JP2591071B2

JP2591071B2 - Ｌｓｉテストシステム

Info

Publication number: JP2591071B2
Application number: JP63140930A
Authority: JP
Inventors: 孝雄渡辺; 丈司榎本
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1988-06-08
Filing date: 1988-06-08
Publication date: 1997-03-19
Anticipated expiration: 2012-03-19
Also published as: JPH01311289A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はテストプログラムを自動的に作り出すことが
できるLSIテストシステムに関するものである。

〔従来の技術〕

本発明に係るLSIテストシステムは主に、アナログLSI
（IC）の検査に使用されるものであり、以下、アナログ
LSIを例にとって説明する。

一般にICメーカは、設計エンジニアがLSIの設計を行
うと共に、このLSIの良否を確認するテスト規格も作成
する。テスト規格とは、各種の測定条件（例えば測定を
行なうモジュールの測定形態：例えばパルス幅の測定を
行なう場合、スタートのトリガレベルと、ストップのト
リガレベル等の条件）と、ピン条件（例えばDUTの各ピ
ンへ加える電圧・電流値）と、測定値の許容範囲を定め
た規格値（標準値および最大値・最小値の範囲）を定め
たものである。

一方、このLSIを商品化して販売するにあたりLSIテス
トシステムで良品と不良品の判別を行なわねばならな
い。そこで商品としてのLSIの良否をLSIテストシステム
で検査するためのテストプログラムをテストエンジニア
が前記テスト規格に従って手動で作成している。

その後、出来上がったテストプログラムによりLSIテ
ストシステムを動作させ、テスト規格値を満足するLSI
を選別し、販売している。

〔発明が解決しようとする課題〕

以下のような従来のLSIテストシステムは、テストエ
ンジニアがテスト規格にしたがって手動でテストプログ
ラムを作成しているが、この作業は極めて高度な知識を
必要とし、かつその製作時間も長くかかる課題がある。

また、最近では、アナログLSIも多品種化、高機能化
の傾向が強くなり、テストプログラム開発コストのLSI
販売価格に占める割合が高くなりつつある。したがっ
て、従来のLSIテストシステムには、効率良くテストプ
ログラムを作成するという課題がある。

本発明の目的は、テスト規格データから自動的にテス
トプログラムを作成できるLSIテストシステムを提供す
ることである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記課題を解決するために検査対象のLSI（以下DUTと記す）の各ピンに与える電
気的条件（以下PIN条件と記す）と、指定されたピンの
信号を測定する条件（以下測定条件と記す）と、この測
定値の許容範囲を定めた規格値と、をテスト項目ごとに
記憶するメモリと、テスト項目ごとに各ピンごとのPIN条件又は測定条件
を前記メモリから読み出し、当該ピンに接続するモジュ
ール（信号を加えたり又は信号を測定する機能を持つ手
段）を選択し、これを記憶すると共に、この記憶により
前回のテスト項目の各ピンにおけるモジュール（以下前
回モジュールと記す）と今回のテスト項目のモジュール
（以下今回モジュールと記す）とを比較し、モジュール
が異なる場合、前回モジュールからDUTへ加える信号を
オフとし今回モジュールをオンとする指令文を作成し、
Jobソースファイルへ書込む手段と、 PIN条件又は測定条件を前記メモリから読み出し各モ
ジュールの出力信号形態又は測定形態を表す指令文を作
成し、Jobソースファイルへ書込む手段と、前記規格値を前記メモリから読み出しDUTの良否を判
定する指令文を作成し、Jobソースファイルへ書込む手
段と、を備え、Jobソースファイルの指令文に従ってDUTの検査
を行うことを特徴とするものである。

〔作用〕

本発明では、モジュール切換指令文の書込み手段、モ
ジュール出力信号形態・測定形態指令文の書込み手段、
DUTの良否判定指令文の書込み手段を備えて、テスト規
格データに基づき各モジュールを適切に動作させるプロ
グラムを自動的に作成することができる。

〔実施例〕

以下、図面を用いて本発明を詳しく説明する。

第１図は本発明に係るLSIテストシステムの要部構成
例を示す図、第２図は本発明を用いたLSIテストシステ
ムの全体構成例を示す図、第３図は本発明に係るLSIテ
ストシステムの要部動作フローを示す図、第４図は本発
明に係るLSIテストシステムで作成されるテストプログ
ラムの例を示す図、第５図は本発明に係るLSIテストシ
ステムで作成されるテスト規格表の例を示す図、第６図
はモジュールとDUT周辺を示す図である。

まず第２図を用いてLSIテストシステムの全体構成を
説明する。同図は、LSIテスタ本体と、サブシステム
と、その間のデータの受渡に介在をするフロッピーディ
スクとを示している。

サブシステムは、検査対象物であるLSI・IC（以下、D
UT:Device Under Test）の良否を自動判別するテストプ
ログラムを作成する機能を持つものである。更に詳述す
れば、DUTの良否を判別するためのテスト規格データD1
を入力し、このテスト規格データD1をもとにしてテスト
プログラムを自動的に作り出すものである。

このサブシステムは、コンピュータ10（以下、CPU10
と記す）と、メモリ１と、CRT13と、CRTインタフェース
11と、キーボード14と、プリンタ15と、キーボード／プ
リンタインタフェース16と、FDD/HDDインタフェース1
7とで構成される。CPU10としては、例えばパーソナルコ
ンピュータ等を用いることができる。メモリ１は例えば
ディスクで構成され、この中に、テストプログラムがJo
bソースファイルに作成され、これが、後述するフロッ
ピーディスク（以下、FDと記す）20にロードされる。

LSIテスタ本体は、CPU30と、メモリ31と、FDD/HDDイン
タフェース32と、CRT35と、CRTインタフェース34と、下
位モジュールコントローラ37と、複数の計測モジュール
ハードウエア（以下単にモジュールと記す）38とで構
成され、モジュール38には各種信号線を介してDUT40が
接続される。

CPU30は、LSIテスタ本体を制御するものであり、通常
はサブシステムのCPU10と別個のハードウエアで構成さ
れる。もっとも同じCPUで兼用しても本発明は成立つ。
メモリ31には、上記サブシステムで作成したテストプロ
グラムを実行するためのプログラムが予め格納されてお
り、CPU30は、メモリ31に格納されたテストプログラム
実行プログラムにより、テストプログラムを実行し、モ
ジュール38を動かしてDUT40へ各種信号を加え、その測
定データを収集する。このテストプログラム実行プログ
ラムは、公知なものを使用でき、第２図装置でもありふ
れたものを使用している。即ち、サブシステムで作成さ
れたテストプログラムは、その後、常識的な手段により
LSIテスタ本体で容易に実行できる。

下位モジュールコントローラ37は、CPU30からの制御
信号に基づいて複数のモジュール38を適切に動作させる
ものである。

モジュール38は、信号を加えたり又は信号を測定する
機能を持つもので、それぞれの機能別に複数種のモジュ
ールがLSIテストシステムには備えられている。第６図
を参照してモジュール38とDUT40との関係を簡単に説明
する。第６図において、モジュールa,bは定電圧・定電
流を切替えて出力できるものである。モジュールａは、
小さい電流を多数のチャネルから出力できるものであ
り、モジュールｂは、例えば２チャネルしか持たないが
大きな電流を出力できるものである。第６図では図示し
ないが、モジュールa,bは定電圧・定電流を出力できる
ばかりでなく、電圧・電流を測定できる機能をも備えて
いる。また、正弦波を出力できるモジュール等もある。

以上のように構成された第２図装置の動作を説明す
る。

オペレータ（例えば検査対象のLSI又はICの設計者）
は、サブシステムにおけるキーボード14と、インタフェ
ース16と、CRT13と、CPU10を介して、テスト規格データ
D1をメモリ１に格納する。このサブシステムでは、例え
ば第５図のような表をCRT13上に表示して、会話型式で
表の所定の空欄にオペレータがテスト規格データを入力
することで、メモリ１の所定のアドレスにテスト規格デ
ータD1が書込まれるようになっている。即ち、メモリ１
にはテスト規格会話入力プログラムが備えられている
が、この点の動作は本発明の要部でないためその説明を
省略する。

その後サブシステムは、このテスト規格データを読み
出し、テストプログラムソースのデータをメモリ１のJo
bソースファイル1aに作成する。この点については後に
詳述する。

メモリ１に格納されたテストプログラムソースデータ
はCPU10とインタフェース17を介して、例えばフロッピ
ーディスクFD20にロードされる。

LSIテスタ本体は、インタフェース32を介してテスト
プログラムソースデータを読込み、メモリ31に格納し、
更に下位モジュールコントローラ37用のデータに変換さ
れ、下位モジュールコントローラ37上のメモリに格納す
る。このテストプログラムソースは、同じくメモリ31に
格納されたテストプログラム実行プログラムにより実行
可能なデータに変換され、実行される。

実行されるとCPU30経由で下位モジュールコントロー
ラ37に実行指令信号がテストプログラムの文単位で送ら
れ、格納されているデータ内容により各モジュール38を
アクセスし、DUT40に各種信号をプログラムされた順序
で入出力する。

そして再度モジュールコントローラ37経由でテスト結
果データをCPU30経由で読み出し、メモリ31に格納され
ているテストプログラム実行プログラムによりテスト項
目ごとにGo/NoGoを判定していく。

第２図に示したLSIテストシステムでは、上記テスト
結果のデータをもとにして、テスト規格データD1のデバ
ッグを行なうことができる。即ち、当初のテスト規格デ
ータは、LSIを設計した段階で作成するもの（設計者の
期待値データ、又は目標データ若しくは推定データ）で
あり、量産されるLSIを実測したデータに基づくもので
ない。そのため、実情に合わないデータが含まれている
可能性があり、又は入力ミスしたデータも含まれている
ので、これをデバッグして、適切なテスト規格データに
する必要がある。

第４図，第５図を参照して第２図装置のデバッグ動作
を説明する。第５図はLSIを10項目に渡ってテストする
場合の例を示したものである。テスト番号2:テスト項目
２を例にとってデバッグ動作を説明すると、A:最小リミ
ット,B:最大リミットの間に測定値が入っているか、否
かをテストプログラムに展開された第４図のＡに対するA^-（105）Ｂに対するB^-（135）のテストプログラム上限，下限値を別エリアに格納して
おき、第５図の測定値Ｃと、第４図の実測定値C^-（TEST
2）を比較するために同様に格納する（第２図参照）。

デバッグ時は、情報A^-,B^-,C^-をテスト番号で参照して
部分的なテスト規格表をCRTに表示し、変更をテスト規
格表のイメージで入力する。

例えば、A,Bをそれぞれ−5,＋５に修正すると、第４図
の JUDGE TEST 2,105,135の文が変更され JUDGE TEST 2,100,140のようになり、 ±方向に５ずつ上限値、下限値が変更される。

デバッグ情報のフィードバックは、デバッグデータを
フロッピインタフェース36を介してフロッピディスクFD
21経由で、LSIテスタ本体からサブシステムへ戻すこと
によって実現する。即ち、サブシステムは、CPU10でこ
のデバッグ情報を読込み、第５図に示すようなテスト規
格表の形でCRT13へ表示し、デバッグで変更された部分
を表示する。

このようにして第２図装置においては、稼働前に例え
ばプロトタイブのLSIでテストを実行し、ここでパラメ
ータチューニングに相当するデバッグを行い、適切なテ
ストプログラムを作成してから量産ライン向けのICテス
トを稼働させることができる。

