JP2585296B2 - 有機金属熱分解法気相成長装置 - Google Patents
有機金属熱分解法気相成長装置Info
- Publication number
- JP2585296B2 JP2585296B2 JP62238832A JP23883287A JP2585296B2 JP 2585296 B2 JP2585296 B2 JP 2585296B2 JP 62238832 A JP62238832 A JP 62238832A JP 23883287 A JP23883287 A JP 23883287A JP 2585296 B2 JP2585296 B2 JP 2585296B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- pipe
- organometallic
- container
- supply unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的） （産業上の利用分野） 有機金属を用いた化学気相成長法において、その原料
である有機金属の容器であるバブラーの出入口および接
続管内のパージ法に関する。
である有機金属の容器であるバブラーの出入口および接
続管内のパージ法に関する。
（従来の技術） 従来の有機金属容器への配管内パージ法は、第３図に
示す様に有機金属容器へのキャリアガス導入用配管306
と混合ガス導出用配管307をバルブ303を介して接続し、
バルブ303を通してキャリアガスを流すことにより配管
内のパージを行う方法であった。しかし、この方法では
容器口金付近のパージが不完全であるという欠点があっ
た。
示す様に有機金属容器へのキャリアガス導入用配管306
と混合ガス導出用配管307をバルブ303を介して接続し、
バルブ303を通してキャリアガスを流すことにより配管
内のパージを行う方法であった。しかし、この方法では
容器口金付近のパージが不完全であるという欠点があっ
た。
（発明が解決しようとする問題点） 従来の技術で述べたこの方法によれば接続配管内の完
全なパージができず特に口金付近において残留付着物が
できてしまいそれによる結晶成長の再現性への影響があ
った。本発明の目的は有機金属容器への接続配管内部の
簡単かつ効果的なパージ手段を提供し成長結晶の高品質
化を計ることにある。
全なパージができず特に口金付近において残留付着物が
できてしまいそれによる結晶成長の再現性への影響があ
った。本発明の目的は有機金属容器への接続配管内部の
簡単かつ効果的なパージ手段を提供し成長結晶の高品質
化を計ることにある。
（問題点を解決するための手段） 有機金属容器の出口と入口において、パージ用配管を
連結管により接続して出入口双方を同時にパージし、ま
た２重構造の口金を採用し、パージ用配管をキャリアガ
ス導入用配管と、混合ガス導出用配管の内部に組み込む
ことにより、有機金属容器のバルブの極く近傍までのパ
ージを可能とした方法である。
連結管により接続して出入口双方を同時にパージし、ま
た２重構造の口金を採用し、パージ用配管をキャリアガ
ス導入用配管と、混合ガス導出用配管の内部に組み込む
ことにより、有機金属容器のバルブの極く近傍までのパ
ージを可能とした方法である。
（作 用） 上記の構造であれば有機金属容器ガス入口と出口の双
方を同時にかつ完全に一つの配管でパージすることがで
き、残留付着物もなく結晶成長の再現性への影響をなく
すことができる。
方を同時にかつ完全に一つの配管でパージすることがで
き、残留付着物もなく結晶成長の再現性への影響をなく
すことができる。
（実施例） 第１図に本発明によるパージ機構をそなえた有機金属
容器を示す。第２図に有機金属容器と外部配管との接続
部の口金の断面図を示す。図示のように構造は出入口共
に同じである。従来では完全にパージすることのできな
かった部分、バルブ1,2の口金3,4の内部にパージ用気体
を運ぶためにパージ用配管13,14を細くしてバブラー出
入口の口金内部に組込むようになっている。
容器を示す。第２図に有機金属容器と外部配管との接続
部の口金の断面図を示す。図示のように構造は出入口共
に同じである。従来では完全にパージすることのできな
かった部分、バルブ1,2の口金3,4の内部にパージ用気体
を運ぶためにパージ用配管13,14を細くしてバブラー出
入口の口金内部に組込むようになっている。
次に動作方法を示す。第１図において通常バブラ不使
用時には、バルブ８が開、バルブ1,2,5,9,10が閉となっ
ていて接続管11,12,7にはパージ用気体が流れ込まない
ようになっている。そしてバブラ使用時は、バルブ５を
開、バルブ10,9を開、バルブ８を閉の順にバルブを動作
させパージ用気体が配管７を流れるようにし、確かにバ
ルブ５が開いていることを確認した後、バルブ２を開、
バルブ１を開、バルブ５を閉の順にバルブを動作させ、
バブリングを開始する。使用後、配管内のパージを行
う。その手順はバルブ８を開バルブ9,10を閉の順にバル
ブを動作させバブラ接続管11,12にキャリア気体が流れ
込まないようにしてからバルブ１を閉、バルブ２を閉バ
ルブ５を開の順にバルブを動作させ次に、バルブ10を開
バルブ９を開、バルブ８を閉の順に動作させてパージ用
配管７にパージ気体を流して行う。その状態で10分以上
パージを行った後バルブ８を開バルブ9,10を閉の順にバ
ルブを動作させて通常のバブラを使用していない状態に
もどす。
用時には、バルブ８が開、バルブ1,2,5,9,10が閉となっ
ていて接続管11,12,7にはパージ用気体が流れ込まない
ようになっている。そしてバブラ使用時は、バルブ５を
開、バルブ10,9を開、バルブ８を閉の順にバルブを動作
させパージ用気体が配管７を流れるようにし、確かにバ
ルブ５が開いていることを確認した後、バルブ２を開、
バルブ１を開、バルブ５を閉の順にバルブを動作させ、
バブリングを開始する。使用後、配管内のパージを行
う。その手順はバルブ８を開バルブ9,10を閉の順にバル
ブを動作させバブラ接続管11,12にキャリア気体が流れ
込まないようにしてからバルブ１を閉、バルブ２を閉バ
ルブ５を開の順にバルブを動作させ次に、バルブ10を開
バルブ９を開、バルブ８を閉の順に動作させてパージ用
配管７にパージ気体を流して行う。その状態で10分以上
パージを行った後バルブ８を開バルブ9,10を閉の順にバ
ルブを動作させて通常のバブラを使用していない状態に
もどす。
この構造、動作方法により、完全なパージを行うこと
ができ、結晶成長の再現性への問題をなくすことができ
る。また、配管７を有機金属容器ガス導入口と混合ガス
導出口に速結管として接続したことにより、同時パージ
することができ、高速で良好なパージを行うことができ
た。
ができ、結晶成長の再現性への問題をなくすことができ
る。また、配管７を有機金属容器ガス導入口と混合ガス
導出口に速結管として接続したことにより、同時パージ
することができ、高速で良好なパージを行うことができ
た。
本発明に係るパージ用配管を採用することにより、有
機金属容器ガス導入・導出用配管内部を有機金属容器口
金部まで効率的にパージでき配管内の残留付着物をなく
し、結晶成長への影響をなくすことができた。また、パ
ージ用配管として有機金属容器出入口を連結することに
より、有機金属容器の出口と入口の双方を同時に一つの
配管でパージすることができ短時間にて完全なパージが
可能となった。
機金属容器ガス導入・導出用配管内部を有機金属容器口
金部まで効率的にパージでき配管内の残留付着物をなく
し、結晶成長への影響をなくすことができた。また、パ
ージ用配管として有機金属容器出入口を連結することに
より、有機金属容器の出口と入口の双方を同時に一つの
配管でパージすることができ短時間にて完全なパージが
可能となった。
第１図は本発明に係るパージ用配管を有する有機金属気
相成長装置の実施例を示す概略図、第２図は有機金属容
器接続部口金の断面図、第３図は有機金属気相成長装置
の有機金属容器及び周辺配管の従来例を示す図である。 1,2,5,8,9,10,301,302,304,305,303……バルブ ３……有機金属容器ガス導入口 ４……有機金属容器混合ガス導出口 6,308……有機金属容器 11,12,301,302……接続管
相成長装置の実施例を示す概略図、第２図は有機金属容
器接続部口金の断面図、第３図は有機金属気相成長装置
の有機金属容器及び周辺配管の従来例を示す図である。 1,2,5,8,9,10,301,302,304,305,303……バルブ ３……有機金属容器ガス導入口 ４……有機金属容器混合ガス導出口 6,308……有機金属容器 11,12,301,302……接続管
Claims (1)
- 【請求項１】キャリアガス供給部とガス導入口、導出口
を備えた有機金属容器と被混合原料供給部とからなり、
前記キャリアガス供給部と有機金属容器の導入口とが第
１のバルブを介して、さらに被混合原料供給部と前記ガ
ス導出口とが第２のバルブを介して接続されている有機
金属熱分解法気相成長装置において、前記キャリアガス
供給部と前記第１のバルブを接続する第１の配管が、前
記被混合原料供給部と前記第２のバルブを接続する第２
の配管へバルブを介して連結管により接続され、かつ前
記連結管の先端が前記第１の配管と第２の配管の内部を
貫通し、それぞれの先端が前記第１のバルブと第２のバ
ルブ近傍にまで到達するように２重構造に構成したこと
を特徴とする有機金属熱分解法気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62238832A JP2585296B2 (ja) | 1987-09-25 | 1987-09-25 | 有機金属熱分解法気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62238832A JP2585296B2 (ja) | 1987-09-25 | 1987-09-25 | 有機金属熱分解法気相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6483661A JPS6483661A (en) | 1989-03-29 |
| JP2585296B2 true JP2585296B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=17035936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62238832A Expired - Lifetime JP2585296B2 (ja) | 1987-09-25 | 1987-09-25 | 有機金属熱分解法気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585296B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2614338B2 (ja) * | 1990-01-11 | 1997-05-28 | 株式会社東芝 | 液体ソース容器 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0747119B2 (ja) * | 1987-03-09 | 1995-05-24 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 低圧又は真空系統に低蒸気圧の物質を注入するための装置 |
| JPS63168028U (ja) * | 1987-04-20 | 1988-11-01 |
-
1987
- 1987-09-25 JP JP62238832A patent/JP2585296B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6483661A (en) | 1989-03-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |