JPH07270341A - 蛍光浸透探傷法 - Google Patents
蛍光浸透探傷法Info
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- JPH07270341A JPH07270341A JP6258794A JP6258794A JPH07270341A JP H07270341 A JPH07270341 A JP H07270341A JP 6258794 A JP6258794 A JP 6258794A JP 6258794 A JP6258794 A JP 6258794A JP H07270341 A JPH07270341 A JP H07270341A
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- Japan
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- fluorescent penetrant
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- penetrant
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 検査対象物を油性の蛍光浸透液に浸漬し、あ
るいは検査対象物に油性の蛍光浸透液を塗布して、検査
対象物の表面に開口している欠陥部に油性の蛍光浸透液
を浸透させ、水スプレーで検査対象物の表面に付着して
いる余剰の浸透液を物理的に除去する。 【効果】 検査対象物の表面に付着した蛍光浸透液の水
洗除去に際して、水スプレーのみを行うことで、比較的
容易に過洗浄や洗浄不足を防止でき、誰でも確実に微小
欠陥の検出を行うことができる。
るいは検査対象物に油性の蛍光浸透液を塗布して、検査
対象物の表面に開口している欠陥部に油性の蛍光浸透液
を浸透させ、水スプレーで検査対象物の表面に付着して
いる余剰の浸透液を物理的に除去する。 【効果】 検査対象物の表面に付着した蛍光浸透液の水
洗除去に際して、水スプレーのみを行うことで、比較的
容易に過洗浄や洗浄不足を防止でき、誰でも確実に微小
欠陥の検出を行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象物の表面欠陥
を検出するための浸透探傷法に関する。
を検出するための浸透探傷法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、窒化珪素等のセラミック材料を機
械部品として用いる試みが盛んに行われているが、脆性
材料であるセラミックスを機械部品として用いる場合、
その表面欠陥の検査を行うことが、強度信頼性を確保す
る上で重要である。従来、セラミックスの表面に開口し
た欠陥を検出する非破壊試験方法の１つとして、蛍光浸
透探傷法が広く用いられている。
械部品として用いる試みが盛んに行われているが、脆性
材料であるセラミックスを機械部品として用いる場合、
その表面欠陥の検査を行うことが、強度信頼性を確保す
る上で重要である。従来、セラミックスの表面に開口し
た欠陥を検出する非破壊試験方法の１つとして、蛍光浸
透探傷法が広く用いられている。
【０００３】この方法は、浸透力の強い蛍光性の浸透液
（蛍光浸透液）を、検査対象物の表面に塗布するなどし
て、欠陥内部に浸透液を十分浸透させ、検査対象物の表
面に付着している浸透液を水洗等により除去した後、必
要に応じ現像剤によって欠陥内部に浸透していた浸透液
を表面に吸い出して欠陥指示模様を現出させ、これを紫
外線を照射しながら観察することにより欠陥を検出する
ものである。このような蛍光浸透探傷法では、検査対象
物の表面に付着している浸透液を除去する際に、欠陥内
部に浸透した浸透液を残したまま、表面に付着している
余剰の浸透液のみ除去することが重要である。
（蛍光浸透液）を、検査対象物の表面に塗布するなどし
て、欠陥内部に浸透液を十分浸透させ、検査対象物の表
面に付着している浸透液を水洗等により除去した後、必
要に応じ現像剤によって欠陥内部に浸透していた浸透液
を表面に吸い出して欠陥指示模様を現出させ、これを紫
外線を照射しながら観察することにより欠陥を検出する
ものである。このような蛍光浸透探傷法では、検査対象
