JP2596094Y2

JP2596094Y2 - 複合反射鏡

Info

Publication number: JP2596094Y2
Application number: JP1993000959U
Authority: JP
Inventors: 義広長沼; 康成石井
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1993-01-19
Filing date: 1993-01-19
Publication date: 1999-06-07
Anticipated expiration: 2008-01-19
Also published as: JPH0659810U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、複合反射鏡に関し、特
に反射面を備えた少なくとも２枚の平面光学部材を接合
して構成される複合反射鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、複合反射鏡は、光学像を反転す
る為に、例えば投影機等に用いられる。従来の複合反射
鏡を図３に示す。図３に示す様に、複合反射鏡は、第１
の平面光学部材５１と、第２の平面光学部材５２とから
構成されている。第１の平面光学部材５１には、精度良
く加工された面に反射膜５１ａが形成されており、ま
た、第２の平面光学部材５２にも、精度良く加工された
面に反射膜５２ａが形成されている。

【０００３】そして、第１の平面光学部材５１の反射膜
形成面５１ａと、第２の平面光学部材５２の反射膜形成
面５２ａとで光学像を反転できるように、第１の平面光
学部材５１の端面と第２の平面光学部材５２との間に接
着剤５３によって接合されていた。接着剤５３は、主に
エポキシ系やアクリル系の接着剤が使用されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
において、光学像を反転させる為の複合反射鏡は、極め
て高い角度精度及び角度が変化せず、常に一定の角度を
保つ為の安定性が要求される。しかし、第１の平面光学
部材と第２の平面光学部材とを接着剤によって固定して
いる為、次のような不都合が生じる。

【０００５】即ち、接着剤の硬化時における接着剤の収
縮が不均一である為、図２に示す角度αが変化してしま
う。従って、接着剤が完全に硬化した後に厳密な角度精
度にコントロールすることは非常に困難であった。実際
の作業では、硬化時の変化を極力抑える為に、硬化速度
の遅い接着剤を使用し、高価な治工具を準備して接着剤
硬化中の接合部分を固定しておくと共に、硬化過程の角
度変化を作業者が頻繁に監視して修正しなければなら
ず、高い角度精度を出すには非常に困難な作業であっ
た。

【０００６】また、接着剤が完全に硬化した後でも、一
般に接着剤の基材が樹脂であるため、温度や湿度の変化
等により、複合反射鏡の成す角度αの僅かな狂いを引き
起こし、正確な光学像の反転が行えなかった。さらに、
複合反射鏡の角度精度は、２つの平面光学部材を接着し
て決定されるので、もし複合反射鏡の角度精度が正確に
出ていない場合（所定の許容範囲内に入っていない場
合）は、その複合反射鏡は不良品となってしまう可能性
があり、コストが高くなってしまう。

【０００７】本考案は、この様な従来の問題点に鑑みて
なされたもので、製造工程が容易であり、かつ温度や湿
度の影響による角度変化のない複合反射鏡を得ることを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本考案
は、反射面（１１、２１）をそれぞれ備えた少なくとも
２枚の平面光学部材（１、２）の組合せで構成される複
合反射鏡において、一方の平面光学部材（１）は、第１
の反射面（１１）を備え、かつ第１の反射面（１１）に
対して所定の角度を有する接合面（１２）を有し、他方
の平面光学部材（２）が備える第２の反射面（２１）
と、接合面（１２）とを密着させてオプチカルコンタク
ト状態とし、オプチカルコンタクト状態を保持する保持
手段（４、５、６、７、８、９）を備える構成であっ
て、

【０００９】保持手段（４、５、６、７、８、９）は、
雌ねじを備えた第１部材（５）と、雌ねじに螺合する雄
ねじを備えた第２部材（４）とから構成され、第２部材
（４）は、他方の平面光学部材（１）に形成された貫通
孔（２３）に挿通され、第１部材（５）は、一方の平面
光学部材（２）に形成された貫通孔（２３）の径以上の
径を有する穴（１３）に取り付けられ、第１部材（５）
と第２部材（４）とを螺合して、オプチカルコンタクト
状態を保持するようにした。

【００１０】請求項２に記載の本考案は、反射面（１
１、２１）をそれぞれ備えた少なくとも２枚の平面光学
部材（１、２）の組合せで構成される複合反射鏡におい
て、一方の平面光学部材（１）は、第１の反射面（１
１）を備え、かつ第１の反射面（１１）に対して所定の
角度を有する接合面（１２）を有し、他方の平面光学部
材（２）が備える第２の反射面（２１）と、接合面（１
２）とを密着させてオプチカルコンタクト状態とし、オ
プチカルコンタクト状態を保持する保持手段（４、５、
６、７、８、９）を備える構成であって、保持手段
（４、５、６、７、８、９）は、雌ねじを備えた第１部
材（５）と、雌ねじに螺合する雄ねじを備えた第２部材
（４）とから構成され、第１部材（５）は、一方の平面
光学部材（１）に形成された穴（１３）に取り付けられ
ると共に、他方の平面光学部材（２）に形成された貫通
孔（２３）に挿通され、第２部材（４）と、一方の平面
光学部材（１）から突出した第１部材（５）とを螺合し
て、オプチカルコンタクト状態を保持するようにした。

【００１１】

【作用】第１の平面光学部材と第２の平面光学部材と
は、オプチカルコンタクト状態で密接しているので、温
度や湿度の影響を受けることがなくなる。従って、安定
した角度精度が得られるようになる。

【００１２】

【実施例】図１は本考案の第１実施例を示す図である。
図１に示す様に、２つの平面光学部材１、２を接合して
構成される光学像反転用の複合反射鏡である。第１の平
面光学部材１は、精度良く仕上げられた光学面に反射膜
を形成した反射膜形成面１１と、反射膜形成面１１に対
して角度α2 を成す接合面１２とを有しており、反射膜
が形成される光学面を精度良く仕上げた後、反射膜を形
成している。さらに、反射膜形成面１１と接合面１２と
が成す角度α2 も高精度に仕上げられている。

【００１３】第２の平面光学部材２は、精度良く仕上げ
られた光学面に反射膜を形成した反射膜形成面２１を有
している。そして、第１の平面光学部材１の反射膜形成
面１１に、第２の平面光学部材２の接合面１２を密着さ
せることにより、オプチカルコンタクト状態として接合
できる。

【００１４】即ち、第１の平面光学部材１の反射膜形成
面１１と第２の反射膜形成面２１とが成す角度α1 は、
第２の平面光学部材２の反射膜形成面１１と接合面１２
とが成す角度α2 の精度がそのまま影響することにな
る。オプチカルコンタクト状態を保持するための手段を
以下に示す。第２の平面光学部材２には、貫通孔２３が
形成されている。

【００１５】第１の平面光学部材１には、接合面１２に
対して垂直方向から穴１３が形成されており、この穴１
３は、第２の平面光学部材２に形成された貫通孔２３の
径と同径若しくは径より大きく形成されている。この穴
１３にインサートナット５を挿入し、接着剤９で穴１３
にインサートナット５を取り付ける。そして、第２の平
面光学部材２と第１の平面光学部材１とがオプチカルコ
ンタクト状態のままで、第２の平面光学部材２の貫通孔
２３からバネワッシャ６、当て金７を介してボルト４を
挿通し、インサートナット５に螺合させてオプチカルコ
ンタクト状態を保持する。

【００１６】上記の様な保持手段は、第１の平面光学部
材１と第２の平面光学部材２との密接部分に対して複数
箇所設けられる。上記の様な保持手段を使用する場合、
インサートナット５及びボルト４が直接光学部材に接触
しないように、インサートナット５及びボルト４と光学
部材との間に緩衝部材８を設けることにより防ぐことが
できる。さらに、当て金７と光学部材との間にも緩衝部
材を設けてもよい。

【００１７】この様に、緩衝部材を設けることにより、
インサートナット５及びボルト４が光学部材に接触した
際に生じるひび割れ等を防ぐことができる。図２は第２
実施例を示す図である。図２に示す様に、図１に示す第
１実施例のインサートナットに変えて、スタッドボルト
３２を第１の平面光学部材１に取り付けたものである。
尚、図１と同じ構成部分については説明簡略化のため省
略する。

【００１８】スタッドボルト３２の大径部分を穴１３に
接着材９で取り付けた後に、第２の平面光学部材２に形
成された貫通孔２３にスタッドボルト３２の小径部分を
挿通する。そして、第１の平面光学部材１と第２の平面
光学部材２とを密接してオプチカルコンタクト状態に
し、スタッドボルト３２にナット３１を螺合してオプチ
カルコンタクト状態を保持するようにしたものである。

【００１９】本実施例で使用する接着剤９は、十分な接
着強度を有し、かつ硬化後も僅かに弾力性を備えている
もの、例えば、ゴム系の接着剤やシリコン系の接着剤を
使用することが望ましい。なぜなら、第１の平面光学部
材１の穴１３に取り付けられるインサートナット５また
はスタッドボルト３２が少しだけ変位する様にしておか
なければ、締めつけの際に第１の平面光学部材１にひび
割れが生じる可能性があるからである。

【００２０】さらに、第１の平面光学部材１に設けられ
た穴１３にナット５もしくはスタッドボルト３２を取り
付ける場合、穴１３の底にナット５もしくはスタッドボ
ルト３２が接触しないように、穴１３の途中に取り付け
られるようにしてある。第１実施例及び第２実施例で
は、２つの平面光学部材の組合せからなる光学像反転用
の複合反射鏡を示したが、３の平面光学部材の組合せの
複合反射鏡でもそれ以上の複合反射鏡でもよい。

【００２１】本実施例において、複合反射鏡の角度精度
は、第１の平面光学部材１の角α２の加工精度によって
決定されるので、複合反射鏡の角度精度α１が正確に出
ていない場合でも、複合反射鏡を分解することにより、
修正することができ、不良品を少なくすることができ
る。

【００２２】

【考案の効果】第１の平面光学部材と第２の平面光学部
材とをオプチカルコンタクト状態で接合し、オプチカル
コンタクト状態を保持する保持手段を設けることによっ
て、第１の平面光学部材と第２の平面光学部材とが成す
角度の安定性が向上する。また、第１の平面光学部材と
第２の平面光学部材とが成す角度は、平面光学部材の加
工時に決まることになるので、比較的簡単に角度精度を
得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による第１実施例を示す断面図である。

【図２】本考案による第２実施例を示す断面図である。

【図３】従来の構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１第１の平面光学部材２第２の平面光学部材４ボルト５、３１ナット３２スタッドボルト８緩衝部材９接着剤

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】反射面をそれぞれ備えた少なくとも２枚の
平面光学部材の組合せで構成される複合反射鏡におい
て、前記一方の平面光学部材は、第１の反射面を備え、かつ
前記第１の反射面に対して所定の角度を有する接合面を
有し、前記他方の平面光学部材が備える第２の反射面と、前記
接合面とを密着させてオプチカルコンタクト状態とし、前記オプチカルコンタクト状態を保持する保持手段を備
えた複合反射鏡であって、前記保持手段は、雌ねじを備えた第１部材と、前記雌ね
じに螺合する雄ねじを備えた第２部材とから構成され、前記第２部材は、前記他方の平面光学部材に形成された
貫通孔に挿通され、前記第１部材は、前記一方の平面光学部材に形成された
前記貫通孔の径以上の径を有する穴に取り付けられ、前記第１部材と前記第２部材とを螺合して、前記オプチ
カルコンタクト状態を保持することを特徴とする複合反
射鏡。
【請求項２】反射面をそれぞれ備えた少なくとも２枚の
平面光学部材の組合せで構成される複合反射鏡におい
て、前記一方の平面光学部材は、第１の反射面を備え、かつ
前記第１の反射面に対して所定の角度を有する接合面を
有し、前記他方の平面光学部材が備える第２の反射面と、前記
接合面とを密着させてオプチカルコンタクト状態とし、前記オプチカルコンタクト状態を保持する保持手段を備
えた複合反射鏡であって、前記保持手段は、雌ねじを備えた第１部材と、前記雌ね
じに螺合する雄ねじを備えた第２部材とから構成され、前記第１部材は、前記一方の平面光学部材に形成された
穴に取り付けられると共に、前記他方の平面光学部材に
形成された貫通孔に挿通され、前記第２部材と、前記一方の平面光学部材から突出した
前記第１部材とを螺合して、前記オプチカルコンタクト
状態を保持することを特徴とする複合反射鏡。