JP2591081Y2 - イオン源電極支持装置 - Google Patents
イオン源電極支持装置Info
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- JP2591081Y2 JP2591081Y2 JP1993075153U JP7515393U JP2591081Y2 JP 2591081 Y2 JP2591081 Y2 JP 2591081Y2 JP 1993075153 U JP1993075153 U JP 1993075153U JP 7515393 U JP7515393 U JP 7515393U JP 2591081 Y2 JP2591081 Y2 JP 2591081Y2
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- small
- hole
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、薄膜製造装置に用いら
れるイオン源のイオン引出電極等を支持するイオン源電
極支持装置に関する。
れるイオン源のイオン引出電極等を支持するイオン源電
極支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のイオン源電極支持装置は、図３に
示すようになっている。同図において、１は加速電極、
２は減速電極、３は接地電極、４は各電極１，２，３か
らなるイオン引出電極、５は各電極１，２，３に透設さ
れた電極孔、６は各電極１，２，３に透設された位置合
わせ孔、７は加速電極１と接地電極３に透設された取付
孔、８は減速電極２に形成された螺孔である。
示すようになっている。同図において、１は加速電極、
２は減速電極、３は接地電極、４は各電極１，２，３か
らなるイオン引出電極、５は各電極１，２，３に透設さ
れた電極孔、６は各電極１，２，３に透設された位置合
わせ孔、７は加速電極１と接地電極３に透設された取付
孔、８は減速電極２に形成された螺孔である。
【０００３】９は絶縁カラーであり、加速電極１の上面
および接地電極３の下面から、それぞれ取付孔７に挿入
されている。１０は加速電極１と減速電極２との間及び
減速電極２と接地電極３との間にそれぞれ介在された絶
縁スペーサ、１１は２本の取付ボルトであり、それぞれ
両絶縁カラー９に挿入され、先端部が減速電極２の螺孔
８に螺合し、３個の電極１，２，３を一体に固定してい
る。１２は各位置合わせ孔６に挿入される位置合わせピ
ンである。
および接地電極３の下面から、それぞれ取付孔７に挿入
されている。１０は加速電極１と減速電極２との間及び
減速電極２と接地電極３との間にそれぞれ介在された絶
縁スペーサ、１１は２本の取付ボルトであり、それぞれ
両絶縁カラー９に挿入され、先端部が減速電極２の螺孔
８に螺合し、３個の電極１，２，３を一体に固定してい
る。１２は各位置合わせ孔６に挿入される位置合わせピ
ンである。
【０００４】そして、各電極１，２，３の固定に際して
は、２個ずつの絶縁カラー９，絶縁スペーサ１０及び取
付ボルト１１により、３個の電極１，２，３を緩く固定
し、位置合わせピン１２を各位置合わせ孔６に挿入して
３個の電極１，２，３の位置合わせを行い、その後、両
取付ボルト１１を強く締め付けて固定し、位置合わせピ
ン１２を抜いている。
は、２個ずつの絶縁カラー９，絶縁スペーサ１０及び取
付ボルト１１により、３個の電極１，２，３を緩く固定
し、位置合わせピン１２を各位置合わせ孔６に挿入して
３個の電極１，２，３の位置合わせを行い、その後、両
取付ボルト１１を強く締め付けて固定し、位置合わせピ
ン１２を抜いている。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】従来の前記支持装置の
場合、２本の取付ボルト１１の弱，強の締め付け、位置
合わせピン１２の各位置合わせ孔６への着脱等、固定作
業が煩雑で長時間を要し、かつ部品点数が多く、その
上、取付ボルト１１の緩みにより各電極１，２，３に位
置ずれを生ずるという問題点がある。本考案は、前記の
点に留意し、各電極の固定作業が簡単で短時間であり、
部品点数が少なく、ボルトの多少の緩みでは各電極に位
置ずれを生じないイオン源電極支持装置を提供すること
を目的とする。
場合、２本の取付ボルト１１の弱，強の締め付け、位置
合わせピン１２の各位置合わせ孔６への着脱等、固定作
業が煩雑で長時間を要し、かつ部品点数が多く、その
上、取付ボルト１１の緩みにより各電極１，２，３に位
置ずれを生ずるという問題点がある。本考案は、前記の
点に留意し、各電極の固定作業が簡単で短時間であり、
部品点数が少なく、ボルトの多少の緩みでは各電極に位
置ずれを生じないイオン源電極支持装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本考案のイオン源電極支持装置は、裁頭円錐形の絶
縁スペーサの基部側に径の大きい円形の大段部を形成す
るとともに、前記スペーサの先端側に順次径の小さい円
形の小段部を形成し、複数個の電極の周縁部に、それぞ
れ径の大きい円形の大孔及び順次径の小さい円形の小孔
を形成し、前記大段部に前記大孔を嵌合するとともに、
順次前記小段部に前記小孔を嵌合し、最上段の電極に座
板を介して取付ボルトを締着したものである。
に、本考案のイオン源電極支持装置は、裁頭円錐形の絶
縁スペーサの基部側に径の大きい円形の大段部を形成す
るとともに、前記スペーサの先端側に順次径の小さい円
形の小段部を形成し、複数個の電極の周縁部に、それぞ
れ径の大きい円形の大孔及び順次径の小さい円形の小孔
を形成し、前記大段部に前記大孔を嵌合するとともに、
順次前記小段部に前記小孔を嵌合し、最上段の電極に座
板を介して取付ボルトを締着したものである。
【０００７】
【作用】前記のように構成された本考案のイオン源電極
支持装置は、絶縁スペーサが裁頭円錐形で、基部側に径
の大きい円形の大段部が形成され、先端側に順次径の小
さい円形の小段部が形成され、各電極の周縁部のそれぞ
れの大孔及び小孔が順次大段部及び小段部に嵌合され、
最上段の電極に座板を介して取付ボルトが締着されるた
め、絶縁スペーサに各電極を重ね、１個の取付ボルトを
締着すればよく、固定作業が簡単で短時間に済み、部品
点数も１個ずつの絶縁スペーサ，座板，取付ボルトでよ
く、しかも、取付ボルトが多少緩んでも各電極に位置ず
れを生じない。
支持装置は、絶縁スペーサが裁頭円錐形で、基部側に径
の大きい円形の大段部が形成され、先端側に順次径の小
さい円形の小段部が形成され、各電極の周縁部のそれぞ
れの大孔及び小孔が順次大段部及び小段部に嵌合され、
最上段の電極に座板を介して取付ボルトが締着されるた
め、絶縁スペーサに各電極を重ね、１個の取付ボルトを
締着すればよく、固定作業が簡単で短時間に済み、部品
点数も１個ずつの絶縁スペーサ，座板，取付ボルトでよ
く、しかも、取付ボルトが多少緩んでも各電極に位置ず
れを生じない。
【０００８】
【実施例】１実施例について図１を参照して説明する。
同図において図３と同一符号は同一もしくは相当するも
のを示す。１３は裁頭円錐形の絶縁スペーサ、１４はス
ペーサ１３の基部側に形成された径の大きい円形の大段
部、１５はスペーサ１３の中程に形成された径のやや小
さい円形の中段部、１６はスペーサ１３の先端側に形成
された径の小さい円形の小段部である。
同図において図３と同一符号は同一もしくは相当するも
のを示す。１３は裁頭円錐形の絶縁スペーサ、１４はス
ペーサ１３の基部側に形成された径の大きい円形の大段
部、１５はスペーサ１３の中程に形成された径のやや小
さい円形の中段部、１６はスペーサ１３の先端側に形成
された径の小さい円形の小段部である。
【０００９】１７は接地電極３の周縁部に形成された径
の大きい円形の大孔、１８は減速電極２の周縁部に形成
された径のやや小さい円形の中孔、１９は加速電極１の
周縁部に形成された径の小さい円形の小孔である。２０
はスペーサ１３の端面に形成された螺孔、２１は小孔１
９より径の大きい円形の座板、２２は座板２１に挿入さ
れ螺孔２０に螺合した取付ボルトである。
の大きい円形の大孔、１８は減速電極２の周縁部に形成
された径のやや小さい円形の中孔、１９は加速電極１の
周縁部に形成された径の小さい円形の小孔である。２０
はスペーサ１３の端面に形成された螺孔、２１は小孔１
９より径の大きい円形の座板、２２は座板２１に挿入さ
れ螺孔２０に螺合した取付ボルトである。
【００１０】そして、スペーサ１３の大段部１４，中段
部１５，小段部１６に、それぞれ接地電極３の大孔１
７，減速電極２の中孔１８，加速電極１の小孔１９を嵌
合し、座板２１を介して取付ボルト２２を螺孔２０に螺
合し、締め付ける。即ち、スペーサ１３に各電極３，
２，１を重ねて嵌合することにより、各電極１，２，３
の電極孔５が適合し、位置合わせが行われる。
部１５，小段部１６に、それぞれ接地電極３の大孔１
７，減速電極２の中孔１８，加速電極１の小孔１９を嵌
合し、座板２１を介して取付ボルト２２を螺孔２０に螺
合し、締め付ける。即ち、スペーサ１３に各電極３，
２，１を重ねて嵌合することにより、各電極１，２，３
の電極孔５が適合し、位置合わせが行われる。
【００１１】つぎに、各電極１，２，３を図２に示すよ
うに縦方向に取付ける場合は、各電極１，２，３の間隔
がスペーサ１３の軸心方向にずれることを防ぐため、各
スペーサ１３の方向を交互に、或いは幾つかのスペーサ
１３を逆方向に取付けることが望ましい。なお、各電極
１，２，３の間隔が異なる場合は、中段部１５の位置の
異なるスペーサを要する。
うに縦方向に取付ける場合は、各電極１，２，３の間隔
がスペーサ１３の軸心方向にずれることを防ぐため、各
スペーサ１３の方向を交互に、或いは幾つかのスペーサ
１３を逆方向に取付けることが望ましい。なお、各電極
１，２，３の間隔が異なる場合は、中段部１５の位置の
異なるスペーサを要する。
【００１２】
【考案の効果】本考案は、以上説明したように構成され
ているため、つぎに記裁する効果を奏する。本考案のイ
オン源電極支持装置は、絶縁スペーサ１３が裁頭円錐形
で、基部側に径の大きい円形の大段部１４が形成され、
先端側に順次径の小さい円形の小段部１６が形成され、
各電極３，２，１の周縁部のそれぞれの大孔１７及び小
孔１９が順次大段部１４及び小段部１６に嵌合され、最
上段の電極１に座板２１を介して取付ボルト２２が締着
されるため、絶縁スペーサ１３に各電極３，２，１を重
ね、１個の取付ボルト２２を締着すればよく、固定作業
