JP2577173B2 - 金属微粉末の製造方法及び装置 - Google Patents
金属微粉末の製造方法及び装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は溶融金属から金属微粉
末を製造する方法及び装置に関する。
末を製造する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】溶融金属から金属微粉末を製造する方法
の１つとして、従来、超音波振動を利用するものがあ
る。
の１つとして、従来、超音波振動を利用するものがあ
る。
【０００３】超音波振動を利用する場合は、超音波ホー
ン上に、小さな液滴又は薄膜状の一定量の溶融金属を供
給して、加湿器等における水を霧化する場合と同様に、
超音波振動によって金属微粉末を得るものである。
ン上に、小さな液滴又は薄膜状の一定量の溶融金属を供
給して、加湿器等における水を霧化する場合と同様に、
超音波振動によって金属微粉末を得るものである。
【０００４】溶融金属の液滴を超音波ホーン上に滴下さ
せる例としては、例えば特開昭６１−１５９５０１号公
報に開示される超音波による金属粉末の製造方法及び装
置がある。
せる例としては、例えば特開昭６１−１５９５０１号公
報に開示される超音波による金属粉末の製造方法及び装
置がある。
【０００５】又、超音波ホーン上に薄膜状の溶融金属を
供給するものとして、例えば特開昭６３−１０５９０７
号公報に開示される超音波による金属粉製造方法及び製
造装置がある。
供給するものとして、例えば特開昭６３−１０５９０７
号公報に開示される超音波による金属粉製造方法及び製
造装置がある。
【０００６】前者の場合は、ノズルから、溶融金属が超
音波ホーン上に供給され、又、後者の場合は、溶融金属
を収容した容器底面を貫いて下方から超音波ホーンを突
出させ、溶融金属の液面近傍で超音波ホーンを上下動さ
せ、このとき、超音波ホーン上に一定量の溶融金属膜を
形成した後、振動により金属微粉末を得るようにしてい
る。
音波ホーン上に供給され、又、後者の場合は、溶融金属
を収容した容器底面を貫いて下方から超音波ホーンを突
出させ、溶融金属の液面近傍で超音波ホーンを上下動さ
せ、このとき、超音波ホーン上に一定量の溶融金属膜を
形成した後、振動により金属微粉末を得るようにしてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】得られる金属微粉末の
粒径をできるだけ小さくするためには、当然滴下される
溶融金属の液滴の直径を小さくしなければならないが、
前記特開昭６１−１５９５０１号公報の方法及び装置の
場合、例えば、超音波ホーン上に滴下する溶融金属の液
滴の直径を１．０mm以下にするためには、溶融金属を滴
下させるためのノズルの内径を０．１mm以下にする必要
がある。
粒径をできるだけ小さくするためには、当然滴下される
溶融金属の液滴の直径を小さくしなければならないが、
前記特開昭６１−１５９５０１号公報の方法及び装置の
場合、例えば、超音波ホーン上に滴下する溶融金属の液
滴の直径を１．０mm以下にするためには、溶融金属を滴
下させるためのノズルの内径を０．１mm以下にする必要
がある。
【０００８】しかしながら、溶融金属を滴下するための
ノズルの内径を小さくすると、溶融金属がノズル内に穴
詰まりを生じ、効率良く溶融金属を滴下させることがで
きず、単位時間当りの液滴の滴下量が少なくなって生産
性が低下してしまうという問題点がある。
ノズルの内径を小さくすると、溶融金属がノズル内に穴
詰まりを生じ、効率良く溶融金属を滴下させることがで
きず、単位時間当りの液滴の滴下量が少なくなって生産
性が低下してしまうという問題点がある。
【０００９】又、生産性を向上させるためにノズル径を
大きくすると、液滴の直径が大きくなってしまい、粒径
の小さな金属微粉末を得ることができない。
大きくすると、液滴の直径が大きくなってしまい、粒径
の小さな金属微粉末を得ることができない。
【００１０】又、前記特開昭６３−１０５９０７号公報
の方法及び装置の場合は、一旦超音波ホーン上に一定量
の溶融金属膜を形成しなければならないので、超音波ホ
ーンの先端を溶融金属内から上方に露出させた後、再度
溶融金属内に浸漬するというサイクルを行わなければな
らず、金属微粉末の製造を連続的に行うことができない
と共に、容器内における液面近傍の溶融金属を利用する
ために、表面酸化物が混入し易く、得られた金属微粉末
の品質が低下し易く、更に、超音波ホーンと溶融金属容
器底面とのシールが困難であるという問題点がある。
の方法及び装置の場合は、一旦超音波ホーン上に一定量
の溶融金属膜を形成しなければならないので、超音波ホ
ーンの先端を溶融金属内から上方に露出させた後、再度
溶融金属内に浸漬するというサイクルを行わなければな
らず、金属微粉末の製造を連続的に行うことができない
と共に、容器内における液面近傍の溶融金属を利用する
ために、表面酸化物が混入し易く、得られた金属微粉末
の品質が低下し易く、更に、超音波ホーンと溶融金属容
器底面とのシールが困難であるという問題点がある。
【００１１】更に、上記いずれの方法及び装置において
も、金属微粉末製造の歩留り及び生産性が低く、効率良
く金属微粉末を作ることができないという問題点があ
る。
も、金属微粉末製造の歩留り及び生産性が低く、効率良
く金属微粉末を作ることができないという問題点があ
る。
【００１２】この発明は上記で示した従来の問題点に鑑
みて成されたものであって、粒径の小さな金属微粉末
を、歩留り及び生産性良く製造することができる方法及
び装置を提供することを目的とする。
みて成されたものであって、粒径の小さな金属微粉末
を、歩留り及び生産性良く製造することができる方法及
び装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明は、溶融金属を
ノズルから滴下させて固化することにより微粉末とする
金属微粉末の製造方法において、前記ノズル滴下口内径
を０．０５〜１mmとすると共に、該ノズルをその軸方向
に振動させることにより、該ノズル内先端の溶融金属を
振り出し、且つ、該ノズルから振り出された溶融金属滴
を、斜めに配置された超音波ホーンの加振面に衝突させ
ることにより、上記目的を達成するものである。
ノズルから滴下させて固化することにより微粉末とする
金属微粉末の製造方法において、前記ノズル滴下口内径
を０．０５〜１mmとすると共に、該ノズルをその軸方向
に振動させることにより、該ノズル内先端の溶融金属を
振り出し、且つ、該ノズルから振り出された溶融金属滴
を、斜めに配置された超音波ホーンの加振面に衝突させ
ることにより、上記目的を達成するものである。
【００１４】又、請求項２の発明は、滴下口の内径が
０．０５〜１mmとされ、供給される溶融金属を前記滴下
口から滴下させるノズルと、このノズルを滴下口の軸方
向に振動させる加振手段と、加振面が前記ノズルの滴下
口に臨んで、且つ、その滴下方向に対して傾斜して配置
され、滴下された溶融金属を、前記加振面により噴霧放
出させる超音波ホーンと、前記噴霧放出されて固化され
た金属を回収する回収手段と、を有してなる金属微粉末
の製造装置により、上記目的を達成するものである。
０．０５〜１mmとされ、供給される溶融金属を前記滴下
口から滴下させるノズルと、このノズルを滴下口の軸方
向に振動させる加振手段と、加振面が前記ノズルの滴下
口に臨んで、且つ、その滴下方向に対して傾斜して配置
され、滴下された溶融金属を、前記加振面により噴霧放
出させる超音波ホーンと、前記噴霧放出されて固化され
た金属を回収する回収手段と、を有してなる金属微粉末
の製造装置により、上記目的を達成するものである。
【００１５】
【００１６】
【作用及び効果】請求項１の方法発明によれば、溶融金
属を滴下させるノズルをその軸方向に振動させるので、
ノズル内の溶融金属が振動によって強制的に振り出さ
れ、従って、ノズルの滴下口内径を０．０５〜１mmと、
従来と比較して非常に小さくしても、溶融金属が穴詰ま
りを生じたりすることなく、円滑にノズルから滴下され
る。従って、滴下する溶融金属の直径が１mm以下の大き
さとなり、この粒径の小さな溶融金属が、更に、傾斜し
て配置された超音波ホーンに衝突することによって更に
小さな微粉末にされ、且つ生成された金属微粉末が超音
波ホーンの加振面に残留しないので、連続的且つ効率良
く粒径の小さな金属微粉末を得ることができる。
属を滴下させるノズルをその軸方向に振動させるので、
ノズル内の溶融金属が振動によって強制的に振り出さ
れ、従って、ノズルの滴下口内径を０．０５〜１mmと、
従来と比較して非常に小さくしても、溶融金属が穴詰ま
りを生じたりすることなく、円滑にノズルから滴下され
る。従って、滴下する溶融金属の直径が１mm以下の大き
さとなり、この粒径の小さな溶融金属が、更に、傾斜し
て配置された超音波ホーンに衝突することによって更に
小さな微粉末にされ、且つ生成された金属微粉末が超音
波ホーンの加振面に残留しないので、連続的且つ効率良
く粒径の小さな金属微粉末を得ることができる。
【００１７】請求項２の装置発明によれば、滴下口の内
径が０．０５〜１mmと非常に小さいノズルから溶融金属
を、加振手段によって強制的に振り出し、このノズルか
ら振り出される粒径の小さな溶融金属が、傾斜して配置
された超音波ホーンに衝突することによって更に小さな
微粉末にされ、これを落下中に固化させて、回収手段に
よって金属微粉末として回収でき、連続的に効率良く、
且つ歩留り良く、粒径の小さな金属微粉末を製造するこ
とができる。又、生成された金属微粉末が超音波ホーン
の加振面に残留しないので、これによっても、連続的且
つ効率良く粒径の小さな金属微粉末を得ることができ
る。
径が０．０５〜１mmと非常に小さいノズルから溶融金属
を、加振手段によって強制的に振り出し、このノズルか
ら振り出される粒径の小さな溶融金属が、傾斜して配置
された超音波ホーンに衝突することによって更に小さな
微粉末にされ、これを落下中に固化させて、回収手段に
よって金属微粉末として回収でき、連続的に効率良く、
且つ歩留り良く、粒径の小さな金属微粉末を製造するこ
とができる。又、生成された金属微粉末が超音波ホーン
の加振面に残留しないので、これによっても、連続的且
つ効率良く粒径の小さな金属微粉末を得ることができ
る。
【００１８】
【００１９】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
【００２０】この実施例に係る金属微粉末製造装置１０
は、溶融金属槽１２内の溶融金属１４を、溶融金属滴下
ノズル１６により、噴霧室１８内に滴下して冷却固化さ
せる際に、該溶融金属滴下ノズル１６を、加振器２０に
より、溶融金属滴下方向（ノズル軸方向）に振動させ
て、該溶融金属滴下ノズル１６内の溶融金属を振り出す
ようにしたものである。
は、溶融金属槽１２内の溶融金属１４を、溶融金属滴下
ノズル１６により、噴霧室１８内に滴下して冷却固化さ
せる際に、該溶融金属滴下ノズル１６を、加振器２０に
より、溶融金属滴下方向（ノズル軸方向）に振動させ
て、該溶融金属滴下ノズル１６内の溶融金属を振り出す
ようにしたものである。
【００２１】前記噴霧室１８内には、溶融金属滴下ノズ
ル１６の下方位置に超音波ホーン２２とその加振面２２
Ａが鉛直方向に対して約４５°傾斜して配置されてい
る。
ル１６の下方位置に超音波ホーン２２とその加振面２２
Ａが鉛直方向に対して約４５°傾斜して配置されてい
る。
【００２２】前記溶融金属滴下ノズル１６の上端は、可
撓性パイプ２４を介してサイホン２６の一端に接続さ
れ、このサイホン２６の他端は、フィルタ２８を介して
前記溶融金属槽１２内の液面よりも下方位置に開口され
ている。
撓性パイプ２４を介してサイホン２６の一端に接続さ
れ、このサイホン２６の他端は、フィルタ２８を介して
前記溶融金属槽１２内の液面よりも下方位置に開口され
ている。
【００２３】前記溶融金属槽１２の上部はカバー１２Ａ
によって被われ、又、該溶融金属槽１２内に地金を供給
するための地金自動供給機３０は、カバー３０Ａによっ
て被われ、これらカバー１２Ａ及び３０Ａによって、溶
融金属槽１２内及び地金自動供給機３０は、外部から隔
絶して被われている。
によって被われ、又、該溶融金属槽１２内に地金を供給
するための地金自動供給機３０は、カバー３０Ａによっ
て被われ、これらカバー１２Ａ及び３０Ａによって、溶
融金属槽１２内及び地金自動供給機３０は、外部から隔
絶して被われている。
【００２４】前記溶融金属槽１２のカバー１２Ａ内に
は、バルブ１２Ｂ、１２Ｃを介して不活性ガスが循環さ
れるようになっている。又、前記地金自動供給機３０の
カバー３０Ａ内にも、バルブ３０Ｂを介して、不活性ガ
スが循環されるようになっている。
は、バルブ１２Ｂ、１２Ｃを介して不活性ガスが循環さ
れるようになっている。又、前記地金自動供給機３０の
カバー３０Ａ内にも、バルブ３０Ｂを介して、不活性ガ
スが循環されるようになっている。
【００２５】図１の符号３２は溶融金属槽１２を囲んで
配置され、内部の金属を加熱するための加熱ヒータ、３
４は溶融金属槽１２内の溶融金属１４の温度を計測する
ための熱電対温度計、３６は溶融金属槽１２内の溶融金
