JP2617236B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents
半導体レーザ装置Info
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- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
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- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザの発光素子として半導体レーザチッ
プを使用した半導体レーザ装置のうち、前記半導体レー
ザチップの部分を、キャップ体にて密封して成るいわゆ
るカンシール型の半導体レーザ装置の改良に関するもの
である。
プを使用した半導体レーザ装置のうち、前記半導体レー
ザチップの部分を、キャップ体にて密封して成るいわゆ
るカンシール型の半導体レーザ装置の改良に関するもの
である。
一般に、この種のカンシール型の半導体レーザ装置に
おいて、その半導体レーザチップの部分を、キャップ体
によって密封するのは、前記半導体レーザチップが、大
気中の湿度や塵埃等によって劣化することを防止すると
共に、前記半導体レーザチップを、外部からの接触及び
衝撃等に対して保護することにある。
おいて、その半導体レーザチップの部分を、キャップ体
によって密封するのは、前記半導体レーザチップが、大
気中の湿度や塵埃等によって劣化することを防止すると
共に、前記半導体レーザチップを、外部からの接触及び
衝撃等に対して保護することにある。
そこで、従来、この種のカンシール型の半導体レーザ
装置においては、良く知られているように、半導体レー
ザチップをダイボンディングしたステムと、その半導体
レーザチップに対するキャップ体とを炭素鋼製にして、
この両者を抵抗溶接にして接合する一方、前記キャップ
体に対してレーザ光を発射するためのガラス板をガラス
半田を使用して気密状態に固着し、更に、前記半導体レ
ーザチップに対するリード端子を、前記ステムに穿設し
た貫通孔から挿入し、このリード端子を前記貫通孔内に
おいてガラスシール材にて絶縁シール状態で固着すると
言う構成にしている。
装置においては、良く知られているように、半導体レー
ザチップをダイボンディングしたステムと、その半導体
レーザチップに対するキャップ体とを炭素鋼製にして、
この両者を抵抗溶接にして接合する一方、前記キャップ
体に対してレーザ光を発射するためのガラス板をガラス
半田を使用して気密状態に固着し、更に、前記半導体レ
ーザチップに対するリード端子を、前記ステムに穿設し
た貫通孔から挿入し、このリード端子を前記貫通孔内に
おいてガラスシール材にて絶縁シール状態で固着すると
言う構成にしている。
しかし、ガラス板をキャップ体に対してガラス半田を
使用して固着するには、リング状のガラス半田を製作す
る工程、及び高温で焼成する工程を必要するばかりか、
この高温での焼成によって変色したキャップ体に対し
て、酸洗いしたのちニッケルメッキを施すと言う後処理
工程を必要とするものであり、また、ステムに穿設した
貫通孔内に挿入したリード端子を貫通孔内にガラスシー
ル材によって固着するに際しても、パイプ状ガラスシー
ル材の製作工程、及び高温で焼成する工程を必要をする
ばかりか、この高温での焼成によって変色したステムに
対して、酸洗いしたのちニッケルメッキを施すと言う後
処理工程を必要とするものであって、キャップ体に対し
てガラス板を固着すること、及びステムに対してリード
端子を絶縁シール状態で固着することに、多大のコスト
が嵩み、半導体レーザ装置の価格が著しく高くなると言
う問題があった。
使用して固着するには、リング状のガラス半田を製作す
る工程、及び高温で焼成する工程を必要するばかりか、
この高温での焼成によって変色したキャップ体に対し
て、酸洗いしたのちニッケルメッキを施すと言う後処理
工程を必要とするものであり、また、ステムに穿設した
貫通孔内に挿入したリード端子を貫通孔内にガラスシー
ル材によって固着するに際しても、パイプ状ガラスシー
ル材の製作工程、及び高温で焼成する工程を必要をする