が簡単で短時間であり、部品点数も１個ずつの絶縁スペ
ーサ１３，座板２１，取付ボルト２２で部品点数が少な
く、しかも、取付ボルト２２が多少緩んでも各電極３，
２，１に位置ずれを生じることがない。
ているため、つぎに記裁する効果を奏する。本考案のイ
オン源電極支持装置は、絶縁スペーサ１３が裁頭円錐形
で、基部側に径の大きい円形の大段部１４が形成され、
先端側に順次径の小さい円形の小段部１６が形成され、
各電極３，２，１の周縁部のそれぞれの大孔１７及び小
孔１９が順次大段部１４及び小段部１６に嵌合され、最
上段の電極１に座板２１を介して取付ボルト２２が締着
されるため、絶縁スペーサ１３に各電極３，２，１を重
ね、１個の取付ボルト２２を締着すればよく、固定作業
が簡単で短時間であり、部品点数も１個ずつの絶縁スペ
ーサ１３，座板２１，取付ボルト２２で部品点数が少な
く、しかも、取付ボルト２２が多少緩んでも各電極３，
２，１に位置ずれを生じることがない。
【図１】本考案の１実施例の切断正面図である。
【図２】本考案の他の実施例の切断正面図である。
【図３】従来例の切断正面図である。
１，３ 電極 １３ 絶縁スペーサ １４ 大段部 １６ 小段部 １７ 大孔 １９ 小孔 ２１ 座板 ２２ 取付ボルト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 27/00 - 27/26 H01J 37/08 H01J 37/06 - 37/07
Claims (1)
- 【請求項１】 裁頭円錐形の絶縁スペーサの基部側に径
の大きい円形の大段部を形成するとともに、前記スペー
サの先端側に順次径の小さい円形の小段部を形成し、 複数個の電極の周縁部に、それぞれ径の大きい円形の大
孔及び順次径の小さい円形の小孔を形成し、 前記大段部に前記大孔を嵌合するとともに、順次前記小
段部に前記小孔を嵌合し、最上段の電極に座板を介して
取付ボルトを締着したイオン源電極支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993075153U JP2591081Y2 (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | イオン源電極支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993075153U JP2591081Y2 (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | イオン源電極支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0741957U JPH0741957U (ja) | 1995-07-21 |
| JP2591081Y2 true JP2591081Y2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=13567982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993075153U Expired - Fee Related JP2591081Y2 (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | イオン源電極支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2591081Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10149789A (ja) * | 1996-11-18 | 1998-06-02 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
| JP3916929B2 (ja) * | 2001-11-19 | 2007-05-23 | 株式会社昭和真空 | イオンガン本体への付属部品の取付け方法及び取付け構造 |
| US8354652B2 (en) * | 2006-07-20 | 2013-01-15 | Aviza Technology Limited | Ion source including separate support systems for accelerator grids |
| JP5265275B2 (ja) * | 2008-09-05 | 2013-08-14 | 株式会社アルバック | 真空処理装置 |
| US8816281B2 (en) * | 2011-03-28 | 2014-08-26 | Tokyo Electron Limited | Ion energy analyzer and methods of manufacturing the same |
-
1993
- 1993-12-29 JP JP1993075153U patent/JP2591081Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0741957U (ja) | 1995-07-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |