JP2589696B2 - 透明導電膜の製造方法 - Google Patents
透明導電膜の製造方法Info
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- JP2589696B2 JP2589696B2 JP62151922A JP15192287A JP2589696B2 JP 2589696 B2 JP2589696 B2 JP 2589696B2 JP 62151922 A JP62151922 A JP 62151922A JP 15192287 A JP15192287 A JP 15192287A JP 2589696 B2 JP2589696 B2 JP 2589696B2
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- conductive film
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- producing transparent
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は各種表示デバイス用電極材料、発熱体、熱線
反射材料などの目的に使用される透明導電膜の製造方法
に関するものである。
反射材料などの目的に使用される透明導電膜の製造方法
に関するものである。
従来の技術 従来より、透明導電膜は各種表示デバイス用電極、発
熱体、熱線反射材料などの目的に使用されてきた。
熱体、熱線反射材料などの目的に使用されてきた。
従来のこれら透明導電膜は主として蒸着、スパッタ等
の物理的手法により製造されてきたが、装置コストや生
産性等の向上を目的として金属を含有した有機化合物の
熱分解による製造方法の研究も広く行なわれている。
の物理的手法により製造されてきたが、装置コストや生
産性等の向上を目的として金属を含有した有機化合物の
熱分解による製造方法の研究も広く行なわれている。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、金属を含有した有機化合物の熱分解に
よる製造方法においては生成した透明導電膜の導電性が
蒸着、スパッタ等の物理的手法のよるものに比して劣る
ものであった。
よる製造方法においては生成した透明導電膜の導電性が
蒸着、スパッタ等の物理的手法のよるものに比して劣る
ものであった。
それ故に、本発明の目的は金属を含有した有機化合物
の熱分解による製造方法における利点を維持しつつ、物
理的手法により得られる透明導電膜により近い導電性を
有する透明導電膜の製造方法を提供することである。
の熱分解による製造方法における利点を維持しつつ、物
理的手法により得られる透明導電膜により近い導電性を
有する透明導電膜の製造方法を提供することである。
問題点を解決するための手段 本発明においては上記、金属を含有した有機化合物の
熱分解による透明導電膜の製造方法における問題を解決
するための手段として、熱分解、焼結の完了した透明導
電膜に空気中で、または空気との接触を遮断した状態で
可視光線ないしは赤外線を照射して抵抗値の調節をする
ことを特徴とする。すなわち、上記電磁波の照射により
透明導電膜の抵抗値が製造直後よりも著しく低下し、物
理的手法により製造されたものにより近い抵抗値の透明
導電膜が得られる。
熱分解による透明導電膜の製造方法における問題を解決
するための手段として、熱分解、焼結の完了した透明導
電膜に空気中で、または空気との接触を遮断した状態で
可視光線ないしは赤外線を照射して抵抗値の調節をする
ことを特徴とする。すなわち、上記電磁波の照射により
透明導電膜の抵抗値が製造直後よりも著しく低下し、物
理的手法により製造されたものにより近い抵抗値の透明
導電膜が得られる。
従来より、例えば特公昭60−19610号公報に記載され
ているごとく、金属含有有機化合物の熱分解において紫
外線により有機化合物の結合を切断して熱分解を補助し
ようとする考えはあり、かつ現在、主として使用されて
いる酸化インジウムや酸化スズ等は光導電性を有するゆ
えに紫外線の照射により抵抗値を低下させようとする試
みは良く行なわれているが、実際には紫外線照射による
抵抗値低下は一時的なものであって永続性は少ない。
ているごとく、金属含有有機化合物の熱分解において紫
外線により有機化合物の結合を切断して熱分解を補助し
ようとする考えはあり、かつ現在、主として使用されて
いる酸化インジウムや酸化スズ等は光導電性を有するゆ
えに紫外線の照射により抵抗値を低下させようとする試
みは良く行なわれているが、実際には紫外線照射による
抵抗値低下は一時的なものであって永続性は少ない。
本発明者らは従来全く知られていなかった可視光線か
ら赤外線の波長領域での照射が抵抗値低下に効果のある
ことを見いだし、本発明に至ったものである。
ら赤外線の波長領域での照射が抵抗値低下に効果のある
ことを見いだし、本発明に至ったものである。
上記電磁波を透明導電膜に照射する雰囲気としては通
常の空気中でも良いが、空気を遮断して照射すると更に
良好な結果が得られる。
常の空気中でも良いが、空気を遮断して照射すると更に
良好な結果が得られる。
上記、照射時の空気遮断条件としては特に厳しい条件
は不要であって、実施例で示す通り、プラスチックフィ
ルム、紙、ガラス板、セラミックス板、金属板などで透
明導電膜表面を覆うだけで十分な効果があるため、大量
生産にも十分に対応できる有用な手段と言える。
は不要であって、実施例で示す通り、プラスチックフィ
ルム、紙、ガラス板、セラミックス板、金属板などで透
明導電膜表面を覆うだけで十分な効果があるため、大量
生産にも十分に対応できる有用な手段と言える。
本発明にかかる抵抗値低下処理をした透明導電膜は処
理後もプラスチックフィルム製の袋に保存する程度の簡
単な保管条件で抵抗値の増加もなく安定なものである。
理後もプラスチックフィルム製の袋に保存する程度の簡
単な保管条件で抵抗値の増加もなく安定なものである。
作用 金属を含有した有機化合物の熱分解により製造した透
明導電膜に空気中で、または空気との接触を遮断した状
態で可視光線ないしは赤外線を照射することにより、透
明導電膜の抵抗値が低下する。
明導電膜に空気中で、または空気との接触を遮断した状
態で可視光線ないしは赤外線を照射することにより、透
明導電膜の抵抗値が低下する。
本発明にかかる処理による抵抗値低下の機構として
は、熱分解により生じた酸化物超微粒子の表面に強く吸
着された酸素原子またはイオンが可視光線または赤外線
の照射による熱振動により脱着されるものと推定され
る。
は、熱分解により生じた酸化物超微粒子の表面に強く吸
着された酸素原子またはイオンが可視光線または赤外線
の照射による熱振動により脱着されるものと推定され
る。
透明導電膜に吸着された酸素量および、脱着後の酸素
含有量は実施例に述べるごとく還元ガス中における熱分
析や、ラザフォード後方散乱の測定により実測すること
ができる。
含有量は実施例に述べるごとく還元ガス中における熱分
析や、ラザフォード後方散乱の測定により実測すること
ができる。
実施例 以下、実施例により説明する。
実施例１ ２−エチルヘキサン酸インジウムに５モル％の２−エ
チルヘキサン酸スズを添加し、石油系溶剤に溶解してイ
