JP2575686B2 - ウエハカセツトハンドル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ウエハをウエハカセツトに収納して、運
搬、処理などを行なう場合に使用するウエハカセツトハ
ンドルに関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は、従来から用いられているウエハカセツトの
一例を示すもので、１はウエハ、２はウエハカセツトで
あり、このウエハカセツト２は内面に多数の溝3aを有す
る一対の側壁部３と、この一対の側壁部３の一方の端部
を結合する結合部材４とから構成されている。

次に第３図は、従来のウエハカセツトハンドル５の一
例を示すもので、取手部６とこれに連結された壁部７と
上記ウエハカセツト２を引掛けるための支持部８及び溝
部９とからなつている。

次にこの従来のウエハカセツトハンドルの使用方法に
ついて説明する。ウエハ１をウエハカセツト２に収納し
て運搬、処理などを行なう際、ウエハカセツト２の結合
部材４の両端にカセツトハンドル５の支持部８の溝９を
入れ、係合させて持ち上げることによりウエハカセツト
２を運搬していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のウエハカセツトハンドルは以上のように構成さ
れており、ウエハ１をウエハカセツト２に収納して運
搬、処理を行なう際に、取手部６がウエハカセツト２の
延長方向にのびた直棒状になつているため、ウエハカセ
ツトが非常に重く感じられ、また角度がないために操作
性に難があると同時にすべり易く、ウエハカセツトを落
下させるなどの問題があつた。また壁部７が直接ウエハ
カセツトの結合部材４と接触するため、接触面積が多く
なり、このため、この結合部と壁部との間の発塵が多く
なつてウエハへの汚染などの問題があつた。

この発明は上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、運搬、処理などを行なう際に、発塵を防止
でき、またウエハへの塵埃の付着が解消できるととも
に、ウエハカセツトの落下の防止や作業が容易になし得
るウエハカセツトハンドルを得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかるウエハカセツトハンドルは、垂直部
とその上部に折曲げ水平部を有する防塵カバーを備え、
その垂直部の一方の面で上記折曲げ水平部と反対側の面
に、ウエハカセツトと係合する支持部材を取換え自在に
装着する取付部材を固着し、かつ防塵カバーの水平部の
下面に、上記垂直部と平行よりやや角度をもたせて装着
した棒状の握り部を設けたものである。

〔作用〕

この発明におけるウエハカセツトハンドルは、防塵カ
バーとウエハカセツトを取付部材を介して離隔すること
により、運搬などの作業の際に発生する塵埃がウエハや
ウエハカセツトへ付着するのを防ぎ、また支持部材が容
易に交換できるため、ウエハカセツトの結合部とのこす
れによる汚染も少なくなる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を第１図について説明す
る。図において、10は垂直部10aと上部の折曲げ水平部1
0bとからなり、ウエハおよびウエハカセツトへの入手に
よる汚染防止のための防塵カバーであり、11はこの防塵
カバー10の左右に取換え自在に取付けられる別体の一対
の支持部材で、各々支持部８と溝部９を有する。12は上
記防塵カバー10の垂直部10aの上記水平部10bとは反対側
の面上に取付けられた左右一対の取付部材であり、この
取付部材12に上記支持部材11が各々着脱自在に嵌着され
るようになっている。13は上記防塵カバー10の水平部10
bの下面に、上記垂直部10aと所定間隔へだてて平行より
少し角度をつけて設けられた棒状の握り部である。

次に上記ウエハカセツトハンドルの使用方法について
説明する。ウエハをウエハカセツトに収納して運搬する
際、角度のついた握り部13によりウエハカセツトハンド
ルを持ち、上述のウエハカセツトの結合部材４の両端を
支持部８の溝９により引掛けて持ち上げ、運搬する。そ
の際、握り部13が上述のようにやゝ角度をつけて設けら
れているので、ウエハカセツトを立てたり、横にしたり
して作業することが容易となる。また上述のような作業
の際に、防塵カバー10がウエハカセツトと離れているた
め、また握り部13より上面にも水平部10bがあることに
より、作業者による発塵がウエハへ付着することを防止
する。

次に取付部材12とウエハカセツトとの接触する支持部
材11が容易に取外せることにより、ウエハカセツトとの
接触により汚染された支持部材が速やかに交換でき、汚
染された支持部材を洗浄し得る。このため支持部材の汚
染防止はもちろんのこと、ウエハカセツトの汚染防止に
もなり、安定した作業ができる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、運搬などをする作業
者による発塵がウエハやウエハカセツトに付着すること
がなくなり、また防塵カバーがウエハカセツトと接触し
ないことや、支持部材が容易に交換できることにより、
ウエハカセツトとの接触による塵埃の付着を支持部材だ
けにとゞめ、従つてこの支持部材を洗浄することのみに
より、ウエハやウエハカセツトの汚染を防止し得る。ま
た握り部がウエハカセツトの結合部と平行より少し角度
を有するため、いかなる作業においても安定な作業がで
きるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａはこの発明の一実施例によるウエハカセツトハ
ンドルの斜視図で、ＢはＡの矢印Ｂ方向からみた図であ
り、第２図はウエハを収納するウエハカセツトの斜視
図、第３図は従来のウエハカセツトハンドルの斜視図で
ある。 図中、10は防塵カバー、10aは垂直部、10bは水平部、11
は取付部材、12は支持部材、13は握り部である。 尚、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハなどを収納するウエハカセツトに引
   掛けて運搬などに使用するウエハカセツトハンドルにお
   いて、垂直部とその上部に当該垂直部と直角方向に折曲
   げられた水平部とを有する防塵カバーを備え、この防塵
   カバーの上記垂直部の、上記水平部とは反対側の面に取
   付けられた取付部材と、この取付部材に取換え自在に嵌
   合された支持部材と、上記防塵カバーの上記水平部の下
   面に上記垂直部と間隔をへだてかつ平行よりやや角度を
   もたせて取付けられた棒状の握り部とを備えてなるウエ
   ハカセツトハンドル。
2. 【請求項２】防塵カバーの垂直部の左右両側に一対の取
   付部材を配設し、この各取付部材に、支持部材を着脱自
   在に嵌着してなる特許請求の範囲第１項記載のウエハカ
   セツトハンドル。