物の表面に付着している浸透液を除去する際に、欠陥内
部に浸透した浸透液を残したまま、表面に付着している
余剰の浸透液のみ除去することが重要である。
【０００４】従来一般的に行われている蛍光浸透探傷法
としては、乳化剤を混合して予め水に溶ける状態とした
蛍光浸透液（水洗性蛍光浸透液）を用い、これを検査対
象物の欠陥内部に浸透させた後、表面に付着している余
剰の蛍光浸透液を水洗する方法や、水に溶けない油性の
蛍光浸透液（後乳化性蛍光浸透液）を用い、これを検査
対象物の欠陥内部に浸透させた後、その表面に乳化剤を
塗布して、表面に付着している余剰の蛍光浸透液のみを
水に溶ける状態としてから水洗する方法が知られてい
る。
としては、乳化剤を混合して予め水に溶ける状態とした
蛍光浸透液（水洗性蛍光浸透液）を用い、これを検査対
象物の欠陥内部に浸透させた後、表面に付着している余
剰の蛍光浸透液を水洗する方法や、水に溶けない油性の
蛍光浸透液（後乳化性蛍光浸透液）を用い、これを検査
対象物の欠陥内部に浸透させた後、その表面に乳化剤を
塗布して、表面に付着している余剰の蛍光浸透液のみを
水に溶ける状態としてから水洗する方法が知られてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法のうち、乳化剤を混合して予め水に溶ける状態とした
蛍光浸透液を用いる方法においては、水洗の際、過洗浄
となり易く、欠陥内部に浸透させた蛍光浸透液まで洗い
流してしまうおそれがあった。また、油性の蛍光浸透液
を用い、水洗前に表面に付着した余剰の蛍光浸透液を乳
化する方法においても、乳化剤の塗布方法や乳化時間等
の管理を精度良く行わないと、過洗浄となって欠陥内部
の蛍光浸透液まで洗い流したり、逆に洗浄不足となって
表面に付着した余剰の蛍光浸透液が十分に取り除かれな
いという問題があった。また、金属の蛍光浸透探傷法に
おいても、上記と同じ方法で行われており、同様の問題
があった。
法のうち、乳化剤を混合して予め水に溶ける状態とした
蛍光浸透液を用いる方法においては、水洗の際、過洗浄
となり易く、欠陥内部に浸透させた蛍光浸透液まで洗い
流してしまうおそれがあった。また、油性の蛍光浸透液
を用い、水洗前に表面に付着した余剰の蛍光浸透液を乳
化する方法においても、乳化剤の塗布方法や乳化時間等
の管理を精度良く行わないと、過洗浄となって欠陥内部
の蛍光浸透液まで洗い流したり、逆に洗浄不足となって
表面に付着した余剰の蛍光浸透液が十分に取り除かれな
いという問題があった。また、金属の蛍光浸透探傷法に
おいても、上記と同じ方法で行われており、同様の問題
があった。
【０００６】すなわち、これら従来法では、探傷条件の
厳密な管理が必要で、探傷を行う者の技量によっても結
果が大きく変わるという最大の欠点を有していた。本発
明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたも
のであり、比較的容易な管理で、過洗浄や洗浄不足を防
止でき、誰でも確実に微小欠陥の検出が可能な蛍光浸透
探傷法を提供することをその目的とする。
厳密な管理が必要で、探傷を行う者の技量によっても結
果が大きく変わるという最大の欠点を有していた。本発
明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたも
のであり、比較的容易な管理で、過洗浄や洗浄不足を防
止でき、誰でも確実に微小欠陥の検出が可能な蛍光浸透
探傷法を提供することをその目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、検査対
象物を油性の蛍光浸透液に浸漬し、あるいは検査対象物
に油性の蛍光浸透液を塗布して、検査対象物の表面に開
口している欠陥部に油性の蛍光浸透液を浸透させ、水ス
プレーで検査対象物の表面に付着している余剰の浸透液
を物理的に除去することを特徴とする蛍光浸透探傷法、
が提供される。
象物を油性の蛍光浸透液に浸漬し、あるいは検査対象物
に油性の蛍光浸透液を塗布して、検査対象物の表面に開
口している欠陥部に油性の蛍光浸透液を浸透させ、水ス
プレーで検査対象物の表面に付着している余剰の浸透液
を物理的に除去することを特徴とする蛍光浸透探傷法、
が提供される。
【０００８】
【作用】上記のように、本発明は、予め乳化処理済みの