次にサブシステム部において、自動的にテストプログ
ラムソースデータを作成する動作を説明する。第１図は
サブシステム部のCPU10を機能実現手段の結合として表
したものである。即ち、第１図において、構成素子番号
の２〜９はCPU10に含まれる機能手段である。また１は
第２図に示すメモリ１である。

第１図の動作を説明する。第１図はCPU10がメモリ１
から第５図に示すテスト規格データを読込み、これから
第４図に示すテストプログラムソースデータを自動的に
作成する構成を示すものである。

まず最初に第５図のテスト規格表の内容を説明する。
このテスト規格表は１〜10の項目について検査するもの
である。各テスト番号はテスト項目と一致している。内
容は、規格値と、測定条件と、PIN条件とからなる。

規格値は、標準値と、最小値，最大値からなる。〜
に示す最小：最大のペアにおいて、は例えばLSIが
ウエハー上に形成された時点で良否検査する際の範囲で
あり、はパッケージされた状態での範囲であり、は
出荷段階での検査の範囲である。

測定条件の項における“測定モード”は、測定する対
象のことであり、例えばＩは電流測定、Ｔは時間測定
（パルス幅測定）、Ｖは電圧測定等を示している。テス
ト項目２でいえばT:時間測定を意味しており、ここで
“測定系設定”にて、「1V,POS,0.9V,NEG5」の記述は、
トリガレベルと測定平均回数を規定したものであり、ス
タートトリガは立上がりエッジの1Vとし、ストップトリ
ガは立下がりエッジの0.9Vとすべきことを意味し、測定
平均回数は５回とすべきことを意味している。また“DE
LAY TIME"の0msは、スタートしてから遅延時間0msで測
定すべきことを意味している。

PIN条件の項において、各ピンに設けられた“M"のマ
ークは、測定モジュールを接続することを意味し、ブラ
ンクのピンは、このピンに接続するモジュールをHIGHイ
ンピーダンス、印加電圧のリミットを32にすることを意
味している。

また、CC（100μA,1V）は、モジュール出力を定電流
（CC;Constant current）100μＡで電圧リミットを1Vと
すべきことを意味している。

また↓マークは、上に記載した設定と同じことを意味
している。

テスト項目２で説明すれば、pin1には、CV（5V,200m
A）と記載されており、このピン１には、モジュールか
ら定電圧（CV:Constant voltage）5vを印加しその時の
電流リミットを200mAとすべきことを意味している。pin
3の“MSTART"は、測定モジュールを接続し、このピン３
の立上がりエッジ（前記測定系参照）を測定開始のスタ
ートとすることを意味している。pin5の“MEND"は、測
定モジュールを接続し、このピン５の立下がりエッジを
測定の終了とすることを意味している。pin7の“AU（1K
Hz,0.5V,SIN）”は、このピン７へアナログの周波数1KH
z,0.5v,の正弦波を加えるべきことを意味している。

このようなテスト番号２の内容を第１図装置では次の
ようにして、第４図の線で囲んだ部分に変換している。

テスト番号書込み手段２は、メモリ１に格納されてい
る第５図のテスト番号（ここではテスト番号２）を読込
み、このデータを加工することなしにJobソースファイ
ル1aに書込む。第４図では、TESTNO2の文で記述されて
いる。第１図においては、Jobソースファイル1aを独立
に描いてあるが、これは信号の流れを分り易くするため
に描いたもので、Jobソースファイル1aは、メモリ１上
の或るエリアに格納されるものである。

テスト項目書込み手段３は、メモリ１に格納されてい
る第５図のテスト項目（ここではテスト項目２）を読込
み、このデータを加工することなしにJobソースファイ
ル1aに書込む。第４図では、テスト項目２の文で記述さ
れている。

