JP2600603B2 - 太陽電池 - Google Patents

太陽電池

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JP2600603B2
JP2600603B2 JP6077266A JP7726694A JP2600603B2 JP 2600603 B2 JP2600603 B2 JP 2600603B2 JP 6077266 A JP6077266 A JP 6077266A JP 7726694 A JP7726694 A JP 7726694A JP 2600603 B2 JP2600603 B2 JP 2600603B2
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隆一 中園
恒弘 海野
彰二 隈
高橋  健
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    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

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  • Photovoltaic Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の技術分野】本発明は太陽電池に関し、特に薄
型で高効率の太陽電池に関するものである。
【0002】
【従来の技術】太陽電池はクリーンなエネルギー源とし
て注目されているが、製造コストが高いため、既存の商
用電源と比べて発電コストが高いことが実用化の大きな
障害となっている。そのため、変換効率を高くするため
の研究開発が行われている。これまで、単一材料の太陽
電池の高効率化がすすめられ、実用化の試みが始まって
いる。高効率化の観点では、太陽電池を構成する材料と
しては、GaAs系化合物半導体が非常に優れており、
現在、25%余りの変換効率が得られている。しかし、
太陽電池の構成材料にGaAs系化合物半導体を用い、
基板にもGaAsを用いる現在の製法で太陽電池を作製
した場合、製造コストが非常に高くなり、発電コストが
高くなってしまう。このため、低発電コストを目指すた
めに、効率をさらに高く、また、製造コストを低減しな
ければならない。
【0003】高効率を得るためには、太陽電池をバンド
ギャップの異なる複数の太陽電池を積層した構造としな
ければならない。具体的には、太陽光の入射側(上部)
にバンドギャップの大きな半導体材料よりなる太陽電池
を、その下部にバンドギャップの小さな半導体材料より
なる太陽電池を配置する。上部の太陽電池では太陽光ス
ペクトルの短波長域の光が吸収されて光電変換される。
下部の太陽電池では上部で吸収されずに透過した残りの
長波長域の光が吸収されて光電変換される。太陽光のス
ペクトルを分割利用することにより、太陽光エネルギー
を電気エネルギーに有効に変換できる。Henry らの理論
計算によると、2層構造で効率35%を達成できる可能
性が示されている( C.H.Henry,"Limiting Efficiency
of IdealSingle and Multiple Energy Gap Terrestrial
Solar Cells" J.Appl.Phys.514494(1980) )。たとえ
ば、GaAs太陽電池とAlGaAs太陽電池とをトン
ネル接合中間層を用いて接続した2段の積層型太陽電池
が提案されている。
【0004】製造コストを下げるためには安価な基板の
使用と太陽電池構成材料の節約を図らなければならな
い。基板については、現在用いているGaAsをSiに
換えることが提案されている。また、太陽電池構成材料
の節約については太陽電池の薄膜化が望ましい。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】先に述べたようにSi
基板を用いた高効率のGaAs系太陽電池の開発がすす
められているが、以下の問題がある。
【0006】高い光電変換効率を得るためには、十分な
光吸収と励起キャリアの有効利用の2つの主な要因があ
る。このうち、光吸収の観点からは、エピ層であるp型
半導体層(p層)並びにn型半導体層(n層)が厚い方
がよい。しかし、基板であるSiと太陽電池を構成する
GaAs系結晶とでは格子定数や熱膨張係数が異なるた
め、Si上にGaAs系結晶を3μm以上の膜厚で成長
させるとクラックが起き、結晶欠陥が多量に発生してし
まう。
【0007】一方、励起キャリアを有効に取り出す観点
からは、p層並びにn層の厚さを薄くするか、もしく
は、励起キャリアの拡散長を長くすればよい。励起キャ
リアの拡散長を長くする研究はすすめられているが、顕
著な進展は得られていない。そこで、p層とn層の厚さ
を薄くすることが考えられる。このためには、薄い層で
光吸収係数を高くできる構造が必要となる。
【0008】本発明はかかる事情の下に創案されたもの
であり、その目的はp層並びにn層の厚さを薄くした状
態で十分な光電変換効率を得ることが可能な新規な太陽
電池を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、p層とn層とを接合してこのpn接合層で
光電交換を行う太陽電池において、上記p層及びn層中
にこれらよりも屈折率の小さい薄膜層を挿入したことを
特徴とする。
【0010】本発明の太陽電池において、p層に挿入さ
れた上記薄膜層とn層に挿入された上記薄膜層との間隔
が式(1)を満足するように設定されていることが望ま
しい。
【0011】
【数1】
【0012】上記p層及びn層の材料としてGaAs
を、上記薄膜層の材料としてAlGaAsを用いること
が望ましい。
【0013】
【作用】上記のごとく構成される本発明の太陽電池によ
れば、太陽電池として光電交換を行うpn接合を構成す
るp層中とn層中にこれらよりも屈折率の小さい薄膜層
を各々挿入したことにより、p層に入射した光がn層中
の薄膜層で反射され、この反射した光がp層中の薄膜層
で反射され、この反射が繰り返されることによって2つ
の薄膜層の間に光が閉じ込められる。これにより薄膜層
間に挟まれたpn接合領域に光が有効に吸収されるよう
になり、p層とn層の厚さを薄くしても高い光吸収係数
を得ることが可能になる。上記p層及びn層の材料とし
て、それ自体吸収効率の良い直接遷移形のIII−V族
化合物半導体を用いれば、薄い層による光の吸収がより
効果的に達成されるようになる。また、p層に挿入され
た上記薄膜層とn層に挿入された上記薄膜層との間隔d
が前記式(1)を満足するようにしておけば、薄膜層の
間での光の反射が光電変換に有利な波長の光に対して繰
り返され、この光がpn接合領域に有効に吸収されるよ
うになる。
【0014】以下に、式(1)の導出法を示す。
【0015】上記2つの薄膜層の間で光の反射が繰り返
し起こる条件(共鳴反射条件)は、次の式(2)で表さ
れる。
【0016】 d=1/2×λ/n ・・・(2) ここで、dは薄膜層の間隔(図5参照)、nはp層及び
n層の屈折率、λはpn層で吸収して欲しい光の波長で
ある。
【0017】ところで、光の吸収は、半導体のバンドギ
ャップEg に相当する波長(発光波長)λEgよりも単波
長の光に対して起こる。そして、光の吸収の度合(光の
吸収係数)は、光の波長が短くなればなる程大きくな
る。逆の見方をすれば、光の波長がλEgに近い程透過し
やすくなる。
【0018】そこでこの発明では、波長がλEg/2から
λEgの光に対して、上記反射が繰り返されるよう条件を
設定する。すなわち、pn層で最も吸収して欲しい光の
波長λの範囲を次式(3)の範囲とする。 λEg×0.5 <λ<λEg×1.0 ・・・(3) さて、発光波長λEgは λEg=1240/Eg ・・・(4) で表され、この式(4)を式(3)に代入すると、 1240/Eg ×0.5 <λ<1240/Eg ×1.0 ・・・(5) となる。さらに、式(2)を変形すると λ=2・n・d ・・・(2´) となり、これを式(5)に代入すると 1240/Eg ×0.5 <2・n・d<1240/Eg ×1.0 ・・・(6) となる。この式(6)を2・nで割ると、前記式(1)
が得られる。GaAsの場合バンドギャップEg は 1.4
24eV、屈折率nは波長λ= 800nmの光に対して3.68(図
3参照)であるので、この場合上記2つの薄膜層の間隔
は、式(1)より 59nm<d<118nm の範囲が良いことになる。
【0019】
【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。
【0020】本発明の太陽電池の有効性を示すために、
従来技術による太陽電池と本発明による太陽電池とを実
際に作製し、両者の特性比較を行った。
【0021】図1は本発明の一実施例を示す太陽電池の
断面図である。各層の成長には有機金属気相成長法(M
OVPE法)を用いた。その際のGa、Al、Asの原
料にはそれぞれトリメチルガリウム(TMG)、トリメ
チルアルミニウム(TMA)、アルシン(AsH3 )を
用いた。n型、p型のドーパントにはそれぞれジシラン
(Si2 6 )、ジエチル亜鉛(DEZn)を用いた。
成長温度は 725℃である。(110) 方向に 2°傾けた(10
0) 面を基板表面とする厚さ350 μm、キャリア濃度 5.