属１４の液面レベルを検出するためのレベルセンサをそ
れぞれ示す。
配置され、内部の金属を加熱するための加熱ヒータ、３
４は溶融金属槽１２内の溶融金属１４の温度を計測する
ための熱電対温度計、３６は溶融金属槽１２内の溶融金
属１４の液面レベルを検出するためのレベルセンサをそ
れぞれ示す。
【００２６】前記超音波ホーン２２は、超音波発振子３
８における振動ロッド３８Ａの先端に取り付けられ、該
振動ロッド３８Ａは、前記噴霧室１８の側壁に設けられ
たシール４０を貫通して配置されている。図の符号３８
Ｂは超音波ホーン２２、特に、加振面２２Ａを加熱する
ための加熱ヒータを示す。
８における振動ロッド３８Ａの先端に取り付けられ、該
振動ロッド３８Ａは、前記噴霧室１８の側壁に設けられ
たシール４０を貫通して配置されている。図の符号３８
Ｂは超音波ホーン２２、特に、加振面２２Ａを加熱する
ための加熱ヒータを示す。
【００２７】前記噴霧室１８の下端は、金属微粉末取出
しバルブ４２を介して、分級室４４が接続され、噴霧室
１８内で形成された金属微粉末を該分級室４４内に回収
できるようにされている。
しバルブ４２を介して、分級室４４が接続され、噴霧室
１８内で形成された金属微粉末を該分級室４４内に回収
できるようにされている。
【００２８】前記噴霧室１８には、バルブ１８Ａ、１８
Ｂ、１８Ｃを介して、不活性ガスが循環されるようにな
っている。又、前記分級室４４も、バルブ４４Ａ及び４
４Ｂを介して不活性ガスが循環されるようになってい
る。
Ｂ、１８Ｃを介して、不活性ガスが循環されるようにな
っている。又、前記分級室４４も、バルブ４４Ａ及び４
４Ｂを介して不活性ガスが循環されるようになってい
る。
【００２９】ここで、前記溶融金属滴下ノズル１６の滴
下口内径は、０．０５〜１．０mmとされ、前記加振器２
０によるノズル軸方向の振動は、振動周波数が１０００
〜１００００Ｈz 、望ましくは１０００〜５０００Ｈz
であって、振幅は０．１〜３mmとされている。
下口内径は、０．０５〜１．０mmとされ、前記加振器２
０によるノズル軸方向の振動は、振動周波数が１０００
〜１００００Ｈz 、望ましくは１０００〜５０００Ｈz
であって、振幅は０．１〜３mmとされている。
【００３０】上記のような状態で、溶融金属槽１２内の
溶融金属を、溶融金属滴下ノズル１６から滴下しつつ、
加振器２０によって、該溶融金属滴下ノズル１６をその
軸線方向に振動させると内径が小さくて流通抵抗が大き
い溶融金属滴下ノズル１６内の溶融金属も、溶融金属滴
下方向の振動によって強制的に溶融金属滴下ノズル１６
先端から振り出されることになる。
溶融金属を、溶融金属滴下ノズル１６から滴下しつつ、
加振器２０によって、該溶融金属滴下ノズル１６をその
軸線方向に振動させると内径が小さくて流通抵抗が大き
い溶融金属滴下ノズル１６内の溶融金属も、溶融金属滴
下方向の振動によって強制的に溶融金属滴下ノズル１６
先端から振り出されることになる。
【００３１】即ち、細い溶融金属粒を加振器２０による
振動に合せて小さな、細粒化された金属液滴（以下一次
液滴）となり、前記超音波ホーン２２上に落下されるこ
とになる。
振動に合せて小さな、細粒化された金属液滴（以下一次
液滴）となり、前記超音波ホーン２２上に落下されるこ
とになる。
【００３２】超音波ホーン２２では、細粒化された一次
液滴を、該超音波ホーンの振動によって更に細かくし
て、９０μ以下の均一な粒子径の金属微粉末として跳ね
返す。
液滴を、該超音波ホーンの振動によって更に細かくし
て、９０μ以下の均一な粒子径の金属微粉末として跳ね
返す。
【００３３】超音波ホーン２２の加振面２２Ａで跳ね返
され、粒子化された溶融金属は落下途中で冷却固化さ
れ、金属微粉末となって、噴霧室１８の底部に溜められ
る、これを、金属微粉末取出しバルブ４２を開くことに
よって分級室４４内に回収する。
され、粒子化された溶融金属は落下途中で冷却固化さ
れ、金属微粉末となって、噴霧室１８の底部に溜められ
る、これを、金属微粉末取出しバルブ４２を開くことに
よって分級室４４内に回収する。
【００３４】ここで、溶融金属滴下ノズル１６の内径が
小さくて、従来の自然落下であれば穴詰まりや、滴下量
の低下が生じるものであっても、この実施例では、溶融
金属滴下ノズル１６がその軸方向に強制的に振動され、
従って、内部の溶融金属が強制的に振り出されるので、
穴詰まりや滴下量の低下がない。
小さくて、従来の自然落下であれば穴詰まりや、滴下量
