JPH01191706A - 金属微粉末の製造方法及びその装置 - Google Patents
金属微粉末の製造方法及びその装置Info
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- JPH01191706A JPH01191706A JP1553488A JP1553488A JPH01191706A JP H01191706 A JPH01191706 A JP H01191706A JP 1553488 A JP1553488 A JP 1553488A JP 1553488 A JP1553488 A JP 1553488A JP H01191706 A JPH01191706 A JP H01191706A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 14
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 26
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 24
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 13
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims description 9
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 20
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 1
- 239000012768 molten material Substances 0.000 abstract 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 2
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 230000009970 fire resistant effect Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、気中強力超音波を用いて、溶融金属を微粒
化し金属粉末を製造する方法及びその装置に関する。
化し金属粉末を製造する方法及びその装置に関する。
従来、超音波振動を用いて金属微粒子を製造する方法と
して、例えば、特開昭58−1)064号や特開昭61
−295306号が開示されている。これらの方法の特
徴は、第2図及び第3図に示すように、超音波振動する
共振器1上に金属溶液に落下させ微小液滴2として飛散
させたり、超音波振動する共振器lを金属溶液の中に浸
漬させて、金属溶液の表面から微小液滴2を飛散させる
ものである。これらの方法では、以下のような問題があ
る。
して、例えば、特開昭58−1)064号や特開昭61
−295306号が開示されている。これらの方法の特
徴は、第2図及び第3図に示すように、超音波振動する
共振器1上に金属溶液に落下させ微小液滴2として飛散
させたり、超音波振動する共振器lを金属溶液の中に浸
漬させて、金属溶液の表面から微小液滴2を飛散させる
ものである。これらの方法では、以下のような問題があ
る。
(1)共振H1としては、ステンレス鋼や、チタン合金
などが用いられるのが一般的である。しかし、溶融物3
が直接共振器1に触れるため耐熱性のある材料を使用し
なければならない。
などが用いられるのが一般的である。しかし、溶融物3
が直接共振器1に触れるため耐熱性のある材料を使用し
なければならない。
(2)溶融物3の融点が高いと、共振器1に含まれる合
金元素や不純物が溶融物に混入し純度の高い微粉末がで
きない。
金元素や不純物が溶融物に混入し純度の高い微粉末がで
きない。
(3)共振器lにセラミックス材料を用いると、振動特
性が悪く所望の振動が得られない。
性が悪く所望の振動が得られない。
(4)共振器1上に乗せる溶融金属の膜厚の制御が難し
く、膜厚がバラツクと微粒化後の粉末の粒径もバラツキ
、所望の粒子径分布の粉末を製造することができない。
く、膜厚がバラツクと微粒化後の粉末の粒径もバラツキ
、所望の粒子径分布の粉末を製造することができない。
以上のことからこれらの技術では、半田などの比較的融
点の低い金属材料しか微粒化できなかった。
点の低い金属材料しか微粒化できなかった。
以上の問題を解決する方法として、本発明者らは、先に
、前記の方法が直接溶融金属と共振器を接触させる点に
問題があることに着目し、従来とはまったく異なる新し
い方法を発明した。この発明は、金属材料の溶融液の上
方に超音波共振器を設置し、共振器を超音波振動させる
ことにより雰囲気ガスを超音波振動させる。次いで、音
波の進行方向を放射方向変換器により溶融液の表面に集
束して、溶融液表面から微小液滴を霧化する。この液滴
を冷却ガス中に飛行させつつ冷却凝固させることを特徴
とするものであった。
、前記の方法が直接溶融金属と共振器を接触させる点に
問題があることに着目し、従来とはまったく異なる新し
い方法を発明した。この発明は、金属材料の溶融液の上
方に超音波共振器を設置し、共振器を超音波振動させる
ことにより雰囲気ガスを超音波振動させる。次いで、音
波の進行方向を放射方向変換器により溶融液の表面に集
束して、溶融液表面から微小液滴を霧化する。この液滴
を冷却ガス中に飛行させつつ冷却凝固させることを特徴
とするものであった。
この方法により得られた金属粉末は、純度が高く、しか
も粒子径を任意に制御できる効果があった。而して、溶
融液表面に強力音場を形成するためには、共振器から放
射する音波を効率的に溶融液の表面に到達させる必要が
ある。ところが、■共振器として用いる矩形振動板の振
幅を相当太き(する必要があるが、材料の疲労強度の関
係で許容振幅に制限をうける。例えば、共振周波数20
kHzで共振器を振動させた場合、許容される振幅はチ
タン合金で20ミクロン程度である。このため、形成さ
れる音場の音圧レヘルの最大限度は172dB程度であ
りこれ以上の音圧レベルは得られなかった。
も粒子径を任意に制御できる効果があった。而して、溶
融液表面に強力音場を形成するためには、共振器から放
射する音波を効率的に溶融液の表面に到達させる必要が
ある。ところが、■共振器として用いる矩形振動板の振
幅を相当太き(する必要があるが、材料の疲労強度の関
係で許容振幅に制限をうける。例えば、共振周波数20
kHzで共振器を振動させた場合、許容される振幅はチ
タン合金で20ミクロン程度である。このため、形成さ
れる音場の音圧レヘルの最大限度は172dB程度であ
りこれ以上の音圧レベルは得られなかった。
■溶融金属を微粒化するには、溶融液表面の音圧レベル
で約170dBの強力音場が必要である。しかし、超音
波の振動周波数を高くすると、音波の減衰は大きくなり
、実用的゛に使用可能な周波数は約50kHzが限度で
あった。このため、製造可能な微粒子の最少粒径は5〜
10ミクロンが限界である。
で約170dBの強力音場が必要である。しかし、超音
波の振動周波数を高くすると、音波の減衰は大きくなり
、実用的゛に使用可能な周波数は約50kHzが限度で
あった。このため、製造可能な微粒子の最少粒径は5〜
10ミクロンが限界である。
という問題があった。
(発明が解決しようとする課題〕
本発明者らは、上記の方法では音場を形成する雰囲気ガ
スの音響特性に問題があることに着目して、本発明を創
作した。すなわち、 ■雰囲気ガスの固有音響インピーダンスを大きく し、 ■超音波の発生能率を高め、 ■超音波の伝播による減衰を小さくする、ことができれ
ば、上記の問題を解決できることを究明した。
スの音響特性に問題があることに着目して、本発明を創
作した。すなわち、 ■雰囲気ガスの固有音響インピーダンスを大きく し、 ■超音波の発生能率を高め、 ■超音波の伝播による減衰を小さくする、ことができれ
ば、上記の問題を解決できることを究明した。
例えば、超音波を水中で発生させる場合と、空気中で発
生させる場合を比較してみると、水中では水中の固有音
響インピーダンスが空気の場合と比較して約3500倍
も高い。また、水中では共振器での放射インピーダンス
も大きいため空気中よりも能率良く強力超音波を発生し
やすい。一方、水中での音波の伝播速度は空気中の伝播
速度よりも速い。音波の減衰は、固有音響インピーダン
スが小さいほど音波の伝播にともなう減衰量が大きいか
ら、空気中の方が水中のよりも減衰量は大きい。
生させる場合を比較してみると、水中では水中の固有音
響インピーダンスが空気の場合と比較して約3500倍
も高い。また、水中では共振器での放射インピーダンス
も大きいため空気中よりも能率良く強力超音波を発生し
やすい。一方、水中での音波の伝播速度は空気中の伝播
速度よりも速い。音波の減衰は、固有音響インピーダン
スが小さいほど音波の伝播にともなう減衰量が大きいか
ら、空気中の方が水中のよりも減衰量は大きい。
また、媒質の固有音響インピーダンスは、密度と音波の
伝播速度の積で表されるがら、雰囲気ガスのこれらの特
性値を大きくするように改善すれば良い。
伝播速度の積で表されるがら、雰囲気ガスのこれらの特
性値を大きくするように改善すれば良い。
本発明は、このような改善された金属微粉末の製造方法
とその装置を提供することを目的とするものである。
とその装置を提供することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、金属材料の溶融液の上方に超音波共振器を設
置し、該共振器を超音波振動させることにより雰囲気ガ
スを超音波振動させて、超音波の進行方向を放射方向変
換器により溶融液の表面に集束し、前記溶融液表面から
微小液滴を霧化し、該液滴を冷却ガス中に飛行させつつ
冷却凝固させる金属微粉末の製造方法において、金属溶
融液を霧化するための音場の圧力を大気圧力以上とした
ことを特徴とする金属微粉末の製造方法である。
置し、該共振器を超音波振動させることにより雰囲気ガ
スを超音波振動させて、超音波の進行方向を放射方向変
換器により溶融液の表面に集束し、前記溶融液表面から
微小液滴を霧化し、該液滴を冷却ガス中に飛行させつつ
冷却凝固させる金属微粉末の製造方法において、金属溶
融液を霧化するための音場の圧力を大気圧力以上とした
ことを特徴とする金属微粉末の製造方法である。
また、本発明は、金属材料を供給する供給装置及び該金
属材料を溶融するための加熱源を備えた耐火性の溶融液
保持容器と、該溶融液保持容器の上方に設けられた超音
波振動による共振器と、該共振器を振動させる振動子と
前記共振器に振動を伝播させて振幅を拡大する振幅拡大
器と、前記共振器から雰囲気ガス中に放射された音波の
方向を変え、溶融液表面方向に集束させる放射方向変換
器と、金属溶融液を霧化するための音場の圧力が大気圧
力以上で、該音場の雰囲気を制御し、かつ、霧化した微
小液滴を凝固させるための冷却ガスの供給装置と、凝固
した微小粒子を回収する回収器とを具備することを特徴
とする金属微粉末の製造装置である。
属材料を溶融するための加熱源を備えた耐火性の溶融液
保持容器と、該溶融液保持容器の上方に設けられた超音
波振動による共振器と、該共振器を振動させる振動子と
前記共振器に振動を伝播させて振幅を拡大する振幅拡大
器と、前記共振器から雰囲気ガス中に放射された音波の
方向を変え、溶融液表面方向に集束させる放射方向変換
器と、金属溶融液を霧化するための音場の圧力が大気圧
力以上で、該音場の雰囲気を制御し、かつ、霧化した微
小液滴を凝固させるための冷却ガスの供給装置と、凝固
した微小粒子を回収する回収器とを具備することを特徴
とする金属微粉末の製造装置である。
ここで、雰囲気ガスの圧力を高くするため、微粒化室お
よび冷却室内部は耐圧構造とする。
よび冷却室内部は耐圧構造とする。
また、ガスの圧力は、圧縮機で昇圧し圧力調整用の弁な
どにより音場の圧力を調整する。
どにより音場の圧力を調整する。
このように冷却ガス供給装置、圧縮機、圧力調整器、微
粒化室、冷却室を構成することにより溶融液表面近傍で
共振周波数によらず170dB以上の音場が容易に形成
される。この結果、このような雰囲気ガスの圧力を高め
て、気中音場を溶融金属の界面に作用させて溶融金属を
霧化する上記方法の問題点を容易に解消できる。
粒化室、冷却室を構成することにより溶融液表面近傍で
共振周波数によらず170dB以上の音場が容易に形成
される。この結果、このような雰囲気ガスの圧力を高め
て、気中音場を溶融金属の界面に作用させて溶融金属を
霧化する上記方法の問題点を容易に解消できる。
以下に本発明の構成と作用を詳しく説明する。
第1図は、本発明の装置の構成を示している。
溶融液保持器10に固体金属を図示していない金属供給
装置により供給する。溶融液保持容器10は固体金属を
加熱し液体状にするとともに、溶融液1)の温度を保持
する機能を有している。
装置により供給する。溶融液保持容器10は固体金属を
加熱し液体状にするとともに、溶融液1)の温度を保持
する機能を有している。
また、溶融液1)と化学的な反応をしないようにアルゴ
ンガスなどの不活性ガスを用いて、冷却ガス供給器12
により雰囲気の調整をおこなうとともに、微粒化室13
ならびに冷却室14の内部の圧力は大気圧以上とし、絶
対圧力1.2kg/cd以上とすることが望ましい。
ンガスなどの不活性ガスを用いて、冷却ガス供給器12
により雰囲気の調整をおこなうとともに、微粒化室13
ならびに冷却室14の内部の圧力は大気圧以上とし、絶
対圧力1.2kg/cd以上とすることが望ましい。
溶融液保持容器10の上方に設けた超音波の共振器15
としては、チタン合金や八1合金を用いる。共振器15
は、振幅拡大器16を介して超音波振動子17により加
振される。共振器15の振動により雰囲気ガスに音波が
放射される。雰囲気ガスの圧力を高めるとガスの密度が
大きくなる。
としては、チタン合金や八1合金を用いる。共振器15
は、振幅拡大器16を介して超音波振動子17により加
振される。共振器15の振動により雰囲気ガスに音波が
放射される。雰囲気ガスの圧力を高めるとガスの密度が
大きくなる。
なお、この場合、音波の伝播速度はガス圧力を高めても
ほとんど変化しない。従って、雰囲気ガスの固有音響イ
ンピーダンスは常圧時よりも大きくなるから、共振器1
5からの雰囲気ガス中への超音波の発振能率が良くなる
。
ほとんど変化しない。従って、雰囲気ガスの固有音響イ
ンピーダンスは常圧時よりも大きくなるから、共振器1
5からの雰囲気ガス中への超音波の発振能率が良くなる
。
而して、放射された音波は共振器15を取囲むように設
けられた放射方向変換器18により反射されて、共振器
15の下方に設けた溶融液1)の表面に集束される。共
振器15からの放射音波は共振器15の振動子側と反搬
動子側では互に逆位相の音波を放射するから、溶融液1
)の表面で共振液15の振動子側の放射音波と反搬動子
側の放射音波が放射方向変換器18をへて同位相で重な
り合うように、それぞれの放射方向変換器18の位置を
調整しておく。放射方向変換器18は、効率良く音波を
溶融液1)の表面に到達させるため、その反射面を放物
線型にすることが望ましい。雰囲気ガス中を伝播する音
波の減衰は固有音響インピーダンスの増大により小さく
なる。この結果、第4図に示すように、雰囲気ガスの圧
力を高めることによって溶融液1)に作用する音場の音
圧レベルは大きくなる。このようにすることで、共振周
波数にかかわらず溶融液1)の表面近傍で170dB以
上の音圧レベルの強力気中音場が形成できる。
けられた放射方向変換器18により反射されて、共振器
15の下方に設けた溶融液1)の表面に集束される。共
振器15からの放射音波は共振器15の振動子側と反搬
動子側では互に逆位相の音波を放射するから、溶融液1
)の表面で共振液15の振動子側の放射音波と反搬動子
側の放射音波が放射方向変換器18をへて同位相で重な
り合うように、それぞれの放射方向変換器18の位置を
調整しておく。放射方向変換器18は、効率良く音波を
溶融液1)の表面に到達させるため、その反射面を放物
線型にすることが望ましい。雰囲気ガス中を伝播する音
波の減衰は固有音響インピーダンスの増大により小さく
なる。この結果、第4図に示すように、雰囲気ガスの圧
力を高めることによって溶融液1)に作用する音場の音
圧レベルは大きくなる。このようにすることで、共振周
波数にかかわらず溶融液1)の表面近傍で170dB以
上の音圧レベルの強力気中音場が形成できる。
強力超音波が溶融液1)の表面に作用すると、溶融液1
)の表面にキャピラリー波ができ表面張力に打ち勝って
微小液滴が溶融液1)の表面から飛上がる。
)の表面にキャピラリー波ができ表面張力に打ち勝って
微小液滴が溶融液1)の表面から飛上がる。
微小液滴の粒径の大きさは、音波の周波数を適当に選択
することにより所望の粒径の微小液滴とすることができ
る。この場合、共振器15の共振周波数を増しても固有
音響インピーダンスの増大により音波の減衰量が小さく
なるから、実用的に使用できる共振周波数は常圧時より
も高くすることができる。この結果、より粒子径の小さ
い金属微粒子を製造することが可能となる。
することにより所望の粒径の微小液滴とすることができ
る。この場合、共振器15の共振周波数を増しても固有
音響インピーダンスの増大により音波の減衰量が小さく
なるから、実用的に使用できる共振周波数は常圧時より
も高くすることができる。この結果、より粒子径の小さ
い金属微粒子を製造することが可能となる。
飛上がった微小液滴は雰囲気ガスによって冷却凝固され
るとともに、雰囲気ガスの流れにより回収器19に運ば
れる。冷却ガスの量は被溶融物の種類や液滴の発生量に
より、また、冷却ガスの圧力は必要とする粒子の粒径の
大きさにより変化させることが必要である。
るとともに、雰囲気ガスの流れにより回収器19に運ば
れる。冷却ガスの量は被溶融物の種類や液滴の発生量に
より、また、冷却ガスの圧力は必要とする粒子の粒径の
大きさにより変化させることが必要である。
凝固した微粒子20は回収器19により回収され、金属
微粒子を得ることができる。
微粒子を得ることができる。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例1
第1図に示した装置を用いて、アルゴンガス雰囲気を絶
対圧力で3kg/c+Jに保ち、周波数を20kHzに
設定した共振器15を振動させて、片振幅で約16ミク
ロンの振動を行わせたところ、溶融液1)の表面近傍で
177dBO音圧レベルの強力気中超音波が得られた。
対圧力で3kg/c+Jに保ち、周波数を20kHzに
設定した共振器15を振動させて、片振幅で約16ミク
ロンの振動を行わせたところ、溶融液1)の表面近傍で
177dBO音圧レベルの強力気中超音波が得られた。
共振器15としてはチタン合金を用いた。そして、アル
ミ合金を溶融しこの強力超音波を作用させた。
ミ合金を溶融しこの強力超音波を作用させた。
得られたアルミ合金粉末は、粒径12〜30ミクロン、
平均粒径22ミクロンで球状の粒子が得られた。粒子表
面の酸化や、不純物元素の混入はまったくなく、極めて
純度の高い微粉末が得られた。また、粒子の生成量は約
1)00グラム/時間であった。粒子の生成量を常圧下
の場合と比較すると約1.4倍の収量が得られた。
平均粒径22ミクロンで球状の粒子が得られた。粒子表
面の酸化や、不純物元素の混入はまったくなく、極めて
純度の高い微粉末が得られた。また、粒子の生成量は約
1)00グラム/時間であった。粒子の生成量を常圧下
の場合と比較すると約1.4倍の収量が得られた。
実施例2
第1図に示した装置を用いて、アルゴンガス雰囲気を絶
対圧力で10kg/cnlに保ち、周波数を100kH
zに設定した共振器15を振動させて、片振幅で約16
ミクロンの振動を行わせたところ、溶融液1)の表面近
傍で175dBO音圧レベルの強力気中超音波が得られ
た。共振器15としてはチタン合金を用いた。そして、
アルミ合金を溶融しこの強力超音波を作用させた。
対圧力で10kg/cnlに保ち、周波数を100kH
zに設定した共振器15を振動させて、片振幅で約16
ミクロンの振動を行わせたところ、溶融液1)の表面近
傍で175dBO音圧レベルの強力気中超音波が得られ
た。共振器15としてはチタン合金を用いた。そして、
アルミ合金を溶融しこの強力超音波を作用させた。
得られたアルミ合金粉末は、粒径2〜20ミクロン、平
均粒径10ミクロンで球状の粒子が得られた。粒子表面
の酸化や、不純物元素の混入はまったくなく、極めて純
度の高い微粉末が得られた。
均粒径10ミクロンで球状の粒子が得られた。粒子表面
の酸化や、不純物元素の混入はまったくなく、極めて純
度の高い微粉末が得られた。
また、粒子の生成量は約1,000グラム/時間であっ
た。常圧下では、不可能だった平均粒子径のより小さい
微粒子の製造が可能となった。
た。常圧下では、不可能だった平均粒子径のより小さい
微粒子の製造が可能となった。
以上説明した如く、本発明によれば、Pb、 Mg。
Sn、 Zn 、 AJなどの比較的溶融温度の低い金
属の微粉末から、Cu、 Ag、 Auなどの比較的溶
融温度の高い金属、および合金の微粉末を純度が高くし
かも安価に製造することができる。そして、粒子径も任
意のものが大量に製造でき、これらは高性能粉末冶金製
造製品や電子材料の原材料となり、工業的に利用価値の
高いものである。
属の微粉末から、Cu、 Ag、 Auなどの比較的溶
融温度の高い金属、および合金の微粉末を純度が高くし
かも安価に製造することができる。そして、粒子径も任
意のものが大量に製造でき、これらは高性能粉末冶金製
造製品や電子材料の原材料となり、工業的に利用価値の
高いものである。
第1図は、本発明の構成・作用を示すための説明図、第
2図及び第3図は、従来の金属微粒子製造装置の説明図
、第4図は、本発明の実施例におけるガス圧力と音圧レ
ヘルの関係を示す特性図である。 10・・・溶融液保持容器、1)・・・溶融液、13・
・・微粒化室、14・・・冷却室、15・・・超音波の
共振器、I6・・・振幅拡大器、17・・・超音波振動
子、I8・・・放射方向変換器、19・・・回収器、2
0・・・微粒子。
2図及び第3図は、従来の金属微粒子製造装置の説明図
、第4図は、本発明の実施例におけるガス圧力と音圧レ
ヘルの関係を示す特性図である。 10・・・溶融液保持容器、1)・・・溶融液、13・
・・微粒化室、14・・・冷却室、15・・・超音波の
共振器、I6・・・振幅拡大器、17・・・超音波振動
子、I8・・・放射方向変換器、19・・・回収器、2
0・・・微粒子。
Claims (2)
- (1)金属材料の溶融液の上方に超音波共振器を設置し
、該共振器を超音波振動させることにより雰囲気ガスを
超音波振動させて、超音波の進行方向を放射方向変換器
により溶融液の表面に集束し、前記溶融液表面から微小
液滴を霧化し、該液滴を冷却ガス中に飛行させつつ冷却
凝固させる金属微粉末の製造方法において、金属溶融液
を霧化するための音場の圧力を大気圧力以上としたこと
を特徴とする金属微粉末の製造方法。 - (2)金属材料を供給する供給装置及び該金属材料を溶
融するための加熱源を備えた耐火性の溶融液保持容器と
、該溶融液保持容器の上方に設けられた超音波振動によ
る共振器と、該共振器を振動させる振動子と前記共振器
に振動を伝播させて振幅を拡大する振幅拡大器と、前記
共振器から雰囲気ガス中に放射された音波の方向を変え
、溶融液表面方向に集束させる放射方向変換器と、金属
溶融液を霧化するための音場の圧力が大気圧力以上で、
該音場の雰囲気を制御し、かつ霧化した微小液滴を凝固
させるための冷却ガスの供給装置と、凝固した微小粒子
を回収する回収装置とを具備することを特徴とする金属
微粉末の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1553488A JPH01191706A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | 金属微粉末の製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1553488A JPH01191706A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | 金属微粉末の製造方法及びその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01191706A true JPH01191706A (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=11891474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1553488A Pending JPH01191706A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | 金属微粉末の製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01191706A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5520715A (en) * | 1994-07-11 | 1996-05-28 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Directional electrostatic accretion process employing acoustic droplet formation |
WO1997009142A1 (en) * | 1995-09-08 | 1997-03-13 | Aeroquip Corporation | Free form article by layer deposition |
WO1997009141A1 (en) * | 1995-09-08 | 1997-03-13 | Aeroquip Corporation | Article made by layer deposition of metal |
WO1997009143A1 (en) * | 1995-09-08 | 1997-03-13 | Aeroquip Corporation | Free form article by layer deposition |
US5718951A (en) * | 1995-09-08 | 1998-02-17 | Aeroquip Corporation | Method and apparatus for creating a free-form three-dimensional article using a layer-by-layer deposition of a molten metal and deposition of a powdered metal as a support material |
US5746844A (en) * | 1995-09-08 | 1998-05-05 | Aeroquip Corporation | Method and apparatus for creating a free-form three-dimensional article using a layer-by-layer deposition of molten metal and using a stress-reducing annealing process on the deposited metal |
-
1988
- 1988-01-26 JP JP1553488A patent/JPH01191706A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5520715A (en) * | 1994-07-11 | 1996-05-28 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Directional electrostatic accretion process employing acoustic droplet formation |
WO1997009142A1 (en) * | 1995-09-08 | 1997-03-13 | Aeroquip Corporation | Free form article by layer deposition |
WO1997009141A1 (en) * | 1995-09-08 | 1997-03-13 | Aeroquip Corporation | Article made by layer deposition of metal |
WO1997009143A1 (en) * | 1995-09-08 | 1997-03-13 | Aeroquip Corporation | Free form article by layer deposition |
US5617911A (en) * | 1995-09-08 | 1997-04-08 | Aeroquip Corporation | Method and apparatus for creating a free-form three-dimensional article using a layer-by-layer deposition of a support material and a deposition material |
US5669433A (en) * | 1995-09-08 | 1997-09-23 | Aeroquip Corporation | Method for creating a free-form metal three-dimensional article using a layer-by-layer deposition of a molten metal |
US5718951A (en) * | 1995-09-08 | 1998-02-17 | Aeroquip Corporation | Method and apparatus for creating a free-form three-dimensional article using a layer-by-layer deposition of a molten metal and deposition of a powdered metal as a support material |
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US5787965A (en) * | 1995-09-08 | 1998-08-04 | Aeroquip Corporation | Apparatus for creating a free-form metal three-dimensional article using a layer-by-layer deposition of a molten metal in an evacuation chamber with inert environment |
US5960853A (en) * | 1995-09-08 | 1999-10-05 | Aeroquip Corporation | Apparatus for creating a free-form three-dimensional article using a layer-by-layer deposition of a molten metal and deposition of a powdered metal as a support material |
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