe,Co等の遷
移金属から構成されている場合、銅またはステンレス等
の金属板17の表面に鉄薄板18を接合したものか、あるい
は全体が鉄でできたものが使用される。このように表面
を鉄で構成するのは、表層部が若干スパッタされても、
光磁気記録膜の組成に影響を与えないようにその配慮で
ある。同様に他の組成のエロージョン部材を用いる場合
にも、その主組成物により各保持部材の表面を構成して
おくことが望ましい。
5としては、Tb,Gd,Dy等の希土類金属およびFe,Co等の遷
移金属から構成されている場合、銅またはステンレス等
の金属板17の表面に鉄薄板18を接合したものか、あるい
は全体が鉄でできたものが使用される。このように表面
を鉄で構成するのは、表層部が若干スパッタされても、
光磁気記録膜の組成に影響を与えないようにその配慮で
ある。同様に他の組成のエロージョン部材を用いる場合
にも、その主組成物により各保持部材の表面を構成して
おくことが望ましい。
内周側保持部材11の外周端面は、第２図に示すように
表面に対し一定鋭角をなす傾斜面とされ、同様に各外周
側保持部材14,15の内周端面も表面に対して鋭角をなす
傾斜面とされている。一方、これら傾斜した端面と対応
するエロージョン部材12,13の端面は、保持部材11,14,1
5の各端面と隙間なく当接しうる相補的な傾斜面とされ
ている。これら傾斜面の角度は、エロージョン部材12,1
3がバッキングプレート10から脱落しない値に設定され
ている。またエロージョン部材12,13は、スパッタによ
りそれらが昇温し熱膨張した際に、適度な応力を以てバ
ッキングプレート10および保持部材11,14,15に圧接し、
十分な冷却効果の得られる構造となっている。
表面に対し一定鋭角をなす傾斜面とされ、同様に各外周
側保持部材14,15の内周端面も表面に対して鋭角をなす
傾斜面とされている。一方、これら傾斜した端面と対応
するエロージョン部材12,13の端面は、保持部材11,14,1
5の各端面と隙間なく当接しうる相補的な傾斜面とされ
ている。これら傾斜面の角度は、エロージョン部材12,1
3がバッキングプレート10から脱落しない値に設定され
ている。またエロージョン部材12,13は、スパッタによ
りそれらが昇温し熱膨張した際に、適度な応力を以てバ
ッキングプレート10および保持部材11,14,15に圧接し、
十分な冷却効果の得られる構造となっている。
上記構成からなるターゲットユニットにおいては、エ
ロージョン部材12,13が消耗して寿命が尽きた場合に、
ボルトを外して外周側保持部材14,15を分解することに
より、バッキングプレート10からエロージョン部材12,1
3が容易に取り外すことができる。したがって、従来品
のようにロウ材で固定されたものに比べ、エロージョン
部材12,13を新品と交換する時間を著しく短縮すること
ができるうえ、その際にバッキングプレート10をスパッ
タ電極から取り外さなくてよいため、電極内部の冷却水
（第27図参照）を抜く必要がなく、この点からも大幅に
作業手間およびコストが低減できる。また、エロージョ
ン部材12,13がプラズマ集中部に沿う位置にのみ配置さ
れているので、従来品よりもスパッタ材料の使用効率が
高いという利点も有する。さらに、このターゲットユニ
ットでは、エロージョン部材12,13が熱膨張する程、こ
のエロージョン部材12,13が強く保持部材11,14,15に圧
接され、保持部材11,14,15を介してバッキングプレート
10への熱伝導が増大するうえ、同時に、保持部材11,14,
15の当接面に対して垂直な分力により、エロージョン部
材12,13がバッキングプレート10に圧接されるので、温
度上昇に伴ってエロージョン部材12,13の冷却効果が向
上し、過熱防止効果が高い利点もある。
ロージョン部材12,13が消耗して寿命が尽きた場合に、
ボルトを外して外周側保持部材14,15を分解することに
より、バッキングプレート10からエロージョン部材12,1
3が容易に取り外すことができる。したがって、従来品
のようにロウ材で固定されたものに比べ、エロージョン
部材12,13を新品と交換する時間を著しく短縮すること
ができるうえ、その際にバッキングプレート10をスパッ
タ電極から取り外さなくてよいため、電極内部の冷却水
（第27図参照）を抜く必要がなく、この点からも大幅に
作業手間およびコストが低減できる。また、エロージョ
ン部材12,13がプラズマ集中部に沿う位置にのみ配置さ
れているので、従来品よりもスパッタ材料の使用効率が
高いという利点も有する。さらに、このターゲットユニ
ットでは、エロージョン部材12,13が熱膨張する程、こ
のエロージョン部材12,13が強く保持部材11,14,15に圧
接され、保持部材11,14,15を介してバッキングプレート
10への熱伝導が増大するうえ、同時に、保持部材11,14,
15の当接面に対して垂直な分力により、エロージョン部
材12,13がバッキングプレート10に圧接されるので、温
度上昇に伴ってエロージョン部材12,13の冷却効果が向
上し、過熱防止効果が高い利点もある。
なお、上記参考技術では、エロージョン部材および外
周側保持部材が複数の部材に分割されていたが、第３図
および第４図に示す第２参考技術のように、これら20,2
1をそれぞれ一体化してもよい。ただし、この場合に
は、内周側保持部材11をボルト122…等でバッキングプ
レート10から着脱可能にする必要がある。
周側保持部材が複数の部材に分割されていたが、第３図
および第４図に示す第２参考技術のように、これら20,2
1をそれぞれ一体化してもよい。ただし、この場合に
は、内周側保持部材11をボルト122…等でバッキングプ
レート10から着脱可能にする必要がある。
次に、第５図および第６図は本発明の第３参考技術を
示し、このターゲットユニットは、各保持部材22,23の
一端面に係合部22A,23Aを一体形成し、これら係合部22
A,23Aでエロージョン部材12,13を係合固定したことを特
徴とし、他の構成は第１参考技術と同様である。なお、
これら係合部22A,23Aは、エロージョン部材12,13を固定
した状態で弾性応力がかかり、エロージョン部材12,13
が熱膨張した際にも金属疲労が生じないように形状が設
定されている。
示し、このターゲットユニットは、各保持部材22,23の
一端面に係合部22A,23Aを一体形成し、これら係合部22
A,23Aでエロージョン部材12,13を係合固定したことを特
徴とし、他の構成は第１参考技術と同様である。なお、
これら係合部22A,23Aは、エロージョン部材12,13を固定
した状態で弾性応力がかかり、エロージョン部材12,13
が熱膨張した際にも金属疲労が生じないように形状が設
定されている。
この第３参考技術と、前記第１参考技術を比較する
と、第１参考技術のユニットでは、エロージョン部材1
2,13と保持部材11,14,15の端面同士の当接圧力を最適に
保つことが重要であるのに対して、この第３参考技術で
は、エロージョン部材12,13を係合部22A,23Aで上から押
さえる構成なので、エロージョン部材12,13と保持部材2
2,23との間の空隙を比較的大きくとることができ、エロ
ージョン部材12,13が若干過熱して所定以上に熱膨張し
た場合にも、これにかかる水平方向の応力が小さくて済
み、反り返りが生じるおそれが一層少ない利点を有す
る。
と、第１参考技術のユニットでは、エロージョン部材1
2,13と保持部材11,14,15の端面同士の当接圧力を最適に
保つことが重要であるのに対して、この第３参考技術で
は、エロージョン部材12,13を係合部22A,23Aで上から押
さえる構成なので、エロージョン部材12,13と保持部材2
2,23との間の空隙を比較的大きくとることができ、エロ
ージョン部材12,13が若干過熱して所定以上に熱膨張し
た場合にも、これにかかる水平方向の応力が小さくて済
み、反り返りが生じるおそれが一層少ない利点を有す
る。
なお、上記のように保持部材22,23の係合部22A,23Aを
エロージョン部材12,13の表面から突出させる代わり
に、第７図および第８図に示す第４参考技術のように、
保持部材22,23の係合部22A,23Aに対して相補的な段部12
A,13Aをエロージョン部材12,13に形成し、これらの段差
をなくした構成としてもよい。こうすれば、前記第３参
考技術に比して、保持部材22,23がスパッタされる量を
低減できる。
エロージョン部材12,13の表面から突出させる代わり
に、第７図および第８図に示す第４参考技術のように、
保持部材22,23の係合部22A,23Aに対して相補的な段部12
A,13Aをエロージョン部材12,13に形成し、これらの段差
をなくした構成としてもよい。こうすれば、前記第３参
考技術に比して、保持部材22,23がスパッタされる量を
低減できる。
次に、第９図および第10図は本発明の第５参考技術を
示し、このターゲットユニットは、エロージョン部材24
を成分の異なる複数種の部材24A…により構成し、これ
らを適宜分散配置して保持部材11,14,15で固定したこと
を特徴とする。このユニットによれば、部材24A…の配
置や個数、種類を変更することにより、スパッタリング
で形成される膜の組成を任意に変更できる利点がある。
示し、このターゲットユニットは、エロージョン部材24
を成分の異なる複数種の部材24A…により構成し、これ
らを適宜分散配置して保持部材11,14,15で固定したこと
を特徴とする。このユニットによれば、部材24A…の配
置や個数、種類を変更することにより、スパッタリング
で形成される膜の組成を任意に変更できる利点がある。
次に、第11図および第12図は本発明の第６参考技術を
示し、このターゲットユニットでは、エロージョン部材
25,26の裏面に銅等の熱伝導性の高い金属27を予め一体
に結合し、またエロージョン部材25,26の表面部を保持
部材14,15の表面よりも若干突出させたことを特徴とす
る。前記金属27は、エロージョン部材25,26を真空プレ
ス成形する際に、その下層に金属粉を充填して一体成形
するか、あるいは別体の金属板を拡散接合またはロウ付
け固定すればよい。他の構成は第１参考技術と同様であ
る。
示し、このターゲットユニットでは、エロージョン部材
25,26の裏面に銅等の熱伝導性の高い金属27を予め一体
に結合し、またエロージョン部材25,26の表面部を保持
部材14,15の表面よりも若干突出させたことを特徴とす
る。前記金属27は、エロージョン部材25,26を真空プレ
ス成形する際に、その下層に金属粉を充填して一体成形
するか、あるいは別体の金属板を拡散接合またはロウ付
け固定すればよい。他の構成は第１参考技術と同様であ
る。
この第６参考技術では、前記金属裏打ち27によりエロ
ージョン部材25,26の剛性が向上するため、過熱時にエ
ロージョン部材25,26がバッキングプレート10から剥離
して過熱するおそれを一層低減できる。また、保持部材
11,14,15がエロージョン部材25,26よりも後退している
ので、保持部材11,14,15がスパッタされる割合が小さい
という利点もある。
ージョン部材25,26の剛性が向上するため、過熱時にエ
ロージョン部材25,26がバッキングプレート10から剥離
して過熱するおそれを一層低減できる。また、保持部材
11,14,15がエロージョン部材25,26よりも後退している
ので、保持部材11,14,15がスパッタされる割合が小さい
という利点もある。
次に、第13図は本発明の第１実施例を示し、このター
ゲットユニットでは、予め平板状のエロージョン部材31
を、バッキングプレート10に接合させる面が凸となるよ
うに若干反り返らせておき、これを保持部材32,33によ
って弾性変形させた状態でバッキングプレート10に圧接
固定したことを特徴とする。
ゲットユニットでは、予め平板状のエロージョン部材31
を、バッキングプレート10に接合させる面が凸となるよ
うに若干反り返らせておき、これを保持部材32,33によ
って弾性変形させた状態でバッキングプレート10に圧接
固定したことを特徴とする。
この第１実施例によれば、エロージョン部材31の中央
部が弾性力により重点的にバッキングプレート10に圧接
されるので、特に発熱量の大きい中央部がバッキングプ
レート10から剥離して過熱するおそれが少ない。
部が弾性力により重点的にバッキングプレート10に圧接
されるので、特に発熱量の大きい中央部がバッキングプ
レート10から剥離して過熱するおそれが少ない。
なお、エロージョン部材を上記のように反り返らせる
代わりに、第14図に示す第２実施例のように、バッキン
グプレート10の表面に、エロージョン部材34の長手方向
に延びる穏やかな凸部35を形成しても同様の効果が得ら
れる。
代わりに、第14図に示す第２実施例のように、バッキン
グプレート10の表面に、エロージョン部材34の長手方向
に延びる穏やかな凸部35を形成しても同様の効果が得ら
れる。
また、第15図に示す第３実施例のように、エロージョ
ン部材36のバッキングプレート10に当接する面に、長手
方向に述びる断面山形または円弧状の凸部36Aを形成
し、この凸部36Aをバッキングプレート10に当接させ、
エロージョン部材36の両側部を保持部材32,33で押さえ
付け、これを弾性的に撓ませる構成としてもよい。この
場合、前記同様の効果が得られるだけでなく、エロージ
ョン部材36の主に消耗される中央部が厚肉になっている
ので、エロージョン部材36の使用効率を高めることがで
きる。なおこの場合、第16図に示す第４実施例のよう
に、バッキングプレート10に前記エロージョン部材の凸
部36Aよりも角度の浅いＶ字状の凹部37を形成し、さら
にこの凹部37の底面中央にガス抜き用の溝38を形成した
構成としてもよい。
ン部材36のバッキングプレート10に当接する面に、長手
方向に述びる断面山形または円弧状の凸部36Aを形成
し、この凸部36Aをバッキングプレート10に当接させ、
エロージョン部材36の両側部を保持部材32,33で押さえ
付け、これを弾性的に撓ませる構成としてもよい。この
場合、前記同様の効果が得られるだけでなく、エロージ
ョン部材36の主に消耗される中央部が厚肉になっている
ので、エロージョン部材36の使用効率を高めることがで
きる。なおこの場合、第16図に示す第４実施例のよう
に、バッキングプレート10に前記エロージョン部材の凸
部36Aよりも角度の浅いＶ字状の凹部37を形成し、さら
にこの凹部37の底面中央にガス抜き用の溝38を形成した
構成としてもよい。
次に、第17図は第７参考技術を示し、このターゲット
ユニットは、エロージョン部材39の方面に、長手方向に
延びる細い溝40を形成したことを特徴とする。この溝40
を形成することにより、エロージョン部材39の熱膨張
は、表面側で小さく裏面側で大きくなり、昇温するとエ
ロージョン部材39は裏面側に凸に変形しようとする力が
加わるため、バッキングプレート10からの剥離を効果的
に防ぐことができる。
ユニットは、エロージョン部材39の方面に、長手方向に
延びる細い溝40を形成したことを特徴とする。この溝40
を形成することにより、エロージョン部材39の熱膨張
は、表面側で小さく裏面側で大きくなり、昇温するとエ
ロージョン部材39は裏面側に凸に変形しようとする力が
加わるため、バッキングプレート10からの剥離を効果的
に防ぐことができる。
次に、第18図は第８参考技術を示し、このターゲット
ユニットは、バッキングプレート10に、エロージョン部
材41の中心線に沿って延びるあり溝42を形成するととも
に、各エロージョン部材41の裏面には、前記各あり溝42
と相補的な形状の突条43を形成し、この突条43を前記あ
り溝42に側方から挿入し、保持部材32,33で固定したこ
とを特徴とする。このユニットによれば、あり溝42によ
りエロージョン部材41の中央部はバッキングプレート10
から剥離できず、冷却に対する信頼性が高いうえ、熱膨
張により突条43があり溝42内に圧接されて、突条43を介
してエロージョン部材41が効果的に冷却されるという利
点も有する。
ユニットは、バッキングプレート10に、エロージョン部
材41の中心線に沿って延びるあり溝42を形成するととも
に、各エロージョン部材41の裏面には、前記各あり溝42
と相補的な形状の突条43を形成し、この突条43を前記あ
り溝42に側方から挿入し、保持部材32,33で固定したこ
とを特徴とする。このユニットによれば、あり溝42によ
りエロージョン部材41の中央部はバッキングプレート10
から剥離できず、冷却に対する信頼性が高いうえ、熱膨
張により突条43があり溝42内に圧接されて、突条43を介
してエロージョン部材41が効果的に冷却されるという利
点も有する。
次に、第19図は第９参考技術を示し、このターゲット
ユニットは、エロージョン部材42の中央部に近傍を、バ
ッキングプレート10の裏面側から貫入したボルト43でネ
ジ止めしたことを特徴とする。なお、ボルト43とバッキ
ングプレート10との間にはＯリング等のシール材44が介
装され気密性が保たれている。またボルト43の長さおよ
び固定位置は、図中二点鎖線に示すように、エロージョ
ン部材42の消耗時においても表面に露出しないように設
定されている。
ユニットは、エロージョン部材42の中央部に近傍を、バ
ッキングプレート10の裏面側から貫入したボルト43でネ
ジ止めしたことを特徴とする。なお、ボルト43とバッキ
ングプレート10との間にはＯリング等のシール材44が介
装され気密性が保たれている。またボルト43の長さおよ
び固定位置は、図中二点鎖線に示すように、エロージョ
ン部材42の消耗時においても表面に露出しないように設
定されている。
この参考技術では、エロージョン部材42の交換時にバ
ッキングプレート10を電極本体から取り外す必要がある
が、エロージョン部材42の固定が強固に行なえるうえ、
ボルト44を介して熱が逃げる分、冷却性が高い利点を有
する。
ッキングプレート10を電極本体から取り外す必要がある
が、エロージョン部材42の固定が強固に行なえるうえ、
ボルト44を介して熱が逃げる分、冷却性が高い利点を有
する。
なお、以上述べてきた実施例および参考技術は、いず
れもプラズマ集中位置に沿って長方形状にエロージョン
部材を配置したものであったが、第20図および第21図に
示す第10参考技術のように、エロージョン部材45を一枚
の長方板状とした構成も可能である。また、第22図およ
び第23図に示す第11参考技術のように、エロージョン部
材45を複数種の部材45A…で構成してもよい。さらに、
以上述べてきた各実施例および各参考技術の構成を各実
施例に適宜組み合わせた構成としてもよいし、角形以外
の例えば円板型等のターゲットユニットにも本発明は適
用できる。
れもプラズマ集中位置に沿って長方形状にエロージョン
部材を配置したものであったが、第20図および第21図に
示す第10参考技術のように、エロージョン部材45を一枚
の長方板状とした構成も可能である。また、第22図およ
び第23図に示す第11参考技術のように、エロージョン部
材45を複数種の部材45A…で構成してもよい。さらに、
以上述べてきた各実施例および各参考技術の構成を各実
施例に適宜組み合わせた構成としてもよいし、角形以外
の例えば円板型等のターゲットユニットにも本発明は適
用できる。
「発明の効果」 本発明に係るターゲットユニットは、保持部によって
前記エロージョン部材をバッキングプレートに着脱可能
に、かつ、前記エロージョン部材の中央部付近が弾性的
に前記バッキングプレートに押圧されるように圧着固定
したものなので、エロージョン部材が消耗して寿命が尽
きた場合には、保持部材によるエロージョン部材の固定
を解除して、バッキングプレートからエロージョン部材
を容易に取り外すことができ、従来品のようにロウ材で
固定された場合に比べ、エロージョン部材を新品と交換
する時間およびコストを低減することができ、前記エロ
ージョン部材をエロージョン部材の中央部付近が弾性的
にバッキングプレートに押圧されるようになっているの
で、中央部が重点的にバッキングプレートに圧接し、特
に発熱量の大きい中央部がバッキングプレートから剥離
して過熱するおそれが少ないという効果を奏する。
前記エロージョン部材をバッキングプレートに着脱可能
に、かつ、前記エロージョン部材の中央部付近が弾性的
に前記バッキングプレートに押圧されるように圧着固定
したものなので、エロージョン部材が消耗して寿命が尽
きた場合には、保持部材によるエロージョン部材の固定
を解除して、バッキングプレートからエロージョン部材
を容易に取り外すことができ、従来品のようにロウ材で
固定された場合に比べ、エロージョン部材を新品と交換
する時間およびコストを低減することができ、前記エロ
ージョン部材をエロージョン部材の中央部付近が弾性的
にバッキングプレートに押圧されるようになっているの
で、中央部が重点的にバッキングプレートに圧接し、特
に発熱量の大きい中央部がバッキングプレートから剥離
して過熱するおそれが少ないという効果を奏する。
第１図および第２図は本発明に係わるターゲットユニッ
トの第１参考技術を示す平面図および断面図、第３図お
よび第４図は第２参考技術を示す平面図および縦断面
図、第５図および第６図は第３参考技術を示す平面図お
よび縦断面図、第７図および第８図は第４参考技術を示
す平面図および縦断面図、第９図および第10図は第５参
考技術を示す平面図および縦断面図、第11図および第12
図は第６参考技術を示す平面図および縦断面図、第13図
ないし第16図はそれぞれ第１ないし第４実施例を示す縦
断面図、第17図ないし第19図はそれぞれ第７ないし第９
参考技術を示す縦断面図、第20図および第21図は第10参
考技術の平面図および縦断面図、第22図および第23図は
第11参考技術の平面図および縦断面図である。一方、第
24図および第25図は従来のターゲットユニットを示す平
面図および縦断面図、第26図は一般的なマグネトロンス
パッタリング装置の概略構成図、第27図は従来のターゲ
ットユニットをスパッタ電極に固定した状態を示す縦断
面図である。 10……バッキングプレート、 11,14,15,21,22,23,32,33……保持部材（ターゲットの
一部）、 12,13,20,24,25,26,31,34,36,39,41,42……エロージョ
ン部材（ターゲットの一部）。
トの第１参考技術を示す平面図および断面図、第３図お
よび第４図は第２参考技術を示す平面図および縦断面
図、第５図および第６図は第３参考技術を示す平面図お
よび縦断面図、第７図および第８図は第４参考技術を示
す平面図および縦断面図、第９図および第10図は第５参
考技術を示す平面図および縦断面図、第11図および第12
図は第６参考技術を示す平面図および縦断面図、第13図
ないし第16図はそれぞれ第１ないし第４実施例を示す縦
断面図、第17図ないし第19図はそれぞれ第７ないし第９
参考技術を示す縦断面図、第20図および第21図は第10参
考技術の平面図および縦断面図、第22図および第23図は
第11参考技術の平面図および縦断面図である。一方、第
24図および第25図は従来のターゲットユニットを示す平
面図および縦断面図、第26図は一般的なマグネトロンス
パッタリング装置の概略構成図、第27図は従来のターゲ
ットユニットをスパッタ電極に固定した状態を示す縦断
面図である。 10……バッキングプレート、 11,14,15,21,22,23,32,33……保持部材（ターゲットの
一部）、 12,13,20,24,25,26,31,34,36,39,41,42……エロージョ
ン部材（ターゲットの一部）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高森 信之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 土方 研一 埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地 三 菱金属株式会社中央研究所内 (72)発明者 新行内 隆之 埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地 三 菱金属株式会社中央研究所内 (72)発明者 高石 和成 埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地 三 菱金属株式会社中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭56−47564（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−145981（ＪＰ，Ａ) 実公 昭58−8768（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (1)
- 【請求項１】ターゲットと、バッキングプレートからな
るターゲットユニットにおいて、前記ターゲットはスパ
ッタ物質からなるエロージョン部材と、これとは別体の
保持部材とから構成され、この保持部材によって前記エ
ロージョン部材をバッキングプレートに着脱可能に、か
つ、前記エロージョン部材の中央部付近が弾性的に前記
バッキングプレートに押圧されるように圧着固定したこ
とを特徴とするターゲットユニット。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63093053A JP2635362B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ターゲットユニット |
| DE3912381A DE3912381A1 (de) | 1988-04-15 | 1989-04-14 | Auffaengereinheit |
| US07/602,382 US5066381A (en) | 1988-04-15 | 1990-10-24 | Target unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63093053A JP2635362B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ターゲットユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01263270A JPH01263270A (ja) | 1989-10-19 |
| JP2635362B2 true JP2635362B2 (ja) | 1997-07-30 |
Family
ID=14071765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63093053A Expired - Lifetime JP2635362B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ターゲットユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2635362B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19535894A1 (de) * | 1995-09-27 | 1997-04-03 | Leybold Materials Gmbh | Target für die Sputterkathode einer Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zu seiner Herstellung |
| JP2004307989A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-11-04 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | イオンビームスパッタ用ターゲットおよびこれを具備するイオンビームスパッタ装置 |
| JP6716863B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2020-07-01 | 住友金属鉱山株式会社 | スパッタリングターゲット及びこれを用いたスパッタリング成膜方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5647564A (en) * | 1979-09-26 | 1981-04-30 | Ulvac Corp | Operation of magnetron-type sputtering device |
| JPS57145981A (en) * | 1981-03-03 | 1982-09-09 | Toshiba Corp | Target for sputtering device |
| JPS588768U (ja) * | 1981-07-10 | 1983-01-20 | セイコー精機株式会社 | 気体圧縮機 |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP63093053A patent/JP2635362B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01263270A (ja) | 1989-10-19 |
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Legal Events
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