0×1017cm-3のn型GaAs基板1の上に厚さ 0.2μ
m、キャリア濃度 5.0×1017cm-3のn型Al0.2 Ga0.
8 As層2、キャリア濃度 5.0×1017cm-3のn型GaA
s層3を成長させた後、厚さ0.01μm、キャリア濃度
5.0×1017cm-3のn型Al0.5 Ga0.5 As層(n型薄
膜層)4、キャリア濃度 5.0×1017cm-3のn型GaAs
層5、キャリア濃度 1.0×1018cm-3のp型GaAs層
6、厚さ0.01μm、キャリア濃度 1.0×1018cm-3のp型
Al0.5 Ga0.5 As層(p型薄膜層)7、キャリア濃
度 1.0×1018cm-3のp型GaAs層8、厚さ0.05μm、
キャリア濃度 1.0×1018cm-3のp型Al0.85Ga0.15A
s層9及び厚さ 0.2μm、キャリア濃度 1.0×1019cm-3
のp型GaAs層10を成長させた。そしてp型GaA
s層10を図示のようにエッチング整形した後、その表
面と基板1の裏面に電極11,12を形成した。ここで
太陽電池として作用するのはp型半導体層13とn型半
導体層14とからなるpn層である。n型Al0.2 Ga
0.8 As層2はn型GaAs基板1で生成した電子が太
陽電池の効率に寄与しないようにするためのバリア層、
つまり、この太陽電池の効率に対してpn層の構造がい
かに影響するかを明確にするために設けられた層であ
る。また、p型Al0.85Ga0.15As層9は表面再結合
を抑えるウィンドウ層、p型GaAs層10は電極との
接触抵抗を下げるための層である。
【0022】n型薄膜層4とp型薄膜層7は、GaAs
の吸収端波長より短波長の光を共鳴反射させるための層
である。これら2つの薄膜層4,7の間隔を40nm、60n
m、80nm、100nm 、115nm 、140nm とそれぞれ変えて太
陽電池を製作した。その際2つの薄膜層4,7の丁度中
間がn型GaAs層5とp型GaAs層6との界面(p
n界面)となるようにした。また、n型GaAs層3と
n型GaAs層5との厚さの和を 1.2μmとし、p型G
aAs層6とp型GaAs層8との厚さの和を1.2 μm
とした。したがって、本発明の太陽電池において実質的
に太陽電池として作用するpn層の厚さは、n型薄膜層
4及びp型薄膜層7を含めて1.72μmである。
【0023】図2は従来の太陽電池の断面図である。こ
の場合、図1と同じ基板1の上に上記と同様の方法で厚
さ 0.2μm、キャリア濃度 5.0×1017cm-3のn型Al0.