の低下が生じるものであっても、この実施例では、溶融
金属滴下ノズル１６がその軸方向に強制的に振動され、
従って、内部の溶融金属が強制的に振り出されるので、
穴詰まりや滴下量の低下がない。
【００３５】なお、前記溶融金属槽１２、地金自動供給
機３０、噴霧室１８及び分級室４４内に循環される不活
性ガスは、アルゴンあるいは窒素等とする。
機３０、噴霧室１８及び分級室４４内に循環される不活
性ガスは、アルゴンあるいは窒素等とする。
【００３６】前記超音波ホーン２２の加振面２２Ａは、
滴下されてくる一次液滴に対して４５°傾斜されている
ので、該加振面２２Ａに衝突して微細化された溶融金属
粒は、加振面２２Ａ上に滞ることなく、噴霧室１８の下
方に落下する。従って、加振面２２Ａで反射された溶融
金属粒が上方から滴下してくる溶融金属と接触して大径
の粒子となることが防止され、又加振面２２Ａ上に溜ま
った金属粒子を除去したりする必要がない。
滴下されてくる一次液滴に対して４５°傾斜されている
ので、該加振面２２Ａに衝突して微細化された溶融金属
粒は、加振面２２Ａ上に滞ることなく、噴霧室１８の下
方に落下する。従って、加振面２２Ａで反射された溶融
金属粒が上方から滴下してくる溶融金属と接触して大径
の粒子となることが防止され、又加振面２２Ａ上に溜ま
った金属粒子を除去したりする必要がない。
【００３７】なお、上記実施例において、加振器２０に
よって溶融金属滴下ノズル１６に与えられる振動を吸収
するために、該溶融金属滴下ノズル１６の上端が可撓性
パイプ２４を介してサイホン２６に接続されているが、
本発明はこれに限定されるものでなく、他の振動吸収手
段によって、振動によるサイホン２６の破損を防止する
ようにしてもよい。例えば、図３に示されるように、ば
ね４６によってサイホン２６と一体となった溶融金属滴
下ノズル１６を、カバー１２Ａ内に弾力的に吊り下げる
ようにしてもよい。更に、サイホン２６を、フロートに
より、溶融金属１４上に浮上させるようにしてもよい。
よって溶融金属滴下ノズル１６に与えられる振動を吸収
するために、該溶融金属滴下ノズル１６の上端が可撓性
パイプ２４を介してサイホン２６に接続されているが、
本発明はこれに限定されるものでなく、他の振動吸収手
段によって、振動によるサイホン２６の破損を防止する
ようにしてもよい。例えば、図３に示されるように、ば
ね４６によってサイホン２６と一体となった溶融金属滴
下ノズル１６を、カバー１２Ａ内に弾力的に吊り下げる
ようにしてもよい。更に、サイホン２６を、フロートに
より、溶融金属１４上に浮上させるようにしてもよい。
【００３８】なお、上記実施例は、加振器２０によって
振動される溶融金属滴下ノズル１６によって一次液滴を
作り、これを更に超音波ホーン２２によって微粒子化す
るものであるが、例えば、前記溶融金属滴下ノズル１６
の周辺に磁界を発生させたり、パルス状の電流を流した
り、電磁力を作用させたりすることによって、溶融金属
滴下ノズル１６内の溶融金属の流れを収縮させ、更に細
かい一次液滴を発生するようにしてもよい。
振動される溶融金属滴下ノズル１６によって一次液滴を
作り、これを更に超音波ホーン２２によって微粒子化す
るものであるが、例えば、前記溶融金属滴下ノズル１６
の周辺に磁界を発生させたり、パルス状の電流を流した
り、電磁力を作用させたりすることによって、溶融金属
滴下ノズル１６内の溶融金属の流れを収縮させ、更に細
かい一次液滴を発生するようにしてもよい。
【００３９】本発明の実験によれば、図１の実施例装置
を用いて、溶融金属１４を、錫が６３％、鉛が３７％の
共晶はんだとし、溶融金属１４の温度を３５０℃、超音
波ホーン２２を加熱するための加熱ヒータの温度を２５
０℃、加振器２０の振動数を１５００Ｈz 、溶融金属滴
下ノズル１６の内径を１．０mm、超音波ホーン２２はチ
タン合金であって、周波数２０ＫＨz にて振動させ、且
つ全振幅を２０μとし、更に、循環させる不活性ガスに
はアルゴンガスを用いてゲージ圧力０．５Ｋg／cm2 と
した場合、溶融金属滴下ノズル１６から滴下される一次
液滴の直径は、０．９mmであり、更に得られたはんだ合
金の微粉末の粒度分布は、次の表１に示される通りであ
った。なお、得られたはんだ合金微粉末は球状で、粒子
の表面酸化がなく、微粉末の生成量は約１２Ｋg ／時間
であった。
を用いて、溶融金属１４を、錫が６３％、鉛が３７％の
共晶はんだとし、溶融金属１４の温度を３５０℃、超音