ばかりか、この高温での焼成によって変色したステムに
対して、酸洗いしたのちニッケルメッキを施すと言う後
処理工程を必要とするものであって、キャップ体に対し
てガラス板を固着すること、及びステムに対してリード
端子を絶縁シール状態で固着することに、多大のコスト
が嵩み、半導体レーザ装置の価格が著しく高くなると言
う問題があった。
そこで、先行技術としての実開昭61−83067号公報
は、前記キャップ体内に、硬質の透明樹脂を充填して、
その透明樹にて半導体レーザチップを密封することによ
り、前記キャップ体に透明板を固着するのを省略するこ
とを提案している。
は、前記キャップ体内に、硬質の透明樹脂を充填して、
その透明樹にて半導体レーザチップを密封することによ
り、前記キャップ体に透明板を固着するのを省略するこ
とを提案している。
しかし、この先行技術は、キャップ体内に充填する硬
質の透明樹脂により、半導体レーザチップを直接的に密
封するもので、この硬質の透明樹脂における温度変化等
による膨張・収縮が、前記半導体レーザチップ、及びこ
の半導体レーザチップに接続した細い金属線に対して直
接的に及ぶことになるから、半導体レーザチップの性質
を変化したり、細い金属線に断線が発生したするおそれ
が大きいと言う問題があった。
質の透明樹脂により、半導体レーザチップを直接的に密
封するもので、この硬質の透明樹脂における温度変化等
による膨張・収縮が、前記半導体レーザチップ、及びこ
の半導体レーザチップに接続した細い金属線に対して直
接的に及ぶことになるから、半導体レーザチップの性質
を変化したり、細い金属線に断線が発生したするおそれ
が大きいと言う問題があった。
本発明は、これらの問題を解消することを技術的課題
とするものである。
とするものである。
この技術的課題を達成するため本発明は、 「半導体レーザチップを固着したステムと、該ステムに
前記半導体レーザチップに被嵌するように固着したキャ
ップ体と、前記ステムに穿設の貫通孔から前記キャップ
体内に突出するように挿入した少なくとも一つのリード
端子とから成る半導体レーザ装置において、 前記キャップ体のうち前記半導体レーザチップの前方
劈開面に対向する部位に開口部を設ける一方、前記キャ
ップ体内の底部に、炭酸カルシウムやアルミナ等の充填
剤を混入した熱硬化性合成樹脂を、当該熱硬化性合成樹
脂が、前記ステムにおけるリード端子用貫通孔内に入る
ように充填し、更に、前記キャップ体内に、前記半導体
レーザチップの部分にこれを覆うように塗着した軟質の
透明樹脂と、キャップ体内にその開口部まで詰まるよう
に充填した硬質の透明樹脂とを設ける。」 と言う構成にした。
前記半導体レーザチップに被嵌するように固着したキャ
ップ体と、前記ステムに穿設の貫通孔から前記キャップ
体内に突出するように挿入した少なくとも一つのリード
端子とから成る半導体レーザ装置において、 前記キャップ体のうち前記半導体レーザチップの前方
劈開面に対向する部位に開口部を設ける一方、前記キャ
ップ体内の底部に、炭酸カルシウムやアルミナ等の充填
剤を混入した熱硬化性合成樹脂を、当該熱硬化性合成樹
脂が、前記ステムにおけるリード端子用貫通孔内に入る
ように充填し、更に、前記キャップ体内に、前記半導体
レーザチップの部分にこれを覆うように塗着した軟質の
透明樹脂と、キャップ体内にその開口部まで詰まるよう
に充填した硬質の透明樹脂とを設ける。」 と言う構成にした。
このように構成すると、半導体レーザチップの先端に
おける前方劈開面から発射するレーザ光は、当該半導体
レーザチップを覆う軟質の透明樹脂内、及びキャップ体
内に充填した硬質の透明合成樹脂内を通って、当該硬質
の透明合成樹脂の表面から大気中に出射される。
おける前方劈開面から発射するレーザ光は、当該半導体
レーザチップを覆う軟質の透明樹脂内、及びキャップ体
内に充填した硬質の透明合成樹脂内を通って、当該硬質
の透明合成樹脂の表面から大気中に出射される。
そして、前記半導体レーザチップの全体は、前記キャ
ップ体内に充填した硬質の透明合成樹脂によって覆われ
ていることにより、当該半導体レーザチップに対する湿
度及び塵埃の接触を、前記透明合成樹脂によって阻止す
ることができるから、前記キャップ体に対して、前記従