2 Ga0.8 As層2、厚さ 4.0μm、キャリア濃度 5.0
×1017cm-3のn型GaAs層15、厚さ 0.5μm、キャ
リア濃度 1.0×1018cm-3のp型GaAs層16、キャリ
ア濃度 1.0×1018cm-3のp型Al0.85Ga0.15As層9
及び厚さ 0.2μm、キャリア濃度 1.0×1019cm-3のp型
GaAs層10を成長させた。そして、p型GaAs層
10の表面と基板1の裏面に電極11,12を形成し
た。太陽電池として作用するのはn型GaAs層15と
p型GaAs層16とからなるpn層であり、この場合
のpn層の厚さは 4.5μmである。
【0024】図1,図2に示す太陽電池の各層を構成す
る材料の屈折率は図3のとおりである。
【0025】これらの太陽電池の真性変換効率を測定し
た結果、図2の従来構造の太陽電池では16.8%であっ
た。
【0026】図4は本発明の太陽電池における測定結果
であり、ここには波長800nm の光に対する光電変換効率
のn型薄膜層4とp型薄膜層7との間隔依存性が示され
ている。同図より、2つの薄膜層4,7の間隔が60nmか
ら115nm の間で従来よりも高い効率を発揮できることが
わかる。
【0027】以上より、本発明の太陽電池は僅か1.72μ
mの厚さのp型及びn型GaAs層13,14で 4.5μ
mの厚さのGaAs層を有する従来構造の太陽電池以上
の性能を発揮することが確かめられた。
【0028】なお、通常太陽電池の表面にはエピタキシ
ャル層表面での反射を抑えるために反射防止膜が設けら
れるが、本発明と従来技術とを比較する上では必要ない
ので本実施例ではあえてこれを省略した。
【0029】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、太陽電池
として光電交換を行うpn接合を構成するp型半導体層
中とn型半導体層中にこれらよりも屈折率の小さい薄膜
層を各々挿入したことにより、これら2つの薄膜層間の
薄いpn層で十分に光を吸収でき、その結果、高効率の
薄型太陽電池を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の太陽電池の一実施例を示す断面図であ
る。
【図2】従来の太陽電池を示す断面図である。
【図3】図1,図2の太陽電池の各層を構成する材料の
屈折率の波長依存性を示す図である。
【図4】本発明の太陽電池の変換効率のn型薄膜層とp
型薄膜層との間隔依存性を示す図である。
【図5】n型薄膜層とp型薄膜層との間隔を規定する数
式の導出過程を説明するための模式図である。
【符号の説明】
1 n型GaAs基板 2 n型Al0.2 Ga0.8 As層(バリア層) 3 n型GaAs層 4 n型Al0.5 Ga0.5 As層(n型薄膜層) 5 n型GaAs層 6 p型GaAs層 7 p型Al0.5 Ga0.5 As層(p型薄膜層) 8 p型GaAs層 9 p型Al0.85Ga0.15As層(ウィンドウ層) 10 p型GaAs層(低抵抗化層) 11 電極 12 電極 13 p型半導体層 14 n型半導体層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 健 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電 線株式会社アドバンスリサーチセンタ内 (56)参考文献 特開 昭63−261882(JP,A) 特開 平6−163962(JP,A) 特開 平1−304786(JP,A) 特開 昭63−239931(JP,A)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】p形半導体層とn形半導体層とを接合して
    これらp形及びn形半導体層で光電変換を行う太陽電池
    において、上記p形及びn形半導体層中にこれらよりも
    屈折率の小さい薄膜層を各々挿入したことを特徴とする
    太陽電池。
  2. 【請求項2】請求項1記載の太陽電池において、p形半
    導体層に挿入された上記薄膜層とn形半導体層に挿入さ
    れた上記薄膜層との間隔が式(1)を満足することを特
    徴とする太陽電池。 (1240/2・Eg・n)×0.5<d<(1240
    /2・Eg・n)×1.0 …(1) n :p形及びn形半導体層構成材料の屈折率 Eg:p及びn形半導体層構成材料のバンドギャップ
    エネルギー(eV) d :薄膜層の間隔(nm)
  3. 【請求項3】上記p形及びn形半導体層の材料としてG
    aAsを、上記薄膜層の材料としてAlGaAsを各々
    用いてなる請求項1又は2記載の太陽電池。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS63261882A (ja) * 1987-04-20 1988-10-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 半導体素子
JPH06163962A (ja) * 1992-11-26 1994-06-10 Sumitomo Electric Ind Ltd 太陽電池

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