波ホーン２２を加熱するための加熱ヒータの温度を２５
０℃、加振器２０の振動数を１５００Ｈz 、溶融金属滴
下ノズル１６の内径を１．０mm、超音波ホーン２２はチ
タン合金であって、周波数２０ＫＨz にて振動させ、且
つ全振幅を２０μとし、更に、循環させる不活性ガスに
はアルゴンガスを用いてゲージ圧力０．５Ｋg／cm2 と
した場合、溶融金属滴下ノズル１６から滴下される一次
液滴の直径は、０．９mmであり、更に得られたはんだ合
金の微粉末の粒度分布は、次の表１に示される通りであ
った。なお、得られたはんだ合金微粉末は球状で、粒子
の表面酸化がなく、微粉末の生成量は約１２Ｋg ／時間
であった。
【００４０】
【表１】
【００４１】更に、他の実験では、超音波ホーン２２の
振動周波数を４０ＫＨz 、溶融金属滴下ノズル１６の内
径を０．３mm、他の条件は前記と同様とした場合、得ら
れた一次液滴の直径は約０．３mmであり、更に最終的な
はんだ微粉末の粒度分布は、次の表２のようであった。
振動周波数を４０ＫＨz 、溶融金属滴下ノズル１６の内
径を０．３mm、他の条件は前記と同様とした場合、得ら
れた一次液滴の直径は約０．３mmであり、更に最終的な
はんだ微粉末の粒度分布は、次の表２のようであった。
【００４２】
【表２】
【００４３】この実験においても、得られたはんだ合金
微粉末は球状で、粒子の表面酸化がなく、微粉末の生成
量は約１０Ｋg ／時間であった。
微粉末は球状で、粒子の表面酸化がなく、微粉末の生成
量は約１０Ｋg ／時間であった。
【００４４】上記の本発明装置の実験と比較するための
比較実験では、溶融金属滴下ノズル１６の内径を０．３
mm、加振器２０による振動を与えることなく、他の条件
を同一とした場合、得られた一次液滴の直径は約３．５
mmであり、最終的なはんだ合金粉末の粒度分布は次の表
３のようであった。又、この表のように、直径９０μ以
下のはんだ合金粉末が少なく、しかも、箔状の粗大粒子
を多く含んでいた。
比較実験では、溶融金属滴下ノズル１６の内径を０．３
mm、加振器２０による振動を与えることなく、他の条件
を同一とした場合、得られた一次液滴の直径は約３．５
mmであり、最終的なはんだ合金粉末の粒度分布は次の表
３のようであった。又、この表のように、直径９０μ以
下のはんだ合金粉末が少なく、しかも、箔状の粗大粒子
を多く含んでいた。
【００４５】
【表３】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る金属微粉末製造装置の実施例を示
す略示断面図
す略示断面図
【図２】同実施例装置の要部を拡大して示す略示断面図
【図３】他の実施例の要部を拡大して示す図２と同様の
断面図
断面図
１０…金属微粉末製造装置 １２…溶融金属槽 １４…溶融金属 １６…溶融金属滴下ノズル １８…噴霧室 ２０…加振器 ２２…超音波ホーン ２２Ａ…加振面 ２４…可撓性パイプ ３０…地金自動供給機 ４４…分級室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−110604（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−159501（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−246307（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−68764（ＪＰ，Ａ) 特公 平１−35881（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (2)
- 【請求項１】溶融金属をノズルから滴下させて固化する
ことにより微粉末とする金属微粉末の製造方法におい
て、前記ノズル滴下口内径を０．０５〜１mmとすると共
に、該ノズルをその軸方向に振動させることにより、該
ノズル内先端の溶融金属を振り出し、且つ、該ノズルか
ら振り出された溶融金属滴を、斜めに配置された超音波
ホーンの加振面に衝突させることを特徴とする金属微粉
末の製造方法。 - 【請求項２】滴下口の内径が０．０５〜１mmとされ、供
給される溶融金属を前記滴下口から滴下させるノズル
と、このノズルを滴下口の軸方向に振動させる加振手段
と、加振面が前記ノズルの滴下口に臨んで、且つ、その
滴下方向に対して傾斜して配置され、滴下された溶融金
属を、前記加振面により噴霧放出させる超音波ホーン
と、前記噴霧放出されて固化された金属を回収する回収
手段と、を有してなる金属微粉末の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5005577A JP2577173B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 金属微粉末の製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5005577A JP2577173B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 金属微粉末の製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06212212A JPH06212212A (ja) | 1994-08-02 |
| JP2577173B2 true JP2577173B2 (ja) | 1997-01-29 |
Family
ID=11615085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5005577A Expired - Lifetime JP2577173B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 金属微粉末の製造方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2577173B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100321826B1 (ko) * | 1999-07-28 | 2002-02-28 | 정은 | 초음파를 이용한 크림솔더용 분말과 같은 미립자분말의 제조방법과 그 장치 |
| US6706959B2 (en) | 2000-11-24 | 2004-03-16 | Clean Venture 21 Corporation | Photovoltaic apparatus and mass-producing apparatus for mass-producing spherical semiconductor particles |
| KR20040067608A (ko) * | 2003-01-24 | 2004-07-30 | (주)나노닉스 | 금속 분말 및 그 제조 방법 |
| JP2006307265A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Hitachi Metals Ltd | 微細金属球の製造装置 |
| NL2021507B1 (en) * | 2018-08-28 | 2020-03-09 | Space Xyz B V | Assembly and method for producing metal powder |
Family Cites Families (3)
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|---|---|---|---|---|
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| JPS61159501A (ja) * | 1984-12-31 | 1986-07-19 | Keisuke Honda | 超音波による金属粉末の製造方法及び装置 |
| JPS6435881A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Honda Motor Co Ltd | Connection state confirming structure between connecting members |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP5005577A patent/JP2577173B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06212212A (ja) | 1994-08-02 |
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