設定演算式書込み手段４は、設定演算式がある場合は
これをメモリ１から読込み、このデータを加工すること
なしにJobソースファイル1aに書込む。テスト番号２に
はこの設定演算式は無いがテスト番号４には有る。これ
は第４図に示す如くJobソースファイル1aに記述され
る。設定演算式は、例えば、PIN条件の設定に以前のテ
ストの結果を演算して使用する場合に利用される。

モジュール選択手段５は、メモリ１から、各ピンごと
のPIN条件・測定条件を読み出し、この条件に該当する
モジュールを選択し、これを記憶するものである。即
ち、LSIテストシステムが備えている各モジュールの機
能は既知であり、これをモジュール選択手段５に例えば
テーブルとして備えることで、読み出したPIN条件・測
定条件に適合するモジュールを直ちに決定できる。そし
て決定したモジュール名を手段５に設けたメモリ手段5a
に格納する。モジュールの決定は総べてのピンについて
行なう。

モジュール切換指令文の書込み手段６は、各ピンにお
ける前のテスト項目時のモジュール（前回モジュール）
と今回のテスト項目時のモジュール（今回モジュール）
とが異なる場合、前回モジュールからDUTへ加える信号
をオフとし、今回モジュールからDUTへ加える信号をオ
ンとする指令文をJobソースファイル1aへ書込む。即
ち、このモジュール切換指令文の書込み手段６は、モジ
ュール選択手段５から信号を導入し、ここで選択した前
回モジュールを示す信号と今回モジュールを示す信号と
が異なる場合、例えば第４図（イ）に示すような指令文
（＊SET文）をJobソースファイル1aへ書込む。

即ち、テストはテスト番号順に行なわれるが、設定さ
れた電気信号を与えるモジュールが異なる場合は、前回
のモジュールを切離し、新たなモジュールを接続する指
令を与えなければならない。例えば、pin2について説明
すると、テスト番号１の測定では、HIGHインピーダンス
の信号（ブランクはHIGHインピーダンスを意味する）を
与えるだけであるので、モジュールとしては第６図ａで
示す“PPVI"（このモジュールは多数のチャネル出力を
持つが小容量の電流しか出力できないもの）が選択され
ている。そしてテスト番号２のpin2の測定では、CV（0
V,200mA）、即ち、電流リミットが200mAと規定されてい
るので大きな電流を出力できるモジュール“MVI"を接続
する必要がある。第６図は、このモジュール“PPVI"
と、“MVI"とDUT40と、これらを切替えるスイッチ（PIN
1,PIN2,…,L1,L2,…）とを示す図である。

この第６図と第４図、第５図を参照しながら説明する
と、テスト番号２においては、pin1は、“PPVI"→“MVI
1"へ切替える。即ち、第５図に示すテスト番号１の際の
pin1の“M"は、測定条件が0.3V,2mAであるため、モジュ
ール“PPVI"が選択されている。なお、上述したように
モジュール“PPVI"は、信号発生器としての機能だけで
なく、電圧・電流を測定できる機能をも持つものである
（モジュール“MVI"も同じ）。しかし、テスト番号２で
は、第５図のようにpin1はCV（5V,200mA）なので、モジ
ュール“MVI1"とする必要がある。

pin2も同様にモジュール“PPVI"→“MVI1"へ切替え
る。即ち、第５図に示すようにブランク（低出力電流＝
PPVI）からCV（0V,200mA）へ変化しているからである。

pin3は、第５図に示すようにCV（0V,10mA）からMSTAR
Tへ変化しているので、モジュール“PPVI"からモジュー
ル“TM"へ切替える必要がある。なお、モジュール“PPV
I"は31mAまで出力・測定できるものである。また、モジ
ュール“MT"は、時間を計測する機能を持つモジュール
である。

pin4は、第５図に示すようにCV（0V,10mA）からブラ
ンクへ変化しているので、モジュールは“PPVI"のまま
変らない。

以下、各ピンごとにモジュールの切替えの有無を判断
し、第４図（イ）に示すように、＊SET PPVI PIN（１） OUT＝OFF L1＝ON PIN（２） OUT＝OFF L2＝ON PIN（3,5,7） OUT＝OFF なる指令文を、Jobソースファイルへ書込む。

モジュールの出力信号形態・測定形態の指令文の書込
み手段７は、PIN条件又は測定条件をメモリ１から読み
出し、各モジュールの出力信号形態又は測定形態を表す
第４図（ロ）に示すような指令文をJobソースファイル
へ書込む。

出力信号形態とは、出力電流値、出力電圧値、リミッ
ト電流値、リミット電圧値、定電流モード、定電圧モー
ド、周波数値、波形の種類等の各モジュールの入出力の
動作条件を示すものである。

測定形態とは、例えばモジュール“TM"を例に上げて
説明すると、選択する測定レンジ、カウンタのファンク
ション、Ａチャネルのトリガレベル、Ｂチャネルのトリ
ガレベル、等、測定する条件を示すものである。

第４図（ロ）に示す各＊SETの後に記載された記号（M
VI,PPVI,AUS,TM）は、モジュール名を示す。第４図
（ロ）に記載された指令文の内容を簡単に示すと、モジュールMVI1は、出力端子１を電流モードとし、出
力電圧を5v、電流リミットを200MAとすること（MOD1＝I
VOLT1＝5V CUR1＝200MA OUT1＝ON）。また出力端子２
を電流モードとし、出力電圧をOv、電流リミットを200M
Aとすること（MOD2＝I VOLT2＝0V CUR2＝200MA OUT2＝O
N）を指令している。

モジュールPPVIは、PIN4,6,8,9につながるチャネル出
力をHIGHインピーダンス、電圧リミットを32Vとするこ
とを指令している（PIN（4,6,8:9）MODE＝HIZ VOLT＝32
V）。

モジュールAUSは、複数の出力端子を持つがここではM
AINを使用し、正弦波（SIN）、周波数1KHz（F1＝０ F2
＝０ F3＝１は1KHzを意味している）、出力電圧500mV
の信号を出力することを指令している。

モジュールTMは、複数の入力端子を持つがここでは入
力選択（測定レンジ条件）をMAINとし、カウンタファン
クションを時間間隔とし（CFNCT＝INTVL）、Ａチャネル
のトリガレベル（TLVLA）を1Vとし、Ｂチャネルのトリ
ガレベル（TLVLB）を0.9Vとし、Ａチャネルは立上がり
スロープでトリガを掛け（ASLOPE＝POS）、Ｂチャネル
は立下がりスロープでトリガを掛ける（BSLOPE＝NEG）
ことを指令している。

測定指令文の書込み手段８はテスト項目とDELAY TIME
をメモリ１から読み出し、第４図（ハ）に示すような測
定指令文（メジャー文）をJobソースファイル1aに書込
む。第４図（ハ）の内容を具体的に説明すると、レジス
タ１の内容がテスト２のデータである（TEST2＝REG
1）。信号を印加したらただちに測定データを取込む（D
ELAY＝5MS）。

DUT良否判定指令文の書込み手段９は、規格値をメモ
リ１から読み出し、第４図（ニ）に示すようなDUTの良
否を判定する指令文（判定文）をJobソースファイルへ
書込む。

LSIテストシステムは、この判定文に示された範囲内
にレジスタ２に格納（第４図（ハ）にて、テスト２のデ
ータはレジスタ１へ格納）されたデータが入っていない
場合は、NoGoと判定する。

なお、第１図には、図示していないが、判定演算式の
有無を判断し、この演算式が第５図に示すテスト規格表
に記載されている場合は、この判定演算式をメモリ１か
ら読み出し、これをJobソースファイル1aへ書込む手段
を備えている。この判定演算式の存在理由は、例えば測
定値をそのまま判断するより、デシベル換算して判断す
べき場合等がある。

以上のように第１図に示した各手段により、第５図に
示すようなメモリ上のテスト規格データは、各テスト番
号順に自動的に第４図に示すようなテストプログラムに
変換される。

そしてこのテストプログラムは、LSIテスタ本体のCPU
30にて、公知のテストプログラム実行プログラムにより
（もちろん公知のプログラムでなくても良い）、実行さ
れる。

なお、上述では発明を分り易く説明するため、極めて
具体的例で説明したが、明細書に記載した各モジュール
機能や数値に発明を限定するものでないことは明らかで
ある。

また、上述ではLSIテスタ本体のCPU30とサブシステム
のCPU10を別個のハードウエアとして説明したが、１個
のCPUを兼用しても本発明は成立する。しかし、１個のC
PUとした場合、テストプログラムの作成中は、DUTの検
査実行作業に制約が発生する。CPUは同時にテストプロ
グラム作成と、テストプログラムの実行を行なうことが
できないからである。

また、上述では、LSIテスタ本体とサブシステムのデ
ータ交換にフロッピディスクを用いた例で説明したが、
本発明をこれに限定するものではない。例えばLSIテス
タ本体側と、サブシステム側にLANインタフェースをそ
れぞれ備え、LANを介してデータ交換を行なうこともで
きる。このようにすればデータ転送レイトが高速化で
き、大規模に本発明を実施できる。

〔本発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、次の効果が得られ
る。

従来人手で作成していたテストプログラムをテスト
規格データに基づいて自動的に作成できるようになっ
た。したがってテスト規格データとして適切なデータを
入力すれば、迅速にしかも誤りなく、テストプログラム
を作成できる。

仮にテスト規格データに誤りが有っても、これ（テ
スト規格データ）を修正すれば、直ちにテストプログラ
ムの修正を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るLSIテストシステムの要部構成例
を示す図、第２図は本発明を用いたLSIテストシステム
の全体構成例を示す図、第３図は本発明に係るLSIテス
トシステムの要部動作フローを示す図、第４図は本発明
に係るLSIテストシステムで作成されるテストプログラ
ムの例を示す図、第５図は本発明に係るLSIテストシス
テムで作成されるテスト規格表の例を示す図、第６図は
モジュールとDUT周辺を示す図である。１……メモリ、５……モジュール選択手段、６……モジ
ュール切換指令文の書込み手段、７……モジュールの出
力信号形態・測定形態指令文の書込み手段、９……DUT
良否判定指令文の書込み手段。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】検査対象のLSI（以下DUTと記す）の各ピン
に与える電気的条件（以下PIN条件と記す）と、指定さ
れたピンの信号を測定する条件（以下測定条件と記す）
と、この測定値の許容範囲を定めた規格値と、をテスト
項目ごとに記憶するメモリと、テスト項目ごとに各ピンごとのPIN条件又は測定条件を
前記メモリから読み出し、当該ピンに接続するモジュー
ル（信号を加えたり又は信号を測定する機能を持つ手
段）を選択し、これを記憶すると共に、この記憶により
前回のテスト項目の各ピンにおけるモジュール（以下前
回モジュールと記す）と今回のテスト項目のモジュール
（以下今回モジュールと記す）とを比較し、モジュール
が異なる場合、前回モジュールからDUTへ加える信号を
オフとし今回モジュールをオンとする指令文を作成し、
Jobソースファイルへ書込む手段と、 PIN条件又は測定条件を前記メモリから読み出し各モジ
ュールの出力信号形態又は測定形態を表す指令文を作成
し、Jobソースファイルへ書込む手段と、前記規格値を前記メモリから読み出しDUTの良否を判定
する指令文を作成し、Jobソースファイルへ書込む手段
と、を備え、Jobソースファイルの指令文に従ってDUTの検査
を行うことを特徴とするLSIテストシステム。