JP2628288B2 - 微小欠陥の検出方法 - Google Patents
微小欠陥の検出方法Info
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- JP2628288B2 JP2628288B2 JP6227865A JP22786594A JP2628288B2 JP 2628288 B2 JP2628288 B2 JP 2628288B2 JP 6227865 A JP6227865 A JP 6227865A JP 22786594 A JP22786594 A JP 22786594A JP 2628288 B2 JP2628288 B2 JP 2628288B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/91—Investigating the presence of flaws or contamination using penetration of dyes, e.g. fluorescent ink
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微小欠陥の検出方法に係
り、特に樹脂やセラミックスで封止された電子部品の微
小欠陥を検出するのに好適な方法に関する。
り、特に樹脂やセラミックスで封止された電子部品の微
小欠陥を検出するのに好適な方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】樹脂、セラミックス等の材料を電子素子
として用いる場合、その材料の表面や内部の微小欠陥の
有無あるいはその状態を検出する必要が生じる。このよ
うな場合、微小欠陥を検出する方法として油性蛍光液を
用いる方法が知られている。この方法は、例えば、ＩＣ
パーケージ等の電子部品を油性蛍光液に一定時間浸漬
し、微小欠陥部位、例えば樹脂と部品との剥離不良部位
に油性蛍光液を浸透させ、次いで封止樹脂を開封し、紫
外線を照射して蛍光を発する部位及び強度を目視し、樹
脂と部品との密着性（封止性）の程度を判定している。
として用いる場合、その材料の表面や内部の微小欠陥の
有無あるいはその状態を検出する必要が生じる。このよ
うな場合、微小欠陥を検出する方法として油性蛍光液を
用いる方法が知られている。この方法は、例えば、ＩＣ
パーケージ等の電子部品を油性蛍光液に一定時間浸漬
し、微小欠陥部位、例えば樹脂と部品との剥離不良部位
に油性蛍光液を浸透させ、次いで封止樹脂を開封し、紫
外線を照射して蛍光を発する部位及び強度を目視し、樹
脂と部品との密着性（封止性）の程度を判定している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、封止材
料が樹脂等の有機物の場合、この有機物自体も紫外線照
射により蛍光を発する場合が多く、微小欠陥部分に浸透
した蛍光液の識別が困難となる。また、油性蛍光液を微
小欠陥部位に十分に浸透させるには浸漬に一昼夜以上を
要するため、緊急評価に対応することができない。
料が樹脂等の有機物の場合、この有機物自体も紫外線照
射により蛍光を発する場合が多く、微小欠陥部分に浸透
した蛍光液の識別が困難となる。また、油性蛍光液を微
小欠陥部位に十分に浸透させるには浸漬に一昼夜以上を
要するため、緊急評価に対応することができない。
【０００４】さらに通常の紫外線照射装置を用いた目視
による視察であるため、発光量も微小であり、微小部位
（１００μｍ）以下の部位の評価ができない。また蛍光
液は油性のため、衛生上および環境保護上取扱に注意を
払う必要がある。
による視察であるため、発光量も微小であり、微小部位
（１００μｍ）以下の部位の評価ができない。また蛍光
液は油性のため、衛生上および環境保護上取扱に注意を
払う必要がある。
【０００５】本発明の目的は、有機物封止材料について
も蛍光液の識別性を向上させ、評価時間を短縮でき評価
の迅速性を向上させ、微小部位（１μｍ）以下の評価も
確実に行うことができる微小欠陥の検出方法を提供する
ことにある。
も蛍光液の識別性を向上させ、評価時間を短縮でき評価
の迅速性を向上させ、微小部位（１μｍ）以下の評価も
確実に行うことができる微小欠陥の検出方法を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明の微小欠陥の検出方法は、被検査物を、
加湿すると発光し、乾燥すると消光する性質を有する水
溶性蛍光物質を含有する水溶性蛍光液に浸漬して被検査
物の微小欠陥部位に水溶性蛍光液を浸透させた後、被検
査物を開封し、この被検査物を少なくとも１回以上加湿
・乾燥させながら、拡大観察しつつ発光・消光を検出し
て被検査物の微小欠陥を検出するようにしたものであ
る。
ために、本発明の微小欠陥の検出方法は、被検査物を、
加湿すると発光し、乾燥すると消光する性質を有する水
溶性蛍光物質を含有する水溶性蛍光液に浸漬して被検査
物の微小欠陥部位に水溶性蛍光液を浸透させた後、被検
査物を開封し、この被検査物を少なくとも１回以上加湿
・乾燥させながら、拡大観察しつつ発光・消光を検出し
て被検査物の微小欠陥を検出するようにしたものであ
る。
【０００７】また、水溶性蛍光液としては、加湿すると
発光し、乾燥すると消光する性質を有する水溶性蛍光物
質と界面活性剤と溶媒とからなることが望ましい。さら
に被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際、被検査物に対
する水溶性蛍光液の浸透を加速させる操作を行うことが
望ましい。
発光し、乾燥すると消光する性質を有する水溶性蛍光物
質と界面活性剤と溶媒とからなることが望ましい。さら
に被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際、被検査物に対
する水溶性蛍光液の浸透を加速させる操作を行うことが
望ましい。
【０００８】特に、水溶性蛍光物質と組合せて使用する
界面活性剤にはアニオン界面活性剤が好適であり、溶媒
には、純水又はアルコール類が望ましい。被検査物に対
する水溶性蛍光液の浸透を加速させる操作には、被検査
物を水溶性蛍光液に浸漬する際に水溶性蛍光液を煮沸す
る操作、被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際に減圧条
件下で行う操作、被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際
に高温・高圧の条件下で行う操作等が採用される。
界面活性剤にはアニオン界面活性剤が好適であり、溶媒
には、純水又はアルコール類が望ましい。被検査物に対
する水溶性蛍光液の浸透を加速させる操作には、被検査
物を水溶性蛍光液に浸漬する際に水溶性蛍光液を煮沸す
る操作、被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際に減圧条
件下で行う操作、被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際
に高温・高圧の条件下で行う操作等が採用される。
【０００９】以下、本発明を更に詳細に説明する。本発
明における被検査物としては樹脂やセラミックで封止さ
れた開封可能な電子部品等が挙げられる。このような電
子部品としては、例えば抵抗器、マイクロスイッチ、論
理回路等の各種チップに使用される電子部品、またはリ
レー回路等の各種接点に使用される電子部品が挙げられ
る。
明における被検査物としては樹脂やセラミックで封止さ
れた開封可能な電子部品等が挙げられる。このような電
子部品としては、例えば抵抗器、マイクロスイッチ、論
理回路等の各種チップに使用される電子部品、またはリ
レー回路等の各種接点に使用される電子部品が挙げられ
る。
【００１０】このような被検査物に対し、水溶性蛍光液
が浸漬される。水溶性蛍光液は、加湿すると発光し、乾
燥すると消光する性質を有する水溶性蛍光物質が含有さ
れる。このような水溶性蛍光物質としては、ベンゼン
核、ピリジン核、ピラジン核、オキサジン核、チアジン
核をもつ有機蛍光体のうち、水溶性、かつ乾燥時に消光
する化合物が挙げられる。
が浸漬される。水溶性蛍光液は、加湿すると発光し、乾
燥すると消光する性質を有する水溶性蛍光物質が含有さ
れる。このような水溶性蛍光物質としては、ベンゼン
核、ピリジン核、ピラジン核、オキサジン核、チアジン
核をもつ有機蛍光体のうち、水溶性、かつ乾燥時に消光
する化合物が挙げられる。
【００１１】例えば、フルオレセインナトリウム（通
称：ウラニン）の場合、化１に示すように乾燥時には赤
トウ色の結晶であり、蛍光を発しないが、水溶液中では
黄緑色の蛍光を発する。
称：ウラニン）の場合、化１に示すように乾燥時には赤
トウ色の結晶であり、蛍光を発しないが、水溶液中では
黄緑色の蛍光を発する。
【００１２】
【化１】
【００１３】また、ウンベリフェロンの場合、化２に示
すように乾燥時には無色の結晶であるが、水溶液中で
は、青色の蛍光を発する。
すように乾燥時には無色の結晶であるが、水溶液中で
は、青色の蛍光を発する。
【００１４】
【化２】
【００１５】したがって、フルオレセインナトリウムで
は、加湿すると黄緑色の蛍光を発するが、乾燥すると消
光し、ウンベリフェロンでは加湿すると青色の蛍光を発
するが、乾燥すると消光する。特にフルオレセインナト
リウムの場合、冷水に可溶であり、かつ安定で分解しに
くいため、本発明の水溶性蛍光液に使用するのに有効で
ある。
は、加湿すると黄緑色の蛍光を発するが、乾燥すると消
光し、ウンベリフェロンでは加湿すると青色の蛍光を発
するが、乾燥すると消光する。特にフルオレセインナト
リウムの場合、冷水に可溶であり、かつ安定で分解しに
くいため、本発明の水溶性蛍光液に使用するのに有効で
ある。
【００１６】水溶性蛍光物質は理論上は微量（溶液中の
０．０００１重量％）から飽和濃度まで溶解可能で使用
することができる。ただし、水溶性蛍光溶液中の水溶性
蛍光物質の濃度が低すぎると、蛍光発光の感度が低下
し、検出に時間がかかり、一方必要以上に濃度を高くし
ても検出のための時間が短縮される訳でなく、経済性を
考慮すると溶液中での水溶性蛍光物質の濃度は０．００
０１〜３重量％、特に１重量％程度が好ましく、通常、
被検査物の微小部位（例えば、０．１μｍ程度）程度の
隙間を検出するには１重量％程度の濃度で十分である。
０．０００１重量％）から飽和濃度まで溶解可能で使用
することができる。ただし、水溶性蛍光溶液中の水溶性
蛍光物質の濃度が低すぎると、蛍光発光の感度が低下
し、検出に時間がかかり、一方必要以上に濃度を高くし
ても検出のための時間が短縮される訳でなく、経済性を
考慮すると溶液中での水溶性蛍光物質の濃度は０．００
０１〜３重量％、特に１重量％程度が好ましく、通常、
被検査物の微小部位（例えば、０．１μｍ程度）程度の
隙間を検出するには１重量％程度の濃度で十分である。
【００１７】このような水溶性蛍光物質に対し、必要に
応じて界面活性剤と溶媒が混合される。水溶性蛍光液中
に界面活性剤を配合することによって、水溶性蛍光液の
界面張力を低下させ、被検査物を水溶性蛍光液中に浸漬
する際、被検査物の微小欠陥部位に対しても水溶性蛍光
液が容易に浸透する。
応じて界面活性剤と溶媒が混合される。水溶性蛍光液中
に界面活性剤を配合することによって、水溶性蛍光液の
界面張力を低下させ、被検査物を水溶性蛍光液中に浸漬
する際、被検査物の微小欠陥部位に対しても水溶性蛍光
液が容易に浸透する。
【００１８】界面活性剤としてはアニオン界面活性剤、
カチオン界面活性剤、両性界面活性剤又は非イオン性
（ノニオン）界面活性剤のいずれも使用することができ
る。アニオン界面活性剤には、カルボン酸塩、スルホン
酸塩、硫酸エステル塩、リン酸エステル塩等の界面活性
剤が挙げられ、カチオン界面活性剤には、アミン塩、第
４級アンモニウム塩、フォスフォニウム塩、スルフォニ
ウム塩等の界面活性剤が挙げられる。
カチオン界面活性剤、両性界面活性剤又は非イオン性
（ノニオン）界面活性剤のいずれも使用することができ
る。アニオン界面活性剤には、カルボン酸塩、スルホン
酸塩、硫酸エステル塩、リン酸エステル塩等の界面活性
剤が挙げられ、カチオン界面活性剤には、アミン塩、第
４級アンモニウム塩、フォスフォニウム塩、スルフォニ
ウム塩等の界面活性剤が挙げられる。
【００１９】また、両性界面活性剤には、ベタイン、ス
ルフォベタイン等の界面活性剤が挙げられ、非イオン性
（ノニオン）界面活性剤には、脂肪酸モノグリセリン・
エステル、脂肪族ポリグリコール・エステル、脂肪酸ソ
ルビタン・エステル、ポリエチレン・グリコール融合型
の界面活性剤が挙げられる。
ルフォベタイン等の界面活性剤が挙げられ、非イオン性
（ノニオン）界面活性剤には、脂肪酸モノグリセリン・
エステル、脂肪族ポリグリコール・エステル、脂肪酸ソ
ルビタン・エステル、ポリエチレン・グリコール融合型
の界面活性剤が挙げられる。
【００２０】界面活性剤は臨界ミセル濃度以上であれ
ば、任意の濃度で使用することができる。例えば、アニ
オン界面活性剤のアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウ
ム（ＡＢＳ）では、臨界ミセル濃度は０．０００１重量
％前後である。
ば、任意の濃度で使用することができる。例えば、アニ
オン界面活性剤のアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウ
ム（ＡＢＳ）では、臨界ミセル濃度は０．０００１重量
％前後である。
【００２１】本発明において、アニオン界面活性剤、特
にアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム（ＡＢＳ）
は、安定で分解しにくいうえ、安価であり、封止樹脂等
の有機物の材料に対する影響が少ないために有効であ
る。
にアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム（ＡＢＳ）
は、安定で分解しにくいうえ、安価であり、封止樹脂等
の有機物の材料に対する影響が少ないために有効であ
る。
【００２２】次に水溶性蛍光液としては、水溶性蛍光物
質と界面活性剤及び溶媒とからなることが望ましい。溶
媒は純水の使用が望ましいが、溶媒としては純水の他に
有機溶媒を使用することもできる。有機溶媒の場合、水
溶性蛍光物質や電子部品の封止樹脂等に影響を及ぼさな
いことが必要があり、この点から特にエチルアルコール
等のアルコール類が好ましい。
質と界面活性剤及び溶媒とからなることが望ましい。溶
媒は純水の使用が望ましいが、溶媒としては純水の他に
有機溶媒を使用することもできる。有機溶媒の場合、水
溶性蛍光物質や電子部品の封止樹脂等に影響を及ぼさな
いことが必要があり、この点から特にエチルアルコール
等のアルコール類が好ましい。
【００２３】次に水溶性蛍光物質、界面活性剤および溶
媒の配合からなる水溶性蛍光液に被検査物が浸漬させ
る。この浸漬の際の条件は被検査物の形状、大きさ、材
質や評価の目的によって異なる。特に水溶性蛍光液を被
検査物の微小欠陥部位に浸透させるに際し、その浸透の
度合いを加速させる条件を採用することができる。被検
査物に対する水溶性蛍光液の浸透を加速する操作を行う
場合、必ずしも水溶性蛍光液として界面活性剤を配合す
る必要がない。
媒の配合からなる水溶性蛍光液に被検査物が浸漬させ
る。この浸漬の際の条件は被検査物の形状、大きさ、材
質や評価の目的によって異なる。特に水溶性蛍光液を被
検査物の微小欠陥部位に浸透させるに際し、その浸透の
度合いを加速させる条件を採用することができる。被検
査物に対する水溶性蛍光液の浸透を加速する操作を行う
場合、必ずしも水溶性蛍光液として界面活性剤を配合す
る必要がない。
【００２４】すなわち加速を行わない場合、室温・常圧
で２４時間程度の浸漬時間を要するが水溶性蛍光液中に
界面活性剤を配合することによって浸漬時間が短縮さ
れ、この場合、イオン成分をもたず、金属材料と長時間
接触しても変質を起こさない界面活性剤、例えば、ポリ
オキシエチレングリコールを用いることが望ましい。
で２４時間程度の浸漬時間を要するが水溶性蛍光液中に
界面活性剤を配合することによって浸漬時間が短縮さ
れ、この場合、イオン成分をもたず、金属材料と長時間
接触しても変質を起こさない界面活性剤、例えば、ポリ
オキシエチレングリコールを用いることが望ましい。
【００２５】加速を行う場合には、この浸漬時間を大幅
に短縮することができる。水溶性蛍光液の浸透の度合い
を加速する操作には、（１）被検査物を水溶性蛍光液に
浸漬する際に水溶性蛍光液を煮沸する操作、（２）被検
査物を水溶性蛍光液に浸漬する際、減圧条件で行う操
作、（３）被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際に高
温、高圧をかける操作等を採用することができる。
に短縮することができる。水溶性蛍光液の浸透の度合い
を加速する操作には、（１）被検査物を水溶性蛍光液に
浸漬する際に水溶性蛍光液を煮沸する操作、（２）被検
査物を水溶性蛍光液に浸漬する際、減圧条件で行う操
作、（３）被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際に高
温、高圧をかける操作等を採用することができる。
【００２６】例えば、（１）煮沸条件で行う場合、水溶
性蛍光液が煮沸する温度で例えば常圧で３０分程度が望
ましく、（２）減圧条件下で行う操作の場合、常温で２
３ｈＰａ以下で３０分程度が好ましく、（３）高温・高
圧の条件で操作する場合、例えば、オートクレーブ中で
約１５００ｈＰａ、約１１２℃以上、１０分程度が望ま
しい。この場合、高温条件は被検査物、例えば、半導体
ディバイスの場合の試験温度に合わせることが必要であ
るが、２００℃程度までは可能である。ただし必要以上
に浸漬時間を長くすると被検査物の内部に蛍光液が入り
すぎるため内部での蛍光液の広がりや浸入個所、流入経
路等の判定が困難となる。従って個々の被検査物に応じ
て浸漬時間を設定すべきである。
性蛍光液が煮沸する温度で例えば常圧で３０分程度が望
ましく、（２）減圧条件下で行う操作の場合、常温で２
３ｈＰａ以下で３０分程度が好ましく、（３）高温・高
圧の条件で操作する場合、例えば、オートクレーブ中で
約１５００ｈＰａ、約１１２℃以上、１０分程度が望ま
しい。この場合、高温条件は被検査物、例えば、半導体
ディバイスの場合の試験温度に合わせることが必要であ
るが、２００℃程度までは可能である。ただし必要以上
に浸漬時間を長くすると被検査物の内部に蛍光液が入り
すぎるため内部での蛍光液の広がりや浸入個所、流入経
路等の判定が困難となる。従って個々の被検査物に応じ
て浸漬時間を設定すべきである。
【００２７】加速操作を行う場合、いずれの場合も、高
温となるので水溶性蛍光液に添加される界面活性剤とし
ては、特に熱に強く、少量でも効果の高いアニオン界面
活性剤のアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム（ＡＢ
Ｓ）が望ましい。また、加速を行ういずれの条件の場合
にも水溶性蛍光液を被検査物に浸漬するに先だって前処
理として被検査物を超音波洗浄器中で１分から２分程度
浸漬させると、以後の検出操作が効果的となる。なお、
溶媒として特に純水の場合を説明したが、単に被検査物
のクラックの検出を行うためならば水溶性蛍光液の粘度
等は特に要求されるものではなく、この場合の溶媒は純
粋の代わりにエチルアルコール等のアルコールを用いる
ことも可能である。
温となるので水溶性蛍光液に添加される界面活性剤とし
ては、特に熱に強く、少量でも効果の高いアニオン界面
活性剤のアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム（ＡＢ
Ｓ）が望ましい。また、加速を行ういずれの条件の場合
にも水溶性蛍光液を被検査物に浸漬するに先だって前処
理として被検査物を超音波洗浄器中で１分から２分程度
浸漬させると、以後の検出操作が効果的となる。なお、
溶媒として特に純水の場合を説明したが、単に被検査物
のクラックの検出を行うためならば水溶性蛍光液の粘度
等は特に要求されるものではなく、この場合の溶媒は純
粋の代わりにエチルアルコール等のアルコールを用いる
ことも可能である。
【００２８】上記のようにして被検査物を水溶性蛍光液
に浸漬し、被検査物の微小欠陥部位に水溶性蛍光液を浸
漬させた後、被検査物を開封する。この開封の手段とし
てはパッケージ開封用カッター付万力、ペンチ等により
開封でき、また研磨手段による開封を行っても良い。要
は開封手段としては水や油等を用いない乾式であれば採
用可能である。
に浸漬し、被検査物の微小欠陥部位に水溶性蛍光液を浸
漬させた後、被検査物を開封する。この開封の手段とし
てはパッケージ開封用カッター付万力、ペンチ等により
開封でき、また研磨手段による開封を行っても良い。要
は開封手段としては水や油等を用いない乾式であれば採
用可能である。
【００２９】次に被検査物を開封した後に被検査物に対
し少なくとも１回以上加湿・乾燥させる。この場合の加
湿又は乾燥させるための装置の一例を図１に示す。
し少なくとも１回以上加湿・乾燥させる。この場合の加
湿又は乾燥させるための装置の一例を図１に示す。
【００３０】図１に示す装置はエアーポンプ１からエア
ー供給し、切替バルブ２によって加湿器３と除湿器４と
に流路を変更できるようになっており、吹き出し口５か
ら乾気または湿気が吹き出し可能となっている。加湿器
３は室温〜６０℃の恒温槽にバブリングまたは超音波に
より湿気を発生できるようになっており、除湿器４には
シリカゲル等の乾燥剤が充填されている。
ー供給し、切替バルブ２によって加湿器３と除湿器４と
に流路を変更できるようになっており、吹き出し口５か
ら乾気または湿気が吹き出し可能となっている。加湿器
３は室温〜６０℃の恒温槽にバブリングまたは超音波に
より湿気を発生できるようになっており、除湿器４には
シリカゲル等の乾燥剤が充填されている。
【００３１】開封された被検査物は吹き出し口５の近傍
に配置されたサンプル台を介して固定されており、この
装置によって被検査物に対して加湿又は乾燥が周期的に
行われる。この場合、加湿または乾燥の程度は例えば被
検査物に浸入した蛍光液が加湿によって生じた水滴にま
で広がらない程度に加湿することが必要であり、この点
から、通常２分程度加湿し、また、被検査物を十分に乾
燥させるためにその後１０分程度乾燥する。そして、こ
の工程を少なくとも１回以上行う。
に配置されたサンプル台を介して固定されており、この
装置によって被検査物に対して加湿又は乾燥が周期的に
行われる。この場合、加湿または乾燥の程度は例えば被
検査物に浸入した蛍光液が加湿によって生じた水滴にま
で広がらない程度に加湿することが必要であり、この点
から、通常２分程度加湿し、また、被検査物を十分に乾
燥させるためにその後１０分程度乾燥する。そして、こ
の工程を少なくとも１回以上行う。
【００３２】加湿・乾燥の工程は、これによって生じる
発光・消光を判別できれば、１回でもよいが、確実に発
光・消光を判別するためには少なくとも１回以上、望ま
しくは周期的に行うのがよい。
発光・消光を判別できれば、１回でもよいが、確実に発
光・消光を判別するためには少なくとも１回以上、望ま
しくは周期的に行うのがよい。
【００３３】次に加湿及び乾燥によって水溶性蛍光物質
が発光・消光するのでこの状態を拡大観察により検出す
る。これによって被検査物の微小欠陥の部位の位置とそ
の程度を検出することができる。この場合、検出手段と
しては、例えば蛍光顕微鏡により紫外線を照射してこれ
を拡大して観察する方法や画像処理により発光・消光を
検査する方法等が挙げられる。
が発光・消光するのでこの状態を拡大観察により検出す
る。これによって被検査物の微小欠陥の部位の位置とそ
の程度を検出することができる。この場合、検出手段と
しては、例えば蛍光顕微鏡により紫外線を照射してこれ
を拡大して観察する方法や画像処理により発光・消光を
検査する方法等が挙げられる。
【００３４】特に電子部品の封止樹脂、例えば、エポキ
シ樹脂等では、通常の油性蛍光液を浸透させ，その状態
を紫外線を照射して検出する場合、樹脂自体が発光する
が、本発明によれば、封止樹脂に対して水溶性蛍光物質
の発光・消光を介して水溶性蛍光物質が介在する位置お
よびその程度を確実に検出することができる。
シ樹脂等では、通常の油性蛍光液を浸透させ，その状態
を紫外線を照射して検出する場合、樹脂自体が発光する
が、本発明によれば、封止樹脂に対して水溶性蛍光物質
の発光・消光を介して水溶性蛍光物質が介在する位置お
よびその程度を確実に検出することができる。
【００３５】
【実施例】以下、具体的な実施例によって、本発明を説
明する。
明する。
【００３６】実施例 １ フルオレセインナトリウム １重量部 アルキルベンゼンスルホン酸 １重量部 純水 ９８重量部 からなる水溶性蛍光液を用い、電子部品として日本アイ
・ビー・エム製の４Ｍ−ＤＲＡＭ（２０ｐｉｎ ＳＯ
Ｊ）を用い、オートクレーブで１１２℃、約１５３０ｈ
Ｐａ（約１．５６ｋｇｆ／ｃｍ2 ）で１０分間浸漬し
た。
・ビー・エム製の４Ｍ−ＤＲＡＭ（２０ｐｉｎ ＳＯ
Ｊ）を用い、オートクレーブで１１２℃、約１５３０ｈ
Ｐａ（約１．５６ｋｇｆ／ｃｍ2 ）で１０分間浸漬し
た。
【００３７】次いで前記電子部品の封止樹脂（Ｏ−クレ
ゾールノボラック樹脂）をカッター付万力を用いて開封
し、図１に示す吹き出し口５に開封した電子部品を配置
させ、２分加湿、１０分乾燥のサイクルで加湿、乾燥を
行い、そのときの発光、消光の状態を蛍光顕微鏡（オリ
ンパス製）で観察した。その結果、発光部位（蛍光物質
浸透部位）はリードピンの側面で、幅約０．１μｍでパ
ッケージ内のチップとリードピンをつなぐワイヤーにま