蛍光浸透液を用いたり、あるいは水洗前に蛍光浸透液の
乳化処理を行う従来法とは異なり、油性の蛍光浸透液を
欠陥内部に浸透させた後、検査対象物表面に付着した余
剰の蛍光浸透液を、乳化処理を施すことなく、水スプレ
ーによって物理的に（吹き飛ばして）除去するものであ
る。
蛍光浸透液を用いたり、あるいは水洗前に蛍光浸透液の
乳化処理を行う従来法とは異なり、油性の蛍光浸透液を
欠陥内部に浸透させた後、検査対象物表面に付着した余
剰の蛍光浸透液を、乳化処理を施すことなく、水スプレ
ーによって物理的に（吹き飛ばして）除去するものであ
る。
【０００９】本発明においては、油性の蛍光浸透液を乳
化せずに、水スプレーの水圧による物理的な作用のみに
よって除去することで、過洗浄や洗浄不足という事態が
生ずるのを防ぐことができ、洗浄時間の多少の長短には
ほとんど影響を受けることなく、精度の高い欠陥検出が
行える。水スプレーによる洗浄後は、従来一般的に行わ
れている通常の蛍光浸透探傷法と同様にして、欠陥指示
模様を現出させ、これを紫外線照射の下、目視又は拡大
するなどして観察することにより、欠陥の位置や大きさ
を知ることができる。
化せずに、水スプレーの水圧による物理的な作用のみに
よって除去することで、過洗浄や洗浄不足という事態が
生ずるのを防ぐことができ、洗浄時間の多少の長短には
ほとんど影響を受けることなく、精度の高い欠陥検出が
行える。水スプレーによる洗浄後は、従来一般的に行わ
れている通常の蛍光浸透探傷法と同様にして、欠陥指示
模様を現出させ、これを紫外線照射の下、目視又は拡大
するなどして観察することにより、欠陥の位置や大きさ
を知ることができる。
【００１０】なお、本発明の検査対象物の種類や形状等
は特に限定されないが、セラミックスの探傷に好適であ
り、また表面が滑らかな研磨面の探傷により適してい
る。表面が比較的粗い面（例えばセラミックスの焼成
面）では、洗浄後も検査対象物表面に多少の蛍光浸透液
が残ることがあるが、欠陥内部に浸透した蛍光浸透液と
は明確に判別できるため、欠陥の検出精度にはほとんど
影響がない。また、水スプレーの水圧は、例えば検査対
象物がセラミックスの場合、３．５kgf/cm2以上とする
ことが好ましい。
は特に限定されないが、セラミックスの探傷に好適であ
り、また表面が滑らかな研磨面の探傷により適してい
る。表面が比較的粗い面（例えばセラミックスの焼成
面）では、洗浄後も検査対象物表面に多少の蛍光浸透液
が残ることがあるが、欠陥内部に浸透した蛍光浸透液と
は明確に判別できるため、欠陥の検出精度にはほとんど
影響がない。また、水スプレーの水圧は、例えば検査対
象物がセラミックスの場合、３．５kgf/cm2以上とする
ことが好ましい。
【００１１】
【実施例】従来、一般的に行われている代表的な２種類
の蛍光浸透探傷法と、本発明の蛍光浸透探傷法とを実施
し、その結果を比較検討した。
の蛍光浸透探傷法と、本発明の蛍光浸透探傷法とを実施
し、その結果を比較検討した。
【００１２】従来法１：図１に示すような階段状の３つ
の試験面Ａ、Ｂ、Ｃを有する窒化珪素製の試験片１を準
備した。試験面Ａは表面粗さ２Ｓ程度の焼成面であり、
試験面Ｂは表面粗さ１．０Ｓ、試験面Ｃは表面粗さ０．
１Ｓにそれぞれ研磨された研磨面である。各試験面には
表面欠陥としてそれぞれ直径１０〜７５０μｍの９種の
寸法のヴィッカース圧痕が設けられている。
の試験面Ａ、Ｂ、Ｃを有する窒化珪素製の試験片１を準
備した。試験面Ａは表面粗さ２Ｓ程度の焼成面であり、
試験面Ｂは表面粗さ１．０Ｓ、試験面Ｃは表面粗さ０．
１Ｓにそれぞれ研磨された研磨面である。各試験面には
表面欠陥としてそれぞれ直径１０〜７５０μｍの９種の
寸法のヴィッカース圧痕が設けられている。
【００１３】この試験片を、乳化処理済みの蛍光浸透液
（水洗性蛍光浸透液）に１０分間浸漬した後、水圧２．
０kgf/cm2の水スプレーで１分間洗浄した。そして、７
０℃で５分間乾燥した後、強度２０００μＷ/cm2の紫外
線照射の下で観察し、欠陥の検出を行った。その結果を
表１に示す。また、洗浄時間を種々変更して上記と同様
に欠陥の検出を行い、洗浄時間と欠陥の検出限界との関
係をグラフに示した（図２参照）。
（水洗性蛍光浸透液）に１０分間浸漬した後、水圧２．
０kgf/cm2の水スプレーで１分間洗浄した。そして、７
０℃で５分間乾燥した後、強度２０００μＷ/cm2の紫外
線照射の下で観察し、欠陥の検出を行った。その結果を
表１に示す。また、洗浄時間を種々変更して上記と同様
に欠陥の検出を行い、洗浄時間と欠陥の検出限界との関
係をグラフに示した（図２参照）。
【００１４】
【表１】
【００１５】従来法２：上記従来法１で用いたものと同
じ試験片を、油性の蛍光浸透液（後乳化性蛍光浸透液）
に１０分間浸漬した後、その表面に乳化剤を塗布して１
０〜６０秒間乳化処理を行い、次いで水圧２．５kgf/cm
2の水スプレーで１分間洗浄した。そして、上記従来法
１と同様に乾燥及び欠陥の検出を行った。その結果を表
２に示す。また、乳化時間を種々変更して上記と同様に
欠陥の検出を行い、乳化時間と欠陥の検出限界との関係
をグラフに示した（図３参照）。
じ試験片を、油性の蛍光浸透液（後乳化性蛍光浸透液）
に１０分間浸漬した後、その表面に乳化剤を塗布して１
０〜６０秒間乳化処理を行い、次いで水圧２．５kgf/cm
2の水スプレーで１分間洗浄した。そして、上記従来法
１と同様に乾燥及び欠陥の検出を行った。その結果を表
２に示す。また、乳化時間を種々変更して上記と同様に
欠陥の検出を行い、乳化時間と欠陥の検出限界との関係
をグラフに示した（図３参照）。
【００１６】
【表２】
【００１７】本発明法：上記従来法１及び従来法２で各
表面粗さにおいて検出できた最小欠陥（表３参照）を対
象に、水スプレーの水圧と洗浄時間とを様々に設定して
欠陥の検出を行った。手順は以下のとおりである。上記
従来法１で用いたものと同じ試験片を、油性の蛍光浸透
液に１０分間浸漬した後、水圧１．５〜４．０kgf/cm2
の水スプレーで１〜５分洗浄した。そして、上記従来法
１と同様に乾燥及び欠陥の検出を行った。その結果を表
４に示す。
表面粗さにおいて検出できた最小欠陥（表３参照）を対
象に、水スプレーの水圧と洗浄時間とを様々に設定して
欠陥の検出を行った。手順は以下のとおりである。上記
従来法１で用いたものと同じ試験片を、油性の蛍光浸透
液に１０分間浸漬した後、水圧１．５〜４．０kgf/cm2
の水スプレーで１〜５分洗浄した。そして、上記従来法
１と同様に乾燥及び欠陥の検出を行った。その結果を表
４に示す。
【００１８】
【表３】
【００１９】
【表４】
【００２０】上記結果の示すとおり、本発明法の場合、
水圧が一定レベル以上（３．５kgf/cm2以上）の水スプ
レーを用いることのみで、従来法において検出できた最
小欠陥を、洗浄時間にほとんど影響を受けることなく検
出できた。これに対し、従来法では、図２及び図３に示
すように、洗浄時間あるいは乳化時間の長短により欠陥
の検出限界が大きく変わり、微小欠陥を精度よく検出す
るためには、これらの時間管理を厳密に行わなければな
らない。
水圧が一定レベル以上（３．５kgf/cm2以上）の水スプ
レーを用いることのみで、従来法において検出できた最
小欠陥を、洗浄時間にほとんど影響を受けることなく検
出できた。これに対し、従来法では、図２及び図３に示
すように、洗浄時間あるいは乳化時間の長短により欠陥
の検出限界が大きく変わり、微小欠陥を精度よく検出す
るためには、これらの時間管理を厳密に行わなければな
らない。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の蛍光浸透
探傷法によれば、検査対象物の表面に付着した蛍光浸透
液の水洗除去に際して、水スプレーのみを行うことで、
比較的容易に過洗浄や洗浄不足を防止でき、誰でも確実
に微小欠陥の検出を行うことができる。
探傷法によれば、検査対象物の表面に付着した蛍光浸透
液の水洗除去に際して、水スプレーのみを行うことで、
比較的容易に過洗浄や洗浄不足を防止でき、誰でも確実
に微小欠陥の検出を行うことができる。
【図１】欠陥の検出に用いた試験片の斜視図である。
【図２】従来法における、洗浄時間と欠陥検出限界との
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
【図３】従来法における、乳化時間と欠陥検出限界との
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
１…試験片
Claims (3)
- 【請求項１】 検査対象物を油性の蛍光浸透液に浸漬
し、あるいは検査対象物に油性の蛍光浸透液を塗布し