ンキを製造した。本インキをガラス板上に印刷しての
ち、530℃で焼成して透明導電膜を製造した。
チルヘキサン酸スズを添加し、石油系溶剤に溶解してイ
ンキを製造した。本インキをガラス板上に印刷しての
ち、530℃で焼成して透明導電膜を製造した。
本透明導電膜に直接、または透明導電膜を有する側の
ガラス面上に各種材料を載せて10cmの距離よりハロゲン
ランプを照射した結果を下記の表１に示す。なお、表１
中で耐熱性の不十分な材料の場合およびセラミックス、
金属板のごとき不透明な材料の場合は透明導電膜の反対
側のガラス面より照射した。
ガラス面上に各種材料を載せて10cmの距離よりハロゲン
ランプを照射した結果を下記の表１に示す。なお、表１
中で耐熱性の不十分な材料の場合およびセラミックス、
金属板のごとき不透明な材料の場合は透明導電膜の反対
側のガラス面より照射した。
続いて、表１においてポリイミドフィルムを介して照
射したサンプルと、焼成したままのサンプルの２種につ
いて還元ガス中の熱重量分析とラザフォード後方散乱の
測定を行なった。
射したサンプルと、焼成したままのサンプルの２種につ
いて還元ガス中の熱重量分析とラザフォード後方散乱の
測定を行なった。
この結果、どちらの測定においても照射サンプルにお
いてはインジウム１原子当り1.5個の酸素原子が観測さ
れたのに対し、焼成したままのサンプルにおいてはイン
ジウム１原子当り２個の酸素原子が観測された。
いてはインジウム１原子当り1.5個の酸素原子が観測さ
れたのに対し、焼成したままのサンプルにおいてはイン
ジウム１原子当り２個の酸素原子が観測された。
この結果より、金属化合物の熱分解時に過剰に吸着さ
れた酸素原子が本発明にかかる処理により脱着して化合
物本来の抵抗値にまで低下するものと推察された。
れた酸素原子が本発明にかかる処理により脱着して化合
物本来の抵抗値にまで低下するものと推察された。
発明の効果 以上実施例および比較例から判るごとく、本発明にか
かる透明導電膜の製造方法は極めて簡単な方法で熱分解
透明導電膜の抵抗値を低下でき、その抵抗値も従来の物
理的手法によるものと同等のものであり、産業上の効果
は大である。
かる透明導電膜の製造方法は極めて簡単な方法で熱分解
透明導電膜の抵抗値を低下でき、その抵抗値も従来の物
理的手法によるものと同等のものであり、産業上の効果
は大である。
フロントページの続き (72)発明者 西田 秀明 門真市大字門真1006番地 松下電器産業 株式会社内 (72)発明者 師井 宏 門真市大字門真1006番地 松下電器産業 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−16417（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−84809（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−184210（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−170813（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−62109（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】金属を含有する有機化合物を熱分解して得
た透明導電膜の表面に可視光線または赤外線を照射して
上記透明導電膜の抵抗値を低下させることを特徴とする
透明導電膜の製造方法。 - 【請求項２】空気との接触を遮断した状態で透明導電膜
の表面に可視光線または赤外線を照射して上記透明導電
膜の抵抗値を低下させることを特徴とする請求項１記載
の透明導電膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151922A JP2589696B2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 透明導電膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151922A JP2589696B2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 透明導電膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63314715A JPS63314715A (ja) | 1988-12-22 |
| JP2589696B2 true JP2589696B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=15529131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62151922A Expired - Fee Related JP2589696B2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 透明導電膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2589696B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4323654C2 (de) * | 1993-07-15 | 1995-04-20 | Ver Glaswerke Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer wenigstens eine Schicht aus einem Metalloxid vom n-Halbleitertyp aufweisenden beschichteten Glasscheibe |
| JP4705340B2 (ja) * | 2004-06-14 | 2011-06-22 | 日本曹達株式会社 | 酸化インジウム膜の製造方法 |
| US8354294B2 (en) * | 2006-01-24 | 2013-01-15 | De Rochemont L Pierre | Liquid chemical deposition apparatus and process and products therefrom |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6116417A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-24 | 松下電器産業株式会社 | 透明導電膜の製造装置 |
-
1987
- 1987-06-18 JP JP62151922A patent/JP2589696B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63314715A (ja) | 1988-12-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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