来のように、ガラス板を固着することを省略できるので
ある。
ップ体内に充填した硬質の透明合成樹脂によって覆われ
ていることにより、当該半導体レーザチップに対する湿
度及び塵埃の接触を、前記透明合成樹脂によって阻止す
ることができるから、前記キャップ体に対して、前記従
来のように、ガラス板を固着することを省略できるので
ある。
この場合において、本発明は、半導体レーザチップ
を、先行技術のようにキャップ体内に充填した硬質の透
明樹脂のみで密封するではなく、当該半導体レーザチッ
プに塗着した軟質の透明樹脂と、キャップ体内に充填し
た硬質の透明樹脂との両方で密封するものであるから、
前記半導体レーザチップの部分を、キャップ体内に充填
した硬質の透明樹脂によって、強固に密封することがで
きる一方、この硬質透明樹脂における温度変化等による
膨張・収縮が前記半導体レーザチップ及びこれに接続し
た細い金属線に及ぶことを、この半導体レーザチップの
部分に予め塗着した軟質の透明樹脂にて大幅に低減でき
るのである。
を、先行技術のようにキャップ体内に充填した硬質の透
明樹脂のみで密封するではなく、当該半導体レーザチッ
プに塗着した軟質の透明樹脂と、キャップ体内に充填し
た硬質の透明樹脂との両方で密封するものであるから、
前記半導体レーザチップの部分を、キャップ体内に充填
した硬質の透明樹脂によって、強固に密封することがで
きる一方、この硬質透明樹脂における温度変化等による
膨張・収縮が前記半導体レーザチップ及びこれに接続し
た細い金属線に及ぶことを、この半導体レーザチップの
部分に予め塗着した軟質の透明樹脂にて大幅に低減でき
るのである。
一方、前記キャップ体内の底部に、充填剤を混入した
熱硬化性合成樹脂を、当該熱硬化性合成樹脂が、前記ス
テムにおけるリード端子用貫通孔内に入るように充填し
たことにより、リード端子をステムに対して絶縁シール
状態で固着することで、前記従来のように、ガラスシー
ル材を使用することを省略できる。
熱硬化性合成樹脂を、当該熱硬化性合成樹脂が、前記ス
テムにおけるリード端子用貫通孔内に入るように充填し
たことにより、リード端子をステムに対して絶縁シール
状態で固着することで、前記従来のように、ガラスシー
ル材を使用することを省略できる。
すなわち、熱硬化性合成樹脂に炭酸カルシウムやアル
ミナ等の充填剤を混入することにより、当該熱硬化性合
成樹脂における硬化時の収縮及び熱膨張率を低減できる
と共に、機械的強度を向上することができるから、この
充填剤を混入した熱硬化性合成樹脂を、キャップ体内の
底部に、当該熱硬化性合成樹脂が、ステムにおけるリー
ド端子用貫通孔内に入るように充填することにより、リ
ード端子をステムに対して絶縁シール状態で固着するこ
とが、確実に、且つ、強固にできるのである。
ミナ等の充填剤を混入することにより、当該熱硬化性合
成樹脂における硬化時の収縮及び熱膨張率を低減できる
と共に、機械的強度を向上することができるから、この
充填剤を混入した熱硬化性合成樹脂を、キャップ体内の
底部に、当該熱硬化性合成樹脂が、ステムにおけるリー
ド端子用貫通孔内に入るように充填することにより、リ
ード端子をステムに対して絶縁シール状態で固着するこ
とが、確実に、且つ、強固にできるのである。
従って、本発明によると、キャップ体内に、透明樹脂
を充填することによって、前記キャップ体に透明板を固
着することを省略する場合に、半導体レーザチップの性
質が変化したり、細い金属線に断線が発生したりするこ
とを確実に低減できるのであり、しかも、リード端子を
ステムに対してガラスシール材を使用して固着すること
を必要としないから、前記のようにキャップ体に透明板
を設けるのを省略できることと相俟って、製造コストを
大幅に低減できると言う効果を有する。
を充填することによって、前記キャップ体に透明板を固
着することを省略する場合に、半導体レーザチップの性
質が変化したり、細い金属線に断線が発生したりするこ
とを確実に低減できるのであり、しかも、リード端子を
ステムに対してガラスシール材を使用して固着すること
を必要としないから、前記のようにキャップ体に透明板
を設けるのを省略できることと相俟って、製造コストを
大幅に低減できると言う効果を有する。
以下、本発明の実施例を図面（第１図〜第３図）につ
いて説明するに、図において符号１は、炭素鋼等の金属
にて円盤型に形成したステム２と、炭素鋼等の金属板に
て開口部３を有するように筒型に形成したキャップ体４
とによって構成された半導体レーザ装置を示す。
いて説明するに、図において符号１は、炭素鋼等の金属
にて円盤型に形成したステム２と、炭素鋼等の金属板に
て開口部３を有するように筒型に形成したキャップ体４
とによって構成された半導体レーザ装置を示す。
前記ステム２の上面に一体的に造形したブロック体５
の側面には、モニター用ホォトダイオード７を備えたサ
ブマウント６が固着され、このサブマウント６の表面
に、半導体レーザチップ８が、当該半導体レーザチップ
８における前方劈開面8aが前記開口部３の方向に向か
い、後方劈開面8bが前記ホォトダイオード７の方向に向
かうようにダイボンディングされている。
の側面には、モニター用ホォトダイオード７を備えたサ
ブマウント６が固着され、このサブマウント６の表面
に、半導体レーザチップ８が、当該半導体レーザチップ
８における前方劈開面8aが前記開口部３の方向に向か
い、後方劈開面8bが前記ホォトダイオード７の方向に向
かうようにダイボンディングされている。
また、前記半導体レーザチップ８と、前記ホォトダイ
オード７とには、シリコン樹脂等のように比較的軟質の
透明樹脂９が、前記半導体レーザチップ８及び前記ホォ
トダイオード７の全体を覆うように塗着されている。な
お、この軟質の透明樹脂９は、半導体レーザチップ８と
サブマウント６との間、及び、サブマウント６と後述す
るリード端子10b,10cとの間を細い金属線にワイヤボン
ディングした後において塗着する。
オード７とには、シリコン樹脂等のように比較的軟質の
透明樹脂９が、前記半導体レーザチップ８及び前記ホォ
トダイオード７の全体を覆うように塗着されている。な
お、この軟質の透明樹脂９は、半導体レーザチップ８と
サブマウント６との間、及び、サブマウント６と後述す
るリード端子10b,10cとの間を細い金属線にワイヤボン
ディングした後において塗着する。
符号10a,10b,10cは、前記半導体レーザチップ８及び
前記ホォトダイオード７に対するリード端子を示し、こ
の各リード端子10a,10b,10cのうち一本のリード端子10a
は、前記ステム２の下面に溶接等により固着され、他の
二本のリード端子10b,10cは、前記ステム２に穿設した
貫通孔11,12内に挿入されている。
前記ホォトダイオード７に対するリード端子を示し、こ
の各リード端子10a,10b,10cのうち一本のリード端子10a
は、前記ステム２の下面に溶接等により固着され、他の
二本のリード端子10b,10cは、前記ステム２に穿設した
貫通孔11,12内に挿入されている。
また、前記キャップ体４は、前記半導体レーザチップ
８付ブロック体５に被嵌したのち、その下端における外
向きフランジ部4aを前記ステム２に対して溶接等するこ
とによって固着されている。
８付ブロック体５に被嵌したのち、その下端における外
向きフランジ部4aを前記ステム２に対して溶接等するこ
とによって固着されている。
そして、前記キャップ体４内における底部に、炭酸カ
ルシウムやアルミナ等の充填剤を混入した熱硬化性合成
樹脂13を、当該熱硬化性合成樹脂13が前記ステム２にお
ける両貫通孔11,12内に入るように充填する。
ルシウムやアルミナ等の充填剤を混入した熱硬化性合成
樹脂13を、当該熱硬化性合成樹脂13が前記ステム２にお
ける両貫通孔11,12内に入るように充填する。
次いで、前記キャップ体４内に、例えば、エポキシ樹
脂等のような硬質の透明樹脂14を、キャップ体４におけ
る開口部３まで詰まるように充填する。
脂等のような硬質の透明樹脂14を、キャップ体４におけ
る開口部３まで詰まるように充填する。
このように構成すると、半導体レーザチップ８の先端
における前方劈開面8aから発射するレーザ光は、当該半
導体レーザチップ８の部分を覆う軟質の透明樹脂９内を
経て、キャップ体４内に充填した透明樹脂14内を通っ
て、当該透明樹脂14の表面14aから大気中に出射され
る。
における前方劈開面8aから発射するレーザ光は、当該半
導体レーザチップ８の部分を覆う軟質の透明樹脂９内を