で拡がっていることが確認された。
ゾールノボラック樹脂）をカッター付万力を用いて開封
し、図１に示す吹き出し口５に開封した電子部品を配置
させ、２分加湿、１０分乾燥のサイクルで加湿、乾燥を
行い、そのときの発光、消光の状態を蛍光顕微鏡（オリ
ンパス製）で観察した。その結果、発光部位（蛍光物質
浸透部位）はリードピンの側面で、幅約０．１μｍでパ
ッケージ内のチップとリードピンをつなぐワイヤーにま
で拡がっていることが確認された。
【００３８】実施例 ２ フルオレセインナトリウム １重量部 ポリオキシエチレングリコール １重量部 純水 ９８重量部 からなる水溶性蛍光液を用い、電子部品としてオムロン
製マイクロ抵抗器（８ｐｉｎ ＳＯＰ）を用い、常温、
常圧で２４時間浸漬した。
製マイクロ抵抗器（８ｐｉｎ ＳＯＰ）を用い、常温、
常圧で２４時間浸漬した。
【００３９】次いで前記電子部品の封止樹脂（Ｏ−クレ
ゾールノボラック樹脂）をカッター付万力を用いて開封
し、図１に示す吹き出し口５に開封した電子部品を配置
させ、２分加湿、１０分乾燥のサイクルで加湿、乾燥を
行い、そのときの発光、消光の状態を蛍光顕微鏡（オリ
ンパス製）で観察した。その結果、発光部位（蛍光物質
浸透部位）はリードピンの全面で、幅約１ｍｍでパッケ
ージ内の有機物抵抗体にまで拡がっていることが確認さ
れた。
ゾールノボラック樹脂）をカッター付万力を用いて開封
し、図１に示す吹き出し口５に開封した電子部品を配置
させ、２分加湿、１０分乾燥のサイクルで加湿、乾燥を
行い、そのときの発光、消光の状態を蛍光顕微鏡（オリ
ンパス製）で観察した。その結果、発光部位（蛍光物質
浸透部位）はリードピンの全面で、幅約１ｍｍでパッケ
ージ内の有機物抵抗体にまで拡がっていることが確認さ
れた。
【００４０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被検査物
を、加湿すると発光し、乾燥すると消光する性質を有す
る水溶性蛍光物質を含有水溶性蛍光液に浸漬して被検査
物の微小欠陥部位に水溶性蛍光液を浸透させた後、被検
査物を開封し、この被検査物を１回以上加湿・乾燥させ
ながら、蛍光顕微鏡等により発光・消光を拡大観察して
被検査物の微小欠陥を検出するようにしたので、封止樹
脂等の材料における浸透した蛍光液の識別性を向上させ
ることができ、特に微小部位（１μｍ）以下の欠陥部位
の検出が可能となると共に衛生、環境保護に配慮した安
全性の高い検出方法を提供できる。
を、加湿すると発光し、乾燥すると消光する性質を有す
る水溶性蛍光物質を含有水溶性蛍光液に浸漬して被検査
物の微小欠陥部位に水溶性蛍光液を浸透させた後、被検
査物を開封し、この被検査物を１回以上加湿・乾燥させ
ながら、蛍光顕微鏡等により発光・消光を拡大観察して
被検査物の微小欠陥を検出するようにしたので、封止樹
脂等の材料における浸透した蛍光液の識別性を向上させ
ることができ、特に微小部位（１μｍ）以下の欠陥部位
の検出が可能となると共に衛生、環境保護に配慮した安
全性の高い検出方法を提供できる。
【００４１】また、加湿すると発光し、乾燥すると消光
する性質を有する水溶性蛍光物質と界面活性剤と溶媒と
からなる水溶性蛍光液を使用すると、被検査物を水溶性
蛍光液に浸漬する際、被検査物に対する水溶性蛍光液の
浸透を加速させることができ、電子部品の評価時間を短
縮でき、封止樹脂における密着性等の評価の迅速性を向
上させることができる。
する性質を有する水溶性蛍光物質と界面活性剤と溶媒と
からなる水溶性蛍光液を使用すると、被検査物を水溶性
蛍光液に浸漬する際、被検査物に対する水溶性蛍光液の
浸透を加速させることができ、電子部品の評価時間を短
縮でき、封止樹脂における密着性等の評価の迅速性を向
上させることができる。
【００４２】被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際に水
溶性蛍光液を煮沸する操作、被検査物を水溶性蛍光液に
浸漬する際に減圧条件下で行う操作、被検査物を水溶性
蛍光液に浸漬する際に高温・高圧の条件下で行う操作等
が採用すると、被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際、
被検査物に対する水溶性蛍光液の浸透をより高度に加速
させることができ、電子部品の評価時間がより短縮さ
れ、封止樹脂の密着性等の評価をより迅速に行うことが
できる。
溶性蛍光液を煮沸する操作、被検査物を水溶性蛍光液に
浸漬する際に減圧条件下で行う操作、被検査物を水溶性
蛍光液に浸漬する際に高温・高圧の条件下で行う操作等
が採用すると、被検査物を水溶性蛍光液に浸漬する際、
被検査物に対する水溶性蛍光液の浸透をより高度に加速
させることができ、電子部品の評価時間がより短縮さ
れ、封止樹脂の密着性等の評価をより迅速に行うことが
できる。
【図１】図１は本発明の微小欠陥の検出方法を実施する
ために使用される加湿・除湿装置の一例を示す概略的構
成図である。
ために使用される加湿・除湿装置の一例を示す概略的構
成図である。
１ エアーボンプ ２ 切替バルブ ３ 加湿器 ４ 除湿器 ５ 吹き出し口
Claims (11)
- 【請求項１】 被検査物を、加湿すると発光し、乾燥す
ると消光する性質を有する水溶性蛍光物質を含有する水
溶性蛍光液に浸漬して前記被検査物の微小欠陥部位に前
記水溶性蛍光液を浸透させた後、被検査物を開封し、該
被検査物を少なくとも１回以上加湿・乾燥させながら、
拡大観察しつつ発光・消光を検出して被検査物の微小欠
陥を検出することを特徴とする微小欠陥の検出方法。 - 【請求項２】 被検査物を開封した後、被検査物を周期
的に加湿・乾燥することを特徴とする請求項１の微小欠
陥の検出方法。 - 【請求項３】 前記水溶性蛍光液が、水溶性蛍光物質と
界面活性剤と溶媒とからなることを特徴とする請求項１
の微小欠陥の検出方法。 - 【請求項４】 被検査物を前記水溶性蛍光液に浸漬する
際、被検査物に対する前記水溶性蛍光液の浸透を加速さ
せる操作を行うことを特徴とする請求項１の微小欠陥の
検出方法。 - 【請求項５】 前記被検査物に対する前記水溶性蛍光液
の浸透を加速させる操作が、被検査物を水溶性蛍光液に
浸漬する際、前記水溶性蛍光液を煮沸する操作であるこ
とを特徴とする請求項４の微小欠陥の検出方法。 - 【請求項６】 前記被検査物に対する前記水溶性蛍光液
の浸透を加速させる操作が、被検査物を水溶性蛍光液に
浸漬する際、減圧条件下で行う操作からなることを特徴
とする請求項４の微小欠陥の検出方法。 - 【請求項７】 前記被検査物に対する前記水溶性蛍光液
の浸透を加速させる操作が、被検査物を水溶性蛍光液に
浸漬する際、高温・高圧の条件下で行う操作からなるこ
とを特徴とする請求項４の微小欠陥の検出方法。 - 【請求項８】 加湿すると発光し、乾燥すると消光する
性質を有し、被検査物の微小欠陥を検出するために該被
検査物に浸透させ、上記発光・消光の状態を検出するこ
とによって上記被検査物の微小欠陥を検出するための検
出液であって、有機蛍光体のうち、水溶性、かつ乾燥時
に消光する性質を有する化合物の群から選ばれた少なく
とも１以上の水溶性蛍光物質を０．０００１重量％以上
飽和濃度以下含有し、界面活性剤の少なくとも１以上を
臨界ミセル濃度以上含有することを特徴とする微小欠陥
検出用水溶性蛍光液。 - 【請求項９】 ０．０００１重量％以上３重量％以下の
水溶性蛍光物質を含有することを特徴とする請求項８の
微小欠陥検出用水溶性蛍光液。 - 【請求項１０】 前記水溶性蛍光物質は、フルオレセイ
ンナトリウムおよびウンベリフェロンからなる群から選
択されることを特徴とする請求項８の微小欠陥検出用水
溶性蛍光液。 - 【請求項１１】 前記界面活性剤がアニオン界面活性剤
であることを特徴とする請求項８の微小欠陥検出用水溶
性蛍光液。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6227865A JP2628288B2 (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 微小欠陥の検出方法 |
| TW084101464A TW283259B (ja) | 1994-09-22 | 1995-02-17 | |
| EP95304603A EP0703446A1 (en) | 1994-09-22 | 1995-06-29 | Method for detecting minute defects in an encapsulated electronic component |
| US08/529,387 US5723976A (en) | 1994-09-22 | 1995-09-18 | Method for detecting minute defects in an encapsulated electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6227865A JP2628288B2 (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 微小欠陥の検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0894543A JPH0894543A (ja) | 1996-04-12 |
| JP2628288B2 true JP2628288B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=16867572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6227865A Expired - Lifetime JP2628288B2 (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 微小欠陥の検出方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5723976A (ja) |
| EP (1) | EP0703446A1 (ja) |
| JP (1) | JP2628288B2 (ja) |
| TW (1) | TW283259B (ja) |
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| JP2006332550A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Asahi Sunac Corp | 研磨パッドのドレッシング性評価方法及び研磨パッドのドレッシング方法 |
| WO2009079571A2 (en) * | 2007-12-17 | 2009-06-25 | Life Technologies Corporation | Methods for detecting defects in inorganic-coated polymer surfaces |
| US20130020507A1 (en) | 2010-06-17 | 2013-01-24 | Life Technologies Corporation | Methods for Detecting Defects in Inorganic-Coated Polymer Surfaces |
| WO2014171946A1 (en) | 2013-04-18 | 2014-10-23 | Empire Technology Development, Llc | Methods and systems for labeling and detecting defects in a graphene layer |
| CN113311000B (zh) * | 2021-07-29 | 2021-09-24 | 徐州诺派激光技术有限公司 | 激光器输出跳线镜片检测工装 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3543570A (en) * | 1967-11-21 | 1970-12-01 | Magnaflux Corp | Aqueous base penetrant composition and method |
| US3981185A (en) * | 1974-02-21 | 1976-09-21 | Rockwell International Corporation | Postemulsifiable dye penetrant system and method for using same |
| US4400618A (en) * | 1981-08-06 | 1983-08-23 | International Business Machines Corporation | Method of detecting and analyzing damage in printed circuit boards |
| US4436999A (en) * | 1982-06-08 | 1984-03-13 | Rca Corporation | Structural defect detection |
| US5030701A (en) * | 1987-12-31 | 1991-07-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Fluorine- and chromophore-containing polymer |
| US4909806A (en) * | 1987-12-31 | 1990-03-20 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Fluorine- and chromophore-containing polymer |
| US5369983A (en) * | 1992-04-17 | 1994-12-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Detection medium and method for use in hermetic seal testing |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP6227865A patent/JP2628288B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-02-17 TW TW084101464A patent/TW283259B/zh active
- 1995-06-29 EP EP95304603A patent/EP0703446A1/en not_active Withdrawn
- 1995-09-18 US US08/529,387 patent/US5723976A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
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| EP0703446A1 (en) | 1996-03-27 |
| JPH0894543A (ja) | 1996-04-12 |
| TW283259B (ja) | 1996-08-11 |
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