て、検査対象物の表面に開口している欠陥部に油性の蛍
光浸透液を浸透させ、水スプレーで検査対象物の表面に
付着している余剰の浸透液を物理的に除去することを特
徴とする蛍光浸透探傷法。 - 【請求項２】 検査対象物がセラミックスである請求項
１記載の蛍光浸透探傷法。 - 【請求項３】 水スプレーの水圧が３．５kgf/cm2以上
である請求項１又は２に記載の蛍光浸透探傷法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6258794A JPH07270341A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 蛍光浸透探傷法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6258794A JPH07270341A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 蛍光浸透探傷法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270341A true JPH07270341A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13204612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6258794A Pending JPH07270341A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 蛍光浸透探傷法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07270341A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011507001A (ja) * | 2007-12-17 | 2011-03-03 | ライフ テクノロジーズ コーポレーション | 無機物で被覆された高分子表面における欠陥を検出する方法 |
| WO2014017027A1 (ja) * | 2012-07-25 | 2014-01-30 | 国立大学法人九州工業大学 | ユーロピウムジケトンキレート化合物及び無機材又は金属材の蛍光浸透探傷方法 |
| US9310315B2 (en) | 2007-12-17 | 2016-04-12 | Life Technologies Corporation | Methods for detecting defects in inorganic-coated polymer surfaces |
| CN113514474A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-10-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6258794A patent/JPH07270341A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011507001A (ja) * | 2007-12-17 | 2011-03-03 | ライフ テクノロジーズ コーポレーション | 無機物で被覆された高分子表面における欠陥を検出する方法 |
| US9310315B2 (en) | 2007-12-17 | 2016-04-12 | Life Technologies Corporation | Methods for detecting defects in inorganic-coated polymer surfaces |
| WO2014017027A1 (ja) * | 2012-07-25 | 2014-01-30 | 国立大学法人九州工業大学 | ユーロピウムジケトンキレート化合物及び無機材又は金属材の蛍光浸透探傷方法 |
| CN113514474A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-10-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19981020 |