経て、キャップ体４内に充填した透明樹脂14内を通っ
て、当該透明樹脂14の表面14aから大気中に出射され
る。
また、前記半導体レーザチップ８における後方劈開面
8bから発射されるモニター用のレーザ光は、半導体レー
ザチップ８及びホォトダイオード７の全体を覆うように
塗着した軟質の透明樹脂９を介してホォトダイオード７
に導かれる。
8bから発射されるモニター用のレーザ光は、半導体レー
ザチップ８及びホォトダイオード７の全体を覆うように
塗着した軟質の透明樹脂９を介してホォトダイオード７
に導かれる。
そして、前記半導体レーザチップ８及びホォトダイオ
ード７の全体は、前記キャップ体４内に充填した硬質の
透明樹脂14によって覆われていることにより、当該半導
体レーザチップ８及びホォトダイオード７に対する湿度
及び塵埃の接触を、前記透明樹脂14によって阻止するこ
とができる。
ード７の全体は、前記キャップ体４内に充填した硬質の
透明樹脂14によって覆われていることにより、当該半導
体レーザチップ８及びホォトダイオード７に対する湿度
及び塵埃の接触を、前記透明樹脂14によって阻止するこ
とができる。
この場合、前記半導体レーザチップ８の部分には、軟
質の透明樹脂９が塗着されているので、前記硬質の透明
樹脂14における温度変化等による膨張・収縮が、前記半
導体レーザチップ８、及びこれに接続した細い金属線に
及ぶことを、前記軟質の透明樹脂９により大幅に低減す
ることができる。
質の透明樹脂９が塗着されているので、前記硬質の透明
樹脂14における温度変化等による膨張・収縮が、前記半
導体レーザチップ８、及びこれに接続した細い金属線に
及ぶことを、前記軟質の透明樹脂９により大幅に低減す
ることができる。
一方、前記キャップ体４内の底部に、充填剤を混入し
た熱硬化性合成樹脂13を、当該熱硬化性合成樹脂13が前
記ステム２におけるリード端子用貫通孔11,12内に入る
ように充填したことにより、リード端子10b,10cをステ
ム２に対して絶縁シール状態で固着することが、確実
に、且つ、強固にできるのである。
た熱硬化性合成樹脂13を、当該熱硬化性合成樹脂13が前
記ステム２におけるリード端子用貫通孔11,12内に入る
ように充填したことにより、リード端子10b,10cをステ
ム２に対して絶縁シール状態で固着することが、確実
に、且つ、強固にできるのである。
なお、前記した半導体レーザ装置１の製造は、以下に
述べるような方法を採用することができる。
述べるような方法を採用することができる。
すなわち、第４図に示すように、一つの半導体レーザ
装置１における三本のリード端子10a,10b,10cを長手方
向に適宜ピッチＰで造形して成るリードフレーム15を用
意し、このリードフレーム15における各リード端子10a,
10b,10cの箇所に、前記ステム２を、各リード端子10a,1
0b,10cのうち一本のリード端子10aがステム２の下面に
接当し、他の二本のリード端子10b,10cがステム２にお
ける貫通孔11,12内に挿入するようにして装着したの
ち、前記一本のリード端子10aを、ステム２の下面に対
して抵抗溶接等にて固着する。
装置１における三本のリード端子10a,10b,10cを長手方
向に適宜ピッチＰで造形して成るリードフレーム15を用
意し、このリードフレーム15における各リード端子10a,
10b,10cの箇所に、前記ステム２を、各リード端子10a,1
0b,10cのうち一本のリード端子10aがステム２の下面に
接当し、他の二本のリード端子10b,10cがステム２にお
ける貫通孔11,12内に挿入するようにして装着したの
ち、前記一本のリード端子10aを、ステム２の下面に対
して抵抗溶接等にて固着する。
次いで、各ステム２におけるブロック体５の側面に、
半導体レーザチップ８を、サブマウント６を介してダイ
ボンディングしたのち、前記半導体レーザチップ８とサ
ブマウント６との間、及び前記サブマウント６と前記両
リード端子10b,10cとの間を、各々金線にてワイヤーボ
ンディングする。
半導体レーザチップ８を、サブマウント６を介してダイ
ボンディングしたのち、前記半導体レーザチップ８とサ
ブマウント６との間、及び前記サブマウント６と前記両
リード端子10b,10cとの間を、各々金線にてワイヤーボ
ンディングする。
なお、前記半導体レーザチップ８及びサブマウント６
のステム２に対するダイボンディングは、ステム２をリ
ードフレーム15に対して固着する前において行うように
しても良い。
のステム２に対するダイボンディングは、ステム２をリ
ードフレーム15に対して固着する前において行うように
しても良い。
そして、各ステム２の上面に、第７図に示すように、
キャップ体４を固着し、次いで、各ステム２の下面に、
受け金型16を当てがった状態で、キャップ体４内の底部
に、充填剤を混入した熱硬化性合成樹脂13を、当該熱硬
化性合成樹脂13がステム２における両貫通孔11,12内に
入るように充填して硬化する。
キャップ体４を固着し、次いで、各ステム２の下面に、
受け金型16を当てがった状態で、キャップ体４内の底部
に、充填剤を混入した熱硬化性合成樹脂13を、当該熱硬
化性合成樹脂13がステム２における両貫通孔11,12内に
入るように充填して硬化する。
この熱硬化性合成樹脂13の充填を、前記貫通孔11,12
内に一部だけ充填する第１段充填と、最終的な充填を行
う第２段充填とに分けて行うようにし、第１段充填の後
において、前記半導体レーザチップ８とサブマウント６
のダイボンディング、前記ワイヤーボンディング、及び
前記軟質透明樹脂９の塗着、並びにキャップ体４の固着
を行うか、或いは、前記ワイヤーボンディング、及び前
記軟質透明樹脂９の塗着、並びにキャップ体４の固着を
行ったのち第２段充填を行うようにしても良い。
内に一部だけ充填する第１段充填と、最終的な充填を行
う第２段充填とに分けて行うようにし、第１段充填の後
において、前記半導体レーザチップ８とサブマウント６
のダイボンディング、前記ワイヤーボンディング、及び
前記軟質透明樹脂９の塗着、並びにキャップ体４の固着
を行うか、或いは、前記ワイヤーボンディング、及び前
記軟質透明樹脂９の塗着、並びにキャップ体４の固着を
行ったのち第２段充填を行うようにしても良い。
次いで、前記キャップ体４内に、第９図に示すよう
に、硬質の透明樹脂14を充填・硬化するのであり、この
透明樹脂14の表面14aを、平坦面に形成するには、自然
液面のまま硬化するか、或いは、この透明樹脂14が硬化
する直前において、その透明樹脂14の表面14aに、離型
性を有する平面板を押圧するか、また或いは、当該透明
樹脂14の硬化後において、その表面を研磨加工によって
平坦面に仕上げるようにしても良いのである。
に、硬質の透明樹脂14を充填・硬化するのであり、この
透明樹脂14の表面14aを、平坦面に形成するには、自然
液面のまま硬化するか、或いは、この透明樹脂14が硬化
する直前において、その透明樹脂14の表面14aに、離型
性を有する平面板を押圧するか、また或いは、当該透明
樹脂14の硬化後において、その表面を研磨加工によって
平坦面に仕上げるようにしても良いのである。
また、前記キャップ体４は、金属製にすることに限ら
ず、非透明性の合成樹脂製にしても良いのである。
ず、非透明性の合成樹脂製にしても良いのである。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は縦断正面図、第
２図は第１図のII−II視断面図、第３図は第１図の要部
拡大図、第４図、第７図、第８図及び第９図は製造方法
を示す図、第５図は第４図のＶ−Ｖ視断面図、第６図は
第５図のVI−VI視平面図である。 １……半導体レーザ装置、２……ステム、３……開口
部、４……キャップ体、５……ブロック体、６……サブ
マウント、７……モニター用フォトダイオード、８……
半導体レーザチップ、９……軟質透明樹脂、10a,10b,10
c……リード端子、11,12……貫通孔、13……熱硬化性合
成樹脂、14……硬質透明樹脂。
２図は第１図のII−II視断面図、第３図は第１図の要部
拡大図、第４図、第７図、第８図及び第９図は製造方法
を示す図、第５図は第４図のＶ−Ｖ視断面図、第６図は
第５図のVI−VI視平面図である。 １……半導体レーザ装置、２……ステム、３……開口
部、４……キャップ体、５……ブロック体、６……サブ
マウント、７……モニター用フォトダイオード、８……
半導体レーザチップ、９……軟質透明樹脂、10a,10b,10
c……リード端子、11,12……貫通孔、13……熱硬化性合
成樹脂、14……硬質透明樹脂。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体レーザチップを固着したステムと、
該ステムに前記半導体レーザチップに被嵌するように固
着したキャップ体と、前記ステムに穿設の貫通孔から前
記キャップ体内に突出するように挿入した少なくとも一
つのリード端子とから成る半導体レーザ装置において、 前記キャップ体のうち前記半導体レーザチップの前方劈
開面に対向する部位に開口部を設ける一方、前記キャッ
プ体内の底部に、炭酸カルシウムやアルミナ等の充填剤
を混入した熱硬化性合成樹脂を、当該熱硬化性合成樹脂
が、前記ステムにおけるリード端子用貫通孔内に入るよ
うに充填し、更に、前記キャップ体内に、前記半導体レ
ーザチップの部分にこれを覆うように塗着した軟質の透
明樹脂と、キャップ体内にその開口部まで詰まるように
充填した硬質の透明樹脂とを設けたことを特徴とする半
導体レーザ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2156205A JP2617236B2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 半導体レーザ装置 |
| US07/686,146 US5140384A (en) | 1990-06-14 | 1991-04-16 | Semiconductor laser device mounted on a stem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2156205A JP2617236B2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 半導体レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448673A JPH0448673A (ja) | 1992-02-18 |
| JP2617236B2 true JP2617236B2 (ja) | 1997-06-04 |
Family
ID=15622666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2156205A Expired - Lifetime JP2617236B2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 半導体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2617236B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5838703A (en) * | 1996-09-30 | 1998-11-17 | Motorola, Inc. | Semiconductor laser package with power monitoring system and optical element |
| JP2007214252A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 半導体レーザ装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6183067U (ja) * | 1984-11-07 | 1986-06-02 | ||
| JPS6314489A (ja) * | 1986-07-04 | 1988-01-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レ−ザ装置 |
-
1990
- 1990-06-14 JP JP2156205A patent/JP2617236B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0448673A (ja) | 1992-02-18 |
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